JP2018182116A - 基板洗浄装置及び基板洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】金属層を有する基板を洗浄する場合であって、異なる種類の洗浄液を用いるときであっても、金属層にダメージが入ってしまう可能性を低減する。
【解決手段】基板洗浄装置は、金属層90を有する基板Wを洗浄する基板洗浄装置であって、薬液を供給する薬液供給部60と、リンス液を供給するリンス液供給部70と、前記薬液中の前記金属層90の電極電位と前記リンス液中の前記金属層90の電極電位との間の電極電位を前記金属層90に発生させる中間液を供給する中間液供給部75と、前記薬液を前記基板Wに供給し、その後で前記中間液を前記基板Wに供給し、その後で前記リンス液を前記基板Wに供給させる制御部50と、を有する。
【選択図】 図7
【解決手段】基板洗浄装置は、金属層90を有する基板Wを洗浄する基板洗浄装置であって、薬液を供給する薬液供給部60と、リンス液を供給するリンス液供給部70と、前記薬液中の前記金属層90の電極電位と前記リンス液中の前記金属層90の電極電位との間の電極電位を前記金属層90に発生させる中間液を供給する中間液供給部75と、前記薬液を前記基板Wに供給し、その後で前記中間液を前記基板Wに供給し、その後で前記リンス液を前記基板Wに供給させる制御部50と、を有する。
【選択図】 図7
Description
本発明は、表面に金属層を有する基板を洗浄する基板洗浄装置及び基板洗浄方法に関する。
従来から、半導体ウェハ等の基板の表面を洗浄する基板洗浄装置が知られている。一例としては、基板を保持する保持部と、保持部によって保持された基板を回転させる回転機構とを有した基板洗浄装置が知られている。このような基板洗浄装置では、基板に対して複数種の薬液やリンス液を提供することが提案されている(特許文献1)。
また、表面に銅等の金属層を有する基板を洗浄することも従来から知られている。このような基板を洗浄する場合に異なる種類の洗浄液を用いる場合(典型的には薬液で洗浄した後でリンス液で洗浄する場合)、金属層に発生する電極電位が洗浄液毎に異なる結果、疑似的な電池が形成される(図19参照)。このような疑似的な電池が形成されると、金属層にダメージが入ってしまう(ガルバニック腐食等が発生する)可能性がある。
本発明は、このような点を鑑みてなされたものであり、金属層を有する基板を洗浄する場合であって、異なる種類の洗浄液、とりわけ薬液とリンス液を用いるときであっても、金属層にダメージが入ってしまう可能性を低減できる基板洗浄装置及び基板洗浄方法を提供する。
本発明の一態様による基板洗浄装置は、
表面に金属層を有する基板を洗浄する基板洗浄装置であって、
薬液を供給する薬液供給部と、
リンス液を供給するリンス液供給部と、
前記薬液中の金属層の電極電位と前記リンス液中の金属層の電極電位との間の電極電位を前記金属層に発生させる中間液を供給する中間液供給部と、
前記薬液、前記リンス液及び前記中間液を前記基板に供給する供給体と、
前記供給体によって、前記薬液を前記基板に供給し、その後で前記中間液を前記基板に供給し、その後で前記リンス液を前記基板に供給するように制御する制御部と、
を備えてもよい。
表面に金属層を有する基板を洗浄する基板洗浄装置であって、
薬液を供給する薬液供給部と、
リンス液を供給するリンス液供給部と、
前記薬液中の金属層の電極電位と前記リンス液中の金属層の電極電位との間の電極電位を前記金属層に発生させる中間液を供給する中間液供給部と、
前記薬液、前記リンス液及び前記中間液を前記基板に供給する供給体と、
前記供給体によって、前記薬液を前記基板に供給し、その後で前記中間液を前記基板に供給し、その後で前記リンス液を前記基板に供給するように制御する制御部と、
を備えてもよい。
本発明の一態様による基板洗浄装置において、
前記中間液は前記薬液及び前記リンス液を混合した混合液であってもよい。
前記中間液は前記薬液及び前記リンス液を混合した混合液であってもよい。
本発明の一態様による基板洗浄装置は、
前記薬液供給部から供給された前記薬液と前記リンス液供給部から供給された前記リンス液を混合して前記混合液を生成するための混合部を備えてもよい。
前記薬液供給部から供給された前記薬液と前記リンス液供給部から供給された前記リンス液を混合して前記混合液を生成するための混合部を備えてもよい。
本発明の一態様による基板洗浄装置において、
前記混合部は、前記薬液及び前記リンス液を貯留しながら混合して前記混合液を生成するための混合槽であってもよい。
前記混合部は、前記薬液及び前記リンス液を貯留しながら混合して前記混合液を生成するための混合槽であってもよい。
本発明の一態様による基板洗浄装置において、
前記混合槽の下方部に前記薬液供給部から前記薬液が供給され、前記混合槽の下方部に前記リンス液供給部から前記リンス液が供給され、前記薬液及び前記リンス液を混合した前記混合液が前記混合槽の上方部から前記供給体に供給されてもよい。
前記混合槽の下方部に前記薬液供給部から前記薬液が供給され、前記混合槽の下方部に前記リンス液供給部から前記リンス液が供給され、前記薬液及び前記リンス液を混合した前記混合液が前記混合槽の上方部から前記供給体に供給されてもよい。
本発明の一態様による基板洗浄装置において、
前記混合部は、流れる前記薬液及び前記リンス液を混合するための混合管であってもよい。
前記混合部は、流れる前記薬液及び前記リンス液を混合するための混合管であってもよい。
本発明の一態様による基板洗浄装置において、
前記混合管は、流れる前記薬液と前記リンス液を混合するためのスクリュー混合部を有してもよい。
前記混合管は、流れる前記薬液と前記リンス液を混合するためのスクリュー混合部を有してもよい。
本発明の一態様による基板洗浄装置において、
