JP6978518B2 - 磁気検出装置およびその製造方法 - Google Patents
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Description
図2は、本発明の第1の実施形態に係る磁気センサ(磁気検出装置)の回路ブロック図である。図3は本発明の第1の実施形態に係る磁気検出素子の構成を示す説明図であって、図3(a)は第1磁気検出素子をZ1−Z2方向からみた図であり、図3(b)は第2磁気検出素子をZ1−Z2方向からみた図である。図4(a)は、図3(a)のV1−V1線での断面図である。図4(b)は、図3(b)のV2−V2線での断面図である。
図9は、本発明の第2の実施形態に係る磁気センサ(磁気検出装置)の回路ブロック図である。図10は本発明の第2の実施形態に係る磁気検出素子の構成を示す説明図であって、図10(a)は第1磁気検出素子をZ1−Z2方向からみた図であり、図10(b)は第2磁気検出素子をZ1−Z2方向からみた図である。図11(a)は、図10(a)のV3−V3線での断面図である。図11(b)は、図10(b)のV4−V4線での断面図である。
交換結合磁界Hexの強度と環境温度との関係を確認するために、次の構成の積層膜を作製した。()内は各層の厚さ(単位:Å)である。
基板/下地層:NiFeCr(42)/反強磁性層/固定磁性層:90CoFe(100)/保護層:Ta(90)
本例では、反強磁性層の積層構成を、下地層に近位な側から、54PtCr(280)/50PtMn(20)として、得られた積層膜を1kOeの磁場中において400℃で5時間アニール処理し、固定磁性層と反強磁性層の磁化を固定して交換結合膜を得た。
実施例1の反強磁性層の積層構成を、下地層に近位な側から、50PtMn(300)として積層膜を形成し、得られた積層膜を1kOeの磁場中において300℃で4時間アニール処理し、固定磁性層と反強磁性層の磁化を固定して交換結合膜を得た。
実施例1の反強磁性層の積層構成を、下地層に近位な側から、20IrMn(80)として積層膜を形成し、得られた積層膜を1kOeの磁場中において300℃で1時間アニール処理し、固定磁性層と反強磁性層の磁化を固定して交換結合膜を得た。
Hex11、Hex12、Hex21、Hex22:バイアス用交換磁界結合
Hc :保磁力
100、101 :磁気センサ(磁気検出装置)
FB :フルブリッジ回路
HB1 :第1ハーフブリッジ回路
HB2 :第2ハーフブリッジ回路
GND :グランド端子
Vdd :電源端子
M1 :第1磁気検出素子
M2 :第2磁気検出素子
MB11、MB12 :第1磁界印加バイアス膜
MB21、MB22 :第2磁界印加バイアス膜
MR1 :第1磁気抵抗効果膜
MR2 :第2磁気抵抗効果膜
H :外部磁場
P :固定磁化方向
F :バイアス印加方向
SB :基板
1、11、21、61、71、81、91 :下地層
13、36 :第1フリー磁性層
14、24、82、92 :非磁性材料層
15、34 :第1固定磁性層(固定用強磁性層)
16、33 :第1固定用反強磁性層
17、27、65、75、85、95 :保護層
23、46 :第2フリー磁性層
25、44 :第2固定磁性層(固定用強磁性層)
26、43 :第2固定用反強磁性層
83 :第1強磁性層
93 :第2強磁性層
84 :第1バイアス用反強磁性層
94 :第2バイアス用反強磁性層
511、532 :第1固定用交換結合膜
512、531 :第1バイアス用交換結合膜
521、542 :第2固定用交換結合膜
522、541 :第2バイアス用交換結合膜
31、41 :下部電極
32、42 :シード層
