JP6949905B2

JP6949905B2 - アクチュエータ、装置

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Publication number: JP6949905B2
Application number: JP2019147952A
Authority: JP
Inventors: 大輔中下
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Filing date: 2019-08-09
Publication date: 2021-10-13
Anticipated expiration: 2035-08-04
Also published as: JP2019198227A

Description

本発明は、光学機器等の装置において用いられるアクチュエータに関する。

振動体に電気−機械エネルギ変換によって振動を励起することで、該振動体とこれに加圧接触する摩擦部材とを相対移動させる振動型アクチュエータは、例えば、カメラや交換レンズ等の光学機器内でのレンズの駆動に用いられる。このような振動型アクチュエータとしては、リング型や棒型の振動型アクチュエータに加えて、特許文献１にて開示されているようなリニア型の振動型アクチュエータがある。

特許文献１にて開示された振動型アクチュエータには、振動体を摩擦部材に加圧接触させるための加圧力を発生する加圧部材が設けられている。そして、振動体と加圧部材との間には、加圧部材に接触して加圧力を振動体に伝達する加圧伝達部材（加圧板）が設けられている。この加圧伝達部材を回動可能に保持することで、振動によって姿勢が変化する（回動する）振動体を摩擦部材に対して常に均等に加圧することができる。

特開２０１４−２１２６８２号公報

しかしながら、特許文献１にて開示された振動型アクチュエータでは、加圧部材と加圧伝達部材との接触位置がずれるおそれがある。さらに、加圧伝達部材と振動体との相対位置がずれるおそれもある。これらのずれが生じると、加圧部材が発生した加圧力によって振動体を摩擦部材に対して均等に加圧することができなくなり、振動型アクチュエータの特性が不安定になる。

本発明は、加圧部材と伝達部材との接触位置のずれや伝達部材と振動体との相対位置のずれを簡単な構成で抑制することで、安定した特性が得られるアクチュエータを提供する。また、本発明は、該アクチュエータを用いた光学機器も提供する。

本発明の一側面としてのアクチュエータは、電圧の印加により振動が励起される振動体と、該振動体を保持する保持部材と、前記振動体と接触する摩擦部材と、第１の方向の圧力を発生させる加圧部材と、前記圧力を前記振動体に伝達する伝達部材と、前記保持部材を保持するベース部材を有し、前記振動により前記振動体と前記摩擦部材との前記第１の方向に垂直な第２の方向での相対位置が変化し、前記保持部材及び前記伝達部材のうち、一方には突起部が設けられ、他方には変位制限部が設けられており、前記突起部及び前記変位制限部は、前記第１及び第２の方向に垂直な第３の方向において、前記突起部及び前記変位制限部の同じ部位で、互いの接触により前記保持部材及び前記伝達部材の前記第２の方向での相対変位を制限し、かつ前記保持部材及び前記伝達部材の前記第１及び第２の方向に平行な面内での相対回転を許容し、前記伝達部材は、前記振動体に対して前記摩擦部材が配置された方向とは反対側から前記第１の方向の圧力を前記振動体に伝達し、前記ベース部材は、前記保持部材を、前記第１の方向での変位及び前記面内での回転を許容するように保持することを特徴とする。
本発明の他の一側面としてのアクチュエータは、電圧の印加により振動が励起される振動体と、該振動体を保持する保持部材と、前記振動体と接触する摩擦部材と、第１の方向の圧力を発生させる加圧部材と、前記圧力を前記振動体に伝達する伝達部材と、前記保持部材を保持するベース部材を有し、前記振動により前記振動体と前記摩擦部材との前記第１の方向に垂直な第２の方向での相対位置が変化し、前記保持部材及び前記伝達部材のうち、一方には突起部が設けられ、他方には変位制限部が設けられており、前記突起部及び前記変位制限部は、前記第１及び第２の方向に垂直な第３の方向において、前記突起部及び前記変位制限部の同じ部位で、互いの接触により前記保持部材及び前記伝達部材の前記第２の方向での相対変位を制限し、かつ前記保持部材及び前記伝達部材の前記第１及び第２の方向に平行な面内での相対回転を許容し、前記伝達部材は、前記振動体に対して前記摩擦部材が配置された方向とは反対側から前記第１の方向の圧力を前記振動体に伝達し、前記伝達部材及び前記ベース部材の夫々には接触部が設けられており、該接触部の夫々は、互いの接触により前記伝達部材及び前記ベース部材の前記第１及び第２の方向に垂直な第３の方向での相対変位を制限し、かつ前記伝達部材及び前記ベース部材の前記面内での相対回転を許容することを特徴とする。

