JP6939008B2 - 液体吐出装置および液体吐出方法 - Google Patents

Description

本発明は、液体吐出装置および液体吐出方法に関する。

従来、例えば、特許文献１に記載された循環型インクジェット装置では、インク室内のインクを吐出するためのアクチュエーターの駆動力がインク室に連通したインク出口流路に逃げてしまうことを抑制するため、インク吐出時にインク出口流路の流路抵抗を高めている。

特開２０１１−２１３０９４号公報

しかし、特許文献１に記載の技術では、インク出口流路の流路抵抗を高める際に、インク出口流路の容積変動に伴ってインク出口流路からインク室にインクが逆流し、インク室に連通するノズルから、インクが漏れる虞があった。また、特許文献１に記載の技術では、インク吐出時の圧力が、インク供給流路に逃げてしまう可能性があり、適切にインクを吐出できない虞があった。そのため、無用なインクがノズルから漏れることを抑制し、適切にインクを吐出可能な技術が求められていた。このような課題は、インクを吐出する循環型インクジェット装置に限らず、液体を吐出可能な液体吐出装置全般に共通した課題であった。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態として実現することが可能である。
本発明の第１の形態は、液体吐出装置であって、液体を吐出するためのノズルに連通する液室と、前記液室の容積を変更するための容積変更部と、前記液室に接続され、前記液室に前記液体を流入させる流入路と、前記液室に接続され、前記液室から前記液体を流出させる流出路と、前記流入路の流路抵抗を変更するための第１流路抵抗変更部と、前記流出路の流路抵抗を変更するための第２流路抵抗変更部と、前記容積変更部と前記第１流路抵抗変更部と前記第２流路抵抗変更部とを制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記第２流路抵抗変更部を制御して前記流出路の流路抵抗を前記流入路の流路抵抗よりも大きくするのと同時に前記容積変更部を制御して前記液室の容積を大きくする充填制御を行うことによって、前記液室に前記液体を充填し、前記充填制御を実行した後、前記流出路の流路抵抗を大きくしたまま、前記第１流路抵抗変更部を制御して前記流入路の流路抵抗を大きくし、前記容積変更部を制御して前記液室の容積を小さくする吐出制御を行うことによって、前記ノズルから前記液体を吐出させる、液体吐出装置である。本発明は以下の形態としても実現可能である。

（１）本発明の一形態によれば、液体吐出装置が提供される。この液体吐出装置は、液体を吐出するためのノズルに連通する液室と；前記液室の容積を変更するための容積変更部と；前記液室に接続され、前記液室に前記液体を流入させる流入路と；前記液室に接続され、前記液室から前記液体を流出させる流出路と；前記流入路の流路抵抗を変更するための第１流路抵抗変更部と；前記流出路の流路抵抗を変更するための第２流路抵抗変更部と；前記容積変更部と前記第１流路抵抗変更部と前記第２流路抵抗変更部とを制御する制御部と；を備える。そして、前記制御部は、前記第１流路抵抗変更部および前記第２流路抵抗変更部を制御して前記流入路および前記流出路の流路抵抗を大きくし、前記容積変更部を制御して前記液室の容積を大きくし、前記流入路および前記流出路の流路抵抗が大きい状態で、前記容積変更部を制御して前記液室の容積を小さくすることによって、前記ノズルから前記液体を吐出させる。
このような形態の液体吐出装置であれば、流出路の流路抵抗を大きくした際に、流出路中の液体が液室に逆流したとしても、液室の容積を大きくするので、逆流した液体がノズルから漏れることを抑制できる。更に、流出路の流路抵抗と流入路の流路抵抗とを両方とも大きくして液体を吐出させるため、液体を吐出するための圧力が流入路および流出路に逃げてしまうことを抑制できる。そのため、無用なインクがノズルから漏れることを抑制しつつ、適切にインクを吐出することができる。

