JP6984623B2 - スラリー供給装置、湿式ブラスト加工装置及びスラリー供給方法 - Google Patents
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Description
本開示は、スラリー供給装置、湿式ブラスト加工装置及びスラリー供給方法に関する。
研磨材を被処理体に向けて噴射して被処理体の表面処理を行うブラスト加工は、スケール除去、湯じわ消し、錆取り、塗装皮膜の除去、下地処理等に利用されている。ブラスト加工には、研磨材を圧縮気体と共に固気二相流として被処理体に噴射する乾式ブラスト加工と、研磨材を含むスラリーを圧縮気体と共に固気液三相流として被処理体に噴射する湿式ブラスト加工とが知られている。
近年、ブラスト加工は、半導体、電子部品、液晶等に使われる部材の微細加工の分野にも用いられており、製造ラインに組み込むためにクリーンルームでの使用が求められる場合がある。乾式ブラスト加工は、湿式ブラスト加工に比べて加工能力が高いものの、装置のメンテナンスや筐体の開閉時に研磨材が飛散してクリーンルームを汚染する恐れがあるため、湿式ブラスト加工装置が利用されることがある。
湿式ブラスト加工装置には、吸引式のブラスト装置と直圧式のブラスト装置が存在する。特許文献1には吸引式の湿式ブラスト装置が開示されている。具体的に、特許文献1には、スラリーを貯留するタンクと、ノズルに供給するためのスラリーをタンク内から吸引するスラリー吸引管と、タンク内に撹拌用の液を導入する撹拌液導入管とを備える装置が記載されている。この装置では、撹拌液導入管から撹拌用の液を導入しながら、スラリー吸引管からタンク内のスラリーを吸引することによって、安定的なブラスト加工を実現している。
直圧式の湿式ブラスト装置としては、特許文献2及び3に記載されたものが知られている。特許文献2には、スラリーを貯留するタンクと、タンク内に加圧用の空気を導入する加圧用導管と、タンク内のスラリーを撹拌する撹拌羽と、撹拌羽を回転させる駆動モータと、スラリーを圧搾空気と共にワークに噴射するノズルと、を備える湿式ブラスト加工装置が開示されている。この装置では、撹拌羽によりタンク内のスラリーを撹拌しながら、タンク内を加圧することによって均一な濃度のスラリーをタンクからノズルに供給している。
特許文献3には、スラリーを収容する密閉容器と、密閉容器のスラリー収容部を密閉する閉止弁と、密閉容器の底部から撹拌用空気を供給する撹拌用導管と、密閉容器内に加圧用空気を供給する加圧用導管と、スラリーを噴射ガンへ供給するスラリー供給管とを備えるスラリー供給装置が記載されている。この装置では、密閉容器の下部から撹拌用空気が供給されることによって閉止弁が上昇し、閉止弁を通過した撹拌用空気によって閉止弁上の研磨材と液とが撹拌される。そして、撹拌されたスラリーがスラリー供給管から噴射ガンに供給される。
湿式ブラスト加工の研磨効率は、スラリー中の研磨材と液との比率に依存する。一般的に、スラリー中の研磨材の割合が大きくなると、被処理体に対して噴射される研磨材の量が増えるのでブラスト加工の加工効率が上昇する。これに対し、特許文献1〜3に記載の装置では、タンク内で撹拌されたスラリーをノズルに供給しているので、ノズルには研磨材の割合が小さなスラリーが供給されることとなり、加工効率が低下することとなる。
したがって、加工効率を向上させることができるスラリー供給装置、湿式ブラスト加工装置及びスラリー供給方法を提供することが求められている。
一態様では、研磨材を含むスラリーをノズルに供給するスラリー供給装置が提供される。このスラリー供給装置は、タンク、ローラ、駆動装置、噴射部及び供給配管を備えている。タンクは、スラリーを内部に貯留する。タンクの底部には、供給口が形成されている。ローラは、回転軸回りに回転可能であり、供給口から供給されたスラリーが充填される凹部が形成されている。駆動装置は、ローラを回転軸を中心に回転させる。噴射部は、凹部に対して高圧流体を噴射する。供給配管は、高圧流体の噴射によって凹部から取り出されたスラリーをノズルに供給する。
上記態様に係るスラリー供給装置では、タンクの供給口から供給されたスラリーがローラの凹部に充填される。研磨材は、比重が大きく、時間の経過と共にタンクの底部に沈降していくため、タンクの底部には研磨材の割合が高いスラリーが形成される。上記態様では、供給口がタンクの底部に設けられているので、ローラの凹部には研磨材の割合が高いスラリーが充填されることとなる。充填されたスラリーは高圧流体の噴射によって凹部から取り出され、ノズルに供給される。したがって、上記態様に係るスラリー供給装置では、研磨材の割合が高いスラリーをノズルに供給することができ、その結果、湿式ブラスト加工の加工効率を向上させることができる。
一実施形態では、噴射部が、液供給管及び空気供給管を含んでいる。液供給管は、液を供給する液体供給装置に接続されている。空気供給管は、圧縮空気を供給する圧縮空気供給装置に接続されている。そして、噴射部は、液供給管からの液と空気供給管からの圧縮空気とを含む混合流体を凹部に対して噴射してもよい。この実施形態では、圧縮空気と液を含む混合流体を用いてスラリーを凹部から取り出しているので、ノズルに供給されるスラリー中の研磨材と液体との比率を調整することができる。
一実施形態では、液供給管と液体供給装置との間に設けられ、液供給管を流れる液の流量を調節するバルブを更に備えてもよい。この実施形態では、バルブの開度に応じて混合流体中の液の割合を調整することができるので、スラリー中の研磨材と液体との比率をより綿密に調整することができる。
