JP6951199B2 - ウェーハ洗浄装置 - Google Patents
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Description
また、上記挟持手段33は、スポンジ10を狭めたときの幅Lを規定する規制部34と、スポンジ10の側面11cに接触しスポンジ10の上面(洗浄面11a)に達しない高さH1を有するプレート35と、プレート35の一方の側面35aから他方の側面35bに向かって押し付ける押し付け部36とを備えたため、押し付け部36により押し付けられたプレート35によって、例えばスポンジ10の下側部101を圧縮でき、洗浄面11aを所望の凸状に湾曲させた状態でスポンジ10を挟持することができる。
101:下側部 11a:洗浄面 12:パイプ挿入穴 13:拡がり部
20:ウェーハ保持手段 21:枠体 22:保持部 23:保持面 24:軸部
25:アーム
30:スポンジ保持手段 31:基台 310:底板 311,312:側板
313:凹部 32:雌ネジ孔 33:挟持手段 34:規制部 35:プレート
36:押し付け部 37:浮き上がり防止部 40:洗浄水供給ノズル 41:噴出口
42:洗浄水 50:移動手段 60:昇降手段
70,70’:スポンジ保持手段 71:基台 710:底板 711,712:側板
713:凹部 72:雌ネジ孔 73:雌ネジ孔
74:挟持手段 75:プレート 76:規制部 77:押し付け部
78:浮き上がり防止部
Claims (3)
- ウェーハの一方の面側に矩形のスポンジの洗浄面を押し当てウェーハの一方の面側を洗浄するウェーハ洗浄装置であって、
ウェーハを保持するウェーハ保持手段と、
該スポンジを保持するスポンジ保持手段と、
該ウェーハ保持手段と該スポンジ保持手段とを相対的にウェーハの面方向に移動させる移動手段と、を備え、
該スポンジ保持手段は、該スポンジを収容する凹部を有する基台と、
該凹部に収容された該スポンジの幅を狭めて挟持することにより凸状に湾曲させた該洗浄面を形成する挟持手段と、を備え、
凸状に湾曲させた該洗浄面でウェーハを洗浄するウェーハ洗浄装置。 - 前記挟持手段は、前記スポンジを狭めたときの前記幅を規定する規制部と、
該スポンジの側面に接触し該スポンジの上面に達しない高さを有するプレートと、
該プレートの一方の側面から他方の側面に向かって押し付ける押し付け部と、を備える請求項1記載のウェーハ洗浄装置。 - 前記挟持手段は、挟持した前記スポンジの中に進入し該スポンジの浮き上がりを防止する浮き上がり防止部を備える請求項1または請求項2のいずれかに記載のウェーハ洗浄装置。
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