JP6964392B2 - Sliding surface structure and manufacturing method of sliding surface structure - Google Patents

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Description

本発明は、摺動面構造及び摺動面構造の製造方法に関するものである。 The present invention relates to a sliding surface structure and a method for manufacturing a sliding surface structure.

環境問題への関心が高まり、摺動部の摩擦低減はもちろんのこと、潤滑油の使用量削減が重要な課題となっている。そのため、グリース潤滑の適用拡大が検討されており、グリースの保持効果を高めた摺動面構造が提案されている(特許文献1及び特許文献2)。 With increasing interest in environmental issues, not only reducing friction on sliding parts, but also reducing the amount of lubricating oil used has become an important issue. Therefore, expansion of application of grease lubrication is being studied, and a sliding surface structure having an enhanced grease holding effect has been proposed (Patent Document 1 and Patent Document 2).

特許文献1及び特許文献2のものは、軸受用保持器のポケット内面に凹部を形成し、この凹部をグリース溜りとしている。これにより、ポケット内に配置された転動体が転動(自転)すれば、転動体と保持器のポケット内面とが摺接して、前記凹部にグリースが保持されるとともに、凹部に保持されたグリースが転動体の摺接部に再供給される。 In Patent Document 1 and Patent Document 2, a recess is formed on the inner surface of the pocket of the bearing cage, and the recess is used as a grease reservoir. As a result, when the rolling element arranged in the pocket rolls (rotates), the rolling element and the inner surface of the pocket of the cage are in sliding contact with each other, and the grease is held in the recess and the grease held in the recess. Is resupplied to the sliding contact part of the rolling element.

特開2015−31344号公報JP-A-2015-31344 特開2015−148241号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2015-148241

前記特許文献1及び特許文献2に記載された凹部は、ポケット内面にグリースを溜めるためのものであって、グリースの油分離と油分移動性の促進作用はない。すなわち、前記前記特許文献1及び特許文献2のものは、凹部に溜められたグリースが転動体と凹部との間を移動して、摺動面構造を延命させるものである。しかしながら、グリースは流動性が低いため、相対運動に伴い一旦摺動面外に排出されると、摺動面では潤滑不足による摩擦増加や焼付きを生じるという問題がある。 The recesses described in Patent Document 1 and Patent Document 2 are for storing grease on the inner surface of the pocket, and do not have an action of promoting oil separation and oil mobility of grease. That is, in the above-mentioned Patent Document 1 and Patent Document 2, the grease accumulated in the concave portion moves between the rolling element and the concave portion to prolong the life of the sliding surface structure. However, since grease has low fluidity, once it is discharged to the outside of the sliding surface due to relative movement, there is a problem that friction increases or seizure occurs on the sliding surface due to insufficient lubrication.

そこで、本発明は、グリースの保持性と再流入性を高めて、グリース潤滑下において長期にわたって低摩擦を維持できる摺動面構造及び摺動面構造の製造方法を提供する。 Therefore, the present invention provides a sliding surface structure and a method for manufacturing a sliding surface structure capable of maintaining low friction for a long period of time under grease lubrication by improving the holding property and reinflow property of grease.

本発明の摺動面構造は、増ちょう剤と油とを含むグリース潤滑下で相対的に摺動する摺動面構造において、少なくとも一方の摺動面に凸部頂点が非平坦面となって連続的に高さが変化するグレーティング状凹凸の周期構造が形成され、かつ、前記グレーティング状凹凸の周期構造の凹凸が50nm以上10μm以下かつ周期ピッチが10μm以下であり、このグレーティング状凹凸の周期構造に増ちょう剤のみを供給して、この周期構造が前記増ちょう剤を担持して、グリースの油分離と油分移動性が促進され、担持された増ちょう剤が相手側に増ちょう剤由来の境界膜を形成するものであり、形成される境界膜は、摩擦・摩耗を低減するものである。 The sliding surface structure of the present invention is a sliding surface structure in which the sliding surface structure slides relatively under grease lubrication containing a thickener and oil, and the convex apex becomes a non-flat surface on at least one sliding surface. A periodic structure of grease-like unevenness whose height changes continuously is formed, and the unevenness of the periodic structure of the grease-like unevenness is 50 nm or more and 10 μm or less and the periodic pitch is 10 μm or less. This periodic structure supports the thickener, promotes oil separation and oil transfer of the grease, and the supported thickener is derived from the thickener on the other side. and also for the forming the boundary layer, the boundary layer to be formed is to reduce friction and wear.

本発明の摺動面構造によれば、少なくとも一方の摺動面に凸部頂点が非平坦面となって連続的に高さが変化するグレーティング状凹凸の周期構造が形成されることにより、油分に対して濡れ性が良好なものとなってグリースの油分離と油分移動性が促進され、摺動面外に排出されたグリースの再流入性が向上する。また、グレーティング状凹凸の周期構造が増ちょう剤を担持することにより、担持された増ちょう剤に油分を伝播させることができ、油分の保持性、移動性を良好にする。さらに、担持された増ちょう剤が相手材に境界膜を形成することができる。 According to the sliding surface structure of the present invention, the oil content is formed on at least one of the sliding surfaces by forming a periodic structure of grating-like unevenness in which the apex of the convex portion becomes a non-flat surface and the height changes continuously. On the other hand, the wettability is improved, the oil separation of the grease and the oil transferability are promoted, and the reinflow property of the grease discharged to the outside of the sliding surface is improved. Further, since the periodic structure of the grating-like unevenness supports the thickener, the oil content can be propagated to the supported thickener, and the oil content retention and mobility are improved. Further, the supported thickener can form a boundary film on the mating material.