一実施形態では、液が切削油であってもよい。この実施形態では、ノズルに供給されたスラリーを用いて金属製の被処理体を加工したときに、被処理体に錆が発生することを抑制することができる。また、ブラスト加工の前工程で切削油を用いて被加工物が機械加工されている場合には、被加工物の表面に切削油が残っていることがある。この場合には、スラリー中の液と被加工物から離脱した切削油が同じ特性を有することとなるので、スラリー中の液の粘度を安定化させることができる。
一実施形態では、凹部が、回転軸に平行な方向、又は、ローラの周方向に沿って延在する溝であり、噴射部が、溝の延在方向に沿って高圧流体を噴射するように構成されていてもよい。この実施形態では、溝の延在方向に沿って高圧流体を噴射することによって、凹部からスラリーを確実に取り出すことができる。
一実施形態では、高圧流体よりも低圧の補助圧縮空気を供給配管に供給する補助圧縮空気供給装置を更に備えてもよい。この実施形態では、高圧流体が流れる流路内の圧力と供給配管内の圧力との差を小さくすることができるので、高圧流体の噴射によらず凹部に充填されたスラリーが取り出されることを抑制することができる。これにより、ノズルにスラリーを安定的に供給することができる。
一実施形態では、タンク内に加圧用空気を導入する加圧用配管を更に備えていてもよい。この実施形態では、加圧用配管から供給される圧縮空気によってタンク内が加圧されるので、タンクからのスラリーを凹部に密に充填することできると共に、高圧流体がタンクに逆流することを防止することができる。
一態様に係る湿式ブラスト加工装置は、上記のスラリー供給装置と、スラリー供給装置から供給されたスラリーを噴射するノズルとを備える。このブラスト装置によれば、研磨材の割合が高いスラリーをノズルから噴射することができるので、湿式ブラスト加工の効率を向上させることができる。
一態様では、スラリー供給装置を用いて、スラリーをノズルに供給するスラリー供給方法が提供される。このスラリー供給装置は、研磨材を含むスラリーを内部に貯留するタンクであり、その底部に供給口が形成された該タンクと、回転軸回りに回転可能であり、その外周面に凹部が形成されたローラと、を備えている。スラリー供給方法は、タンク内においてスラリー中の研磨材を沈降させる工程と、研磨材を沈降させる工程の後に、供給口からスラリーを凹部に対して充填する工程と、回転軸回りにローラを回転させる工程と、凹部に対して高圧流体を噴射する工程と、高圧流体の噴射によって凹部から取り出されたスラリーをノズルに供給する工程と、を含む。
上記態様に係るスラリー供給方法では、スラリー中の研磨材が沈降した後に、タンクの底部に形成された供給口からスラリーが凹部に充填されるので、凹部には研磨材の割合が高いスラリーが充填されることとなる。充填されたスラリーは高圧流体の噴射によって凹部から取り出され、ノズルに供給される。したがって、この方法では、研磨材の割合が高いスラリーをノズルに供給することができ、その結果、湿式ブラスト加工の効率を向上させることができる。
一実施形態では、高圧流体を噴射する工程において、液と圧縮空気とを含む混合流体を凹部に対して噴射してもよい。この実施形態では、圧縮空気と液を含む混合流体を用いてスラリーを凹部から取り出しているので、ノズルに供給されるスラリー中の研磨材と液体との比率を調整することができる。
本発明の一態様及び種々の実施形態によれば、湿式ブラスト加工の加工効率を向上させることができる。
以下、図面を参照して、本開示の実施形態について説明する。なお、以下の説明において、同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は繰り返さない。図面の寸法比率は、説明のものと必ずしも一致していない。「上」「下」「左」「右」の語は、図示する状態に基づくものであり、便宜的なものである。
図1は、一実施形態に係るブラスト加工システムを概略的に示す図である。図1に示すブラスト加工システム1は、ブラスト加工装置10、回収装置50及び吸引器42を備えている。ブラスト加工装置10は、研磨材と液体とを含むスラリーを被処理体に噴射して、被処理体Wを加工する湿式ブラスト加工装置である。被処理体Wの加工としては、切断加工、溝形成加工、穴あけ加工等が例示されるが、任意の加工を行うことができる。図1に示すブラスト加工装置10は、所謂直圧式のブラスト装置であり、タンク内を加圧することでタンク内の研磨材をノズルに供給する。
ブラスト加工装置10は、容器12及びスラリー供給装置60を備えている。容器12は、上部容器13及び下部容器14を含んでいる。上部容器13は下部が開放されており、下部容器14は上部が開放されている。上部容器13と下部容器14との間には、通過板23が設けられている。通過板23には、後述するスラリーSが通過可能な複数の開口が形成されている。上部容器13は、通過板23と共に加工室13sを画成している。
加工室13s内には、加工台24が設けられている。加工台24上には、被処理体Wが載置される。被処理体Wは、例えば、セラミック材料、ガラス材料などの硬脆材料、CFRP(Carbon Fiber Reinforced Plastics)材料などの難切削材料であり得る。加工台24は、コンベア駆動部26に支持されている。コンベア駆動部26は、通過板23上に設けられている。コンベア駆動部26は、例えばX−Yステージといった移動機構である。このコンベア駆動部26は、加工台24上に載置された被処理体Wをノズル30に対して相対的に移動させる。被処理体Wの移動方向及び移動速度は、被処理体Wの大きさ、形状、材料、加工するパターンの形状等に応じて適宜設定される。
加工台24の上方には、ノズル30が設けられている。ノズル30は、直圧式ブラスト加工用のブラストノズルであり、先端部30a及び基端部30bを有している。先端部30aは、加工台24の上面に対して対向するように、加工室13s内に設けられている。基端部30bは、加工室13sの外部に配置されており、供給配管68の一端が接続されている。ノズル30は、供給配管68から供給されたスラリーSを圧縮空気と共に気液固三相流として被処理体Wに噴射する。
