JP6958587B2 - 磁束吸収体とこれを備える磁気センサ - Google Patents
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Description
図1〜3を参照して、本発明の第1の実施形態に係る磁気シールドの構成について説明する。図2は上部磁気シールド4のZ方向からみた平面図であり、図2(a)と図2(b)は磁化固定部7の位置が異なっている他は同じ構成の上部磁気シールド4を示している。図3(a)と図3(b)はそれぞれ、図2(a)と図2(b)の方向Aからみた上部磁気シールド4の側面図を示している。
図4は、第2の実施形態の上部磁気シールド4の、図2と同様の平面図である。図4(a)と図4(b)は磁化固定部7の位置が異なっている他は同じ構成の上部磁気シールド4を示している。第1の面6Aは5つの仮想小領域111に分割されている。複数の仮想小領域111は、第1の辺8と同じ長さの一対の辺と第2の辺9より短い一対の辺とを有する5つの矩形領域111A〜111Eからなり、複数の磁化固定部7が矩形領域111A〜111Eに一つおきに対向している。仮想小領域111の数は5に限定されず、より一般的にはN個(Nは3以上の整数)であってよく、複数の磁化固定部7はN個の矩形領域に一つおきに対向するように設けることができる。複数の仮想小領域111の幅(Y方向寸法)は同じでも異なっていてもよいが、複数の仮想小領域111は、第1の中心軸10に関し線対称に設けられていることが好ましい。すなわち、中央の仮想小領域111Cの中心軸は第1の中心軸10に一致しており、それ以外の仮想小領域111A,111B,111D,111Eは第1の中心軸10に関し線対称に配置されている。磁束は磁化固定部7と対向する領域を出て、隣接する磁化固定部7と対向しない領域に入る。このため、本実施形態では複数の還流磁気回路が形成される。本実施形態では、複数の磁化固定部7が、仮想小領域111の互いに隣接しない複数の仮想小領域111と対向している。このため、軟磁性層6の磁区形成の制御が容易で、図示のような磁区を確実に作ることができる。一対の第1の辺8に面する2つの矩形領域(本実施形態では矩形領域111A,111E)のY方向幅はいずれもL1であり、一対の第1の辺8に面する2つの矩形領域111A,111Eの間に位置するN−2個の矩形領域(本実施形態では矩形領域111B,111C,111D)のY方向幅はいずれもL2である。L1=L2でもよいが、安定した磁区を形成するためにはL1:L2=1:2であることがより好ましい。
図5は、第3の実施形態の上部磁気シールド4の、図2と同様の平面図である。図5(a)と図5(b)は磁化固定部7の位置が異なっている他は同じ構成の上部磁気シールド4を示している。第1の面6Aは4つの仮想小領域211に分割されている。4つの仮想小領域211は、一対の第1の辺8をそれぞれ長辺とする2つの台形領域211A,211Bと、一対の第2の辺9をそれぞれ一辺とする2つの三角形領域211C,211Dとからなり、磁化固定部7は、2つの台形領域211A,211Bと2つの三角形領域211C,211Dのいずれか一つと対向している。図5(a),5(b)に示すように、磁区を安定して形成するため、磁化固定部7は2つの台形領域211A,211Bのいずれかと対向して設けるのがより好ましい。磁束は2つの台形領域211A,211Bと2つの三角形領域211C,211Dを循環する。本実施形態では一つの還流磁気回路が軟磁性層6の内部に形成されるため、漏れ磁場が低減し、磁区も一層安定する。本実施形態の2つの台形領域211A,211Bと2つの三角形領域211C,211Dとからなる磁区は極めて安定で、静磁エネルギー等が低い。従って、磁区固定部7が、例えば破線で示すような、台形領域211A,211Bの短辺を一辺とし、台形領域211A,211Bと同じ高さを有する矩形領域212であっても、図5に示すのと同様の磁区が形成される。