前記構成において、前記グレーティング状凹凸の周期構造が摺動面外に連通し、摺動面外に付着するグリースと当接しているのが好ましい。 In the above configuration, it is preferable that the periodic structure of the grating-like unevenness communicates with the outside of the sliding surface and is in contact with the grease adhering to the outside of the sliding surface.

前記構成において、前記グレーティング状凹凸の周期構造が摺動方向に沿って配向するのが好ましい。 In the above configuration, it is preferable that the periodic structure of the grating-like unevenness is oriented along the sliding direction.

前記構成において、前記グレーティング状凹凸の周期構造の凹凸が50nm以上10μm以下かつ周期ピッチが10μm以下であるのが好ましい。 In the above configuration, it is preferable that the unevenness of the periodic structure of the grating-like unevenness is 50 nm or more and 10 μm or less and the periodic pitch is 10 μm or less.

本発明の摺動面構造の製造方法は、増ちょう剤と油とを含むグリース潤滑下で相対的に摺動する摺動面構造の製造方法において、少なくとも一方の摺動面に凸部頂点が非平坦面となって連続的に高さが変化するグレーティング状凹凸の周期構造を形成し、前記グレーティング状凹凸の周期構造の凹凸が50nm以上10μm以下かつ周期ピッチが10μm以下であり、このグレーティング状凹凸の周期構造に増ちょう剤のみを供給して、この周期構造が前記増ちょう剤を担持させて、グリースの油分離と油分移動性が促進され、担持された増ちょう剤が相手側に増ちょう剤由来の境界膜を形成するものであり、形成される境界膜は、摩擦・摩耗を低減するものである。 The method for manufacturing a sliding surface structure of the present invention is a method for manufacturing a sliding surface structure that slides relatively under grease lubrication containing a thickener and oil, in which at least one of the sliding surfaces has a convex apex. A periodic structure of grease-like unevenness that becomes a non-flat surface and continuously changes in height is formed, and the unevenness of the periodic structure of the grating-like unevenness is 50 nm or more and 10 μm or less and the periodic pitch is 10 μm or less. Only the thickener is supplied to the uneven periodic structure, and this periodic structure supports the thickener to promote oil separation and oil transfer of the grease, and the supported thickener increases to the other side. It forms a boundary film derived from a filler , and the formed boundary film reduces friction and wear .

前記構成において、前記グレーティング状凹凸の周期構造は、加工閾値近傍の照射強度で直線偏光のレーザを照射し、その照射部分をオーバーラップさせながら走査して、自己組織的に形成することができる。 In the above configuration, the periodic structure of the grating-like unevenness can be self-organized by irradiating a linearly polarized laser with an irradiation intensity near the processing threshold value and scanning the irradiated portions while overlapping them.

本発明の摺動面構造では、グレーティング状凹凸の周期構造によって、グリースの油分離と油分移動性が促進され、摺動面外に排出されたグリースの再流入性が向上するため、潤滑不足による摩擦増加や焼付きを防止することができる。また、グレーティング状凹凸の周期構造が増ちょう剤を担持することにより、油分の保持性、移動性を良好にすることで、潤滑特性を向上することができる。さらに、担持された増ちょう剤が相手材に境界膜を形成することができるため、摩擦・摩耗を低減することができる。 In the sliding surface structure of the present invention, the periodic structure of the grating-like unevenness promotes oil separation and oil mobility of grease, and improves the reinflow property of grease discharged to the outside of the sliding surface, resulting in insufficient lubrication. It is possible to prevent an increase in friction and seizure. Further, by supporting the thickener in the periodic structure of the grating-like unevenness, the oil content can be improved in retention and mobility, and the lubrication characteristics can be improved. Further, since the supported thickener can form a boundary film on the mating material, friction and wear can be reduced.

グレーティング状凹凸の周期構造が摺動面外に連通し、摺動面外に付着するグリースと当接することで、摺動面外のグリースから油分離し、その油分を摺動面内に移動させることができる。これにより、潤滑不足による摩擦増加や焼付きを防止することができる。 The periodic structure of the grating-like unevenness communicates with the outside of the sliding surface and comes into contact with the grease adhering to the outside of the sliding surface to separate the oil from the grease outside the sliding surface and move the oil into the sliding surface. be able to. As a result, it is possible to prevent an increase in friction and seizure due to insufficient lubrication.

グレーティング状凹凸の周期構造が摺動方向に沿って配向することにより、摺動面に速やかに油分が移動し、潤滑特性を向上させることができる。また、摺動方向に配向した増ちょう剤の担持性が向上する。 By orienting the periodic structure of the grating-like unevenness along the sliding direction, the oil component quickly moves to the sliding surface, and the lubrication characteristics can be improved. In addition, the supportability of the thickener oriented in the sliding direction is improved.

グレーティング状凹凸の周期構造の凹凸が50nm以上10μm以下かつ周期ピッチが10μm以下とすることで、油分の保持性、移動性を向上することができる。周期構造の凹凸が50nm未満では十分な量の増ちょう剤を担持できず、凹凸及び周期ピッチが10μmを超えると増ちょう剤や油分がほとんど流出してしまう。 By setting the unevenness of the periodic structure of the grating-like unevenness to 50 nm or more and 10 μm or less and the periodic pitch to 10 μm or less, the oil content retention and mobility can be improved. If the unevenness of the periodic structure is less than 50 nm, a sufficient amount of thickener cannot be supported, and if the unevenness and the periodic pitch exceed 10 μm, the thickener and oil almost flow out.

