JP6933448B2 - 基板洗浄装置 - Google Patents
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Description
洗浄液を供給する供給部と、
前記供給部から供給された洗浄液を基板に供給する供給体と、
前記供給体内に設けられ、前記供給部から供給される洗浄液に超音波振動を与える振動部と、
を備え、
前記供給体が、前記振動部に対応する振動対応位置を通過した後の前記洗浄液が流れ込む膨張部を有する。
前記供給体は、前記基板へ洗浄液を吐出させるための流出口と、前記流出口へと前記洗浄液を案内する案内部と、前記供給部から供給された洗浄液を前記案内部内に流入させる流入口と、を有し、
前記膨張部が、少なくとも前記流入口と対向する反対側の面において膨張してもよい。
前記供給体は、前記基板へ洗浄液を吐出させるための流出口と、前記流出口へと前記洗浄液を案内する案内部と、前記供給部から供給された洗浄液を前記案内部内に流入させる流入口と、を有し、
前記流入口側の面が膨張していなくてもよい。
洗浄液を供給する供給部と、
前記供給部から供給された洗浄液を基板に供給する供給体と、
前記供給体内に設けられ、前記供給部から供給される洗浄液に超音波振動を与える振動部と、
前記振動部に対応する振動対応位置を通過した後の洗浄液が流れ込む案内管と、を備える。
前記案内管を通過した洗浄液が回収される吐出液回収部をさらに備えてもよい。
前記供給体を支持するとともに、基部側を中心に揺動可能となる第一延在部をさらに備え、
前記案内管の少なくとも一部が、前記第一延在部内で延在してもよい。
前記基板に前記洗浄液を供給するのに先立ち、前記供給部から前記洗浄液を供給させる制御部をさらに備えてもよい。
前記制御部は、前記供給部から前記洗浄液が供給されてから第一時間経過後に前記振動部の振動を開始させてもよい。
前記供給体は、前記洗浄液を流出するための流出口を有し、
前記流出口を前記基板と反対側の方向に向ける方向変更部をさらに備えてもよい。
前記供給体は、前記基板へ洗浄液を吐出させるための流出口と、前記流出口へと前記洗浄液を案内する案内部と、前記供給部から供給された洗浄液を前記案内部内に流入させる流入口と、を有し、
前記案内部は導電性樹脂材料からなるとともにアースに接続されてもよい。
《構成》
以下、本発明に係る基板洗浄装置を有する基板処理装置の第1の実施の形態について、図面を参照して説明する。ここで、図1乃至図10及び図19(a)は本発明の実施の形態を説明するための図である。
次に、上述した構成からなる本実施の形態による作用・効果であって、未だ説明していないものを中心に説明する。
振動部20は、第一周波数及び第一周波数よりも低い第二周波数で振動して、洗浄液に超音波振動を与える態様となってもよい。また、3つ以上の周波数で洗浄液に超音波振動を与える態様となってもよい。
次に、図11乃至図18及び図19(b)を用いて、本発明の第2の実施の形態について説明する。
20 振動部
20a 第一振動部
20b 第二振動部
30 供給体
32 案内部
33 流入口
34 流出口
35 膨張部
39 案内管
41 第一延在部
50 制御部
55 方向変更部
75 吐出液回収部
W 基板
Claims (16)
- 洗浄液を供給する供給部と、
前記供給部から供給された洗浄液を基板に供給する供給体と、
前記供給体内に設けられ、前記供給部から供給される洗浄液に超音波振動を与える振動部と、
を備え、
前記供給体は、洗浄液が通過する際に洗浄液に超音波振動を与える前記振動部に対向する振動対応位置を通過した後の前記洗浄液が流れ込む膨張部を含む案内部を有し、
前記洗浄液の存在下で基板表面をスクラブ洗浄する洗浄部材とともに前記供給体が洗浄液を基板に供給する際に、基板上の除去すべき不純物の大きさに対応させて、前記振動部が、第一周波数の超音波振動及び該第一周波数の超音波振動より小さい第二周波数の超音波振動を前記振動対応位置で前記洗浄液に選択的に与えるように構成されたことを特徴とする基板洗浄装置。 - 前記供給体は、前記基板へ洗浄液を吐出させるための流出口と、前記流出口へと前記洗浄液を案内する案内部と、前記供給部から供給された洗浄液を前記案内部内に流入させる流入口と、を有し、
前記膨張部は、少なくとも前記流入口と対向する反対側の面において膨張していることを特徴とする請求項1に記載の基板洗浄装置。 - 前記供給体は、前記基板へ洗浄液を吐出させるための流出口と、前記流出口へと前記洗浄液を案内する案内部と、前記供給部から供給された洗浄液を前記案内部内に流入させる流入口と、を有し、
前記流入口側の面が膨張していないことを特徴とする請求項1又は2のいずれかに記載の基板洗浄装置。 - 洗浄液を供給する供給部と、
前記供給部から供給された洗浄液を基板に供給する供給体と、
前記供給体内に設けられ、前記供給部から供給される洗浄液に超音波振動を与える振動部と、
前記振動部に対応する振動対応位置を通過した後の洗浄液が流れ込む案内管と、
を備え、