（２）上記形態の液体吐出装置において、前記制御部は、前記第２流路抵抗変更部を制御して前記流出路の流路抵抗を前記流入路の流路抵抗よりも大きくするとともに、前記容積変更部を制御して前記液室の容積を大きくする充填制御を行うことによって、前記液室に前記液体を充填し、前記充填制御を実行した後、前記流出路の流路抵抗を大きくしたまま、前記第１流路抵抗変更部を制御して前記流入路の流路抵抗を大きくし、前記容積変更部を制御して前記液室の容積を小さくする吐出制御を行うことによって、前記ノズルから前記液体を吐出させてもよい。このような液体吐出装置であれば、無用なインクがノズルから漏れることを抑制しつつ、適切にインクを吐出することができる。

（３）上記形態の液体吐出装置において、前記制御部は、前記充填制御を実行する前に、前記第１流路抵抗変更部を制御して前記流入路から前記液室に前記液体を流通させつつ前記流入路の流路抵抗を前記流出路の流路抵抗よりも大きくする待機制御を行うことによって、前記液室内の前記液体の圧力を、前記ノズル内の前記液体のメニスカスが耐え得る圧力以下にしてもよい。このような形態の液体吐出装置であれば、待機状態において、ノズルから液体が漏れることを抑制できる。

本発明は、上述した液体吐出装置としての形態以外にも、種々の形態で実現することが可能である。例えば、液体吐出装置によって実行される液体吐出方法や、液体吐出装置を制御するためのコンピュータープログラム、そのコンピュータープログラムが記録された一時的でない有形な記録媒体等の形態で実現することができる。

液体吐出装置の概略構成を示す説明図である。 ヘッド部の概略構成を示す説明図である。 液体吐出方法の処理内容を表すタイミングチャートである。 ヘッド部の動作を示す図である。 ヘッド部の動作を示す図である。 ヘッド部の動作を示す図である。 第２実施形態における液体吐出方法の処理内容を表すタイミングチャートである。 第２実施形態におけるヘッド部の動作を示す図である。 第３実施形態における液体吐出装置の概略構成を示す説明図である。

Ａ．第１実施形態：
図１は、本発明の第１実施形態における液体吐出装置１００の概略構成を示す説明図である。液体吐出装置１００は、タンク１０と、加圧ポンプ２０と、流入路３０と、ヘッド部４０と、流出路５０と、液体貯留部６０と、負圧発生源７０と、制御部８０と、を備える。

タンク１０には液体が収容されている。液体としては、例えば、所定の粘度を有するインクが収容される。タンク１０内の液体は加圧ポンプ２０により、流入路３０を通じてヘッド部４０に供給される。ヘッド部４０に供給された液体は、ヘッド部４０により吐出される。ヘッド部４０の動作は、制御部８０により制御される。

ヘッド部４０によって吐出されなかった液体は、流出路５０を通じて液体貯留部６０に排出される。液体貯留部６０には、各種ポンプによって構成可能な負圧発生源７０が接続されている。負圧発生源７０は、液体貯留部６０内を負圧にすることにより、流出路５０を通じてヘッド部４０から液体を吸引する。加圧ポンプ２０および負圧発生源７０は、流入路３０と流出路５０とに差圧を発生させて流入路３０に液体を供給する液体供給部として機能する。なお、加圧ポンプ２０および負圧発生源７０のいずれか一方を省略して、加圧ポンプ２０または負圧発生源７０のいずれか単体で液体供給部を構成してもよい。上記のように、本実施形態では、ヘッド部４０から吐出されなかった液体がヘッド部４０から流出路５０に排出されるので、ヘッド部４０内に液体内の沈降成分が堆積することを抑制することができる。