上部容器13の上方には、ノズル駆動部32が設けられている。ノズル駆動部32は、ノズル30に接続する接続機構と、当該接続機構を駆動するモータとを含んでいる。ノズル駆動部32は、モータを駆動することによって、加工台24上に載置された被処理体Wに対してノズル30の水平方向の位置を相対的に移動させる。ノズル駆動部32によるノズル30の移動方向及び移動速度は、被処理体Wの大きさ、形状、材料、加工するパターンの形状等に応じて適宜設定される。
一実施形態では、上部容器13の上部には加工室13sに連通するように回収管34の一端が接続されていてもよい。回収管34の他端は、回収装置50に接続されている。回収装置50は、サイクロン36及び捕集器38を備えている。サイクロン36には、回収管34の他端及びサイクロン導管40の一端が接続されている。サイクロン導管40の他端には、吸引器42が接続されている。吸引器42は、サイクロン導管40及び回収管34を介して加工室13s内の空気を吸引して加工室13sを負圧にする。この吸引器42の吸引力により、加工室13sから回収装置50に向かう気流が生成される。これにより、ノズル30から被処理体Wに噴射されて霧状になったスラリーSの一部が回収管34を通ってサイクロン36に搬送される。サイクロン36は、霧状のスラリーSと空気とを分離し、霧状のスラリーSを選択的に捕集器38に回収する。サイクロン36において霧状のスラリーSから分離された空気は、サイクロン導管40を通って吸引器42に吸引される。
また、加工室13sの上部には、遮蔽板44が設けられていてもよい。遮蔽板44は、ノズル30と回収管34の一端との間に介在するように配置されており、加工室13sに漂う霧状のスラリーSを捕集する。遮蔽板44に捕集されたスラリーSは、水滴として通過板23に落下する。ノズル30と回収管34の一端との間に遮蔽板44を設けることにより、スラリーSの回収率が高められる。
上部容器13の下方には、下部容器14が設けられている。下部容器14は、下方に向かうにつれて幅が狭くなるテーパ状の側壁を有している。下部容器14は、通過板23と共に回収空間14sを画成している。回収空間14sは、通過板23に形成された複数の開口を介して加工室13sに連通している。したがって、ノズル30から被処理体Wに噴射されたスラリーSは、通過板23に形成された複数の開口を通って下部容器14の回収空間14sに回収される。下部容器14の底部には、回収したスラリーSをスラリー供給装置60に供給するための下部開口14eが形成されている。
スラリー供給装置60は、下部容器14の下方に設けられている。以下、図2を参照して、スラリー供給装置60について説明する。図2は、スラリー供給装置60を概略的に示す一部破断斜視図である。スラリー供給装置60は、研磨材Mを含むスラリーSをノズル30に供給する装置である。スラリー供給装置60は、タンク62、ローラ65、駆動装置66、噴射部67及び供給配管68を備えている。
タンク62は、下部容器14の下方に設けられている。タンク62は、その内部に貯留空間62sを画成しており、貯留空間62sにスラリーSを貯留している。スラリーSは、研磨材Mと液Lとを含む流動体であり、研磨材Mと液Lとの配合比率に応じた粘性を有している。限定されるものではないが、研磨材Mの材料としては、アルミナ粉末、銑鉄グリット及び鋳型グリットが例示される。限定されるものではないが、液Lとしては、水及び機械加工用の切削油が例示される。なお、以下では、スラリーSに含まれる研磨材Mの割合を「濃度」を用いて表す。すなわち、スラリーSの濃度が高いとは液Lの量に対する研磨材Mの比率が大きいこと示しており、スラリーSの濃度が低いとは液Lの量に対する研磨材Mの比率が小さいこと示している。
タンク62は、天板62a及び側壁62bを含んでいる。図2に示す実施形態では、タンク62は、4つの側壁62bを有している。4つの側壁62bの各々は、向かい合う側壁62bと平行に配置された上部62b1と、下方に向かうにつれて向かい合う側壁62bに対して近づくように傾斜する下部62b2を有している。すなわち、タンク62は、下方に向かうにつれて幅が狭くなる側壁を有している。なお、その内部にスラリーSを貯留することができれば、タンク62の側壁62bの形状は図2に示す実施形態に限定されず、任意の形状を有し得る。
タンク62の天板62aには、容器12からスラリーSを回収するための上部開口70が形成されている。上部開口70は、下部容器14の下部開口14eの下方に位置している。タンク62と下部容器14との間、より具体的には、下部開口14eと上部開口70との間には、弁体72が設けられている。弁体72は、例えば加圧弁であり、タンク62内部の圧力に応じて開閉する加圧弁である。具体的には、弁体72は、貯留空間62sの圧力が所定の圧力よりも高くなった場合に閉鎖され、貯留空間62sの圧力が所定の圧力以下になったときに開放される。弁体72が閉鎖されている場合には、貯留空間62sと回収空間14sとの連通が遮断されことにより、下部容器14に回収されたスラリーSのタンク62への供給が停止される。反対に、弁体72が開放されている場合には、貯留空間62sと回収空間14sとが下部開口14e及び上部開口70を介して連通され、下部容器14に回収されたスラリーSがタンク62に供給される。一実施形態では、弁体72は、例えば、ダンプバルブ又はエアシリンダなどの駆動により円錐形状の弁体を上下させる三角弁であってもよい。
また、タンク62の底部には、下部開口73が形成されている。より詳細には、下部開口73は、側壁62bの下部62b2の下端に形成されている。下部開口73は、タンク62内のスラリーSをローラ65に供給するための供給口として機能する。