なお、上記アクチュエータと、該アクチュエータにより駆動されるレンズ等の被駆動部材とを有する装置も、本発明の他の一側面を構成する。

本発明によれば、加圧部材と伝達部材との接触位置のずれや伝達部材と振動体との相対位置のずれを簡単な構成で抑制することで、安定した特性が得られるアクチュエータを実現することができる。さらに、本発明によれば、このようなアクチュエータを用いることで、レンズ等の被駆動部材の位置や移動を高精度に制御することが可能な光学機器その他の装置を実現することができる。

本発明の実施例１である振動型アクチュエータの分解斜視図。実施例１の振動型アクチュエータの断面図。実施例１の振動型アクチュエータの一部の拡大斜視図。実施例１の振動型アクチュエータの一部の断面図。本発明の実施例２である交換レンズの断面図。

以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明する。

図１には、本発明の実施例１である振動型アクチュエータ１００を分解して示している。図１において、Ｙ方向は振動型アクチュエータ１００にて後述する振動体が摩擦部材に対して付勢、すなわち加圧される加圧方向（第１の方向）を示し、Ｚ方向は振動体と摩擦部材との相対移動方向（第２の方向）を示している。Ｘ方向は、Ｙ方向およびＺ方向に直交する幅方向（第３の方向）を示している。図２には、本実施例の振動型アクチュエータ１００の組立て状態におけるＹ方向およびＺ方向に平行な面としてのＹＺ断面を示している。

１０１は金属弾性部材としての振動板であり、１０２は電気−機械エネルギ変換素子としての圧電素子である。振動板１０１と圧電素子１０２は接着により固着され、振動体１０３を形成する。

１０４は配線基板であり、圧電素子１０２と電気的に接続されている。振動板１０１には、Ｚ方向に並んだ２つの突起部１０１ａが形成されている。２つの突起部１０１ａの先端（下端）は、後述する摩擦部材１１３の摩擦接触面１１３ａに接触する。

１０５は振動体保持部材であり、振動板１０１の両端を保持することで振動体１０３全体を保持する。１０６は転動部材、１０７は転動用ばね部材であり、これらは振動体保持部材１０５に取り付けられる。後述する移動ベース部材１１０は、これら転動部材１０６と転動用ばね部材１０７を介して振動体保持部材１０５をＹ方向に変位可能に、かつＺ方向への変位を制限するように保持する。

なお、本実施例において、「変位を制限する」とは、完全に変位を阻止することと、わずかな許容量の変位は許容して該許容量以上の変位を阻止することを含む。

１０９は加圧伝達部材である。１０８は弾性材料により形成された緩衝部材であり、圧電素子１０２と加圧伝達部材１０９との間に配置される。緩衝部材１０８は、振動体１０３の振動が加圧伝達部材１０９およびこれよりも上方に設けられた他の部材に伝わることを抑制する。

加圧伝達部材１０９は、その幅方向（Ｘ方向）の一方に、振動体保持部材１０５に対する加圧伝達部材１０９のＺ方向への変位（つまりは加圧伝達部材１０９と振動体保持部材１０５との相対変位）を制限するための第１の接触部としての突起部１０９ａを有する。また、加圧伝達部材１０９は、そのＺ方向の２箇所に、移動ベース部材１１０に対する加圧伝達部材１０９のＸ方向への変位（つまりは加圧伝達部材１０９と振動体保持部材１０５との相対変位）を制限するための第３の接触部としての軸部１０９ｂを有する。

また、加圧伝達部材１０９の中央、すなわちＺ方向における２つの軸部１０９ｂの間の中央であってＸ方向における中央には、後述する加圧部材１１１の嵌合軸が係合する嵌合穴部１０９ｃが設けられている。嵌合穴部１０９ｃが加圧伝達部材１０９の中央に配置されることで、加圧部材１１１からの加圧力を２つの突起部１０１ａに均等に伝えることができる。