本実施形態では、液体貯留部６０とタンク１０とは、循環路９０によって接続されている。液体貯留部６０に貯留された液体は、循環路９０を通じてタンク１０に戻され、再び、加圧ポンプ２０によってヘッド部４０に供給される。循環路９０には、液体貯留部６０から液体を吸引するためのポンプが備えられていてもよい。なお、循環路９０を省略し、液体吐出装置１００を、液体を循環させない構成とすることも可能である。

図２は、ヘッド部４０の概略構成を示す説明図である。図２の下方は重力方向下向きであるものとする。ヘッド部４０は、ノズル４１と液室４２と容積変更部４３と第１流路抵抗変更部４４と第２流路抵抗変更部４５とを備えている。

液室４２は、液体が供給される部屋である。液室４２は、液体を外部に吐出するためのノズル４１に連通している。液室４２には、流入路３０と流出路５０とが接続されている。液室４２およびノズル４１は、例えば、金属材料内に空間を形成することによって構成されている。

液室４２の上部には、液室４２の容積を変更するための容積変更部４３が設けられている。容積変更部４３は、例えば、液室４２内で上下方向に移動可能なピストンと、ピストンを上下方向に駆動する積層型のピエゾアクチュエーターとによって構成することができる。

流入路３０は、液室４２に接続され、液室４２に液体を流入させる流路である。流入路３０には、流入路３０の流路抵抗を変更するための第１流路抵抗変更部４４が設けられている。第１流路抵抗変更部４４は、例えば、流入路３０内で上下方向に移動可能なピストンと、ピストンを上下方向に駆動する積層型のピエゾアクチュエーターとによって構成することができる。

流出路５０は、液室４２に接続され、液室４２から液体を流出させる流路である。流出路５０には、流出路５０の流路抵抗を変更するための第２流路抵抗変更部４５が設けられている。第２流路抵抗変更部４５は、例えば、流出路５０内で上下方向に移動可能なピストンと、ピストンを上下方向に駆動する積層型のピエゾアクチュエーターとによって構成することができる。

容積変更部４３、第１流路抵抗変更部４４および第２流路抵抗変更部４５は、制御部８０（図１）に接続されている。制御部８０は、容積変更部４３、第１流路抵抗変更部４４および第２流路抵抗変更部４５を制御する。制御部８０は、第１流路抵抗変更部４４および第２流路抵抗変更部４５を制御して流入路３０および流出路５０の流路抵抗を大きくし、容積変更部４３を制御して液室４２の容積を大きくし、流入路３０および流出路５０の流路抵抗が大きい状態で、容積変更部４３を制御して液室４２の容積を小さくすることによって、ノズル４１から液体を吐出させる。制御部８０による詳しい処理内容については後述する。制御部８０は、ＣＰＵやメモリーを備えたコンピューターとして構成されており、メモリーに記憶された制御プログラムを実行することにより、後述する種々の処理を実現する。なお、制御プログラムは、一時的でない有形な種々の記録媒体に記録されていてもよい。

以下の説明において、流入路３０および流出路５０における最大の流路抵抗とは、第１流路抵抗変更部４４または第２流路抵抗変更部４５が調整可能な最大の流路抵抗である。また、最小の流路抵抗とは、第１流路抵抗変更部４４または第２流路抵抗変更部４５が調整可能な最小の流路抵抗である。流入路３０が最大の流路抵抗に設定された場合には、流入路３０は閉塞されることが好ましく、流出路５０が最大の流路抵抗に設定された場合には、流出路５０が閉塞されることが好ましい。また、液室４２の最小の容積とは、容積変更部４３が調整可能な最小の液室４２の容積であり、最大の容積とは、容積変更部４３が調整可能な最大の液室４２の容積である。

図３は、制御部８０によって実行される液体吐出方法の処理内容を表すタイミングチャートである。図３の横軸は経過時間を示し、縦軸は、流入路３０の流路抵抗と、流出路５０の流路抵抗と、液室４２の容積と、を示している。