なお、一実施形態では、タンク62の内部には、撹拌羽74が設けられていてもよい。撹拌羽74は、貯留空間62sの上部に設けられており、モータの駆動力によって回転する。ここで、スラリーS中の研磨材Mは、液Lよりも比重が大きいので、時間の経過と共に研磨材Mはタンク62の底部に沈降する。一方、ノズル30からのスラリーSの噴射によって生じた被処理体Wの切削粉及び破砕された研磨材Mの破片は粒子径が小さいので、液Lの表面に浮上する。撹拌羽74の回転によってスラリーSを撹拌することで、被処理体Wの切削粉及び研磨材Mの破片の浮上を促進することができる。また、撹拌羽74の回転速度を調節することにより、後述する排出管78から排出される被処理体Wの切削粉及び破砕された研磨材Mの破片の粒径を調整することができる。
また、一実施形態では、タンク62の側壁62bの上部には、排出口76が形成されていてもよい。排出口76は、排出管78を介して排出液タンク79に接続されている(図1参照)。排出口76は、スラリーSの表面に浮遊する被処理体Wの切削粉及び研磨材Mの破片を回収する。排出口76から回収された切削粉及び研磨材Mの破片は、排出管78を通って排出液タンク79に排出される。
タンク62の下部開口73の下方には、ローラ65が設けられている。ローラ65は、箱型のケーシングC内に収容されている。図3は、スラリー供給装置60のローラ65の周辺部を示す斜視図である。図3に示すように、ローラ65は、円柱形状を有しており、回転軸65x回りに回転可能である。ローラ65の外周面(側面)には、凹部65aが形成されている。図3に示す実施形態では、ローラ65には、複数の凹部65aが形成されており、これら複数の凹部65aの間には、ローラ65の外周面を構成する複数の凸部65bが形成されている。
複数の凹部65aは、ローラ65の周方向に沿って略等間隔で配列されている。複数の凹部65aは、互いに平行に延びている。複数の凹部65aの各々は、回転軸65xに平行な方向に延在する溝状を呈しており、その両端は、開放端となっている。凹部65aは、回転軸65xに直交する断面から見て、略矩形状をなしている。これら複数の凹部65aには、下部開口73から供給されたスラリーSが充填される。タンク62の底部には、沈降した研磨材Mが滞積しているので、下部開口73から凹部65aには濃度の高いスラリーSが充填される。
ローラ65の回転軸65xには、駆動装置66が接続されている(図1参照)。駆動装置66は、例えばモータであり、ローラ65に駆動力を付与して、ローラ65を回転軸65x回りに回転させる。駆動装置66は、後述する制御装置CNTから制御信号を受け、当該制御信号に応じた回転速度でローラ65を回転させる。
一実施形態では、スラリー供給装置60は、充填筒64を更に備えていてもよい。充填筒64は、タンク62の下部開口73とローラ65との間に設けられている。すなわち、充填筒64は、下部開口73の下方に設けられている。図3に示すように、充填筒64は、中空の筒状を呈しており、上端64a及び下端64bを有している。
充填筒64の上端64aは、充填筒64の内部が下部開口73を介して貯留空間62sに連通するように、タンク62の側壁62bに接続されている。なお、タンク62と充填筒64は一体的に形成されていてもよい。充填筒64の下端64bは、ローラ65の外周面に近接又は接触するようにローラ65の外周面に沿って湾曲している。すなわち、下端64bは、対向する凹部65aをローラ65の径方向外側から覆うように配置されている。充填筒64の下端64bは、回転軸65xに平行な方向において、回転軸65xに平行な方向に沿った凹部65aの幅と同じ又はそれ以上の幅を有している。充填筒64は、タンク62の下部開口73から供給されたスラリーSを対向するローラ65の凹部65aに充填する。
ローラ65の近傍には、噴射部67が設けられている。噴射部67は、ローラ65の凹部65aに対して高圧流体を噴射することで、凹部65aからスラリーSを取り出す機能を有する。図2に示すように、一実施形態では、噴射部67は、液供給管80及び空気供給管82を有している。
液供給管80は、配管81を介して液体供給装置84に接続されている(図1参照)。液体供給装置84は、液80fの供給源であり、圧縮空気又は液体ポンプによって加圧された液80fを配管81を介して液供給管80に供給する。液体供給装置84から供給される液80fは、タンク62に貯留されるスラリーSの液Lと同じ成分を有している。例えば、液80fは、水又は切削油である。空気供給管82は、配管83を介して空気供給装置86に接続されている。空気供給装置86は、圧縮空気82fの供給源であり、配管83を介して空気供給管82に圧縮空気82fを供給する。一実施形態では、図2に示すように、液供給管80及び空気供給管82は、液供給管80が空気供給管82の内部に配置された二重管構造を有している。
一実施形態では、配管81には、バルブ81a及び流量計81bが設けられている。すなわち、バルブ81a及び流量計81bは、液体供給装置84と液供給管80との間に設けられている。バルブ81aは、液体供給装置84から供給され、液供給管80を流れる液80fの流量を調整する。流量計81bは、液体供給装置84から供給され、液供給管80を流れる液80fの流量を検出する。
一実施形態では、図2に示すように、スラリー供給装置60は、加圧用配管98を更に備えている。加圧用配管98の一端は、タンク62の上部に接続されている。加圧用配管98の他端は、先端部82tと空気供給装置86との間において空気供給管82に接続されている。したがって、空気供給装置86から空気供給管82に供給された圧縮空気82fの一部は分岐して、加圧用配管98を介して加圧用空気98fとしてタンク62内に導入される。
