JP6969397B2 - 磁気センサ - Google Patents
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Description
図1及び図2は本発明の第1の実施形態による磁気センサ10Aの構造を説明するための図であり、図1は略斜視図、図2は略上面図である。
図6は、本発明の第2の実施形態による磁気センサ10Bの外観を示す略斜視図である。
図16は、本発明の第3の実施形態による磁気センサ100の外観を示す略斜視図である。
20 基板
21 実装領域
22 端子電極
30 センサチップ
31 素子形成面
32 端子電極
40 磁性体
41 下面
42 上面
42a,42b 突起部
50 磁気シールド
51 第1の側壁部
52 第2の側壁部
53 第1の天板部
54 第2の天板部
55 底板部
60 被測定部材
BW ボンディングワイヤ
G ギャップ
M1,M2 磁気パターン
R1〜R4 磁気検出素子
φ 磁束
Claims (6)
- 磁気検出素子が形成された素子形成面を有するセンサチップと、
前記素子形成面と平行な第1の方向を長手方向とする形状を有し、磁束を前記磁気検出素子に集める磁性体と、を備え、
前記磁性体は、前記素子形成面と対向する下面と、前記下面の反対側に位置する上面を有し、
前記磁性体の前記上面は、前記第1の方向における位置によって前記素子形成面からの高さが異なる凹凸形状を有していることを特徴とする磁気センサ。 - 前記磁性体の前記第1の方向におけるサイズは、前記センサチップの前記第1の方向におけるサイズよりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の磁気センサ。
- 前記磁性体の前記上面は、前記第1の方向における略中央部が突出した形状を有していることを特徴とする請求項1又は2に記載の磁気センサ。
- 前記磁性体の前記上面は、前記第1の方向における両端部又はその近傍が突出した形状を有していることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の磁気センサ。
- 前記センサチップ及び前記磁性体を覆う磁気シールドをさらに備え、
前記磁気シールドは、前記第1の方向と直交する第2の方向から前記センサチップを挟み込む第1及び第2の側壁部と、前記第1の側壁部の一端に接続され、前記磁性体に向けて前記第2の方向に延在する第1の天板部と、前記第2の側壁部の一端に接続され、前記磁性体に向けて前記第2の方向に延在する第2の天板部とを含み、
前記磁性体は、前記第1及び第2の天板部と接することなく、前記第1の天板部の先端と前記第2の天板部の先端によって形成されるギャップ内に配置されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の磁気センサ。 - 前記第2の方向は、被測定部材のスキャン方向であることを特徴とする請求項5に記載の磁気センサ。
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