まず、制御部８０は、図３に示すタイミングｔ０からタイミングｔ１において、第１流路抵抗変更部４４を制御して流入路３０から液室４２に液体を流通させつつ流入路３０の流路抵抗を流出路５０の流路抵抗よりも大きくする待機制御を行うことにより、液室４２内の液体の圧力を、ノズル４１内の液体のメニスカス耐圧以下にする。より具体的には、本実施形態では、制御部８０は、流入路３０の流路抵抗を、最大抵抗よりも小さな中間抵抗にするとともに、流出路５０の流路抵抗を最小とし、更に、液室４２の容積を最小とする。本実施形態において中間抵抗とは、タンク１０から流入する液体の圧力を、ノズル４１内の液体のメニスカス耐圧以下の圧力まで減圧可能な流路抵抗である。この待機制御により、タンク１０から供給された液体は、適切な圧力に調整された後、液室４２を通って、液体貯留部６０に流出する。なお、メニスカス耐圧とは、液体のメニスカスが破壊されない（つまり、メニスカスが耐え得る）最大の圧力のことをいう。

待機制御を実行した後、制御部８０は、タイミングｔ１からタイミングｔ２にかけて、第２流路抵抗変更部４５を制御して流出路５０の流路抵抗を流入路３０の流路抵抗よりも大きくするとともに、容積変更部４３を制御して液室４２の容積を大きくする充填制御を行う。より具体的には、本実施形態では、制御部８０は、流入路３０の流路抵抗を中間抵抗から最小抵抗まで小さくし、流出路５０の流路抵抗を最小から最大抵抗まで大きくし、液室４２の容積を最小から最大まで大きくする。この充填制御により、吐出を行うための液体が液室４２およびノズル４１に充填される。

充填制御によって液室４２およびノズル４１に液体が充填された後、制御部８０は、タイミングｔ２からタイミングｔ３までの間に、流出路５０の流路抵抗を大きくしたまま、第１流路抵抗変更部４４を制御して流入路３０の流路抵抗を大きくし、容積変更部４３を制御して液室４２の容積を小さくする吐出制御を行う。より具体的には、本実施形態では、制御部８０は、流出路５０の流路抵抗を最大にしたまま、流入路３０の流路抵抗を最小から最大まで大きくし、流入路３０と流出路５０の流路抵抗が最大の状態で、液室４２の容積を最大から急減させて最小にする。この吐出制御を行うことによって、液室４２に連通したノズル４１から液体が吐出される。なお、この吐出制御では、液室４２の容積を急減させることにより、ノズル４１内の液体の圧力が、メニスカス耐圧を超える圧力となり、液体がノズル４１から吐出される。

ノズル４１から液体が吐出された後、制御部８０は、タイミングｔ３以降、前述した待機制御を行う。より具体的には、本実施形態では、流入路３０の流路抵抗を最大から中間抵抗まで小さくし、流出路５０の流路抵抗を最大から最小まで小さくし、液室４２の容積を最大から最小まで小さくする待機制御を行う。この待機制御により、タンク１０から供給された液体は、再び、液室４２を通って、液体貯留部６０に流出することになる。制御部８０は、以上で説明した処理を繰り返し実行することにより、ノズル４１から連続的に液滴状の液体を吐出することができる。

図４〜図６は、本実施形態におけるヘッド部４０の動作を示す図である。以上で説明した本実施形態の液体吐出装置１００では、充填制御を実行する前の待機制御において、図４に示すように、流入路３０の流路抵抗を大きくして中間抵抗に設定することにより、液室４２内に流入した液体が、ノズル４１内の液体のメニスカス耐圧以下になるように減圧する。そのため、液室４２内の液体は、ノズル４１から排出されることなく、流路抵抗が最小に設定された流出路５０から排出される。そのため、待機状態においてノズル４１から無駄な液体が漏れることを抑制できる。