本発明の摺動面構造の製造方法によれば、グレーティング状凹凸の周期構造によって、グリースの油分離と油分移動性が促進され、摺動面外に排出されたグリースの再流入性が向上するため、潤滑不足による摩擦増加や焼付きを防止することができる。また、グレーティング状凹凸の周期構造が増ちょう剤を担持することにより、担持された増ちょう剤がさらに油分の保持性、移動性を良好にすることで、潤滑特性を向上することができる。さらに、担持された増ちょう剤が相手材に境界膜を形成することができるため、摩擦・摩耗を低減することができる。 According to the method for manufacturing a sliding surface structure of the present invention, the periodic structure of grating-like irregularities promotes oil separation and oil mobility of grease, and improves reinflow of grease discharged to the outside of the sliding surface. Therefore, it is possible to prevent an increase in friction and seizure due to insufficient lubrication. Further, since the periodic structure of the grating-like unevenness supports the thickener, the supported thickener further improves the oil content retention and mobility, so that the lubrication characteristics can be improved. Further, since the supported thickener can form a boundary film on the mating material, friction and wear can be reduced.

加工閾値近傍の照射強度で直線偏光のレーザを照射し、その照射部分をオーバーラップさせながら走査して、自己組織的に形成することで、機械加工では困難なサブミクロンの周期ピッチと凹凸深さをもつ周期構造を容易に得ることができる。 By irradiating a linearly polarized laser with an irradiation intensity near the processing threshold and scanning while overlapping the irradiated parts to form it in a self-organizing manner, the submicron periodic pitch and unevenness depth are difficult to machine. A periodic structure having the above can be easily obtained.

本発明の実施形態を示す摺動面構造の要部拡大断面図である。It is an enlarged sectional view of the main part of the sliding surface structure which shows the embodiment of this invention. 前記摺動面に形成される周期構造の拡大平面図である。It is an enlarged plan view of the periodic structure formed on the sliding surface. 周期構造の断面プロファイル図である。It is a cross-sectional profile diagram of a periodic structure. 前記摺動面の拡大断面図である。It is an enlarged sectional view of the sliding surface. 油分が増ちょう剤を伝播する状態を示す図であり、(a)は周期構造に増ちょう剤を担持した状態であり、(b)は周期構造に増ちょう剤を担持していない状態を示す。It is a figure which shows the state which the oil content propagates the thickener, (a) shows the state which carried the thickener in a periodic structure, and (b) shows the state which carried a thickener in a periodic structure. .. 前記周期構造を形成するためのレーザ表面加工装置の簡略図である。It is a simplified drawing of the laser surface processing apparatus for forming the periodic structure. 本発明の実施形態を示す摺動面構造の製造方法の斜視図である。It is a perspective view of the manufacturing method of the sliding surface structure which shows the embodiment of this invention. 各種SUJ2プレートの摩擦係数を示すグラフ図である。It is a graph which shows the friction coefficient of various SUJ2 plates. 各種SUJ2プレートに摺動させたSUJ2ボールの摺動痕と断面プロファイルを示す図であり、(a)は光学鏡面SUJ2、(b)は周期平行SUJ2、(c)は周期直交SUJ2である。It is a figure which shows the sliding mark and the cross-sectional profile of the SUJ2 ball which slid on various SUJ2 plates, (a) is an optical mirror surface SUJ2, (b) is a periodic parallel SUJ2, and (c) is a periodic orthogonal SUJ2. 摺動試験後のストローク端部に形成されたグリース塊から摺動痕外側への油分拡散状況を示す平面図であり、(a)は光学鏡面SUJ2、(b)は周期平行SUJ2、(c)は周期直交SUJ2である。It is a top view which shows the oil diffusion state from the grease mass formed at the end of a stroke after a sliding test to the outside of a sliding mark, (a) is an optical mirror surface SUJ2, (b) is a periodic parallel SUJ2, (c). Is a periodic orthogonal SUJ2. 摺動痕を示す図であり、(a)は光学鏡面SUJ2、(b)は周期平行SUJ2である。It is a figure which shows the sliding mark, (a) is an optical mirror surface SUJ2, (b) is a periodic parallel SUJ2.

以下本発明の実施の形態を図1〜図11に基づいて説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 11.

本発明に係る摺動面構造は、図1に示すように、第1部材1の摺動面1aと第2部材2の摺動面2aとがグリースL下で相対的に摺動するものである。この場合、第1部材1及び第2部材2は、炭素鋼、銅、アルミニウム、白金、超硬合金等であっても、炭化ケイ素や窒化ケイ素等のシリコン系セラミックスであっても、エンジニアプラスチック等であってもよい。また、グリースLとしては、増ちょう剤と油とを含むものであればよく、増ちょう剤としては、例えば、脂環式ウレア、脂肪族ウレア、テフロン(登録商標)系、等の種々のものであってよい。すなわち、第1・第2部材1、2の材質、使用する環境等に応じて種々のグリースを用いることができる。本実施形態では、第1部材1を図7に示すように球体とし、第2部材2を平板体で構成した。 In the sliding surface structure according to the present invention, as shown in FIG. 1, the sliding surface 1a of the first member 1 and the sliding surface 2a of the second member 2 slide relatively under the grease L. be. In this case, the first member 1 and the second member 2 may be carbon steel, copper, aluminum, platinum, cemented carbide or the like, silicon-based ceramics such as silicon carbide or silicon nitride, engineer plastic or the like. It may be. The grease L may contain a thickener and an oil, and the thickener may be, for example, alicyclic urea, an aliphatic urea, a Teflon (registered trademark) type, or the like. May be. That is, various greases can be used depending on the materials of the first and second members 1 and 2, the environment in which they are used, and the like. In the present embodiment, the first member 1 is a sphere as shown in FIG. 7, and the second member 2 is a flat plate.