35、45 :絶縁障壁層
38、48 :上部電極
55、56、57 :交換結合膜
60、70、70A :膜
62、72 :非磁性材料層
63、73 :強磁性層
64、74、741 :反強磁性層
641 :IrMn層
642 :PtMn層
643 :PtCr層
R1 :第1領域
R2 :第2領域
74A、74A1、74An :X1Cr層
74B、74B1、74Bn :X2Mn層
4U1、4Un :ユニット積層部
D1、D2、D3 :膜厚
Claims (21)
- 第1固定磁性層と第1フリー磁性層とが積層された第1磁気抵抗効果膜および前記第1フリー磁性層にバイアス磁界を印加する第1磁界印加バイアス膜を備える第1磁気検出素子、ならびに第2固定磁性層と第2フリー磁性層とが積層された第2磁気抵抗効果膜および前記第2フリー磁性層にバイアス磁界を印加する第2磁界印加バイアス膜を備える第2磁気検出素子を有するフルブリッジ回路を備える磁気検出装置であって、
前記フルブリッジ回路は、前記第1磁気検出素子と前記第2磁気検出素子とが直列に接続されてなる第1ハーフブリッジ回路と、前記第2磁気検出素子と前記第1磁気検出素子とが直列に接続されてなる第2ハーフブリッジ回路と、が、電源端子とグランド端子との間で並列接続されてなり、
前記第1磁気検出素子と前記第2磁気検出素子とは同一の基板上に設けられ、
前記第1磁気抵抗効果膜は、前記第1固定磁性層と第1固定用反強磁性層とが積層された第1固定用交換結合膜を有し、
前記第1磁界印加バイアス膜は、第1強磁性層と第1バイアス用反強磁性層とが積層された第1バイアス用交換結合膜を有し、
前記第2磁気抵抗効果膜は、前記第2固定磁性層と第2固定用反強磁性層とが積層された第2固定用交換結合膜を有し、
前記第2磁界印加バイアス膜は、第2強磁性層と第2バイアス用反強磁性層とが積層された第2バイアス用交換結合膜を有し、
前記第1固定磁性層の固定磁化軸と前記第2固定磁性層の固定磁化軸とは共軸に設定され、
前記第1バイアス用交換結合膜の交換結合磁界の方向と前記第1固定磁性層の固定磁化軸の方向とは非平行に設定され、前記第2バイアス用交換結合膜の交換結合磁界の方向と前記第2固定磁性層の固定磁化軸の方向とは非平行に設定され、
前記第1固定用反強磁性層のブロッキング温度Tbf1および前記第2固定用反強磁性層のブロッキング温度Tbf2は、それぞれ、前記第1バイアス用反強磁性層のブロッキング温度Tb1および前記第2バイアス用反強磁性層のブロッキング温度Tb2のいずれよりも高く、
前記第1バイアス用反強磁性層のブロッキング温度Tb1は前記第2バイアス用反強磁性層のブロッキング温度Tb2よりも高いこと
を特徴とする磁気検出装置。 - 前記第1固定磁性層の固定磁化軸の方向と前記第2固定磁性層の固定磁化軸の方向とは反平行に設定され、
前記第1バイアス用反強磁性層の交換結合磁界の方向と前記第2バイアス用反強磁性層の交換結合磁界の方向とは平行に設定され、
前記第1固定磁性層の固定磁化軸の方向と前記第1バイアス用反強磁性層の交換結合磁界の方向とは非平行に設定された、請求項1に記載の磁気検出装置。 - 前記第1固定磁性層の固定磁化軸の方向と前記第2固定磁性層の固定磁化軸の方向とは平行に設定され、
前記第1バイアス用交換結合膜のバイアス磁界の方向と前記第2バイアス用交換結合膜のバイアス磁界の方向とは非平行に設定された、請求項1に記載の磁気検出装置。 - 前記第1固定磁性層の固定磁化軸の方向に対する前記第1バイアス用交換結合膜のバイアス磁界の方向の積層方向視での傾き角度は、前記第2固定磁性層の固定磁化軸の方向に対する前記第2バイアス用交換結合膜のバイアス磁界の方向の積層方向視での傾き角度と反対向きで絶対値が等しい、請求項3に記載の磁気検出装置。