前記供給体は、前記薬液を供給するための薬液供給部材と、前記リンス液を供給するためのリンス液供給部材と、前記混合液を供給するための混合液供給部材と、を有してもよい。
前記供給体は、前記薬液を供給するための薬液供給部材と、前記リンス液を供給するためのリンス液供給部材と、前記混合液を供給するための混合液供給部材と、を有してもよい。
本発明の一態様による基板洗浄装置において、
前記制御部は、前記リンス液供給部から供給される前記リンス液の量を連続的に増加させ、かつ、前記薬液供給部から供給される前記薬液の量を連続的に減少させることで前記混合液を生成する、又は、前記リンス液供給部から供給される前記リンス液の量を断続的に増加させ、かつ、前記薬液供給部から供給される前記薬液の量を断続的に減少させることで前記混合液を生成してもよい。
前記制御部は、前記リンス液供給部から供給される前記リンス液の量を連続的に増加させ、かつ、前記薬液供給部から供給される前記薬液の量を連続的に減少させることで前記混合液を生成する、又は、前記リンス液供給部から供給される前記リンス液の量を断続的に増加させ、かつ、前記薬液供給部から供給される前記薬液の量を断続的に減少させることで前記混合液を生成してもよい。
本発明の一態様による基板洗浄装置において、
前記制御部は、前記リンス液供給部から供給される前記リンス液の単位時間当たりの量及び前記薬液供給部から供給される前記薬液の単位時間当たりの量と比較して、供給される前記薬液と前記中間液の総量又は前記リンス液と前記中間液の総量の単位時間当たりの量が多くなる時間帯があるように制御してもよい。
前記制御部は、前記リンス液供給部から供給される前記リンス液の単位時間当たりの量及び前記薬液供給部から供給される前記薬液の単位時間当たりの量と比較して、供給される前記薬液と前記中間液の総量又は前記リンス液と前記中間液の総量の単位時間当たりの量が多くなる時間帯があるように制御してもよい。
本発明の一態様による基板洗浄方法において、
表面に金属層を有する基板を洗浄する基板洗浄方法であって、
薬液を前記基板に供給することと、
リンス液を前記基板に供給することと、
前記薬液中の金属層の電極電位と前記リンス液中の金属層の電極電位との間の電極電位を前記金属層に発生させる中間液を前記基板に供給することと、
を備え、
前記中間液を前記基板に供給することは、前記薬液を前記基板に供給することと、前記リンス液を前記基板に供給することとの間に行われてもよい。
表面に金属層を有する基板を洗浄する基板洗浄方法であって、
薬液を前記基板に供給することと、
リンス液を前記基板に供給することと、
前記薬液中の金属層の電極電位と前記リンス液中の金属層の電極電位との間の電極電位を前記金属層に発生させる中間液を前記基板に供給することと、
を備え、
前記中間液を前記基板に供給することは、前記薬液を前記基板に供給することと、前記リンス液を前記基板に供給することとの間に行われてもよい。
本発明において、薬液を基板に供給し、その後で中間液を基板に供給し、その後でリンス液を基板に供給する態様を採用した場合には、基板の金属層に発生する電位差の変化を小さくすることができ、その結果、金属層にダメージが入ってしまう等の悪影響が発生することを防止できる。
実施の形態
《構成》
以下、本発明に係る基板洗浄装置を有する基板処理装置の実施の形態について、図面を参照して説明する。
《構成》
以下、本発明に係る基板洗浄装置を有する基板処理装置の実施の形態について、図面を参照して説明する。
図1に示すように、基板処理装置は、略矩形状のハウジング110と、多数の基板Wをストックする基板カセットが載置されるロードポート112と、を有している。ロードポート112は、ハウジング110に隣接して配置されている。ロードポート112には、オープンカセット、SMIF(Standard Mechanical Interface)ポッド、又はFOUP(Front Opening Unified Pod)を搭載することができる。SMIFポッド、FOUPは、内部に基板カセットを収納し、隔壁で覆うことにより、外部空間とは独立した環境を保つことができる密閉容器である。基板Wとしては、例えばおもて面又は裏面に金属層90を有する半導体ウェハ等を挙げることができる(図15参照)。
ハウジング110の内部には、複数(図1に示す態様では4つ)の研磨ユニット114a〜114dと、研磨後の基板Wを洗浄する第1洗浄ユニット116及び第2洗浄ユニット118と、洗浄後の基板Wを乾燥させる乾燥ユニット120とが収容されている。研磨ユニット114a〜114dは、基板処理装置の長手方向に沿って配列され、洗浄ユニット116、118及び乾燥ユニット120も基板処理装置の長手方向に沿って配列されている。本実施の形態の基板処理装置によれば、直径300mm又は450mmの半導体ウェハ、フラットパネル、CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)やCCD(Charge Coupled Device)等のイメージセンサ、MRAM(Magnetoresistive Random Access Memory)における磁性膜の製造工程において、種々の基板Wを、研磨処理することができる。
ロードポート112、ロードポート112側に位置する研磨ユニット114a及び乾燥ユニット120に囲まれた領域には、第1搬送ロボット122が配置されている。また、研磨ユニット114a〜114d並びに洗浄ユニット116、118及び乾燥ユニット120と平行に、搬送ユニット124が配置されている。第1搬送ロボット122は、研磨前の基板Wをロードポート112から受け取って搬送ユニット124に受け渡したり、乾燥ユニット120から取り出された乾燥後の基板Wを搬送ユニット124から受け取ったりする。