図6は、第4の実施形態の上部磁気シールド4の、図2と同様の平面図である。図6(a)と図6(b)は磁化固定部7の位置が異なっている他は同じ構成の上部磁気シールド4を示している。第1の面6Aは7つの仮想小領域311に分割されている。複数の仮想小領域311は、一対の第1の辺8のそれぞれを長辺とする2つの台形領域311A,311Cと、4つの三角形領域311D〜311Gと、1つの六角形領域311Bと、から構成されている。三角形領域311D〜311Gは矩形の各短辺に2つずつ設けられ、各三角形領域311D〜311Gは短辺の半分を一つの辺としている。六角形領域311Bは2つの台形領域311A,311Cと4つの三角形領域311D〜311Gとに囲まれた領域を埋め、互いに対向する2辺が第1の辺8と平行である。図6(a)では六角形領域311Bに磁化固定部7が設けられ、図6(b)では両側の台形領域311A,311Cに磁化固定部7が設けられている。例えば図6(a)では、磁束は六角形領域311Bを出て、三角形領域311F,311Gを通り台形領域311A,311Cに入り、三角形領域311D,311Eを通って六角形領域311Bに戻る。従って、本実施形態では2つの還流磁気回路が軟磁性層6の内部に形成される。
図7は、第5の実施形態の上部磁気シールド4の、図2と同様の平面図である。図7(a)と図7(b)は磁化固定部7の位置が異なっている他は同じ構成の上部磁気シールド4を示している。本実施形態では第1の面6Aに2つの六角形領域411B,411Cが形成されている。複数の仮想小領域411は、一対の第1の辺8のそれぞれを長辺とする2つの台形領域411A,411Dと、6つの三角形領域411E〜411Jと、2つの六角形領域411B,411Cと、から構成されている。三角形領域411E〜411Jはそれぞれが第2の辺9の一部を一辺としており、各第2の辺9に沿って同数の三角形領域411E〜411Jが配列している。2つの六角形領域411B,411Cの互いに対向する2辺は第1の辺8と平行となっている。より一般的には、Nを2以上の整数としたときに、複数の仮想小領域411は、一対の第1の辺8のそれぞれを長辺とする2つの台形領域と、2×(N+1)個の三角形領域と、2つの台形領域と2×(N+1)個の三角形領域とに囲まれた領域を埋め、互いに対向する2辺が第1の辺8と平行であるN個の六角形領域と、から構成されている。複数の磁化固定部7が、台形領域411A,411Dと六角形領域411B,411Cに一つおきに対向している。図7(a)では上側の台形領域411Aと下側の六角形領域411Cに磁化固定部7が設けられ、図7(b)では下側の台形領域411Dと上側の六角形領域411Bに磁化固定部7が設けられている。本実施形態では3つの還流磁気回路が軟磁性層6の内部に形成される。
図8は、第6の実施形態の上部磁気シールド4の、図2と同様の平面図である。本実施形態では、磁化固定部7が短辺方向、すなわち−Y方向に着磁されている。本実施形態では第1の辺8が矩形の短辺であり、第2の辺9が矩形の長辺である。図8(a)を参照すると、第1の面6Aは第2の実施形態と同様、5つの矩形の仮想小領域511に分割されており、各矩形領域511A〜511Eの長辺はY方向と平行である。左から2番目の矩形領域511Bと右から2番目の矩形領域511Dに磁化固定部7が設けられている。いずれの磁化固定部7も−Y方向(且つ同じ向き)に着磁されている。図示は省略するが、矩形領域511A,511C,511Eに磁化固定部7が設けられてもよい。一対の第1の辺8に面する2つの矩形領域(本実施形態では矩形領域511A,511E)のX方向幅はいずれもL1であり、一対の第1の辺8に面する2つの矩形領域511A,511Eの間に位置する矩形領域(本実施形態では矩形領域511B,511C,511D)のX方向幅はいずれもL2である。L1=L2でもよいが、安定した磁区を形成するためにはL1:L2=1:2であることがより好ましい。図8(b)を参照すると、第1の面6Aは第5の実施形態と同様、2つの台形領域611A,611Dと2つの六角形領域611B,611Cと6つの三角形領域611E〜611Jとに分割されており、1つの六角形領域611Bと1つの台形領域611Dに磁化固定部7が設けられている。