- 前記第1固定用反強磁性層および前記第2固定用反強磁性層の少なくとも一方である固定用反強磁性層は、白金族元素およびNiからなる群から選ばれる一種または二種以上の元素XならびにMnおよびCrを含有するX(Cr−Mn)層を備え、
前記X(Cr−Mn)層は、前記固定用反強磁性層と交換結合する固定用強磁性層に相対的に近位な第1領域と、前記固定用強磁性層から相対的に遠位な第2領域とを有し、
前記第1領域におけるMnの含有量は、前記第2領域におけるMnの含有量よりも高い、請求項1から4のいずれか1項に記載の磁気検出装置。 - 前記第1領域が前記固定用強磁性層に接している、請求項5に記載の磁気検出装置。
- 前記第1領域は、Mnの含有量のCrの含有量に対する比であるMn/Cr比が0.3以上の部分を有する、請求項5または6に記載の磁気検出装置。
- 前記第1領域は、前記Mn/Cr比が1以上である部分を有する、請求項7に記載の磁気検出装置。
- 前記固定用反強磁性層は、PtCr層と、前記PtCr層よりも前記固定用強磁性層に近位なX0Mn層(ただし、X0は白金族元素およびNiからなる群から選ばれる一種または二種以上の元素)とが積層されてなる、請求項5から請求項8のいずれか1項に記載の磁気検出装置。
- 前記固定用反強磁性層は、PtCr層とPtMn層とがこの順番で前記PtMn層が前記固定用強磁性層に近位になるように積層されてなる、請求項5から8のいずれか1項に記載の磁気検出装置。
- 前記PtMn層よりも前記固定用強磁性層に近位にさらにIrMn層が積層された、請求項10に記載の磁気検出装置。
- 前記第1固定用反強磁性層および前記第2固定用反強磁性層の少なくとも一方である固定用反強磁性層は、X1Cr層(ただし、X1は白金族元素およびNiからなる群から選ばれる一種または二種以上の元素)とX2Mn層(ただし、X2は白金族元素およびNiからなる群から選ばれる一種または二種以上の元素であって、X1と同じでも異なっていてもよい)とが交互に積層された三層以上の交互積層構造を有する、請求項1から4のいずれか1項に記載の磁気検出装置。
- 前記X1がPtであり、前記X2がPtまたはIrである、請求項12に記載の磁気検出装置。
- 前記固定用反強磁性層は、X1Cr層とX2Mn層とからなるユニットが複数積層されたユニット積層部を有する、請求項12または13に記載の磁気検出装置。
- 前記ユニット積層部における、前記X1Cr層および前記X2Mn層は、それぞれ同じ膜厚であり、前記X1Cr層の膜厚が、前記X2Mn層の膜厚よりも大きい、請求項14に記載の磁気検出装置。
- 前記X1Cr層の膜厚と前記X2Mn層の膜厚との比が、5:1〜100:1である、請求項15に記載の磁気検出装置。
- 前記第1バイアス用反強磁性層はPtMn層からなり、前記第2バイアス用反強磁性層はIrMn層からなる、請求項4から16のいずれか1項に記載の磁気検出装置。
- 第1固定磁性層と第1フリー磁性層とが積層された第1磁気抵抗効果膜および前記第1フリー磁性層にバイアス磁界を印加する第1磁界印加バイアス膜を備える第1磁気検出素子、ならびに第2固定磁性層と第2フリー磁性層とが積層された第2磁気抵抗効果膜および前記第2フリー磁性層にバイアス磁界を印加する第2磁界印加バイアス膜を備える第2磁気検出素子を有するフルブリッジ回路を備える磁気検出装置の製造方法であって、
前記フルブリッジ回路は、前記第1磁気検出素子と前記第2磁気検出素子とが直列に接続されてなる第1ハーフブリッジ回路と、前記第2磁気検出素子と前記第1磁気検出素子とが直列に接続されてなる第2ハーフブリッジ回路と、が、電源端子とグランド端子との間で並列接続されてなり、