タンク62の内部は、加圧用空気98fが供給されることによって加圧される。タンク62内の圧力が上昇することによって、弁体72が閉鎖され、下部容器14の回収空間14sとタンク62の貯留空間62sとの連通が遮断される。一実施形態では、ノズル30からスラリーSが噴射されるタイミングで空気供給装置86から圧縮空気82fが供給され、それに伴って加圧用空気98fがタンク62内に供給されるように構成されていてもよい。加圧用空気98fがタンク62内に供給されることにより、タンク62内は加圧される。その圧力によって、タンク62内のスラリーSが下部開口73を介してローラ65の凹部65aに密に充填される。
一実施形態では、液供給管80の先端部80t及び空気供給管82の先端部82tは、先端に向かうにつれて径が小さくなるテーパ形状を有していてもよい。液供給管80を流れる液80fは、液供給管80の先端部80tから吐出される際に微細化され、霧状となって空気供給管82を流れる圧縮空気82fと合流する。合流した液80f及び圧縮空気82fは、混合流体88として空気供給管82の先端部82tから噴射される。この混合流体88は、液80f及び圧縮空気82fを含む高圧流体である。
噴射部67は、取出配管90を更に備えている。取出配管90は、空気供給管82の先端部82t側に接続されている。取出配管90は、凹部65aの延在方向と平行な方向に沿って延びており、ローラ65に隣接して配置されている。なお、取出配管90は、ローラ65の回転方向の下流であって、凹部65aに充填されたスラリーSが凹部65aから落下しない位置に配置されていてもよい。
図3に示すように、取出配管90には、管路を構成する壁面が部分的に切り取られ、管路の一部が開放された切欠部92が形成されている。切欠部92は、ローラ65の外周面に対抗するように設けられており、凹部65aの延在方向において凹部65aと略同一の幅を有している。切欠部92では、ローラ65が所定の回転位置にあるときに、取出配管90の2つの端面が2つの凸部65bに対面するように構成されている。このように、取出配管90の2つの端面と2つの凸部65bとが対面することによって、取出配管90とローラ65との間には、取出配管90の内壁面とローラ65の凹部65aとによって画成される流路93が形成される。
空気供給管82の先端部82tから噴射された混合流体88は、取出配管90を介して流路93に流入する。この混合流体88が流路93を流れる際に、流路93内を構成する凹部65a内に充填されたスラリーSが凹部65aから取り出される。すなわち、空気供給管82の先端部82tから吐出された混合流体88は、凹部65aの延在方向に沿って噴射されることとなる。
取出配管90は、供給配管68に接続されている。混合流体88の噴射によって凹部65aから取り外されたスラリーSは、混合流体88の流れに沿って供給配管68に供給される。供給配管68は、混合流体88の噴射によって凹部65aから取り外されたスラリーSをノズル30に供給する。
一実施形態では、供給配管68には、補助圧縮空気供給装置94が接続されていてもよい。補助圧縮空気供給装置94は、例えばコンプレッサであり、補助導管を介して供給配管68に補助圧縮空気94fを供給する。一実施形態では、補助圧縮空気供給装置94は、混合流体88よりも低圧の補助圧縮空気94fを供給配管68に供給し得る。例えば、補助圧縮空気94fと圧縮空気82fとの間の差圧は、0.01Mpa以上、0.1Mpa以下になるように設定される。この圧縮空気82fによって、凹部65aから取り外されたスラリーSがノズル30に搬送される。
上記のように、ノズル30に供給されたスラリーSは、被処理体Wに噴射される。被処理体Wに噴射されたスラリーSの一部は、再び下部容器14の回収空間14sに回収され、再びスラリー供給装置60に供給される。
さらに、一実施形態においては、ブラスト加工装置10は、制御装置CNTを更に備えていてもよい。制御装置CNTは、例えば、プログラム可能なコンピュータから構成されており、ブラスト加工システム1の全体の動作を制御する。制御装置CNTは、例えば、コンベア駆動部26、ノズル駆動部32、吸引器42、駆動装置66、バルブ81a、液体供給装置84、空気供給装置86及び補助圧縮空気供給装置94に接続されている。
制御装置CNTは、入力されたプログラムに従って動作し、制御信号を送出する。制御装置CNTからの制御信号により、加工台24の移動方向及び移動速度、ノズル30の移動方向及び移動速度、吸引器42の作動及び作動停止、ローラ65の回転速度、液供給管80を流れる液80fの流量を調整する、液体供給装置84の作動及び作動停止、空気供給装置86の作動及び作動停止、並びに、補助圧縮空気供給装置94の作動及び作動停止を制御することが可能となっている。
次いで、図4を参照して、一実施形態に係る湿式ブラスト加工方法について説明する。この湿式ブラスト加工方法は、例えば上述したブラスト加工システム1を用いて実行される。図4は、一実施形態に係る湿式ブラスト加工方法を示すフローチャートである。一実施形態に係る湿式ブラスト加工方法では、まず工程ST1において、スラリー供給装置60からノズル30にスラリーSが供給される。図5を参照して、工程ST1のスラリー供給方法について詳細に説明する。
図5は、一実施形態に係るスラリー供給方法を示すフローチャートである。このスラリー供給方法は、例えば図2に示すスラリー供給装置60を用いて実行される。図5に示すように、工程ST1は、工程ST11〜工程ST16を含んでいる。一実施形態に係るスラリー供給方法では、まず工程ST11が行われる。