いずれの磁化固定部7も−Y方向に着磁されている。図示は省略するが、1つの六角形領域611Cと1つの台形領域611Aに磁化固定部7が設けられてもよい。図8(c)を参照すると、第1の面6Aは、2つの台形領域711A,711Eと3つの六角形領域711B〜711Dと8つの三角形領域711F〜711Mとに分割されており、2つの六角形領域711B,711Dに磁化固定部7が設けられている。いずれの磁化固定部7も−Y方向に着磁されている。図示は省略するが、2つの台形領域711A,711Eと1つの六角形領域711Cに磁化固定部7が設けられてもよい。図8に示す各実施形態では、台形領域と六角形領域が短辺方向、すなわち形状異方性による磁化容易軸と直交する方向に磁化されるため、静磁エネルギー等は高くなる傾向であるが、磁化固定部7を設けることにより安定した磁区を形成することができる。また、本実施形態では、仮想小領域511,611,711は第2の軸11に関して線対称に設けられることが好ましい。
図9は、第7の実施形態の上部磁気シールド4の、図2と同様の平面図である。図9(a)を参照すると、第1の実施形態の軟磁性層6の4つの角部12が丸められている。図9(b)を参照すると、第1の実施形態の軟磁性層6の4つの角部12が面取りされている。磁化方向が不安定になりやすい角部12を丸めまたは面取りすることで、軟磁性層6の磁区をさらに安定させることができる。一部の角部12だけを丸めまたは面取りすることも可能である。本実施形態は上述の第2〜第6の実施形態にも適用できる。換言すれば、第1〜第6の実施形態の第1及び第2の面6A,6Bは、角部12を丸められ、または面取りされた実質的に矩形の形状を有することができる。
図10は、第8の実施形態の上部磁気シールド4の、図2と同様の平面図である。図10(a)を参照すると、第1及び第2の面6A,6Bは菱形であり、第1及び第2の面6A,6Bは、菱形の互いに対向する頂点を結ぶ直線13を共有する2つの三角形領域811A,811Bからなる一対の仮想小領域811に分割され、磁化固定部7はいずれかの三角形領域811A,811Bと対向している。図10(a)の実施形態において、一方の三角形領域の直線13と対向する角部14が面取りされていてもよい。すなわち、図10(b)を参照すると、第1及び第2の面6A,6Bは、第1の辺13を一辺とする三角形領域911Bと第1の辺13を長辺とする台形領域911Aとを組み合わせた形状となっている。第1及び第2の面6A,6Bは、台形領域911Aと三角形領域911Bからなる一対の仮想小領域911に分割されている。磁化固定部7は台形領域911Aと三角形領域911Bのいずれかと対向している。図10(a)の実施形態において、両方の三角形領域の直線13と対向する角部14が面取りされていてもよい。すなわち、図10(c)を参照すると、第1及び第2の面6A,6Bは、第1の辺13を長辺とする第1の台形領域1011Aと第1の辺13を長辺とする(すなわち第1の辺を共有する)第2の台形領域1011Bとを組み合わせた形状となっている。第1及び第2の面6A,6Bは、第1の台形領域1011Aと第2の台形領域1011Bからなる一対の仮想小領域1011に分割されている。磁化固定部7は第1の台形領域1011Aと第2の台形領域1011Bのいずれかと対向している。
図11は、第9の実施形態の上部磁気シールド4の、図3と同様の側面図である。磁化固定部7と仮想小領域の平面構成は特に限定されないが、便宜上図2に示す第1の実施形態の平面構成を示している。本実施形態では、各々が軟磁性層6と磁化固定部7とからなる複数の組15を有し、組15が互いに積層されている。軟磁性層6が厚い場合、磁化固定部7による磁化固定効果が軟磁性層6の磁化固定部7からZ方向に離れた領域に及びにくい。本実施形態は一つ一つの軟磁性層6を薄くすることができるため、軟磁性層6の磁区をより安定して形成することができる。
