JP6987502B2 - 真空発生器を備える真空システムの制御方法、真空システムのためのコントローラ、及び真空システム - Google Patents
真空発生器を備える真空システムの制御方法、真空システムのためのコントローラ、及び真空システム Download PDFInfo
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Description
Claims (12)
- 対象物の輸送のための真空システムにおいて真空発生器を制御するための方法であって、
前記真空システムは、第1のオン/オフ弁を介して圧縮空気流によって駆動される前記真空発生器を備え、
前記真空システムの一部である真空チャンバを介して、前記真空発生器は、前記圧縮空気流によって真空グリッパ手段に真空を供給するために、前記真空システムに含まれる前記真空グリッパ手段と流れ接続するように配置され、
前記真空システムは、前記真空システムに圧縮空気を供給するように配置される第2の弁と、前記真空チャンバ内のシステム圧力を監視するための圧力センサと、真空システムコントローラと、を備え、
前記第1のオン/オフ弁が前記真空発生器に空気を流入させておらず、前記真空システムコントローラが非真空発生状態を示す場合であり、大気との圧力平衡から前記システム圧力の負の時間導関数への変動が検出された場合に、前記第2の弁が作動し、補償のために一定量の圧縮空気を前記真空システムに流入させて前記大気との圧力平衡を再確立することを特徴とする、方法。 - システム圧力は、継続的に監視され、変動が自律的に検出される、請求項1に記載の方法。
- システム圧力は、定期的に監視され、変動が自律的に検出される、請求項1に記載の方法。
- 前記真空チャンバに入れられる前記圧縮空気の量は、前記真空チャンバ内に入れられた前回の解放サイクル期間の空気量に基づいて決定される、請求項1または2に記載の方法。
- 対象物の輸送のための真空システムにおいて真空発生器を制御するための真空システムコントローラであって、
前記真空システムは、第1のオン/オフ弁を介して圧縮空気流によって駆動される前記真空発生器を備え、
前記真空システムの一部である真空チャンバを介して、前記真空発生器は、前記圧縮空気流によって真空グリッパ手段に真空を供給するために、前記真空システムに含まれる前記真空グリッパ手段と流れ接続するように配置され、
前記真空システムは、前記真空システムに圧縮空気を供給するように配置される第2の弁と、前記真空チャンバ内のシステム圧力を監視するための圧力センサと、真空システムコントローラと、を備え、
前記真空システムコントローラは、前記第1のオン/オフ弁、前記第2の弁、および前記圧力センサと通信するように配置され、
前記第1のオン/オフ弁が前記真空発生器に空気を流入させておらず、前記真空システムコントローラが非真空発生状態を示す場合であり、大気との圧力平衡から前記システム圧力の負の時間導関数への変動が検出された場合に、前記真空システムコントローラは、前記第2の弁を作動させるように配置され、補償のために一定量の圧縮空気を前記真空チャンバに流入させて前記大気との圧力平衡を再確立することを特徴とする、真空システムコントローラ。 - 前記真空システムコントローラは、システム圧力を継続的に監視し、変動を自律的に検出するように配置される、請求項5に記載の真空システムコントローラ。
- 前記真空システムコントローラは、システム圧力を定期的に監視し、変動を自律的に検出するように配置される、請求項5に記載の真空システムコントローラ。
- 前記真空システムコントローラは、前記真空チャンバに入れられた前回の解放サイクル期間の空気量に基づいて、前記真空チャンバに入れられる圧縮空気の量を決定するように配置される、請求項5に記載の真空システムコントローラ。
- 対象物の輸送のための真空システムであって、
前記真空システムは、第1のオン/オフ弁を介して圧縮空気流によって駆動される真空発生器を備え、
前記真空システムの一部である真空チャンバを介して、前記真空発生器は、前記圧縮空気流によって真空グリッパ手段に真空を供給するために、前記真空システムに含まれる前記真空グリッパ手段と流れ接続するように配置され、
前記真空システムは、前記真空システムに圧縮空気を供給するように配置される第2の弁と、前記真空チャンバ内のシステム圧力を監視するための圧力センサと、真空システムコントローラと、を備え、
前記真空システムコントローラは、前記第1のオン/オフ弁、前記第2の弁、および前記圧力センサと通信するように配置され、
前記第1のオン/オフ弁が前記真空発生器に空気を流入させておらず、前記真空システムコントローラが非真空発生状態を示す場合であり、大気との圧力平衡から前記システム圧力の負の時間導関数への変動が検出された場合に、前記真空システムコントローラは、前記第2の弁を作動させるように配置され、補償のために一定量の圧縮空気を前記真空チャンバに流入させて前記大気との圧力平衡を再確立することを特徴とする、真空システム。 - 前記真空システムコントローラは、システム圧力を継続的に監視し、変動を自律的に検出するように配置される、請求項9に記載の真空システム。
- 前記真空システムコントローラは、システム圧力を定期的に監視し、変動を自律的に検出するように配置される、請求項9に記載の真空システム。
- 前記真空システムコントローラは、前記真空チャンバに入れられた前回の解放サイクル期間の空気量に基づいて、前記真空チャンバに入れられる圧縮空気の量を決定するように配置される、請求項9に記載の真空システム。
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DE10009167B4 (de) * | 2000-02-26 | 2004-05-06 | Festo Ag & Co. | Luftspareinrichtung für eine Saugvorrichtung |
US6443175B1 (en) * | 2000-02-28 | 2002-09-03 | Parker-Hannifin Corporation | Vacuum pressure generator circuit with non-volitile memory function |
DE50112524D1 (de) * | 2001-08-30 | 2007-07-05 | Festo Ag & Co | Vakuumerzeugervorrichtung |
US6786228B2 (en) * | 2001-12-20 | 2004-09-07 | Parker-Hannifin Corporation | Air circuit with air economizing and memory |
DE102004047853A1 (de) * | 2004-10-01 | 2006-04-20 | Festo Ag & Co. | Steuereinrichtung für wenigstens ein Saugelement |
US7540309B2 (en) | 2005-07-11 | 2009-06-02 | Delaware Capital Formation, Inc. | Auto-release vacuum device |
EP2150382B1 (en) * | 2007-04-25 | 2012-05-16 | Delaware Capital Formation, Inc. | Material handling system and method |
DE102007058114A1 (de) * | 2007-12-04 | 2009-06-10 | Festo Ag & Co. Kg | Vakuumerzeugervorrichtung und Verfahren zu ihrem Betreiben |
DE102008005241A1 (de) * | 2008-01-19 | 2009-07-30 | Festo Ag & Co. Kg | Vakuumerzeugervorrichtung und Verfahren zum Betreiben derselben |
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