また、本実施形態では、前述した充填制御において、図５に示すように、流出路５０の流路抵抗が最大に設定され、流入路３０の流路抵抗が最小に設定されるので、液体が流出路５０から排出されることを抑制しつつ、液室４２内に効率的に液体を充填することができる。また、この充填制御では、流出路５０の流路抵抗を大きくするのと同時に、液室４２の容積も大きくするので、流出路５０の流路抵抗を大きくするために第２流路抵抗変更部４５を流出路５０内に押し込んだ際に、第２流路抵抗変更部４５の直下にある液体が液室４２に逆流したとしても、その逆流した液体を、容積を大きくした液室４２で捕捉することができる。従って、流出路５０から逆流した液体がノズル４１から漏れてしまうことを抑制できる。この結果、無用な液体がノズル４１から漏れることを抑制できる。また、この充填制御では、液室４２の容積を大きくするのと同時に、流入路３０の流路抵抗を小さくするので、液室４２の容積を大きくすることによってノズル４１側から液室４２に液体が引き込まれることを抑制できる。そのため、吐出制御時において、吐出不良が生じることを抑制できる。

また、本実施形態では、前述した吐出制御において、図６に示すように、流出路５０の流路抵抗が最大に設定されたまま、流入路３０の流路抵抗も最大に設定されるため、液体を吐出するための圧力が、流入路３０および流出路５０に逃げてしまうことを抑制できる。そのため、効率的に液体を吐出することができる。

なお、本実施形態では、制御部８０は、第２流路抵抗変更部４５を制御して流出路５０の流路抵抗を流入路３０の流路抵抗よりも大きくするとともに、容積変更部４３を制御して液室４２の容積を大きくする充填制御を行うことによって、液室４２に液体を充填している。これに対して、例えば、制御部８０は、第１流路抵抗変更部４４と第２流路抵抗変更部４５とを制御して流入路３０と流出路５０の両方の流路抵抗を大きくしながら、容積変更部４３を制御して液室４２の容積を大きくすることにより、液室４２に液体を充填してもよい。この場合であっても、流出路５０の流路抵抗を大きくする際に液室４２の容積を大きくするため、流出路５０の流路抵抗を大きくした際に、流出路５０から逆流した液体がノズル４１から漏れてしまうことを抑制できる。制御部８０は、このような制御を、後述する第２実施形態や第３実施形態でも同様に行ってよい。

Ｂ．第２実施形態：
図７は、第２実施形態において制御部８０によって実行される液体吐出方法の処理内容を表すタイミングチャートである。図８は、第２実施形態におけるヘッド部４０の動作を示す図である。第２実施形態では、制御部８０によって行われる待機制御の内容が第１実施形態と異なり、他の制御や液体吐出装置１００の構成は第１実施形態と同じである。

図３に示したように、第１実施形態では、制御部８０は、タイミングｔ０からタイミングｔ１までの待機制御、および、タイミングｔ４以降の待機制御において、流入路３０の流路抵抗を中間抵抗に設定している。これに対して、本実施形態では、これらのタイミングにおける待機制御において、図７および図８に示すように、制御部８０は、第１流路抵抗変更部４４を制御して、流入路３０の流路抵抗を最小に設定する。

以上で説明した第２実施形態であっても、タンク１０から流入路３０に供給された液体の圧力がノズル４１内の液体のメニスカス耐圧以下であれば、ノズル４１から液体が漏れることなく、待機状態において、液体を流出路５０に流すことが可能である。従って、第２実施形態によっても、第１実施形態と同様の効果を奏することが可能である。

Ｃ．第３実施形態：
図９は、第３実施形態における液体吐出装置１００Ａの概略構成を示す説明図である。本実施形態における液体吐出装置１００Ａは、複数のヘッド部４０を備えている。そのため、本実施形態の液体吐出装置１００Ａは、複数の液室４２を備えており、液室４２ごとに、分岐流入路３０１と分岐流出路５０１と容積変更部４３と第１流路抵抗変更部４４と第２流路抵抗変更部４５とを備えている。各分岐流入路３０１は、流入路３０に接続されており、各分岐流出路５０１は、流出路５０に接続されている。