図12は、第10の実施形態の上部磁気シールド4の、図3と同様の側面図である。本実施形態においても磁化固定部7及び仮想小領域の平面構成は特に限定されないが、便宜上図2に示す第1の実施形態の平面構成を示している。上部の軟磁性層6が2つの仮想小領域1111A,1111Bに分割され、下部の軟磁性層6が2つの仮想小領域1111C,1111Dに分割されており、合計4つの仮想小領域1111が設けられている。本実施形態では、複数の組15は、Z方向からみて、隣接する組15同士で磁化固定部7が重ならないように積層されている。磁化固定部7が設けられない部位は絶縁層16が配置されている。これによって、磁束は側方(X方向)に隣接する軟磁性層6だけでなく上下方向(Z方向)に隣接する軟磁性層6にも流れる。例えば、上部の軟磁性層6の仮想小領域1111Aを出た磁束は仮想小領域1111Bだけでなく、下部の軟磁性層6の仮想小領域1111Cにも入る。本実施形態では、仮想小領域111の数に対して多くの還流磁気回路が形成されるため、静磁エネルギー等を一層低減させることができる。
2 基板
3 磁界検出素子
4 上部磁気シールド
5 下部磁気シールド
6 軟磁性層
6A 第1の面
6B 第2の面
7 磁化固定部
7A 硬磁性膜
8 第1の辺
9 第2の辺
10 第1の中心軸
11 第2の中心軸
11,111,211,311,411,511,611,711,811,911,1011,1111 仮想小領域
211A,211B,311A,311C,411A,411D,611A,611D 711A,711E,911A,1011A,1011B 台形領域
211C,211D,311D〜311G,411E〜411J,611E〜611J 711F〜711M,811A,811B,911B 三角形領域
311B,411B,411C,611B,611C,711B〜711D 六角形領域
11A,11B,111A〜111E,511A〜511E 矩形領域
15 軟磁性層と磁化固定部の組
Claims (21)
- 第1の面と、前記第1の面の裏面である第2の面と、を有する中実の軟磁性層と、前記軟磁性層の前記第1の面の一部または前記第2の面の一部と対向して設けられた少なくとも一つの磁化固定部と、を有し、前記軟磁性層の前記磁化固定部と対向する領域は、前記磁化固定部によって、前記軟磁性層の他の領域の少なくとも一部と異なる方向に磁化されている、磁束吸収体。
- 前記第1または第2の面は矩形であり、互いに対向する一対の第1の辺と、前記第1の辺と直交し互いに対向する一対の第2の辺と、を有し、
前記第1または第2の面は複数の仮想小領域に分割され、前記磁化固定部は前記仮想小領域のいずれか一つと対向している、請求項1に記載の磁束吸収体。 - 前記複数の仮想小領域は、前記第1の辺と同じ長さの一対の辺と前記第2の辺の半分の長さの一対の辺とを有する一対の矩形領域からなり、前記磁化固定部はいずれかの前記矩形領域と対向している、請求項2に記載の磁束吸収体。
- 前記複数の仮想小領域は、前記一対の第1の辺のそれぞれを長辺とする2つの台形領域と、前記一対の第2の辺のそれぞれを一辺とする2つの三角形領域とからなり、前記磁化固定部は前記2つの台形領域と前記2つの三角形領域のいずれか一つと対向している、請求項2に記載の磁束吸収体。
- 前記複数の仮想小領域は、前記一対の第1の辺のそれぞれを長辺とする2つの台形領域と、それぞれが前記第2の辺の一部を一辺とする4つの三角形領域であって、各第2の辺に沿って同数の前記三角形領域が配列した4つの三角形領域と、前記2つの台形領域と前記4つの三角形領域とに囲まれた領域を埋め、互いに対向する2辺が前記第1の辺と平行な六角形領域と、からなり、前記磁化固定部は、前記2つの台形領域または前記六角形領域と対向している、請求項2に記載の磁束吸収体。
- 前記第1または第2の面は矩形であり、互いに対向する一対の第1の辺と、前記第1の辺と直交し互いに対向する一対の第2の辺と、を有し、前記少なくとも一つの磁化固定部は複数の磁化固定部であり、