第2部材2の上面には、図7に示すように一方向に沿った帯状部20が設けられ、この帯状部20の上面が摺動面2aとされる。図1に示すように、第2部材2の摺動面2aにはグレーティング状凹凸の周期構造3が形成される。また、図1に示すように、第1部材1の下面が摺動面1aとなる。 As shown in FIG. 7, a strip-shaped portion 20 is provided on the upper surface of the second member 2 along one direction, and the upper surface of the strip-shaped portion 20 is a sliding surface 2a. As shown in FIG. 1, a periodic structure 3 having grating-like irregularities is formed on the sliding surface 2a of the second member 2. Further, as shown in FIG. 1, the lower surface of the first member 1 is the sliding surface 1a.

周期構造3は図1及び図2に示すように、微小の凹部5と微小の凸部6とが交互に所定ピッチで配設されてなるものである。周期構造3の凹凸の高低差(凹部5の底部から凸部6の頂点までの高さ)が50nm以上10μm以下とするのが好ましい。また、周期構造3の周期ピッチを10μm以下とするのが好ましい。図3はこの周期構造3の断面プロファイルを示している。このように、周期構造3は、凸部頂点が非平坦面となって連続的に高さが変化するグレーティング状凹凸の周期構造3である。このような周期構造が形成されることにより、油分に対して濡れ性が良好なものとなってグリースの油分離と油分移動性が促進され、図4の矢印に示すように、摺動面外に排出されたグリースL0の再流入性が向上する。 As shown in FIGS. 1 and 2, the periodic structure 3 is formed by alternately arranging minute concave portions 5 and minute convex portions 6 at a predetermined pitch. It is preferable that the height difference of the unevenness of the periodic structure 3 (height from the bottom of the concave portion 5 to the apex of the convex portion 6) is 50 nm or more and 10 μm or less. Further, it is preferable that the periodic pitch of the periodic structure 3 is 10 μm or less. FIG. 3 shows a cross-sectional profile of the periodic structure 3. As described above, the periodic structure 3 is the periodic structure 3 of the grating-like unevenness in which the apex of the convex portion becomes a non-flat surface and the height changes continuously. By forming such a periodic structure, the wettability with respect to the oil is improved, and the oil separation and the oil mobility of the grease are promoted, and as shown by the arrow in FIG. 4, the sliding surface is out of the sliding surface. The re-inflow property of the grease L0 discharged into the water is improved.

本実施形態では、第2部材2が図7の矢印の方向に往復動し、第1部材1を固定側としているため、グレーティング状凹凸の周期構造3が摺動方向に沿って配向したものとなっている。また、図4に示すように、グレーティング状凹凸の周期構造3が摺動面外に連通し、摺動面外に付着するグリースL0と当接している。 In the present embodiment, since the second member 2 reciprocates in the direction of the arrow in FIG. 7 and the first member 1 is on the fixed side, the periodic structure 3 of the grating-like unevenness is oriented along the sliding direction. It has become. Further, as shown in FIG. 4, the periodic structure 3 of the grating-like unevenness communicates with the outside of the sliding surface and is in contact with the grease L0 adhering to the outside of the sliding surface.

グレーティング状凹凸の周期構造3は、図4に示すように増ちょう剤7を担持している。増ちょう剤7は、図5に示すような網目構造を有しており、この増ちょう剤7を油が伝播する。図5(b)に示すように、周期構造3に増ちょう剤7が担持されていないと、油が伝播することができず、摺動面2aにおいて、油分の保持性、移動性が乏しいものとなる。従って、図5(a)に示すように周期構造3に増ちょう剤7が担持されれば、図5(a)の矢印に示すように、増ちょう剤7に油分を伝播させることができ、油分の保持性、移動性を良好にすることができる。さらに、担持された増ちょう剤7が相手材(第1部材1)に境界膜を形成することができる。 The periodic structure 3 of the grating-like unevenness carries the thickener 7 as shown in FIG. The thickener 7 has a network structure as shown in FIG. 5, and oil propagates through the thickener 7. As shown in FIG. 5B, if the thickener 7 is not supported on the periodic structure 3, oil cannot propagate and the sliding surface 2a has poor oil retention and mobility. It becomes. Therefore, if the thickener 7 is supported on the periodic structure 3 as shown in FIG. 5 (a), the oil can be propagated to the thickener 7 as shown by the arrow in FIG. 5 (a). Oil retention and mobility can be improved. Further, the supported thickener 7 can form a boundary film on the mating material (first member 1).