前記第1磁気検出素子と前記第2磁気検出素子とは同一の基板上に設けられ、
前記第1磁気抵抗効果膜は、前記第1固定磁性層と第1固定用反強磁性層とが積層された第1固定用交換結合膜を有し、
前記第1磁界印加バイアス膜は、第1強磁性層と第1バイアス用反強磁性層とが積層された第1バイアス用交換結合膜を有し、
前記第2磁気抵抗効果膜は、前記第2固定磁性層と第2固定用反強磁性層とが積層された第2固定用交換結合膜を有し、
前記第2磁界印加バイアス膜は、第2強磁性層と第2バイアス用反強磁性層とが積層された第2バイアス用交換結合膜を有し、
前記第1固定用反強磁性層のブロッキング温度Tbf1および前記第2固定用反強磁性層のブロッキング温度Tbf2は、それぞれ、前記第1バイアス用反強磁性層のブロッキング温度Tb1および前記第2バイアス用反強磁性層のブロッキング温度Tb2のいずれよりも高く、
前記第1バイアス用反強磁性層のブロッキング温度Tb1は前記第2バイアス用反強磁性層のブロッキング温度Tb2よりも高く、
前記第1固定用反強磁性層および前記第2固定用反強磁性層を熱処理により規則化して、前記第1バイアス用交換結合膜および前記第2バイアス用交換結合膜に交換結合磁界を生じさせることにより、前記第1固定磁性層の固定磁化軸と前記第2固定磁性層の固定磁化軸とを共軸に設定する固定磁化軸設定工程と、
前記第1固定用反強磁性層のブロッキング温度Tbf1および前記第2固定用反強磁性層のブロッキング温度Tbf2より低い温度で外部磁場を印加しながら熱処理することにより、前記第1バイアス用交換結合膜によるバイアス磁界の方向を前記第1固定磁性層の固定磁化軸の方向とは非平行に設定する第1バイアス磁界設定工程と、
前記第1バイアス磁界設定工程の後に、前記第1バイアス用反強磁性層のブロッキング温度Tb1より低い温度で外部磁場を印加しながら熱処理することにより、前記第2バイアス用交換結合膜によるバイアス磁界の方向を前記第2固定磁性層の固定磁化軸の方向とは非平行に設定する第2バイアス磁界設定工程と、
を備えることを特徴とする磁気検出装置の製造方法。 - 前記固定磁化軸設定工程では、前記第1固定用交換結合膜の交換結合磁界の方向を第1固定磁性層の磁化方向に揃え、前記第2固定用交換結合膜の交換結合磁界の方向を第2固定磁性層の磁化方向に揃える、請求項18に記載の磁気検出装置の製造方法。
- 前記固定磁化軸設定工程では、前記第1固定磁性層の固定磁化軸の方向と前記第2固定磁性層の固定磁化軸の方向とを反平行に設定し、
第1バイアス磁界設定工程では、前記第1バイアス用反強磁性層の交換結合磁界の方向を、前記第1固定磁性層の固定磁化軸の方向とは非平行に設定し、
第2バイアス磁界設定工程では、前記第2バイアス用反強磁性層の交換結合磁界の方向を、前記第1バイアス用反強磁性層の交換結合磁界の方向と平行に設定する、
請求項18または19に記載の磁気検出装置の製造方法。 - 前記固定磁化軸設定工程では、前記第1固定磁性層の固定磁化軸の方向と前記第2固定磁性層の固定磁化軸の方向とを平行に設定し、
前記第1バイアス磁界設定工程では、前記第1バイアス用交換結合膜のバイアス磁界の方向を、前記第1固定磁性層の固定磁化軸の方向とは非平行に設定し、
前記第2バイアス磁界設定工程では、前記第2バイアス用交換結合膜のバイアス磁界の方向を前記第1固定磁性層の固定磁化軸の方向および前記第1バイアス用交換結合膜のバイアス磁界の方向のいずれとも非平行に設定する、請求項18または19に記載の磁気検出装置の製造方法。
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