第1洗浄ユニット116と第2洗浄ユニット118との間に、これら第1洗浄ユニット116と第2洗浄ユニット118の間で基板Wの受け渡しを行う第2搬送ロボット126が配置され、第2洗浄ユニット118と乾燥ユニット120との間に、これら第2洗浄ユニット118と乾燥ユニット120の間で基板Wの受け渡しを行う第3搬送ロボット128が配置されている。さらに、ハウジング110の内部には、基板処理装置の各機器の動きを制御する制御部50が配置されている。本実施の形態では、ハウジング110の内部に制御部50が配置されている態様を用いて説明するが、これに限られることはなく、ハウジング110の外部に制御部50が配置されてもよい。
第1洗浄ユニット116として、洗浄液の存在下で、基板Wの直径のほぼ全長にわたって直線状に延びるロール洗浄部材を接触させ、基板Wに平行な中心軸周りに自転させながら基板Wの表面をスクラブ洗浄するロール洗浄装置が使用されてもよい。また、第2洗浄ユニット118として、洗浄液の存在下で、鉛直方向に延びる円柱状のペンシル洗浄部材の下端接触面を接触させ、ペンシル洗浄部材を自転させながら一方向に向けて移動させて、基板Wの表面をスクラブ洗浄するペンシル洗浄装置が使用されてもよい。また、乾燥ユニット120として、水平に回転する基板Wに向けて、移動する噴射ノズルからIPA蒸気を噴出して基板Wを乾燥させ、さらに基板Wを高速で回転させて遠心力によって基板Wを乾燥させるスピン乾燥ユニットが使用されてもよい。なお、本実施の形態において「表面」とは、後述する「おもて面」又は「裏面」のいずれかを意味する。
第1洗浄ユニット116としてロール洗浄装置ではなく、第2洗浄ユニット118と同様のペンシル洗浄装置を使用したり、二流体ジェットにより基板Wの表面を洗浄する二流体ジェット洗浄装置を使用したりしてもよい。また、第2洗浄ユニット118としてペンシル洗浄装置ではなく、第1洗浄ユニット116と同様のロール洗浄装置を使用したり、二流体ジェットにより基板Wの表面を洗浄する二流体ジェット洗浄装置を使用したりしてもよい。後述する本実施の形態の基板洗浄装置は、第1洗浄ユニット116にも第2洗浄ユニット118にも適用でき、図2以降の図面では図示していないが、ロール洗浄装置、ペンシル洗浄装置、及び/又は、二流体ジェット洗浄装置とともに用いることもできる。また、本実施の形態で説明する基板洗浄装置は、ロール洗浄装置、ペンシル洗浄装置、二流体ジェット洗浄装置等の洗浄が終了した後の仕上げ洗浄(最終洗浄)に用いられてもよい。
本実施の形態の洗浄液には、超純水等のリンス液と、TMAH(水酸化テトラメチルアンモニウム)、アンモニア過酸化水素(SC1)、塩酸過酸化水素(SC2)、硫酸過酸化水素(SPM)、硫酸加水、フッ酸等の洗浄に用いられる薬液類が含まれている。本実施の形態で特に断りのない限り、洗浄液は、リンス液及び薬液並びに後述する中間液のいずれかを意味している。
図2に示すように、本発明の実施の形態による基板洗浄装置は、枚葉式の基板洗浄装置であってもよく、筐体5(図14参照)と、一つの基板Wを支持(保持)するチャック等の支持部40と、支持部40によって支持された基板Wを回転させる回転部60とを有してもよい。そして、これら支持部40及び回転部60によって基板回転機構が構成されてもよい。図2に示す態様では、支持部40が2つだけ示されているが、上方から見たときに、本実施の形態では4つの支持部40が均等に(回転中心を中心として90°の角度で)配置されてもよい。なお、支持部40の数は、基板Wを安定的に支持できればよく、例えば3つとしてもよい。基板Wを支持する支持部40としては、スピンドル等も用いることができる。このようなスピンドルを用いた場合には、基板Wは回転されつつ支持されることになり、スピンドルが回転部としての機能も果たすことになる。図2では、水平方向で延在するように基板Wを支持した例を示したが、これに限定されず、例えば、縦方向(鉛直方向)で延在するように基板Wを支持する構成としてもよいし、水平方向に対して傾斜する方向で延在するように基板Wを支持する構成としてもよい。
支持部40は、基板Wを保持していない場合には開状態となっており、基板Wを保持する場合には閉状態となってもよい。制御部50からの指令に基づいて支持部40の開閉を制御してもよいし、基板Wを載置する力で(一定以上の力が加わることで)支持部40が閉状態となり、基板Wを取り除く力で(一定以上の力が加わることで)開状態となるようにしてもよい。
本実施の形態の基板洗浄装置は、図15に示すように銅、タングステン、コバルト等からなる金属層90を表面に有する基板Wを洗浄してもよい。金属層90はパターニングされていてもよい。一例として、銅からなる金属層90は回路がパターニングされたものとなってもよい。金属層90は複数の金属から構成されてもよく、例えば、回路等は銅で構成され、その他の部分はタングステン及び/又はコバルトから構成されてもよい。
図6に示すように、基板洗浄装置は、薬液を貯留し、当該薬液を供給する薬液供給部60と、リンス液を貯留し、当該リンス液を供給するリンス液供給部70と、中間液を貯留し、当該中間液を供給する中間液供給部75と、薬液、リンス液及び中間液を基板Wに供給する供給体20と、を有してもよい。なお、後述するように中間液として混合液等を用いる場合には、中間液供給部75が設けられていなくてもよい。中間液は、薬液中の金属層90の電極電位と、リンス液中の金属層90の電極電位との間の電極電位(以下「中間電極電位」ともいう。)を金属層90に発生させてもよい(金属層90に対して有してもよい)。前述した制御部50は、基板洗浄装置に含まれる部分を様々な態様で制御する。この制御部50は、供給体20によって、第一洗浄液を基板Wに供給し、その後で中間液を基板Wに供給し、その後で第二洗浄液を基板Wに供給するように制御を行ってもよい。