次に、前記摺動面構造の製造方法について説明する。周期構造3は、加工閾値近傍の照射強度で直線偏光のレーザを照射し、その照射部分をオーバーラップさせながら走査して、自己組織的に形成している。具体的には、図6に示すフェムト秒レーザ表面加工装置を使用する。レーザ発生器11(チタンサファイアフェムト秒レーザ発生器)で発生したレーザ(例えば、パルス幅:120fs、中心波長800nm、繰り返し周波数:1kHz、パルスエネルギー:0.25〜400μJ/pulse)は、ミラー12により加工材料Wに向けて折り返され、メカニカルシャッタ13に導かれる。レーザ照射時はメカニカルシャッタ13を開放し、レーザ照射強度は1/2波長板14と偏光ビームスプリッタ16によって調整可能とし、1/2波長板15によって偏光方向を調整し、集光レンズ(焦点距離:150mm)17によって、XYθステージ19上の加工材料W表面に集光照射する。なお、フェムト秒レーザはフェムト秒(1000兆分の1秒)オーダという極端に短い時間単位の中にエネルギーを圧縮した光源である。 Next, a method of manufacturing the sliding surface structure will be described. The periodic structure 3 is formed in a self-organized manner by irradiating a linearly polarized laser with an irradiation intensity near the processing threshold value and scanning while overlapping the irradiated portions. Specifically, the femtosecond laser surface processing apparatus shown in FIG. 6 is used. The laser (for example, pulse width: 120 fs, center wavelength 800 nm, repetition frequency: 1 kHz, pulse energy: 0.25 to 400 μJ / pulse) generated by the laser generator 11 (titanium sapphire femtosecond laser generator) is driven by the mirror 12. It is folded back toward the processing material W and guided to the mechanical shutter 13. At the time of laser irradiation, the mechanical shutter 13 is opened, the laser irradiation intensity can be adjusted by the 1/2 wavelength plate 14 and the polarizing beam splitter 16, the polarization direction is adjusted by the 1/2 wavelength plate 15, and the condenser lens (focal distance). : 150 mm) 17 condenses and irradiates the surface of the processed material W on the XYθ stage 19. The femtosecond laser is a light source in which energy is compressed in an extremely short time unit of femtosecond (1/1000 trillion second) order.

アブレーション閾値近傍のフルエンスで直線偏光のレーザをワーク(加工材料)Wに照射した場合、入射光と加工材料Wの表面に沿った散乱光またはプラズマ波の干渉により、波長オーダのピッチと溝深さを持つグレーティング状の周期構造を偏光方向に直交して自己組織的に形成される。このとき、フェムト秒レーザをオーバーラップさせながら走査させることで、周期構造を広範囲に拡張することができる。 When the work (processed material) W is irradiated with a linearly polarized laser with fluence near the ablation threshold, the pitch and groove depth of the wavelength order are caused by the interference between the incident light and the scattered light or plasma wave along the surface of the processed material W. A grating-like periodic structure with is formed in a self-organizing manner perpendicular to the polarization direction. At this time, the periodic structure can be expanded over a wide range by scanning while overlapping the femtosecond lasers.

レーザのスキャンは、レーザを固定して加工材料Wを支持するXYθステージ19を移動させても、XYθステージ19を固定してレーザを移動させてもよい。あるいは、レーザとXYθステージ19を同時移動させてもよい。なお、前記図2は、前記フェムト秒レーザ表面加工装置にて形成した周期構造3を電子顕微鏡で撮像した図である。 The laser scan may be performed by fixing the laser and moving the XYθ stage 19 that supports the processing material W, or by fixing the XYθ stage 19 and moving the laser. Alternatively, the laser and the XYθ stage 19 may be moved at the same time. Note that FIG. 2 is a diagram in which the periodic structure 3 formed by the femtosecond laser surface processing apparatus is imaged with an electron microscope.

このようにして形成された周期構造3に増ちょう剤7を担持させる。その方法としては、グリース潤滑下で第1部材1と第2部材2とを摺動させる方法、増ちょう剤7のみを周期構造3に供給する方法等、種々の方法により行うことができる。 The thickener 7 is supported on the periodic structure 3 thus formed. The method can be carried out by various methods such as a method of sliding the first member 1 and the second member 2 under grease lubrication, a method of supplying only the thickener 7 to the periodic structure 3, and the like.

このように、本発明の摺動面構造は、グレーティング状凹凸の周期構造3によって、グリースの油分離と油分移動性が促進され、摺動面外に排出されたグリースL0の再流入性が向上するため、潤滑不足による摩擦増加や焼付きを防止することができる。また、グレーティング状凹凸の周期構造3が増ちょう剤7を担持することにより、担持された増ちょう剤7がさらに油分の保持性、移動性を良好にすることで、潤滑特性を向上することができる。さらに、担持された増ちょう剤7が相手材に境界膜を形成することができるため、摩擦・摩耗を低減することができる。 As described above, in the sliding surface structure of the present invention, the oil separation and oil mobility of the grease are promoted by the periodic structure 3 of the grating-like unevenness, and the re-inflow property of the grease L0 discharged to the outside of the sliding surface is improved. Therefore, it is possible to prevent an increase in friction and seizure due to insufficient lubrication. Further, since the periodic structure 3 of the grating-like unevenness supports the thickener 7, the supported thickener 7 further improves the oil retention and mobility, thereby improving the lubrication characteristics. can. Further, since the supported thickener 7 can form a boundary film on the mating material, friction and wear can be reduced.

グレーティング状凹凸の周期構造3が摺動面外に連通し、摺動面外に付着するグリースL0と当接することで、摺動面外のグリースL0から油分離し、その油分を摺動面内に移動させることができる。これにより、潤滑不足による摩擦増加や焼付きを防止することができる。 The periodic structure 3 of the grating-like unevenness communicates with the outside of the sliding surface and comes into contact with the grease L0 adhering to the outside of the sliding surface to separate the oil from the grease L0 outside the sliding surface and separate the oil from the inside of the sliding surface. Can be moved to. As a result, it is possible to prevent an increase in friction and seizure due to insufficient lubrication.

グレーティング状凹凸の周期構造3が摺動方向に沿って配向することにより、摺動面2aに速やかに油分が移動し、潤滑特性を向上させることができる。また、摺動方向に配向した増ちょう剤7の担持性が向上する。 By orienting the periodic structure 3 of the grating-like unevenness along the sliding direction, the oil component quickly moves to the sliding surface 2a, and the lubrication characteristics can be improved. In addition, the supportability of the thickener 7 oriented in the sliding direction is improved.