工程ST11では、空気供給装置86からタンク62内に加圧用空気98fが供給されることにより、タンク62内が加圧される。次いで、工程ST12では、タンク62内でスラリーS中の研磨材Mが沈降される。研磨材Mの比重は液Lの比重よりも大きいので、撹拌羽74の回転を停止させた状態で所定の時間にわたり放置することによって、スラリーS中の研磨材Mはタンク62の底部に沈降する。
工程ST12においてタンク62内の研磨材Mが沈降した後に、工程ST13が行われる。工程ST13では、下部開口73から供給されたスラリーSが充填筒64によってローラ65の凹部65aに充填される。タンク62内の底部には研磨材Mが沈降されているので、工程ST13において凹部65aに充填されるスラリーSは、高い粘性を有する高濃度のスラリーである。
続く工程ST14では、駆動装置66によってローラ65に駆動力が付与され、ローラ65が回転軸65x回りに回転される。これにより、凹部65aに充填されたスラリーSは、ローラ65の回転方向下流に移動し、取出配管90の切欠部92に対向する位置に搬送される。なお、ノズル30に供給されるスラリーSの量は、ローラ65の回転速度に依存する。工程ST14において、ローラ65の回転速度が大きくすることで、スラリーSが充填される凹部65aの単位時間あたりの数は増加する。反対に、ローラ65の回転速度を小さくすることで、スラリーSが充填される凹部65aの単位時間あたりの数は減少する。したがって、ローラ65の回転速度を変化させることで、ノズル30に対するスラリーSの供給量を制御することができる。
次いで、工程ST15が行われる。工程ST15では、液供給管80からの液80fと空気供給管82からの圧縮空気82fとを含む混合流体88が凹部65aに対して噴射される。この混合流体88は、凹部65aの延在方向に沿って噴射される。このように噴射された混合流体88によって、凹部65aに充填されたスラリーSが取り外される。一実施形態では、工程ST15が行われる前に、バルブ81aの開度を調整することによって、混合流体88に含まれる液80fの量を調整してもよい。混合流体88に含まれる液80fの量を調整することによって、凹部65aから取り出されるスラリーSの濃度を調整することができる。スラリーの濃度が過剰に高くなると、被処理体Wの加工が進むにつれて被処理体WにスラリーS中の研磨材Mが滞積することがある。被処理体W上に滞積した研磨材Mは、被処理体Wの表面を覆い、ブラスト加工の進行を妨げる原因となる。バルブ81aを調整して液80fの量を調整することによって、被処理体Wに研磨材Mが滞積することを抑制することができる。なお、混合流体88に含まれる液80fの量は、液体供給装置84の液80fの供給圧力を調整することによって調整してもよい。
続くST16では、工程ST15において凹部65aから取り外されたスラリーSがノズル30に供給される。一実施形態では、補助圧縮空気供給装置94から補助圧縮空気94fが供給され、この補助圧縮空気94fによってスラリーSがノズル30に搬送される。
再び図4を参照し、一実施形態に係る湿式ブラスト加工方法について説明する。一実施形態の湿式ブラスト加工方法では、工程ST1においてスラリーSがノズル30に供給された後に工程ST2が行われる。工程ST2では、ノズル30から被処理体WにスラリーSが噴射される。この際、ノズルからは、スラリーS及び圧縮空気82fが気液固三相流として噴射される。ノズル30から噴射されたスラリーSは被処理体Wに衝突し、被処理体Wが加工される。この際、ノズルから照射されるスラリーSには、研磨材Mが高い割合で含まれているので、高い効率で被処理体Wが加工される。
次に、変形例に係るスラリー供給装置について説明する。以下では、変形例に係るスラリー供給装置に関し、上述したスラリー供給装置60との相違点について主に説明する。図6は、変形例に係るスラリー供給装置100を示す図である。
図6に示すように、スラリー供給装置100は、ローラ65に代えてローラ102を備えている。ローラ102には、円柱形状を有しており、回転軸102xを中心に回転可能である。ローラ102の外周面(側面)には、ローラ102の周方向に沿って延在する凹部102aが形成されている。図6に示す実施形態では、回転軸102xに平行な方向に沿って複数の凹部102aが配列されている。複数の凹部102aの各々は、溝状をなしており、ローラ102の外周面を周回するように形成されている。複数の凹部102aは、互いに平行に延びている。
また、スラリー供給装置100は、噴射部67に代えて噴射部110を備えている。噴射部110は、ローラ102に対して混合流体88を噴射する噴射器112を更に有している。噴射器112には、液供給管80及び空気供給管82が接続されている。噴射器112の内部には、液供給管80及び空気供給管82から供給された液80f及び圧縮空気82fが合流する合流室114が形成されている。噴射器112には、合流室114に連通する複数の複数の開口116が形成されている。複数の開口116は、複数の凹部102aに対応する位置に形成されている。
液供給管80及び空気供給管82から液80f及び圧縮空気82fが供給されると、液80f及び圧縮空気82fは合流室114において合流する。合流した液80f及び圧縮空気82fは、複数の開口116を通り、混合流体88として複数の凹部102aの延在方向に沿って複数の凹部102aに向けて噴射される。図6に示す実施形態では、混合流体88は、ローラ102の外周方向から見て複数の凹部102aと一致する方向に噴射される。混合流体88が複数の凹部102aに噴射されることによって、複数の凹部102aに充填されたスラリーSが複数の凹部102aから取り出される。複数の凹部102aから取り出されたスラリーSは、回収容器118に捕集され、回収容器118の底部に設けられた開口から供給配管68に送られる。供給配管68に送られたスラリーSは、補助圧縮空気94fによってノズル30に供給される。