本実施の形態では、第一洗浄液として薬液を用い、第二洗浄液としてリンス液を用いて説明し、第一洗浄液供給部として薬液供給部60を用い、第二洗浄液供給部としてリンス液供給部70を用いて説明する。しかしながら、これに限られることはなく、第一洗浄液として第一薬液を用い、第二洗浄液として第一薬液とは異なる第二薬液を用いてもよい。
中間液として、薬液及びリンス液を混合した混合液を用いてもよい。また、このような混合液ではなく、中間電極電位を金属層90に発生させる液体が別途準備され、当該液体が中間液として利用されてもよい。
また、中間液は薬液とリンス液とを混合した混合液であるものの、薬液とリンス液とが供給される過程で混合されるのではなく、予め別途混合されたものであってもよい。一例としては、図7に示すように、中間液供給部75は、三方バルブ等の切替部82を介して薬液供給部60及びリンス液供給部70に連結され、中間液供給部75内で薬液供給部60から供給される薬液とリンス液供給部70から供給されるリンス液とが混合されて混合液が生成されてもよい。この場合には、中間液供給部75が、薬液供給部60から供給された薬液とリンス液供給部70から供給されたリンス液を混合して混合液を生成するための混合部76としても機能することになる。また、この場合には、薬液供給部60から後述する薬液供給部材21aに薬液を供給する薬液管22aと、リンス液供給部70から後述するリンス液供給部材21cにリンス液を供給するリンス液管22cと、中間液供給部75から後述する中間液供給部材21bに混合液を供給する中間液管22bが設けられてもよい。
図8に示すように、供給体20が1つの供給部材21を有し、薬液、リンス液及び混合液は同じ供給部材21によって基板Wに供給されてもよい。
図2に示すように、揺動軸を中心に揺動可能な揺動部26が設けられ、この揺動部26の先端側に供給部材21が設けられてもよい。
図3に示すように、供給体20は、基板Wの第1表面(図3では上面)と第1表面の反対側の第2表面(図3では下面)の両面を洗浄するように構成されてもよい。本実施の形態では、「第1表面」を「おもて面」と呼び、「第2表面」を「裏面」と呼ぶ。供給体20は、基板Wのおもて面だけを洗浄するように構成されてもよいし、基板Wの裏面だけを洗浄するように構成されてもよい。供給体20が基板Wのおもて面を洗浄する場合には、揺動部26は基板Wのおもて面を横切るようにして揺動してもよく、供給体20が基板Wの裏面を洗浄する場合には、揺動部26は裏面を横切るように揺動してもよい。
また、供給体20の1つの供給部材21から薬液、リンス液及び混合液の各々が供給される態様とは異なり、図4及び図5に示すように、供給体20は、薬液を供給するための薬液供給部材21aと、リンス液を供給するためのリンス液供給部材21cと、混合液等からなる中間液を供給するための中間液供給部材21bと、を有してもよい。この場合には、図4に示すように、揺動部26は、薬液揺動部26aと、リンス液揺動部26cと、中間液揺動部26bとを有してもよい。そして、薬液揺動部26aの先端側に薬液供給部材21aが設けられ、リンス液揺動部26cの先端側にリンス液供給部材21cが設けられ、中間液揺動部26bの先端側に中間液供給部材21bが設けられてもよい。また、このような態様とは異なり、図5に示すように、一つの揺動部26の先端側に、薬液供給部材21a、リンス液供給部材21c及び中間液供給部材21bが設けられてもよい。
図14に示すように、揺動部26は設けられず、固定された位置にある供給部材21(薬液供給部材21a、リンス液供給部材21c及び中間液供給部材21b)から薬液、リンス液及び混合液が基板Wに対して供給されてもよい。
混合部76は、薬液及びリンス液を貯留しながら混合して混合液を生成するための混合槽77であってもよい。一例としては、図9に示すように、混合槽77の下方部に薬液供給部60から薬液が供給され、混合槽77の下方部にリンス液供給部70からリンス液が供給されてもよい。そして、薬液及びリンス液を混合した混合液が混合槽77の上方部から供給部材21に供給されてもよい。ここで下方部とは高さ方向で三等分したときの最も下方に位置する箇所を意味し、上方部とは高さ方向で三等分したときの最も上方に位置する箇所を意味する。混合槽に薬液及び/又はリンス液が供給される箇所が下方部に位置せず、中央部に位置してもよい。但し、より確実に混合するという観点からは、薬液及びリンス液が供給される箇所は混合槽の下方部に位置することが有益である。
また、薬液供給部60と混合槽77との連結箇所と、リンス液供給部70と混合槽77との連結箇所とは、平面図において(図9の上方から見た場合に)点対称に配置されてもよい。このような態様を採用した場合には、混合槽77内における薬液とリンス液の混合を促すことができる点で有益である。
また、図10に示すように、混合槽77にミキシング部81が設けられ、薬液とリンス液とがミキシング部81によって混合されてもよい。ミキシング部81は、図10に示すように混合槽77の底面に設けられてもよい。ミキシング部81の回転数は制御部50で適宜調整されてもよい。このようなミキシング部81を設けることで、薬液とリンス液との混合をより確実に行うことができる。
また、薬液供給部60と混合槽77との連結箇所と、リンス液供給部70と混合槽77との連結箇所とが平面図において点対称に配置されている場合には、当該点対称の中心位置にミキシング部81が配置されてもよい。このような位置にミキシング部81を配置することで、さらにより確実に薬液とリンス液を混合させることを期待できる。