グレーティング状凹凸の周期構造3の凹凸が50nm以上10μm以下かつ周期ピッチが10μm以下とすることで、油分の保持性、移動性を向上することができる。周期構造3の凹凸が50nm未満では十分な量の増ちょう剤7を担持できず、凹凸及び周期ピッチが10μmを超えると増ちょう剤7や油分がほとんど流出してしまう。 By setting the unevenness of the periodic structure 3 of the grating-like unevenness to 50 nm or more and 10 μm or less and the periodic pitch to 10 μm or less, the oil content retention and mobility can be improved. If the unevenness of the periodic structure 3 is less than 50 nm, a sufficient amount of the thickener 7 cannot be supported, and if the unevenness and the periodic pitch exceed 10 μm, the thickener 7 and the oil component will almost flow out.

周期構造3を、加工閾値近傍の照射強度で直線偏光のレーザを照射し、その照射部分をオーバーラップさせながら走査して、自己組織的に形成したものでは、機械加工では困難なサブミクロンの周期ピッチと凹凸深さをもつ周期構造を容易に得ることができる。 The periodic structure 3 is irradiated with a linearly polarized laser at an irradiation intensity near the processing threshold, and the irradiated portions are scanned while overlapping to form a self-organized structure, which has a submicron period that is difficult to machine. A periodic structure having a pitch and an uneven depth can be easily obtained.

以上、本発明の実施形態につき説明したが、本発明は前記実施形態に限定されることなく種々の変形が可能であって、例えば、前記実施形態では、周期構造3を第1部材1側に形成してもよく、第1部材1及び第2部材2の両側に設けてもよい。また、第1部材1と第2部材2の形状としても、図例のものに限らず、他の種々の形状のものにて構成できる。すなわち、第1部材1は、円筒ころや円すいころ等であってもよく、第1部材1がこのようなころであれば、第2部材2が、ころ軸受の内輪や外輪となる。すなわち、本発明の摺動面構造は、各種の自動車部品、機械部品等の種々の機器に使用可能である。 Although the embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the embodiment, and various modifications can be made. For example, in the embodiment, the periodic structure 3 is placed on the first member 1 side. It may be formed, or may be provided on both sides of the first member 1 and the second member 2. Further, the shapes of the first member 1 and the second member 2 are not limited to those in the illustrated example, and may be formed in various other shapes. That is, the first member 1 may be a cylindrical roller, a tapered roller, or the like, and if the first member 1 is such a roller, the second member 2 becomes an inner ring or an outer ring of the roller bearing. That is, the sliding surface structure of the present invention can be used for various devices such as various automobile parts and mechanical parts.

周期構造3の大きさは、使用する第1・第2部材1,2の大きさ、材質、グリースの種類、摺動速度等に応じて種々変更することができる。第1部材1と第2部材2の相対的な摺動運動は、第1部材1を固定して第2部材2を往復動させるものあっても、逆に第2部材2側を固定して、第1部材1側を摺動させるものであってもよい。すなわち、周期構造3が形成されている方を摺動させても、周期構造3が形成されない方を摺動させてもよい。また、第1部材1と第2部材2の双方を摺動させるものであってもよい。 The size of the periodic structure 3 can be variously changed according to the sizes, materials, types of grease, sliding speed, etc. of the first and second members 1 and 2 to be used. The relative sliding motion of the first member 1 and the second member 2 is such that the first member 1 is fixed and the second member 2 is reciprocated, but on the contrary, the second member 2 side is fixed. , The first member 1 side may be slid. That is, the side on which the periodic structure 3 is formed may be slid, or the side on which the periodic structure 3 is not formed may be slid. Further, both the first member 1 and the second member 2 may be slid.

ところで、前記実施形態では、周期構造3を形成する際に、パルスレーザであるフェムト秒レーザを用いたが、フェムト秒レーザ以外のピコ秒レーザやナノ秒レーザといったパルスレーザを使用することもできる。 By the way, in the above-described embodiment, the femtosecond laser which is a pulse laser is used when forming the periodic structure 3, but a pulse laser such as a picosecond laser or a nanosecond laser other than the femtosecond laser can also be used.

往復式ボールオンプレート試験機を用いた試験を行った。往復式ボールオンプレート試験機は、図7に示すように、往復試験片である第2部材2と固定側試験片である第1部材1とを備えている。第1部材1は、直径6.35mmのSUJ2ボール(Ra8nm)からなるボール試験片であり、第2部材2は、光学研磨したSUS440C基板(Ra2nm)からなるプレート試験片である。 A test was conducted using a reciprocating ball-on-plate tester. As shown in FIG. 7, the reciprocating ball-on-plate testing machine includes a second member 2 which is a reciprocating test piece and a first member 1 which is a fixed side test piece. The first member 1 is a ball test piece made of SUJ2 balls (Ra8 nm) having a diameter of 6.35 mm, and the second member 2 is a plate test piece made of an optically polished SUS440C substrate (Ra2 nm).

第2部材2であるプレート試験片にはフェムト秒レーザを加工閾値近傍のエネルギー密度で照射し、グレーティング状の周期構造(ピッチ約700nm、深さ約200nm)を幅1mmの帯状領域に形成した。周期構造の配向方向は、摺動方向に対して直交(周期直交SUJ2という)および平行(周期平行SUJ2という)の2方向とした。比較のため、未加工のプレート試験片(光学鏡面SUJ2という)も用いた。 The plate test piece, which is the second member 2, was irradiated with a femtosecond laser at an energy density near the processing threshold to form a grating-like periodic structure (pitch of about 700 nm, depth of about 200 nm) in a strip-shaped region having a width of 1 mm. The orientation direction of the periodic structure was two directions, orthogonal to the sliding direction (referred to as periodic orthogonal SUJ2) and parallel (referred to as periodic parallel SUJ2). For comparison, an unprocessed plate test piece (called an optical mirror surface SUJ2) was also used.