移動ベース部材１１０は、振動体１０３、振動体保持部材１０５、加圧伝達部材１０９および加圧部材１１１を保持する保持部１１０ａと、上面部１１０ｂとを有する。上面部１１０ｂは、その幅方向（Ｘ方向）の両側にＺ方向に延びるように形成された３つガイド溝部１１０ｂ−１，１１０ｂ−２，１１０ｂ−３を有する。３つのガイド溝部１１０ｂ−１，１１０ｂ−２，１１０ｂ−３にはそれぞれ、ボール１１０ｄが係合している。移動ベース部材１１０およびこれにより保持される振動体１０３、振動体保持部材１０５、加圧伝達部材１０９および加圧部材１１１によって、移動ユニットが構成される。

加圧部材１１１は、振動体１０３を摩擦部材１１３に対してＹ方向に加圧接触させるための加圧力を発生する。加圧部材１１１は、加圧軸部材１１１ａ、加圧ばね１１１ｂおよび固定軸部材１１１ｃにより構成されている。

１１２はカバー板であり、４本のビス１１２ａによって後述する筐体部材１１４に固定される。カバー板１１２は、移動ベース部材１１０の３つのガイド部１１０ｂ−１，１１０ｂ−２，１１０ｂ−３に対応した位置に、Ｚ方向に延びるガイド部１１２ｂ−１，１１２ｂ−２，１１２ｂ−３を有する。移動ベース部材１１０のガイド部１１０ｂ−１，１１０ｂ−２，１１０ｂ−３とカバー板１１２のガイド部１１２ｂ−１，１１２ｂ−２，１１２ｂ−３との間にボール１１０ｄがＺ方向に転動可能に挟持される。

摩擦部材１１３は、振動板１０１の２つの突起部１０１ａと接触する摩擦接触面１１３ａを有する。摩擦部材１１３は、そのＺ方向の両端部において２本のビス１１３ｂによって筐体部材１１４に固定される。

筐体部材１１４は、カバー板１１２と摩擦部材１１３を保持し、移動ユニットの移動ベース部材１１０をＺ方向にガイドしつつ保持する。

次に、加圧部材１１１による振動体１０３の加圧と加圧伝達部材１０９の回転について、図２、図３および図４を用いて説明する。図３は加圧伝達部材１０９が振動体保持部材１０５に組み付けられた状態を示しており、図４はこれら加圧伝達部材１０９および振動体保持部材１０５を図３におけるＡ−Ａ線で切断したときの断面を示している。なお、図３において、振動体保持部材１０５は、配線基板１０４が接続された振動体１０３を保持している。

図２において、加圧部材１１１は、前述したように加圧軸部材１１１ａ、加圧ばね１１１ｂおよび固定軸部材１１１ｃにより構成される。固定軸部材１１１ｃは、移動ベース部材１１０に形成された固定軸保持穴部１１０ｅ内に挿入され、かつＹ方向に延びる軸回りで回転させられることで固定軸保持穴部１１０ｅに対してバヨネット結合し、移動ベース部材１１０に固定される。これにより、固定軸部材１１１ｃは、移動ベース部材１１０に対して＋Ｙ方向（振動体１０３とは反対に向かう上方向）への変位（抜け）が阻止される。

また、加圧軸部材１１１ａは、固定軸部材１１１ｃの中央に形成された穴部１１１ｃ−１に対して、下側から、該固定軸部材１１１ｃの上端に形成された２つの爪部１１１ａ−１をそれらの間隔を狭めるように弾性変形させながら挿入される。穴部１１１ｃ−１に挿入された後の２つの爪部１１１ａ−１は、それらの間隔が開くように元に戻される。加圧軸部材１１１ｃは、爪部１１１ａ−１が固定軸部材１１１ｃの穴部１１１ｃ−１の上部に形成された爪係止部１１１ｃ−２によって係止される位置を下端とする範囲でＹ方向に移動可能な状態で固定軸部材１１１ｃにより保持される。

加圧ばね１１１ｂは、圧縮された状態で加圧軸部材１１１ａと固定軸部材１１１ｃとにより挟持される。これにより、加圧軸部材１１１ａには−Ｙ方向（振動体１０３に向かう下方向）に加圧力が発生する。また、加圧軸部材１１１ａの先端（下端）に形成された上述した嵌合軸１１１ａ−２は、加圧伝達部材１０９に形成された嵌合穴部１０９ｃに挿入されて嵌合する。したがって、加圧軸部材１１１ａは、固定軸部材１１１ｃの穴部１１１ｃ−１と加圧伝達部材１０９の嵌合穴部１０９ｃのＹ方向２か所で保持されることととなり、これによりＹ方向における安定的な加圧が可能となる。