図11に示すように、混合部76は流れる薬液及びリンス液を混合するための混合管78であってもよい。混合を促進するために、混合管78の直径は、薬液管22a及びリンス液管22cの直径よりも大きくなっていてもよい。また、混合管78の下流側に中間液管22bが設けられてもよく、この場合には混合管78の直径は中間液管22bの直径よりも大きくなっていてもよい。
混合管78は、図12に示すように、流れる薬液とリンス液を混合するためのスクリュー混合部78aを有してもよい。スクリュー混合部78aの内面は、例えば渦巻き形状となっており、薬液とリンス液とが渦を巻いて混ざるような構成となってもよい。スクリュー混合部78aは長手方向における混合管78の中央部を含むようにして設けられてもよい。スクリュー混合部78aは混合管78の全体の長さのうちの70%以上を占めるようにして設けられてもよい。このように長い距離でスクリュー混合部78aを設けることで、薬液とリンス液との混合をより確実なものにすることを期待できる。
また、図8、図13及び図22に示すように、薬液、リンス液及び中間液を供給する供給部材21が一つだけ用いられてもよい。この場合には、図8、図13及び図22に示すように、薬液、リンス液及び中間液は先端側では同じ管を通過してもよい。つまり、薬液管22a、リンス液管22c及び混合管78が先端側で同じ管に連結されてもよい。また、図8に示す態様とは異なり、図20に示すように、薬液管22a及びリンス液管22cは混合部76までしか設けられていなくてもよい。同様に、図21及び図23に示すように、薬液管22a及びリンス液管22cは混合管78までしか設けられていなくてもよい。なお、図20、図21及び図23で示されている切替部82は開閉弁となっている。
図18に示すように、混合管78は混合するための距離を設けるために迂回する迂回路を有してもよい。一例としては、混合管78は、第一方向(例えば先端側)に向かう第一管78aと、第一管78aの先端に設けられて第一方向と反対側(例えば基端側)の方向である第二方向に向かう第二管78bと、第二管78bの先端に設けられて第一方向に向かう第三管78cとを有し、第三管78cの先端に供給体20が設けられてもよい。このような混合管78は揺動部26内に設けられてもよい。このように混合管78の距離を長く設けた場合には、薬液とリンス液との混合をより確実に行うことができる点で有益である。
リンス液供給部70から供給されるリンス液の量を連続的に増加させ、かつ、薬液供給部60から供給される薬液の量を連続的に減少させることで混合液を生成してもよい(図16参照)。また、リンス液供給部70から供給されるリンス液の量を断続的に増加させ、かつ、薬液供給部60から供給される薬液の量を断続的に減少させることで混合液を生成してもよい(図17参照)。また、このような態様に限られることはなく、リンス液供給部70から供給されるリンス液の量を連続的に増加させ、かつ、薬液供給部60から供給される薬液の量を断続的に減少させることで混合液を生成してもよい。また、リンス液供給部70から供給されるリンス液の量を断続的に増加させ、かつ、薬液供給部60から供給される薬液の量を連続的に減少させることで混合液を生成してもよい。このような混合液の生成は制御部50によって制御されてもよい。増加するリンス液の量と減少する薬液の量とが実質的に合致し、混合液の量が実質的に一定になるようにしてもよい(図16及び図17参照)。ここで「実質的に一定になる」とは、各時間におけるリンス液、薬液及び混合液の総量(すなわち洗浄液の総量)が±5%の範囲内で変化することを意味している。
制御部50は、リンス液供給部70から供給されるリンス液の単位時間当たりの量及び薬液供給部60から供給される薬液の単位時間当たりの量と比較して、供給される薬液と中間液の総量又はリンス液と中間液の総量の単位時間当たりの量が多くなる時間帯があるように制御してもよい。中間液として混合液を採用する場合には、「薬液と中間液の総量」及び「リンス液と中間液の総量」の各々は「混合液の総量」を意味することになる。
図14に示すように、支持部40に連結され、支持部40で支持された基板Wとともに回転する回転カップ45が設けられてもよい。
回転カップ45の周縁外方には、固定カップ46が設けられてもよい。このような固定カップ46を採用することで、回転カップ45によって生じる気流の乱れを抑制できる点では有益である。
回転カップ45には、回転カップ45で受けた洗浄液を排出するための1つ又は複数の図示しない排出部が設けられてもよい。排出部から排出された洗浄液は、ドレインに導かれ、排液処理がされてもよい。複数の排出部を設ける場合には、円周方向において均等に排出部を設けてもよい。また、図14に示すように、固定カップ46と回転カップ45との間には、間隙が設けられており、固定カップ46で受けた洗浄液は、固定カップ46の内壁を伝ってドレインに導かれ、排液処理がされてもよい。
《方法》
本実施の形態の基板洗浄装置を用いた基板Wの洗浄方法(基板洗浄方法)の一例は、以下のようになる。なお、上記と重複することになるので簡単に説明するに留めるが、上記「構成」で述べた全ての態様を「方法」において適用することができる。また、逆に、「方法」において述べた全ての態様を「構成」において適用することができる。また、本実施の形態の方法を実施させるためのプログラムは記録媒体に記録されてもよく、この記録媒体をコンピュータ(図示せず)で読み取ることで、本実施の形態の方法が基板処理装置で実施されてもよい。
本実施の形態の基板洗浄装置を用いた基板Wの洗浄方法(基板洗浄方法)の一例は、以下のようになる。なお、上記と重複することになるので簡単に説明するに留めるが、上記「構成」で述べた全ての態様を「方法」において適用することができる。また、逆に、「方法」において述べた全ての態様を「構成」において適用することができる。また、本実施の形態の方法を実施させるためのプログラムは記録媒体に記録されてもよく、この記録媒体をコンピュータ(図示せず)で読み取ることで、本実施の形態の方法が基板処理装置で実施されてもよい。