制御部８０は、各ヘッド部４０の容積変更部４３、第１流路抵抗変更部４４および第２流路抵抗変更部４５に接続され、第１実施形態または第２実施形態と同様に、これらの動作を制御する。制御部８０は、ヘッド部４０ごとにこれらを制御することにより、各ヘッド部４０から個別に液体を吐出することができる。

以上で説明した第３実施形態の液体吐出装置１００Ａによれば、制御部８０によって個別に第１流路抵抗変更部４４を制御できるので、例えば、製造誤差等によって、液室４２ごとに容積のばらつきがあったとしても、各分岐流入路３０１の流路抵抗を個別に調整することによって、各液室４２から吐出される液体の重量やサイズを均一化することができる。例えば、液室４２の容積が他の液室４２よりも小さなヘッド部４０については、充填制御において、第１流路抵抗変更部４４を制御して他のヘッド部４０よりも分岐流入路３０１の流路抵抗を大きくすることによって、液室４２に流入する液体量を低減することにより、ノズル４１から吐出される液体の量を、他のヘッド部４０との間で均一化することが可能である。

なお、図９に示した液体吐出装置１００Ａでは、各ヘッド部４０に対して個別に第２流路抵抗変更部４５が備えられている。これに対して、例えば、第２流路抵抗変更部４５は、分岐流出路５０１が合流した流出路５０に１つ備えられ、その１つの第２流路抵抗変更部４５が複数のヘッド部４０で共用されてもよい。

Ｄ．変形例：
＜変形例１＞
上記実施形態では、容積変更部４３、第１流路抵抗変更部４４および第２流路抵抗変更部４５を、ピストンと積層型のピエゾアクチュエーターによって構成している。これに対して、これらは、振動板や弾性ゴムなどの弾性体と屈曲型のピエゾアクチュエーターとを組み合わせて構成してもよい。

＜変形例２＞
上記実施形態では、容積変更部４３、第１流路抵抗変更部４４および第２流路抵抗変更部４５を、ピエゾアクチュエーターによって構成している。しかし、これらは、ピエゾアクチュエーターに限らず、エアシリンダーやソレノイド、磁歪材料などの他のアクチュエーターによって構成してもよい。

＜変形例３＞
本発明は、インクを吐出する液体吐出装置に限らず、インク以外の他の液体を吐出する任意の液体吐出装置にも適用することができる。例えば、以下のような各種の液体吐出装置に本発明は適用可能である。
（１）ファクシミリ装置等の画像記録装置。
（２）液晶ディスプレイ等の画像表示装置用のカラーフィルターの製造に用いられる色材吐出装置。
（３）有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイや、面発光ディスプレイ（Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｄｉｓｐｌａｙ、ＦＥＤ）等の電極形成に用いられる電極材吐出装置。
（４）バイオチップ製造に用いられる生体有機物を含む液体を吐出する液体吐出装置。
（５）精密ピペットとしての試料吐出装置。
（６）潤滑油の吐出装置。
（７）樹脂液の吐出装置。
（８）時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を吐出する液体吐出装置。
（９）光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂液等の透明樹脂液を基板上に吐出する液体吐出装置。
（１０）基板などをエッチングするために酸性又はアルカリ性のエッチング液を吐出する液体吐出装置。
（１１）他の任意の微小量の液滴を吐出させる液体吐出ヘッドを備える液体吐出装置。