以上、種々の実施形態に係るスラリー供給装置、湿式ブラスト加工装置及びスラリー供給方法について説明してきたが、上述した実施形態に限定されることなく発明の要旨を変更しない範囲で種々の変形態様を構成可能である。例えば、上記実施形態では、凹部65a,102aが溝状を呈していたが、スラリーSを充填できれば凹部65a,102aは任意の形状を有することができる。例えば、凹部65a,102aは、円形、楕円形、多角形状の平面形状を有する穴であってもよい。また、凹部65a,102aは、ローラ65,102に少なくとも1つ形成されていればよく、必ずしも複数形成されていなくてもよい。
また、上記実施形態では、液80f及び圧縮空気82fを含む混合流体88を用いて凹部65a,102aからスラリーSを取り出しているが、液80f又は圧縮空気82fの一方のみを凹部65a,102aに噴射することによって凹部65a,102aからスラリーSを取り出してもよい。また、スラリー供給装置60は、必ずしも補助圧縮空気供給装置94を備えていなくてもよい。この場合、凹部65a,102aから取り出されたスラリーSは、混合流体88に起因する圧力によってノズル30に供給される。
一実施形態では、スラリー供給装置60は、凹部65a,102aから溢れて充填されなかったスラリーSを回収する回収タンクを更に備えていてもよい。回収タンクは、例えば、ローラ65の下方に配置される。また、一実施形態では、スラリーSの供給量を調節するために、凹部65aの深さが調整されていてもよい。
以下、実験例に基づいて本発明をより具体的に説明するが、本発明は以下の実験例に限定されるものではない。
(実験例1)
実験例1では、図1に示すブラスト加工装置10を用いて被処理体Wにブラスト加工を行った。本実験例では、穴の反転パターンが形成されたドライフィルムフォトレジストを被処理体Wであるガラス基板上に配置し、ノズル30からスラリーSを噴射することによって、穴開け加工を行った。スラリーSに含まれる研磨材Mとしてはアルミナ#600を使用し、液Lとしては水を使用した。
実験例1では、図1に示すブラスト加工装置10を用いて被処理体Wにブラスト加工を行った。本実験例では、穴の反転パターンが形成されたドライフィルムフォトレジストを被処理体Wであるガラス基板上に配置し、ノズル30からスラリーSを噴射することによって、穴開け加工を行った。スラリーSに含まれる研磨材Mとしてはアルミナ#600を使用し、液Lとしては水を使用した。
実験例1の加工条件は、以下の通りとした。
・加圧用空気98fの圧力:0.3[MPa]
・補助圧縮空気94fの圧力:0.28[MPa]
・ノズル30の噴射口の口径:φ6[mm]
・液供給管80を流れる液80fの流量:0.05[L/min]
・液体供給装置84の供給圧力:0.4[MPa]
・ノズル30の移動速度:10[m/min]
・加工台24の移動速度:20[mm/min]
・加圧用空気98fの圧力:0.3[MPa]
・補助圧縮空気94fの圧力:0.28[MPa]
・ノズル30の噴射口の口径:φ6[mm]
・液供給管80を流れる液80fの流量:0.05[L/min]
・液体供給装置84の供給圧力:0.4[MPa]
・ノズル30の移動速度:10[m/min]
・加工台24の移動速度:20[mm/min]
上記加工条件に従って被処理体Wを加工し、被処理体Wに形成された穴の深さを測定した。その結果、穴の加工深さは、430[μm]であった。
比較実験例1では、乾式の吸引式ブラスト加工装置(株式会社エルフォテック製 EMS−4型)を用いて被処理体Wにブラスト加工を行った。被処理体Wとしては、実験例1と同じガラス基板を使用した。研磨材としてはアルミナ#600を使用した。
比較実験例1の加工条件は、以下の通りとした。
・加圧用空気の圧力:0.3[MPa]
・ノズル30のの噴射口の口径:φ6[mm]
・ノズル30の移動速度:10[m/min]
・加工台24の移動速度:20[mm/min]
・加圧用空気の圧力:0.3[MPa]
・ノズル30のの噴射口の口径:φ6[mm]
・ノズル30の移動速度:10[m/min]
・加工台24の移動速度:20[mm/min]
上記加工条件に従って被処理体Wを加工し、被処理体Wに形成された穴の深さを測定した。その結果、実験例1の穴の加工深さは、38[μm]であった。
実験例1及び比較実験例1の結果から、一実施形態のブラスト加工装置10は、乾式サクション式ブラスト装置に比べて、11.3倍の加工能力を有することが確認された。
(実験例2)
実験例2では、図1に示すブラスト加工装置10を用いて被処理体Wにブラスト加工を行った。ただし、本実験例では、スラリー供給装置として、図1に示すスラリー供給装置60に代えて、図6に示すスラリー供給装置100を使用した。本実験例では、この被処理体Wに対して、スラリーSを噴射することによってバリ取り加工を行った。被処理体Wとしては、機械加工によって切削油が付着したSUS304製の加工部品を使用した。スラリーSに含まれる研磨材Mとしては、エプソンアトミックス株式会社製のKUAMET−32μmを使用し、液Lとしては、株式会社MORESCO製の切削油モレスコシールメイト BS−6Sを使用した。
実験例2では、図1に示すブラスト加工装置10を用いて被処理体Wにブラスト加工を行った。ただし、本実験例では、スラリー供給装置として、図1に示すスラリー供給装置60に代えて、図6に示すスラリー供給装置100を使用した。本実験例では、この被処理体Wに対して、スラリーSを噴射することによってバリ取り加工を行った。被処理体Wとしては、機械加工によって切削油が付着したSUS304製の加工部品を使用した。スラリーSに含まれる研磨材Mとしては、エプソンアトミックス株式会社製のKUAMET−32μmを使用し、液Lとしては、株式会社MORESCO製の切削油モレスコシールメイト BS−6Sを使用した。