また、加圧伝達部材１０９の２つの軸部１０９ｂはそれぞれ、移動ベース部材１１０の保持部１１０ａに形成された２つの第４の接触部としての長穴部１１０ａ−１に挿入される。長穴部１１０ａ−１はＺ方向を長手方向としており、軸部１０９ｂのＺ方向での変位を許容する一方、Ｘ方向での変位を制限するように軸部１０９ｂに係合（接触）する。これにより、加圧伝達部材１０９の移動ベース部材１１０に対するＹ方向での変位およびＹＺ面内での回転（加圧伝達部材１０９と移動ベース部材１１０との相対回転）が許容され、Ｘ方向での変位は制限される。

さらに、加圧伝達部材１０９は、前述した突起部１０９ａが、振動体保持部材１０５の幅方向（Ｘ方向）の一方の側壁に形成された第２の接触部としての凹部１０５ａ（変位制限部）にＺ方向において係合（接触）する。これにより、振動体保持部材１０５に対する加圧伝達部材１０９のＺ方向への変位が制限される。一方、この係合は、振動体保持部材１０５に対する加圧伝達部材１０９のＹ方向への変位（加圧伝達部材１０９と振動体保持部材１０５との相対変位）とＹＺ断面内での回転（加圧伝達部材１０９と振動体保持部材１０５との相対回転）を許容する。

移動ベース部材１１０が、転動部材１０６と転動用ばね部材１０７を介して振動体保持部材１０５をＺ方向での変位を制限して保持しているため、移動ベース部材１１０に対しても加圧伝達部材１０９のＺ方向での変位が制限される。

なお、配線基板１０４は、振動体保持部材１０５に凹形状を有するように形成された配線引出部１０５ｂを通して引き出されている。配線引出部１０５ｂは、凹部１０５ａに対してＸ方向にて対向する位置に設けられている。このように、凹部１０５ａと配線引出部１０５ｂを振動体保持部材１０５における別々の箇所に設けることにより、振動体保持部材１０５の強度を確保している。

また、加圧伝達部材１０９において、前述した嵌合穴部１０９ｃは該加圧伝達部材１０９のＺ方向およびＸ方向での中心に設けられている。加圧伝達部材１０９の裏面側には、前述した緩衝部材１０８を挟んで振動体１０３が振動体保持部材１０５により保持されている。加圧伝達部材１０９の嵌合穴部１０９ｃに加圧部材１１１における加圧軸部材１１１ａの嵌合軸１１１ａ−２が嵌合することで、この位置に加圧力が発生するため、常に振動体１０３のＺ方向およびＸ方向での中心に加圧部材１１１からの加圧力が作用する。これにより、図２に示すように、振動板１０１の２つの突起部１０１ａに均等な加圧力を付与することができ、該突起部１０１ａを安定的に摩擦部材１１３の摩擦接触面１１３ａに加圧接触させることができる。

図４に示すように、振動体保持部材１０５の凹部１０５ａは、そのＺ方向両側の接触面として平面１０５ｃを有する。一方、加圧伝達部材１０９の突起部１０９ａは、そのＺ方向両側の接触面として円弧曲面１０９ｄを有する。円弧曲面１０９ｄは、平面１０５ｃに対して、Ｘ方向に延びる線状に接触する（線接触する）。

以上のような構成により、加圧伝達部材１０９は、振動体保持部材１０５に対してＺ方向とＸ方向への変位が制限され、Ｙ方向およびＹＺ断面内では自由度がある状態で保持される。このとき、加圧軸部材１１１ａの嵌合軸１１１ａ−２は、加圧伝達部材１０９の嵌合穴部１０９ｃにわずかな隙間を有して嵌合している。また、嵌合軸１１１ａ−２の嵌合穴部１０９ｃに対する嵌合長さは、図２に寸法ｄで示すように短く設定されている。したがって、加圧伝達部材１０９は、ＹＺ断面において、加圧部材１１１に対して、嵌合穴部１０９ｃを中心として図２に矢印Ｂで示す方向に回転可能である。また、振動体保持部材１０５も、転動部材１０６と転動用ばね部材１０７を介して移動ベース部材１１０により保持されているため、移動ベース部材１１０に対して、Ｙ方向への変位だけでなく矢印Ｂで示す方向に回転可能である。