前記洗浄液の存在下で基板表面をスクラブ洗浄する洗浄部材とともに前記供給体が洗浄液を基板に供給する際に、基板上の除去すべき不純物の大きさに対応させて、前記振動部が、第一周波数の超音波振動及び該第一周波数の超音波振動より小さい第二周波数の超音波振動を前記振動対応位置で前記洗浄液に選択的に与えるように構成されたことを特徴とする基板洗浄装置。 - 前記案内管を通過した洗浄液が回収される吐出液回収部をさらに備えたことを特徴とする請求項4に記載の基板洗浄装置。
- 洗浄液を供給する供給部と、
前記供給部から供給された洗浄液を基板に供給する供給体と、
前記供給体内に設けられ、前記供給部から供給される洗浄液に超音波振動を与える振動部と、
前記振動部に対応する振動対応位置を通過した後の洗浄液が流れ込む案内管と、
前記供給体を支持するとともに、基部側を中心に揺動可能となる第一延在部と、
を備え、
前記案内管の少なくとも一部は、前記第一延在部内で延在することを特徴とする基板洗浄装置。 - 洗浄液を供給する供給部と、
前記供給部から供給された洗浄液を基板に供給する供給体と、
前記供給体内に設けられ、前記供給部から供給される洗浄液に超音波振動を与える振動部と、
を備え、
前記洗浄液の存在下で基板表面をスクラブ洗浄する洗浄部材とともに前記供給体が洗浄液を基板に供給する際に、基板上の除去すべき不純物の大きさに対応させて、前記振動部が、第一周波数の超音波振動及び該第一周波数の超音波振動より小さい第二周波数の超音波振動を振動対応位置で前記洗浄液に選択的に与えるように構成されたことを特徴とする基板洗浄装置。 - 前記基板に前記洗浄液を供給するのに先立ち、前記供給部から前記洗浄液を供給させる制御部をさらに備えたことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の基板洗浄装置。
- 前記供給部から前記洗浄液が供給されてから第一時間経過後に前記振動部の振動を開始させる制御部をさらに備えたことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の基板洗浄装置。
- 前記供給体は、前記洗浄液を流出するための流出口を有し、
前記流出口を前記基板と反対側の方向に向ける方向変更部をさらに備えたことを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の基板洗浄装置。 - 前記供給体は、前記基板へ洗浄液を吐出させるための流出口と、前記流出口へと前記洗浄液を案内する案内部と、前記供給部から供給された洗浄液を前記案内部内に流入させる流入口と、を有し、
前記案内部は導電性樹脂材料からなるとともにアースに接続されていることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の基板洗浄装置。 - 前記振動部は、第1振動部と第2振動部を有していることを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載の基板洗浄装置。
- 第一周波数の超音波洗浄液を用いて基板を洗浄し、その後、洗浄部材が基板をスクラブ洗浄し、その後、第一周波数より高い第二周波数の超音波洗浄液を用いて基板を洗浄するように装置を制御する制御部をさらに備えることを特徴とする請求項6に記載の基板洗浄装置。
- 洗浄液を供給する供給部と、
前記供給部から供給された洗浄液を基板に供給する供給体と、
前記供給体内に設けられ、前記供給部から供給される洗浄液に超音波振動を与える振動部と、
を備え、
前記供給体は、前記振動部に対応する振動対応位置を通過した後の前記洗浄液が流れ込む膨張部を有し、
前記洗浄液の存在下で基板表面をスクラブ洗浄する洗浄部材とともに前記供給体が洗浄液を基板に供給する際に、前記振動部が、第一周波数の超音波振動及び該第一周波数の超音波振動と異なる第二周波数の超音波振動を前記洗浄液に与えるように構成され、
前記第一周波数の超音波洗浄液を用いて基板を洗浄し、その後、前記洗浄部材が基板をスクラブ洗浄し、その後、第一周波数より高い前記第二周波数の超音波洗浄液を用いて基板を洗浄するように装置を制御する制御部をさらに備えたことを特徴とする基板洗浄装置。 - 洗浄液を供給する供給部と、
前記供給部から供給された洗浄液を基板に供給する供給体と、
前記供給体内に設けられ、前記供給部から供給される洗浄液に超音波振動を与える振動部と、
前記振動部に対応する振動対応位置を通過した後の洗浄液が流れ込む案内管と、
を備え、
前記洗浄液の存在下で基板表面をスクラブ洗浄する洗浄部材とともに前記供給体が洗浄液を基板に供給する際に、前記振動部が、第一周波数の超音波振動及び該第一周波数の超音波振動と異なる第二周波数の超音波振動を前記洗浄液に与えるように構成され、
前記第一周波数の超音波洗浄液を用いて基板を洗浄し、その後、前記洗浄部材が基板をスクラブ洗浄し、その後、第一周波数より高い前記第二周波数の超音波洗浄液を用いて基板を洗浄するように装置を制御する制御部をさらに備えたことを特徴とする基板洗浄装置。 - 洗浄液を供給する供給部と、
前記供給部から供給された洗浄液を基板に供給する供給体と、
前記供給体内に設けられ、前記供給部から供給される洗浄液に超音波振動を与える振動部と、
を備え、