摺動条件は、荷重5N、ストローク4mm、往復周波数0.5Hzとし、摺動抵抗をロードセルにより測定した。潤滑剤には、脂環式ウレアグリース(増ちょう剤量16%、基油PAO6、ちょう度250)を使用した。 The sliding conditions were a load of 5 N, a stroke of 4 mm, and a reciprocating frequency of 0.5 Hz, and the sliding resistance was measured by a load cell. As the lubricant, alicyclic urea grease (thickness thickener amount 16%, base oil PAO6, consistency 250) was used.

脂環式ウレアグリース潤滑下での各種SUJ2プレートの摩擦係数を図8に示す。3000往復における周期平行SUJ2の摩擦係数は、光学鏡面SUJ2に対して28%低下し、顕著な摩擦低減効果が認められた。また、周期直交SUJ2の摩擦係数も光学鏡面SUJ2に対して17%の摩擦低減効果が認められた。 The coefficient of friction of various SUJ2 plates under alicyclic urea grease lubrication is shown in FIG. The friction coefficient of the periodic parallel SUJ2 at 3000 round trips was reduced by 28% with respect to the optical mirror surface SUJ2, and a remarkable friction reducing effect was observed. Further, the friction coefficient of the periodic orthogonal SUJ2 was also found to have a friction reduction effect of 17% with respect to the optical mirror surface SUJ2.

図9に各種SUJ2プレートに摺動させたSUJ2ボールの摺動痕写真と断面プロファイルを示す。光学鏡面SUJ2に摺動させたSUJ2ボールの摺動痕は摩耗量が多く、表面粗さ及び接触面積が最大となった。また、金属光沢があり、増ちょう剤の付着や堆積は認められなかった。一方、周期平行SUJ2と周期直交SUJ2に摺動させたSUJ2ボールの摺動痕には増ちょう剤由来の境界膜が形成され、摩耗が抑制されていた。特に、周期平行SUJ2に摺動させたSUJ2ボールでは、摺動痕全面に境界膜が形成されており、ほとんど摩耗が生じなかった。 FIG. 9 shows a photograph of sliding marks and a cross-sectional profile of SUJ2 balls slid on various SUJ2 plates. The sliding marks of the SUJ2 ball slid on the optical mirror surface SUJ2 had a large amount of wear, and the surface roughness and the contact area became the maximum. In addition, it had a metallic luster, and no thickener adhesion or deposition was observed. On the other hand, a boundary film derived from a thickener was formed on the sliding marks of the SUJ2 balls slid between the periodic parallel SUJ2 and the periodic orthogonal SUJ2, and the wear was suppressed. In particular, in the SUJ2 ball slid on the periodic parallel SUJ2, a boundary film was formed on the entire surface of the sliding marks, and almost no wear occurred.

摺動試験後のストローク端部に形成されたグリース塊から摺動痕外側への油分拡散状況を図10に示す。なお、図10(b)(c)において、白色部は周期構造を形成していない光学鏡面部(幅340μm)である。図10(a)に示す光学鏡面SUJ2では、プレートへの油分拡散は認められなかった。一方、図10(b)(c)に示す周期平行SUJ2と周期直交SUJ2では周期構造を形成した帯状領域に沿って油分が拡散し、周期構造形成領域の色が顕微鏡下で茶褐色から黒色へ変化した。帯状領域の長軸方向に周期構造が配向する周期平行SUJ2プレート端面まで油分が拡散したのに対し、帯状領域の短軸方向に周期構造が配向する周期直交SUJ2では油分移動が限定的であった。また、光学鏡面部(幅340μm)では油分が拡散しないため、図10(b)においてグリース塊が接触していない周期構造は黒色に変化せず茶褐色のまま維持された。この結果から、周期構造によりグリースの油分離が促進され、周期構造の配向方向に沿って油分移動が促進されることが確認できる。 FIG. 10 shows the state of oil diffusion from the grease lump formed at the end of the stroke after the sliding test to the outside of the sliding mark. In FIGS. 10 (b) and 10 (c), the white portion is an optical mirror surface portion (width 340 μm) that does not form a periodic structure. On the optical mirror surface SUJ2 shown in FIG. 10A, no oil diffusion was observed on the plate. On the other hand, in the periodic parallel SUJ2 and the periodic orthogonal SUJ2 shown in FIGS. 10B and 10C, oil diffuses along the band-shaped region forming the periodic structure, and the color of the periodic structure forming region changes from brown to black under a microscope. bottom. The oil diffused to the end face of the periodic parallel SUJ2 plate in which the periodic structure was oriented in the long axis direction of the band-shaped region, whereas the oil movement was limited in the periodic orthogonal SUJ2 in which the periodic structure was oriented in the short axis direction of the band-shaped region. .. Further, since the oil content does not diffuse in the optical mirror surface portion (width 340 μm), the periodic structure in which the grease lumps are not in contact in FIG. 10B did not change to black and was maintained in brown. From this result, it can be confirmed that the periodic structure promotes oil separation of grease and promotes oil movement along the orientation direction of the periodic structure.