したがって、カバー板１１２と摩擦部材１１３とに製造誤差等によって相対的な傾きが生じても、摩擦部材１１３の摩擦接触面１１３ａに対する振動体１０３の良好な摩擦接触状態を維持することができる。また、摩擦部材１１３の摩擦接触面１１３ａの平面性が高くない場合でも、同様に良好な摩擦接触状態を維持することができる。例えば、図２において、摩擦部材１１３がカバー板１１２に対して右上がりに傾いた場合には、振動体１０３と振動体保持部材１０５とが同時に反時計回り方向に回転して右上がり状態となる。それに合わせて緩衝部材１０８と加圧伝達部材１０９も反時計回り方向に回転する。これにより、振動板１０１の２つの突起部１０１ａは、均等な加圧力によって摩擦部材１１３の摩擦接触面１１３ａに加圧接触することになり、安定的な摩擦接触状態を実現することができる。

また、加圧伝達部材１０９は、Ｚ方向への変位を突起部１０９ａと振動体保持部材１０５の凹部１０５ａとの係合によって制限され、Ｘ方向への変位も２つの軸部１０９ｂと移動ベース部材１１０の長穴部１１０ａ−１との係合によって制限されている。この状態で、加圧力を伝達する加圧軸部材１１１ａの嵌合軸１１１ａ−２が加圧伝達部材１０９の嵌合穴部１０９ｃに加圧伝達部材１０９のＹＺ断面内での回転を許容した状態で嵌合している。このため、加圧伝達部材１０９と加圧軸部材１１１ａとの接触位置は、加圧伝達部材１０９の回転によってずれることはない。これにより、常に加圧伝達部材１０９の中心に加圧力を伝達することが可能となり、振動板１０１の２つの突起部１０１ａに伝達される加圧力も均等となる。

さらに、加圧伝達部材１０９の突起部１０９ａと振動体保持部材１０５の凹部１０５ａとがＸ方向に延びる線状に接触しているため、加圧伝達部材１０９は、ＹＺ断面内において振動体保持部材１０５に対して図２に示す矢印Ｂの方向に回転可能となっている。ここで、振動体保持部材１０５と加圧伝達部材１０９との間には緩衝部材１０８が配置されており、この緩衝部材１０８の緩衝作用によって、振動体保持部材１０５と加圧伝達部材１０９とは一体的に回転しない。また、移動ベース部材１１０に対する振動体保持部材１０５のＹ方向およびＹＺ断面内での変位量は、振動体保持部材１０５に振動体１０３が直接取り付けられるために、加圧伝達部材１０９の変位量よりも大きくなる。さらに、緩衝部材１０８の緩衝特性は、経時変化や湿度等の環境の変化によって若干変わる。例えば、多湿環境では緩衝部材１０８が水分を含むことで緩衝特性が変化する。

これらのことに対して、上記線接触は、振動体保持部材１０５と加圧伝達部材１０９とが一体的に回転しなくても、摩擦部材１１３に対する振動板１０１の２つの突起部１０１ａの安定した加圧接触を実現する。また、緩衝部材１０８の経時変化や環境変化に関する特性変化に対しても、安定した加圧接触を維持する。

以上の構成によれば、簡単な構成で摩擦部材１１３に対して振動体１０３の安定的に加圧接触させることが可能な小型の振動型アクチュエータ１００を実現することができる。すなわち、加圧伝達部材１０９の突起部１０９ａと振動体保持部材１０５の凹部１０５ａを接触（係合）させるだけの簡単な構成で、加圧部材１１１と加圧伝達部材１０９の接触位置のずれや加圧伝達部材１０９と振動体１０３の相対位置ずれを抑制できる。したがって、小型で安定した特性が得られる振動型アクチュエータ１００を実現することができる。

そして、配線基板１０４を介して振動体１０３の圧電素子１０２に駆動信号を印加することで突起部１０１ａ，１０１ｂの先端に振動（楕円運動）を発生させることができる。振動する突起部１０１ａ，１０１ｂが摩擦部材１１３の摩擦接触面１１３ａに加圧接触することで、Ｚ方向の駆動力が発生し、移動ユニットがＺ方向に移動する。移動ベース部材１１０に被駆動部材を連結することで、被駆動部材をＺ方向に駆動することができる。