前記第1または第2の面は複数の仮想小領域に分割され、前記複数の磁化固定部は前記仮想小領域の互いに隣接しない複数の前記仮想小領域と対向している、請求項1に記載の磁束吸収体。 - 前記複数の仮想小領域は、前記第1の辺と同じ長さの一対の辺と前記第2の辺より短い一対の辺とを有するN個の矩形領域(Nは3以上の整数)からなり、前記複数の磁化固定部は前記N個の矩形領域に一つおきに対向している、請求項6に記載の磁束吸収体。
- 前記複数の仮想小領域は、前記一対の第1の辺のそれぞれを長辺とする2つの台形領域と、それぞれが前記第2の辺の一部を一辺とする2×(N+1)個の三角形領域(Nは2以上の整数)であって、各第2の辺に沿って同数の前記三角形領域が配列した2×(N+1)個の三角形領域と、前記2つの台形領域と前記2×(N+1)個の三角形領域とに囲まれた領域を埋め、互いに対向する2辺が前記第1の辺と平行なN個の六角形領域と、からなり、前記複数の磁化固定部は、前記台形領域と前記六角形領域に一つおきに対向している、請求項6に記載の磁束吸収体。
- 前記複数の仮想小領域は、前記第1の辺と平行な第1の中心軸または前記第2の辺と平行な第2の中心軸に関し線対称に設けられている、請求項2から8のいずれか1項に記載の磁束吸収体。
- 前記第1または第2の面は長方形であり、前記第1の辺は長辺であり、前記少なくとも一つの磁化固定部は前記第1の辺と平行な方向に着磁されている、請求項2から9のいずれか1項に記載の磁束吸収体。
- 前記第1または第2の面は長方形であり、前記第1の辺は短辺であり、前記少なくとも一つの磁化固定部は前記第1の辺と平行な方向に着磁されている、請求項2から9のいずれか1項に記載の磁束吸収体。
- 前記第1または第2の面は菱形であり、
前記第1または第2の面は、前記菱形の互いに対向する頂点を結ぶ直線を共有する2つの三角形領域からなる一対の仮想小領域に分割され、前記磁化固定部はいずれかの前記三角形領域と対向している、請求項1に記載の磁束吸収体。 - 前記第1または第2の面は、三角形領域と前記三角形領域の一辺を長辺とする台形領域とを組み合わせた形状であり、
前記第1または第2の面は、前記三角形領域と前記台形領域とからなる一対の仮想小領域に分割され、前記磁化固定部は前記三角形領域と前記台形領域のいずれかと対向している、請求項1に記載の磁束吸収体。 - 前記第1または第2の面は、長辺を共有する2つの台形領域を組み合わせた形状であり、
前記第1または第2の面は、前記2つの台形領域からなる一対の仮想小領域に分割され、前記磁化固定部はいずれかの前記台形領域と対向している、請求項1に記載の磁束吸収体。 - シールドされる対象物と対向する第1の面と、前記第1の面の裏面である第2の面と、を有する軟磁性層と、前記軟磁性層の前記第1の面の一部または前記第2の面の一部と対向して設けられた少なくとも一つの磁化固定部と、を有し、前記軟磁性層の前記磁化固定部と対向する領域は前記磁化固定部と同じ方向に磁化され、前記軟磁性層の前記磁化固定部と対向しない領域は、前記対向する領域が前記磁化固定部と同じ方向に磁化された状態で前記軟磁性層の静磁エネルギーと交換エネルギーと磁気異方性エネルギーの和が最小化されるように磁化されている、磁束吸収体。
- 各々が前記軟磁性層と前記少なくとも一つの磁化固定部とからなる複数の組を有し、前記組は互いに積層されている、請求項1から15のいずれか1項に記載の磁束吸収体。
- 前記複数の組は、前記第1または前記第2の面と直交する方向からみて、隣接する組同士で前記磁化固定部が重ならないように積層されている、請求項16に記載の磁束吸収体。
- 前記磁化固定部は硬磁性膜または反強磁性膜を有している、請求項1から17のいずれか1項に記載の磁束吸収体。
- 前記第1の面はシールドされる対象物と対向している、請求項1から18のいずれか1項に記載の磁束吸収体。
- 請求項19に記載の磁束吸収体と、前記対象物である磁界検出素子と、を有する磁気センサ。
- 前記第1または前記第2の面と直交する方向からみて、前記磁界検出素子は前記磁束吸収体と重なっている、請求項20に記載の磁気センサ。
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