JP6948084B2 - 光学測定装置 - Google Patents
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Description
の小型化や光軸合わせに制限があった。また、位相シフト型の測定をする場合は、高価な
ピエゾ素子などの位相変調デバイスや並列位相シフト用偏光アレイ等を用いる必要があっ
た。
置を小型化することを目的とする。
次に、光学測定装置10の設計手法について述べる。図4は光学測定装置10の設計距離を決める設計フローチャートを示す図である。
図9は、第1実施形態に係る光学測定装置20を示す図である。この光学測定装置20は、透過型の光学測定装置の一例であり、光源であるレーザ1と、レーザ1で発光された光が入力されて球面物体波と球面参照波を出力する光導波路21と、参照波の光路調整に利用する補正ガラス23と、光導波路21から出力された光を合成して干渉させる合成部であるビームスプリッタ8と、ビームスプリッタ8で得られた干渉縞を電気信号として取得するCCDカメラ9とを備える。また、CCDカメラ9は、電子計算機(図示せず)と接続される。光学測定装置20は、光導波路21と、ビームスプリッタ8との間にサンプル7を挟むように配置し、サンプル7に光を照射した場合の位相情報を測定する。具体的には、電子計算機により、CCDカメラ9が取得した電気信号が入力されると、この電気信号を用いて、位相情報を演算する。
図11は、第2実施形態に係る光学測定装置30を示す図である。この光学測定装置30も透過型の光学測定装置であり、第1実施形態の光学測定装置20と比較して、ヒータ212を備えない点で異なる。
図12は、第3実施形態に係る光学測定装置20Aを示す図である。この光学測定装置20Aも、透過型の光学測定装置である。光学測定装置20Aは、図9を用いて上述した第1実施形態に係る光学測定装置20と比較して、ビームスプリッタ8の向きとCCDカメラ9の位置が異なる。光学測定装置20Aの光導波路21は、図10を用いて上述した光学測定装置20の光導波路21と同一である。また、光学測定装置20Aにおいても、参照波(参照光)とサンプル7を透過した物体波(物体光)とをビームスプリッタ8により合成し、CCDカメラ9を介して電子計算機(図示せず)で記録する。
図13は、第4実施形態に係る光学測定装置20Bを示す図である。この光学測定装置20Bは、反射型の光学測定装置の一例である。図9を用いて上述した第1実施形態に係る光学測定装置20は、サンプル7を透過させた物体波を測定に利用する。これに対し、光学測定装置20Bは、サンプル7を反射させた物体波を測定に利用する。したがって、光学測定装置20Bは、光学測定装置20と比較して、サンプル7の位置が異なり、ビームスプリッタ8の向きが90°異なる。また、光学測定装置20Bは、参照波とサンプル7を反射して得られた物体波とをビームスプリッタ8により合成し、CCDカメラ9を介して、電子計算機(図示せず)で記録する。なお、反射型の光学測定装置の場合、物体波と参照波のサンプル7の影響による光路差補正は不要であるため、光学測定装置20Bは、補正ガラス23を有しない。
図14は、第5実施形態に係る光学測定装置20Cを示す図である。この光学測定装置20Cは、反射型の光学測定装置の他の例である。光学測定装置20Cは、図13を用いて上述した第4実施形態に係る光学測定装置20Bと比較して、光導波路21の出射口213の角度が異なるとともに、ビームスプリッタ8の向きが異なり、さらに、参照波の方向を調整するミラー24を備える点で異なる。なお、光学測定装置20Cにおいても、参照波とサンプル7を反射して得られた物体波とをビームスプリッタ8により合成し、CCDカメラ9を介して電子計算機で記録する。
図15は、第6実施形態に係る光学測定装置50を示す図である。この光学測定装置5
0は、第1実施形態に係る光導波路21に波長合分波器40を結合させた一例である。ま
た、光学測定装置50は、レーザ1と、ビームスプリッタ8と、電子計算機(図示せず)
に接続されるCCDカメラ9と、補正ガラス23とを備える。なお、補正ガラス23は無