本実施例では、加圧伝達部材１０９に第１の接触部（突起部１０９ａ）を設け、振動体保持部材１０５に第２の接触部（凹部１０５ａ）を設けた場合について説明した。しかし、加圧伝達部材１０９に第２の接触部を設け、振動体保持部材１０５に第１の接触部を設けてもよい。つまり、加圧伝達部材１０９および振動体保持部材１０５のうち一方の部材に第１の接触部を設け、他方の部材に第２の接触部を設ければよい。同様に、本実施例では、加圧伝達部材１０９に第３の接触部（軸部１０９ｂ）を設け、移動ベース部材１１０に第４の接触部（長穴部１１０ａ−１）を設けた場合について説明した。しかし、加圧伝達部材１０９に第４の接触部を設け、移動ベース部材１１０に第３の接触部を設けてもよい。つまり、加圧伝達部材１０９および移動ベース部材１１０のうち一方の部材に第３の接触部を設け、他方の部材に第４の接触部を設ければよい。

また、本実施例では、リニア型の振動型アクチュエータについて説明したが、本実施例と同様の構成を回転型（リング型）の振動型アクチュエータに適用することもできる。

図５には、本発明の実施例２である光学機器としての交換レンズに設けられるレンズ鏡筒の構成（光軸αに沿った断面での構成）を示している。このレンズ鏡筒内に実施例１で説明した振動型アクチュエータが設けられている。

１は最も前側（被写体側）に配置された第１レンズユニットであり、直進筒８により保持されている。第１レンズユニット１は、変倍に際してカム筒７の回転によって直進筒８とともに光軸αが延びる方向である光軸方向に移動する。２は第２レンズユニットであり、案内筒６により保持される。３は第３レンズユニットであり、案内筒６により保持される。第３レンズユニット３は、変倍に際してカム筒７の回転により光軸方向に移動する。４は第４レンズユニットであり、案内筒６により保持される。第４レンズユニット４は、変倍に際してカム筒７の回転により光軸方向に移動する。５は第５レンズユニットであり、後述するフォーカスアクチュエータ１０によって光軸方向に駆動されて焦点調節を行う。

案内筒６は、第３および第４レンズユニット３，４に設けられた不図示のカムフォロワに係合してこれらを光軸方向にガイドする直進溝部６Ａを有する。カム筒７は、第３および第４レンズユニット３，４と直進筒８のそれぞれに設けられた不図示のカムフォロワと係合してこれらを光軸方向に移動させるカム溝部７Ａ，７Ｂ，７Ｃを有する。直進筒８は、案内筒６およびカム筒７の外周に配置されている。

９は固定筒であり、その後側（像面側）の端部には、不図示のカメラ２００に対して取り外し可能に連結されるマウント３０が固定されている。固定筒９の外周には、マニュアルフォーカスリングＭＦＲとマニュアルズームリングＭＺＲとが光軸回りで回転可能に組み付けられている。マニュアルフォーカスリングＭＦＲを回転操作することで、フォーカスアクチュエータ１０に第５レンズユニット５を光軸方向に移動させ、マニュアルフォーカスを行うことができる。また、マニュアルズームリングＭＺＲを回転操作することで、第１、第３および第４レンズユニット１，３，４を光軸方向に移動させてマニュアルズームを行うことができる。

フォーカスアクチュエータ１０は、実施例１で説明したリニア型の振動型アクチュエータ（１００）である。２２は制御基板であり、マニュアルフォーカスリングＭＦＲの回転を検出してフォーカスアクチュエータ１０の駆動（振動体（１０３）に励起する振動）を制御することで、被駆動部材としての第５レンズユニット５を光軸方向に移動させる。制御基板２２とマニュアルフォーカスリングＭＦＲの回転を検出するセンサ（図示せず）とフォーカスアクチュエータ１０とは、不図示のＦＰＣによって電気的に接続されている。

本実施例によれば、実施例１で説明した振動型アクチュエータ（１００）をフォーカスアクチュエータ１０として用いることで、第５レンズユニット５の位置や移動を高精度に制御することが可能な交換レンズを実現することができる。

本実施例では、交換レンズのレンズ鏡筒について説明したが、レンズ一体型撮像装置（光学機器）に用いられるレンズ鏡筒においても実施例１にて説明した振動型アクチュエータを用いることができる。