まず、基板Wがチャック等の支持部40によって支持(保持)される。
次に、薬液供給部60から供給体20を介して基板Wの金属層90に対して薬液が供給される。
次に、供給体20を介して基板Wの金属層90に対して中間液が供給される。この中間液は薬液及びリンス液を混合した混合液であってもよいし、別途準備されたものであってもよい。
中間液として混合液を採用する場合には、混合槽77で薬液とリンス液とが混合されて混合液が生成されもよい(図9及び図10参照)。また、混合管78を薬液とリンス液とが流れている間に混合液が生成されてもよい(図11乃至図13参照)。
中間液として混合液を採用する場合には、リンス液供給部70から供給されるリンス液の量を増加させ、かつ、薬液供給部60から供給される薬液の量を減少させることで混合液を生成してもよい(図16及び図17参照)。また、増加するリンス液の量と減少する薬液の量とが実質的に合致してもよい。
また、このような態様とは異なり、リンス液供給部70から供給されるリンス液の単位時間当たりの量及び薬液供給部60から供給される薬液の単位時間当たりの量と比較して、供給される薬液と中間液の総量又はリンス液と中間液の総量の単位時間当たりの量が多くなる時間帯があってもよい。
なお、供給体20を介して基板Wの金属層90に対して中間液が供給される時間は、例えば数秒程度(3〜5秒)であってもよい。そして、この中間液が供給される時間の間の少なくとも最初又は全てにわたって、リンス液供給部70から供給されるリンス液の単位時間当たりの量及び薬液供給部60から供給される薬液の単位時間当たりの量と比較して、供給される薬液と中間液の総量又はリンス液と中間液の総量の単位時間当たりの量が多くなってもよい。
リンス液供給部70から供給されるリンス液の単位時間当たりの量と薬液供給部60から供給される薬液の単位時間当たりの量とは同じ量であってもよいが、同じ量でなくてもよい。リンス液の単位時間当たりの量が薬液の単位時間当たりの量よりもかなり大きくなることもあるし、逆に、薬液の単位時間当たりの量がリンス液の単位時間当たりの量よりもかなり大きくなることもある。
供給体20を介して基板Wの金属層90に対して中間液を供給した後で、供給体20を介して基板Wの金属層90に対してリンス液が供給される。
リンス液の供給が終了すると、支持部40で支持された基板Wが比較的早い速度で回転されることで乾燥されてもよい。
《作用・効果》
次に、上述した構成からなる本実施の形態による作用・効果であって、未だ説明していないものを中心に説明する。「構成」で記載されていない場合であっても、「作用・効果」で説明するあらゆる構成を本件発明において採用することができる。
次に、上述した構成からなる本実施の形態による作用・効果であって、未だ説明していないものを中心に説明する。「構成」で記載されていない場合であっても、「作用・効果」で説明するあらゆる構成を本件発明において採用することができる。
本実施の形態において、第一洗浄液(例えば薬液)を基板Wに供給し、その後で中間液を基板Wに供給し、その後で第二洗浄液(例えばリンス液)を基板Wに供給する態様を採用した場合には、基板Wの金属層90に発生する電位差の変化を小さくすることができ、その結果、金属層90に悪影響が発生することを防止できる。つまり、金属層90の上で、薬液とリンス液とが共存する場合には、薬液中における金属層90の電極電位とリンス液中における金属層90の電極電位が異なる値となることから、疑似的な電池が形成される(図19参照)。なお、基板Wが回転されている場合には洗浄液に遠心力が付与されることから、後で供給される第二洗浄液(例えばリンス液)は基板Wの中心側に位置し、先に供給される第一洗浄液(例えば薬液)は基板の周縁側に位置することになり、図19に示すような薬液とリンス液の分離がより鮮明に発生することになる。この結果、基板Wの表面に設けられ、銅、タングステン、コバルト等からなる金属層90にダメージが入ってしまう(ガルバニック腐食等が発生する)可能性があり、悪影響が発生する可能性がある。この点、金属層90に対して中間電極電位を発生させる中間液を、薬液とリンス液との間で供給することで、薬液中の金属層90の電極電位と中間電極電位との差に起因する疑似的な電池と、中間電極電位とリンス液中の金属層90の電極電位との差に起因する疑似的な電池を考慮すればよくなり、その電位差を小さくすることができる。この結果、銅、タングステン、コバルト等からなる金属層90にダメージが入ってしまう可能性を低減でき、金属層90に悪影響が発生する可能性を低減できる。
また、このような態様を採用することで、金属層90のガルバニック腐食を防止するための保護剤の含有されていない薬液を利用することもでき、薬液のコストを下げることも期待できる。また、保護剤は金属毎に効果が変わることから、ある保護剤は例えば銅に対しては効果が高いもののタングステンに対しては効果が低いというような事態は生じえる。これに対して、本実施の形態のような中間液を用いた場合には、各金属に対して確実な効果を有する点で有益である。
なお、リンス液には薬液による基板Wの洗浄を停止させる効果がある。このため、一般的には、薬液の直後にリンス液が供給される。この点、本実施の形態では、薬液による基板Wの洗浄を停止させる効果を一定程度犠牲にしながらも、金属層90に悪影響が発生することを防止する効果を得ることに着目したものである。