くても解像度やシステムとして十分な性能が得られる場合もある。
、下記の式(10)及び(11)を利用する。ここで、記録波長をλ1、再生波長をλ2、再生光源位置、zp、参照光源位置zr、物体位置zOとする。再生ではzp=∞であるため、第一項は0となる。
続いて、第7実施形態に係る光学測定装置について説明する。図を用いた説明は省略するが、第7実施形態に係る光学測定装置は、第1乃至第6実施形態に係るいずれかの光学測定装置を複数配列し、各光学測定装置のCCDカメラが1台の電子計算機と接続される、アレイ顕微鏡である。複数の光学測定装置の配列方法については、限定されないが、複数の光学測定装置を1列に配置してもよいし、複数列に配置してもよい。また、複数のレーザを利用してもよいし、1つのレーザのみを利用し、この1つのレーザから出力される光を各光導波路に出力してもよい。電子計算機では、各CCDカメラで取得された電気信号を利用して位相情報をそれぞれ演算し、複数の演算結果を合成する。これにより、第7実施形態に係る光学測定装置では、サンプル7の広範囲の観察領域を一回で測定することが可能になる。
態に限定されるものではない。本発明の範囲は、特許請求の範囲の記載及び特許請求の範
囲と均等の範囲に決定されるものである。また、各実施形態の各構成を組み合わせてもよ
い。
2 ミラー
3 半波長板
4 偏光ビームスプリッタ
5 ピエゾ素子
6 レンズ
7 サンプル
8 ビームスプリッタ(合成部)
9 CCDカメラ(撮像素子)
10、20、20A、20B、20C、30、50 光学測定装置
11 電子計算機
12 物体面
13 撮像面
14 結像面
15 参照点
21、31 光導波路
23 補正ガラス
24 ミラー
40 波長合分波器
41 入力部
42 分波器
43 光スイッチ
44 合波器
45 出力部
211 分岐部
212 ヒータ(変調器)
221 シリコン基板
222 バッファ
223(223a、223b) コア
224 クラッド
z0 第1距離
zr 第2距離
Claims (1)
- 光源と、
前記光源で発光された光を、測定対象物に照射させる物体波と、前記物体波と干渉させるための参照波とに分岐する分岐部と、前記分岐部で分岐された前記物体波又は前記参照波のいずれか一方の位相を変調する変調器と、前記物体波及び前記参照波を球面物体波及び球面参照波に変換して出力する変換部とを備える光導波路と、
測定対象物から反射した前記球面物体波と、前記球面参照波とを合成する合成部と、
前記合成部によって合成された光の干渉縞を電気信号として受光し、電子計算機に出力する撮像素子と、
を備え、
前記光導波路は、
シリコン基板と、
前記シリコン基板の表面に積層されたバッファと、
前記バッファの表面に形成され、前記分岐部と前記変換部との間で前記物体波が伝搬する物体波用コアと、
前記バッファの表面に積層され、前記物体波用コアとは異なる位置に設けられ、且つ前記分岐部と前記変換部との間で前記参照波が伝搬する参照波用コアと、
前記バッファの表面に積層され、前記物体波用コア及び前記参照波用コアの側方及び上方を覆うクラッドと、
を備え、
前記物体波用コア及び前記参照波用コアの屈折率は、前記バッファ及び前記クラッドの屈折率よりも高く、
前記物体波用コアと前記参照波用コアとが、前記測定対象物に入射する球面物体波と前記球面参照波とが互いになす角度と同じ角度をなして互いに異なる方向に沿って設けられ、
前記変換部は、前記物体波及び前記参照波を前記光導波路から出射する出射口であり、
平面視したときに、前記物体波用コアと前記参照波用コアとは前記変換部に近づくにし
たがって互いに近づくように形成され、且つ前記光導波路は前記物体波用コア及び前記参
照波用コアに平行になるように前記変換部に向かってテーパー形状を有する、
光学測定装置。
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- 2020-09-01 JP JP2020147071A patent/JP6948084B2/ja active Active
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