また、実施例１の振動型アクチュエータは、上記のような光学機器に限らず、振動型アクチュエータによって駆動される被駆動部材を有する各種装置に用いることもできる。

以上説明した各実施例は代表的な例にすぎず、本発明の実施に際しては、各実施例に対して種々の変形や変更が可能である。

１００アクチュエータ
１０３振動体
１０５保持部材
１０５ａ変位制限部
１０９伝達部材
１０９ａ突起部
１１１加圧部材
１１３摩擦部材

Claims

電圧の印加により振動が励起される振動体と、
該振動体を保持する保持部材と、
前記振動体と接触する摩擦部材と、
第１の方向の圧力を発生させる加圧部材と、
前記圧力を前記振動体に伝達する伝達部材と、
前記保持部材を保持するベース部材を有し、
前記振動により前記振動体と前記摩擦部材との前記第１の方向に垂直な第２の方向での相対位置が変化し、
前記保持部材及び前記伝達部材のうち、一方には突起部が設けられ、他方には変位制限部が設けられており、
前記突起部及び前記変位制限部は、前記第１及び第２の方向に垂直な第３の方向において、前記突起部及び前記変位制限部の同じ部位で、互いの接触により前記保持部材及び前記伝達部材の前記第２の方向での相対変位を制限し、かつ前記保持部材及び前記伝達部材の前記第１及び第２の方向に平行な面内での相対回転を許容し、
前記伝達部材は、前記振動体に対して前記摩擦部材が配置された方向とは反対側から前記第１の方向の圧力を前記振動体に伝達し、
前記ベース部材は、前記保持部材を、前記第１の方向での変位及び前記面内での回転を許容するように保持することを特徴とするアクチュエータ。
前記変位制限部は、前記第１の方向においては前記突起部と接触しないことを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
前記変位制限部は、前記第１及び第２の方向に垂直な第３の方向においては前記突起部と接触しないことを特徴とする請求項１又は２に記載のアクチュエータ。
前記突起部は、前記変位制限部と接触する曲面を有することを特徴とする請求項１から３の何れか一項に記載のアクチュエータ。
前記曲面は、前記変位制限部と線接触することを特徴とする請求項４に記載のアクチュエータ。
前記変位制限部は、前記突起部と接触する平面を有することを特徴とする請求項１から５の何れか一項に記載のアクチュエータ。
前記突起部は前記伝達部材に設けられ、前記変位制限部は前記保持部材に設けられていることを特徴とする請求項１から６の何れか一項に記載のアクチュエータ。
電圧の印加により振動が励起される振動体と、
該振動体を保持する保持部材と、
前記振動体と接触する摩擦部材と、
第１の方向の圧力を発生させる加圧部材と、
前記圧力を前記振動体に伝達する伝達部材と、
前記保持部材を保持するベース部材を有し、
前記振動により前記振動体と前記摩擦部材との前記第１の方向に垂直な第２の方向での相対位置が変化し、
前記保持部材及び前記伝達部材のうち、一方には突起部が設けられ、他方には変位制限部が設けられており、
前記突起部及び前記変位制限部は、前記第１及び第２の方向に垂直な第３の方向において、前記突起部及び前記変位制限部の同じ部位で、互いの接触により前記保持部材及び前記伝達部材の前記第２の方向での相対変位を制限し、かつ前記保持部材及び前記伝達部材の前記第１及び第２の方向に平行な面内での相対回転を許容し、
前記伝達部材は、前記振動体に対して前記摩擦部材が配置された方向とは反対側から前記第１の方向の圧力を前記振動体に伝達し、
前記伝達部材及び前記ベース部材の夫々には接触部が設けられており、
該接触部の夫々は、互いの接触により前記伝達部材及び前記ベース部材の前記第１及び第２の方向に垂直な第３の方向での相対変位を制限し、かつ前記伝達部材及び前記ベース部材の前記面内での相対回転を許容することを特徴とするアクチュエータ。
前記接触部の夫々は、軸部及び穴部であることを特徴とする請求項８に記載のアクチュエータ。
前記軸部は前記伝達部材に設けられ、前記穴部は前記ベース部材に設けられていることを特徴とする請求項９に記載のアクチュエータ。
前記突起部及び前記変位制限部は、前記保持部材及び前記伝達部材の前記第１の方向での相対変位を許容することを特徴とする請求項１から１０の何れか一項に記載のアクチュエータ。
請求項１から１１の何れか一項に記載のアクチュエータと、
該アクチュエータにより駆動される被駆動部材とを有することを特徴とする装置。
前記被駆動部材はレンズであることを特徴とする請求項１２に記載の装置。