前記洗浄液の存在下で基板表面をスクラブ洗浄する洗浄部材とともに前記供給体が洗浄液を基板に供給する際に、前記振動部が、第一周波数の超音波振動及び該第一周波数の超音波振動と異なる第二周波数の超音波振動を前記洗浄液に与えるように構成され、
前記第一周波数の超音波洗浄液を用いて基板を洗浄し、その後、前記洗浄部材が基板をスクラブ洗浄し、その後、第一周波数より高い前記第二周波数の超音波洗浄液を用いて基板を洗浄するように装置を制御する制御部をさらに備えたことを特徴とする基板洗浄装置。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016086291A JP6933448B2 (ja) | 2016-04-22 | 2016-04-22 | 基板洗浄装置 |
US16/082,902 US11676827B2 (en) | 2016-03-08 | 2017-02-28 | Substrate cleaning apparatus, substrate cleaning method, substrate processing apparatus, and substrate drying apparatus |
PCT/JP2017/007836 WO2017154673A1 (ja) | 2016-03-08 | 2017-02-28 | 基板洗浄装置、基板洗浄方法、基板処理装置および基板乾燥装置 |
KR1020187028454A KR102635712B1 (ko) | 2016-03-08 | 2017-02-28 | 기판 세정 장치, 기판 세정 방법, 기판 처리 장치 및 기판 건조 장치 |
CN201780016142.9A CN108780746B (zh) | 2016-03-08 | 2017-02-28 | 基板清洗装置、基板清洗方法、基板处理装置以及基板干燥装置 |
TW106106987A TWI724115B (zh) | 2016-03-08 | 2017-03-03 | 基板洗淨裝置、基板洗淨方法、基板處理裝置及基板乾燥裝置 |
TW110108027A TWI823063B (zh) | 2016-03-08 | 2017-03-03 | 基板洗淨裝置、基板洗淨方法及基板處理裝置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016086291A JP6933448B2 (ja) | 2016-04-22 | 2016-04-22 | 基板洗浄装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017195335A JP2017195335A (ja) | 2017-10-26 |
JP6933448B2 true JP6933448B2 (ja) | 2021-09-08 |
Family
ID=60155609
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016086291A Active JP6933448B2 (ja) | 2016-03-08 | 2016-04-22 | 基板洗浄装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6933448B2 (ja) |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5660677A (en) * | 1979-10-23 | 1981-05-25 | Nishihara Env San Res Co Ltd | Ultrasonic washer |
JP2549735B2 (ja) * | 1989-07-14 | 1996-10-30 | 株式会社東芝 | 流液式超音波洗浄装置 |
JP3155652B2 (ja) * | 1993-09-16 | 2001-04-16 | 東京応化工業株式会社 | 基板洗浄装置 |
JPH08117711A (ja) * | 1994-10-21 | 1996-05-14 | Mk Seiko Co Ltd | 洗浄装置 |
JP4989370B2 (ja) * | 2006-10-13 | 2012-08-01 | 大日本スクリーン製造株式会社 | ノズルおよびそれを備える基板処理装置 |
-
2016
- 2016-04-22 JP JP2016086291A patent/JP6933448B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017195335A (ja) | 2017-10-26 |
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A521 | Written amendment |
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A521 | Written amendment |
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