なお、「液滴」とは、液体吐出装置から吐出される液体の状態をいい、粒状、涙状、糸状に尾を引くものも含むものとする。また、ここでいう「液体」とは、液体吐出装置が消費できるような材料であればよい。例えば、「液体」は、物質が液相であるときの状態の材料であれば良く、粘性の高い又は低い液状態の材料、及び、ゾル、ゲル水、その他の無機溶剤、有機溶剤、溶液、液状樹脂、液状金属（金属融液）のような液状態の材料も「液体」に含まれる。また、物質の一状態としての液体のみならず、顔料や金属粒子などの固形物からなる機能材料の粒子が溶媒に溶解、分散または混合されたものなども「液体」に含まれる。液体の代表的な例としてはインクや液晶等が挙げられる。ここで、インクとは一般的な水性インクおよび油性インク並びにジェルインク、ホットメルトインク等の各種の液体状組成物を包含するものとする。

本発明は、上述の実施形態や変形例に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態や変形例の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。

１０…タンク、２０…加圧ポンプ、３０…流入路、４０…ヘッド部、４１…ノズル、４２…液室、４３…容積変更部、４４…第１流路抵抗変更部、４５…第２流路抵抗変更部、５０…流出路、６０…液体貯留部、７０…負圧発生源、８０…制御部、９０…循環路、１００…液体吐出装置、１００Ａ…液体吐出装置、３０１…分岐流入路、５０１…分岐流出路

Claims (3)

1. 液体吐出装置であって、
   液体を吐出するためのノズルに連通する液室と、
   前記液室の容積を変更するための容積変更部と、
   前記液室に接続され、前記液室に前記液体を流入させる流入路と、
   前記液室に接続され、前記液室から前記液体を流出させる流出路と、
   前記流入路の流路抵抗を変更するための第１流路抵抗変更部と、
   前記流出路の流路抵抗を変更するための第２流路抵抗変更部と、
   前記容積変更部と前記第１流路抵抗変更部と前記第２流路抵抗変更部とを制御する制御部と、を備え、
   前記制御部は、
   前記第２流路抵抗変更部を制御して前記流出路の流路抵抗を前記流入路の流路抵抗よりも大きくするのと同時に前記容積変更部を制御して前記液室の容積を大きくする充填制御を行うことによって、前記液室に前記液体を充填し、
   前記充填制御を実行した後、前記流出路の流路抵抗を大きくしたまま、前記第１流路抵抗変更部を制御して前記流入路の流路抵抗を大きくし、前記容積変更部を制御して前記液室の容積を小さくする吐出制御を行うことによって、前記ノズルから前記液体を吐出させる、
   液体吐出装置。
2. 請求項１に記載の液体吐出装置であって、
   前記制御部は、前記充填制御を実行する前に、前記第１流路抵抗変更部を制御して前記流入路から前記液室に前記液体を流通させつつ前記流入路の流路抵抗を前記流出路の流路抵抗よりも大きくする待機制御を行うことによって、前記液室内の前記液体の圧力を、前記ノズル内の前記液体のメニスカスが耐え得る圧力以下にする、
   液体吐出装置。
3. 液体を吐出するためのノズルに連通する液室と、
   前記液室の容積を変更するための容積変更部と、
   前記液室に接続され、前記液室に前記液体を流入させる流入路と、
   前記液室に接続され、前記液室から前記液体を流出させる流出路と、
   前記流入路の流路抵抗を変更するための第１流路抵抗変更部と、
   前記流出路の流路抵抗を変更するための第２流路抵抗変更部と、
   を備える液体吐出装置によって実行される液体吐出方法であって、
   前記第２流路抵抗変更部を制御して前記流出路の流路抵抗を前記流入路の流路抵抗よりも大きくするのと同時に前記容積変更部を制御して前記液室の容積を大きくする充填制御を行うことによって、前記液室に前記液体を充填し、
   前記充填制御を実行した後、前記流出路の流路抵抗を大きくしたまま、前記第１流路抵抗変更部を制御して前記流入路の流路抵抗を大きくし、前記容積変更部を制御して前記液室の容積を小さくする吐出制御を行うことによって、前記ノズルから前記液体を吐出させる、
   液体吐出方法。

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