図11に光学鏡面SUJ2と周期平行SUJ2の摺動痕を示す。光学鏡面SUJ2では多数の傷が発生しているが、周期平行SUJ2では油分が多く画像が不明瞭ではあるが、傷の発生は認められない。周期平行SUJ2の摺動部では周期構造に増ちょう剤が保持されるため、油分の保持性及び移動性が良好となり、図11(b)に示した摺動痕外側より油分が潤沢に存在するものと考えられる。 FIG. 11 shows the sliding marks of the optical mirror surface SUJ2 and the periodic parallel SUJ2. The optical mirror surface SUJ2 has a large number of scratches, but the periodic parallel SUJ2 has a large amount of oil and the image is unclear, but no scratches are observed. Since the thickener is retained in the periodic structure in the sliding portion of the periodic parallel SUJ2, the oil content is improved in retention and mobility, and the oil content is abundantly present from the outside of the sliding marks shown in FIG. 11 (b). It is considered to be.

周期平行SUJ2の摩擦、摩耗が低減した要因として、周期構造により油分離、油分移動が促進されること、及び周期構造に保持された増ちょう剤がさらに油分の保持性、移動性を良好にするとともに、SUJ2ボール側にも増ちょう剤由来の境界膜を形成することが挙げられる。 The factors that reduced the friction and wear of the periodic parallel SUJ2 are that the periodic structure promotes oil separation and oil movement, and the thickener held in the periodic structure further improves the oil retention and mobility. At the same time, a boundary film derived from a thickener may be formed on the SUJ2 ball side as well.

1a 摺動面
2a 摺動面
3 周期構造
5 凹部
6 凸部
7 増ちょう剤
L グリース
L0 摺動面外に付着するグリース
1a Sliding surface 2a Sliding surface 3 Periodic structure 5 Recessed part 6 Convex part 7 Thickener L Grease L0 Grease adhering to the outside of the sliding surface

Claims (5)

増ちょう剤と油とを含むグリース潤滑下で相対的に摺動する摺動面構造において、少なくとも一方の摺動面に凸部頂点が非平坦面となって連続的に高さが変化するグレーティング状凹凸の周期構造が形成され、かつ、前記グレーティング状凹凸の周期構造の凹凸が50nm以上10μm以下かつ周期ピッチが10μm以下であり、このグレーティング状凹凸の周期構造に増ちょう剤のみを供給して、この周期構造が前記増ちょう剤を担持して、グリースの油分離と油分移動性が促進され、担持された増ちょう剤が相手側に増ちょう剤由来の境界膜を形成するものであり、形成される境界膜は、摩擦・摩耗を低減することを特徴とする摺動面構造。 In a sliding surface structure that slides relatively under grease lubrication containing a thickener and oil, the apex of the convex portion on at least one sliding surface becomes a non-flat surface and the height changes continuously. periodic structure of Jo irregularities are formed, and unevenness of the periodic structure of the grating-like unevenness is not more 10μm or less and the period pitch than 50nm is 10μm or less, by supplying only the thickener to the periodic structure of the grating-like unevenness the periodic structure carries the thickener, is promoted oil separation and oil mobility of the grease, it supported thickener is than also forms a boundary layer from the thickener to the other party, The boundary film formed is a sliding surface structure characterized by reducing friction and wear. 前記グレーティング状凹凸の周期構造が摺動面外に連通し、摺動面外に付着するグリースと当接していることを特徴とする請求項1に記載の摺動面構造。 The sliding surface structure according to claim 1, wherein the periodic structure of the grating-like unevenness communicates with the outside of the sliding surface and is in contact with grease adhering to the outside of the sliding surface. 前記グレーティング状凹凸の周期構造が摺動方向に沿って配向していることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の摺動面構造。 The sliding surface structure according to claim 1 or 2, wherein the periodic structure of the grating-like unevenness is oriented along the sliding direction. 増ちょう剤と油とを含むグリース潤滑下で相対的に摺動する摺動面構造の製造方法において、少なくとも一方の摺動面に凸部頂点が非平坦面となって連続的に高さが変化するグレーティング状凹凸の周期構造を形成し、前記グレーティング状凹凸の周期構造の凹凸が50nm以上10μm以下かつ周期ピッチが10μm以下であり、このグレーティング状凹凸の周期構造に増ちょう剤のみを供給して、この周期構造が前記増ちょう剤を担持させて、グリースの油分離と油分移動性が促進され、担持された増ちょう剤が相手側に増ちょう剤由来の境界膜を形成するものであり、形成される境界膜は、摩擦・摩耗を低減することを特徴とする摺動面構造の製造方法。 In a method for manufacturing a sliding surface structure that slides relatively under grease lubrication containing a thickener and oil, the apex of a convex portion is a non-flat surface on at least one sliding surface, and the height is continuously increased. forming a periodic structure of varying the grating-like unevenness, the unevenness of the periodic structure of the grating-like unevenness is not more 10μm or less and the period pitch than 50nm is 10μm or less, by supplying only the thickener to the periodic structure of the grating-like unevenness Therefore, this periodic structure supports the thickener, promotes oil separation and oil transfer of the grease, and the supported thickener forms a thickener-derived boundary film on the mating side . A method for manufacturing a sliding surface structure, wherein the boundary film formed is characterized by reducing friction and wear. 前記グレーティング状凹凸の周期構造は、加工閾値近傍の照射強度で直線偏光のレーザを照射し、その照射部分をオーバーラップさせながら走査して、自己組織的に形成することを特徴とする請求項4に記載の摺動面構造の製造方法。 4. The periodic structure of the grating-like unevenness is characterized in that it irradiates a linearly polarized laser with an irradiation intensity near the processing threshold, scans the irradiated portions while overlapping, and forms the grating in a self-organized manner. The method for manufacturing a sliding surface structure according to.
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