実験例2の加工条件は、以下の通りとした。
・加圧用空気98fの圧力:0.2[MPa]
・補助圧縮空気94fの圧力:0.18[MPa]
・ノズル30の噴射口の口径:φ6[mm]
・液供給管80を流れる液80fの流量:0.05[L/min]
・液体供給装置84の供給圧力:0.3[MPa]
・ノズル30の移動速度:10[m/min]
・加工台24の移動速度:30[mm/min]
・加圧用空気98fの圧力:0.2[MPa]
・補助圧縮空気94fの圧力:0.18[MPa]
・ノズル30の噴射口の口径:φ6[mm]
・液供給管80を流れる液80fの流量:0.05[L/min]
・液体供給装置84の供給圧力:0.3[MPa]
・ノズル30の移動速度:10[m/min]
・加工台24の移動速度:30[mm/min]
上記加工条件に従って被処理体Wのバリ取りを行った。実験例2では、被処理体Wを1回走査することによって被処理体Wからバリが除去されることが確認された。
比較実験例2では、乾式の吸引式ブラスト加工装置(株式会社エルフォテック製 EMS−4型)を用いて、同一の被処理体Wに対してブラスト加工を行った。
比較実験例2の加工条件は、以下の通りとした。
・加圧用空気の圧力:0.3[MPa]
・ノズル30のの噴射口の口径:φ6[mm]
・ノズル30の移動速度:10[m/min]
・加工台24の移動速度:30[mm/min]
・加圧用空気の圧力:0.3[MPa]
・ノズル30のの噴射口の口径:φ6[mm]
・ノズル30の移動速度:10[m/min]
・加工台24の移動速度:30[mm/min]
上記加工条件に従って被処理体Wのバリ取りを行った。比較実験例2では、被処理体Wを8回走査することによって被処理体Wからバリが除去されることが確認された。
実験例2及び比較実験例2の結果から、一実施形態のブラスト加工装置10は、乾式サクション式ブラスト装置に比べて、8倍のバリ取り加工能力を有することが確認された。
1…ブラスト加工システム、10…ブラスト加工装置、12…容器、30…ノズル、32…ノズル駆動部、50…回収装置、60…スラリー供給装置、62…タンク、62s…貯留空間、64…充填筒、65,102…ローラ、65a,102a…凹部、65x…回転軸、66…駆動装置、67,110…噴射部、68…供給配管、72…弁体、73…下部開口(供給口)、74…撹拌羽、76…排出口、78…排出管、80…液供給管、80f…液、81a…バルブ、81b…流量計、82…空気供給管、82f…圧縮空気、84…液体供給装置、86…空気供給装置、88…混合流体、90…取出配管、92…切欠部、93…流路、94…補助圧縮空気供給装置、94f…補助圧縮空気、98…加圧用配管、98f…加圧用空気、100…スラリー供給装置、102…ローラ、102a…凹部、102x…回転軸、112…噴射器、CNT…制御装置、L…液、M…研磨材、S…スラリー、W…被処理体。
Claims (10)
- 研磨材を含むスラリーをノズルに供給するスラリー供給装置であって、
前記スラリーを内部に貯留するタンクであり、その底部に供給口が形成された該タンクと、
回転軸回りに回転可能であり、前記供給口から供給された前記スラリーが充填される凹部が形成されたローラと、
前記ローラを前記回転軸を中心に回転させる駆動装置と、
前記凹部に対して高圧流体を噴射する噴射部と、
前記高圧流体の噴射によって前記凹部から取り出された前記スラリーを前記ノズルに供給する供給配管と、
を備える、スラリー供給装置。 - 前記噴射部が、液を供給する液体供給装置に接続された液供給管と、圧縮空気を供給する圧縮空気供給装置に接続された空気供給管とを含み、前記液供給管からの前記液と前記空気供給管からの前記圧縮空気とを含む混合流体を前記凹部に対して噴射する、請求項1に記載のスラリー供給装置。
- 前記液供給管と前記液体供給装置との間に設けられ、前記液供給管を流れる前記液の流量を調節するバルブを更に備える、請求項2に記載のスラリー供給装置。
- 前記液が切削油である、請求項2又は3に記載のスラリー供給装置。
- 前記凹部が、前記回転軸に平行な方向、又は、前記ローラの周方向に沿って延在する溝であり、
前記噴射部が、前記溝の延在方向に沿って高圧流体を噴射するように構成されている、請求項1〜4の何れか一項に記載のスラリー供給装置。 - 前記高圧流体よりも低圧の補助圧縮空気を前記供給配管に供給する補助圧縮空気供給装置を更に備える、請求項1〜5の何れか一項に記載のスラリー供給装置。
- 前記タンク内に加圧用空気を導入する加圧用配管を更に備える、請求項1〜6の何れか一項に記載のスラリー供給装置。
- 請求項1〜7の何れか一項に記載のスラリー供給装置と、
前記スラリー供給装置から供給された前記スラリーを噴射するノズルと、
を備える湿式ブラスト加工装置。 - 研磨材を含むスラリーを内部に貯留するタンクであり、その底部に供給口が形成された該タンクと、回転軸回りに回転可能であり、その外周面に凹部が形成されたローラと、を備えるスラリー供給装置を用いて、前記スラリーをノズルに供給するスラリー供給方法であって、
前記タンク内において前記スラリー中の前記研磨材を沈降させる工程と、
前記研磨材を沈降させる工程の後に、前記供給口から前記スラリーを前記凹部に対して充填する工程と、
前記回転軸回りに前記ローラを回転させる工程と、
前記凹部に対して高圧流体を噴射する工程と、
前記高圧流体の噴射によって前記凹部から取り出された前記スラリーをノズルに供給する工程と、
を含む、スラリー供給方法。 - 前記高圧流体を噴射する工程では、液と圧縮空気とを含む混合流体を凹部に対して噴射する、請求項9に記載のスラリー供給方法。
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