本実施の形態の態様は、ロール洗浄やペンシル洗浄等が終了した後の仕上げ洗浄に用いられてもよい。仕上げ洗浄では洗浄精度の高さが要求されるが、本実施の形態のように電位差による悪影響まで考慮する態様は、高い洗浄精度に応えることができる点で有益である。また、研磨剤が含まれていない薬液とリンス液との間では、研磨剤というような余分な成分が含まれていないことからガルバニック腐食等による悪影響が大きくなる可能性がある。この点、本実施の形態における中間液を利用することで、研磨剤というような余分な成分が含まれていない態様においてもガルバニック腐食等による悪影響を抑制できる点でも有益である。
中間液として、薬液及びリンス液を混合した混合液を採用した場合には、簡易な手段で中間液を生成することができる点で有益である。
薬液供給部60から供給された薬液とリンス液供給部70から供給されたリンス液を混合して混合液を生成するための混合部76を設ける態様を採用した場合には、より確実に薬液とリンス液とを混合することができ、薬液とリンス液との混合が不十分な結果、金属層90にダメージが入ってしまう可能性を低減できる。
図8、図13及び図20乃至図23に示すように、薬液、リンス液及び混合液が同じ供給部材21によって基板Wに供給される態様を採用した場合には、一つの供給部材21によって薬液、リンス液及び混合液の各々を基板Wに供給できる点で簡便な構造とすることができ、また設備としても小型化ができる点で有益である。
図9及び図10に示すように、混合槽77の下方部に薬液供給部60から薬液が供給され、混合槽77の下方部にリンス液供給部70からリンス液が供給され、薬液及びリンス液を混合した混合液が混合槽77の上方部から供給部材21に供給される態様を採用した場合には、下方部に供給された薬液とリンス液とが上方部から排出される前に混合槽77内で自然に混合される。このため、簡易な手段によって、確実に薬液とリンス液とを混合することができる。
図11乃至図13及び図21乃至図23に示すように、混合部76として、薬液及びリンス液を混合するための混合管78を採用した場合には、別途混合槽77を設けることなく、混合液を生成できる点で有益である。
また、図12、図13及び図21に示すように、混合管78がスクリュー混合部78aを有する態様を採用した場合には、スクリュー混合部78aを流れる間に、薬液とリンス液とを十分に混合することができる点で有益である。
図6、図7、図11及び図12に示すように、供給体20が、薬液を供給するための薬液供給部材21aと、リンス液を供給するためのリンス液供給部材21cと、混合液を供給するための中間液供給部材21bとを有している態様を採用する場合には、リンス液に薬液が混ざってしまうことを防止でき、リンス液による洗浄をより確実に行うことができ、また同様に、薬液にリンス液が混ざってしまうことを防止でき、薬液による洗浄をより確実に行うことができる点で有益である。
また、図6、図7、図11及び図12で示すように、薬液管22aとリンス液管22cが、中間液管22b及び混合管78と別途設けられている態様を採用する場合にも、リンス液に薬液が混ざってしまうことを防止でき、また同様に、薬液にリンス液が混ざってしまうことを防止できる点で有益である。
リンス液供給部70から供給されるリンス液の量を連続的に増加させ、かつ、薬液供給部60から供給される薬液の量を連続的に減少させるか、または、リンス液供給部70から供給されるリンス液の量を断続的に増加させ、かつ、薬液供給部60から供給される薬液の量を断続的に減少させることで混合液を生成する態様を採用した場合は、洗浄液(薬液、リンス液及び混合液)の総量を大きく変えることなく基板Wの洗浄を継続できる点で有益である(図16及び図17参照)。とりわけ、増加するリンス液の量と減少する薬液の量とが実質的に合致し、混合液の量が実質的に一定になる態様を採用した場合には、概ね一定の総量の洗浄液で基板Wを洗浄できる点で有益である。洗浄液の総量が少なくなりすぎると、基板Wの表面で洗浄液が十分に供給されていない箇所が発生する可能性がある点で好ましくない。他方、洗浄液の総量が多くなりすぎると、基板Wの表面で洗浄液が溜まりすぎる箇所が発生する可能性がある点で好ましくないことがある。また、洗浄液の総量が大幅に変化すると基板Wに対する洗浄液の濡れ性が変わってしまうこともある点で好ましくないこともある。
これに限ることなく、リンス液供給部70から供給されるリンス液の単位時間当たりの量及び薬液供給部60から供給される薬液の単位時間当たりの量と比較して、供給される薬液と中間液の総量又はリンス液と中間液の総量の単位時間当たりの量が多くなる時間帯がある態様を採用することもできる。このような態様を採用した場合には、酸素に起因して金属層90に悪影響が発生することを防止できる。前述したように、薬液中の金属層90の電極電位とリンス液中の金属層90の電極電位との間に発生する電極電位の差によって金属層90にダメージが入ってしまうことがあるが、酸素が多く存在する場合には、金属層90へのダメージが大きくなる可能性がある。この点、電極電位の差が発生しない薬液だけが供給されている場合及びリンス液だけが供給されている場合と比較して、薬液と中間液及び中間液とリンス液が供給されている場合における洗浄液の総量を多くすることで、酸素が洗浄液内に入り込むことを防止でき、その結果、金属層90にダメージが発生することをより確実に防止することを期待できる。中間液を供給する全ての時間において、薬液だけが供給されている場合及びリンス液だけが供給されている場合と比較して、洗浄液の総量を多くする態様を採用した場合には、さらにより確実に金属層90にダメージが発生することを防止することを期待できる。他方、最初のタイミングに酸素が入りやすいことからすると、基板Wに対して中間液を供給する最初のタイミング(例えば1秒〜2秒の間)だけ、薬液だけが供給されている場合及びリンス液だけが供給されている場合と比較して、洗浄液の総量を多くし、それ以降は、洗浄液の総量が実質的に一定になるように制御されてもよい。
なお、図16に示すように、連続的に流量を変化させる場合には、より緩やかに電極電位の差を変化させることができる点で有益である。他方、図17に示すように、断続的に流量を変化させる場合には、制御が容易になることもある。
上述した実施の形態の記載及び図面の開示は、特許請求の範囲に記載された発明を説明するための一例に過ぎず、上述した実施の形態の記載又は図面の開示によって特許請求の範囲に記載された発明が限定されることはない。また、出願当初の請求項の記載はあくまでも一例であり、明細書、図面等の記載に基づき、請求項の記載を適宜変更することもできる。
20 供給体
21 供給部材
21a 薬液供給部材
21b 中間液供給部材
21c リンス液供給部材
50 制御部
60 薬液供給部
70 リンス液供給部
75 中間液供給部
76 混合部
77 混合槽
78 混合管
78a スクリュー混合部
90 金属層
W 基板
21 供給部材
21a 薬液供給部材
21b 中間液供給部材
21c リンス液供給部材
50 制御部
60 薬液供給部
70 リンス液供給部
75 中間液供給部
76 混合部
77 混合槽
78 混合管
78a スクリュー混合部
90 金属層
W 基板
Claims (11)
- 表面に金属層を有する基板を洗浄する基板洗浄装置において、
薬液を供給する薬液供給部と、
リンス液を供給するリンス液供給部と、
前記薬液中の前記金属層の電極電位と前記リンス液中の前記金属層の電極電位との間の電極電位を前記金属層に発生させる中間液を供給する中間液供給部と、
前記薬液、前記リンス液及び前記中間液を前記基板に供給する供給体と、
前記供給体によって、前記薬液を前記基板に供給し、その後で前記中間液を前記基板に供給し、その後で前記リンス液を前記基板に供給するように制御する制御部と、
を備えたことを特徴とする基板洗浄装置。 - 前記中間液は前記薬液及び前記リンス液を混合した混合液であることを特徴とする請求項1に記載の基板洗浄装置。
- 前記薬液供給部から供給された前記薬液と前記リンス液供給部から供給された前記リンス液を混合して前記混合液を生成するための混合部を備えたことを特徴とする請求項2に記載の基板洗浄装置。
- 前記混合部は、前記薬液及び前記リンス液を貯留しながら混合して前記混合液を生成するための混合槽であることを特徴とする請求項3に記載の基板洗浄装置。
- 前記混合槽の下方部に前記薬液供給部から前記薬液が供給され、前記混合槽の下方部に前記リンス液供給部から前記リンス液が供給され、前記薬液及び前記リンス液を混合した前記混合液が前記混合槽の上方部から前記供給体に供給されることを特徴とする請求項4に記載の基板洗浄装置。
- 前記混合部は、流れる前記薬液及び前記リンス液を混合するための混合管であることを特徴とする請求項3に記載の基板洗浄装置。
- 前記混合管は、流れる前記薬液と前記リンス液を混合するためのスクリュー混合部を有することを特徴とする請求項6に記載の基板洗浄装置。
- 前記供給体は、前記薬液を供給するための薬液供給部材と、前記リンス液を供給するためのリンス液供給部材と、前記混合液を供給するための混合液供給部材と、を有することを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の基板洗浄装置。
- 前記制御部は、前記リンス液供給部から供給される前記リンス液の量を連続的に増加させ、かつ、前記薬液供給部から供給される前記薬液の量を連続的に減少させることで前記混合液を生成する、又は、前記リンス液供給部から供給される前記リンス液の量を断続的に増加させ、かつ、前記薬液供給部から供給される前記薬液の量を断続的に減少させることで前記混合液を生成することを特徴とする請求項2乃至8のいずれか1項に記載の基板洗浄装置。
- 前記制御部は、前記リンス液供給部から供給される前記リンス液の単位時間当たりの量及び前記薬液供給部から供給される前記薬液の単位時間当たりの量と比較して、供給される前記薬液と前記中間液の総量又は前記リンス液と前記中間液の総量の単位時間当たりの量が多くなる時間帯があるように制御することを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の基板洗浄装置。
- 表面に金属層を有する基板を洗浄する基板洗浄方法において、
薬液を前記基板に供給することと、
リンス液を前記基板に供給することと、
前記薬液中の前記金属層の電極電位と前記リンス液中の前記金属層の電極電位との間の電極電位を前記金属層に発生させる中間液を前記基板に供給することと、
を備え、
前記中間液を前記基板に供給することは、前記薬液を前記基板に供給することと、前記リンス液を前記基板に供給することとの間に行われることを特徴とする基板洗浄方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017081228A JP2018182116A (ja) | 2017-04-17 | 2017-04-17 | 基板洗浄装置及び基板洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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ID=64275978
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2017081228A Pending JP2018182116A (ja) | 2017-04-17 | 2017-04-17 | 基板洗浄装置及び基板洗浄方法 |
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Country | Link |
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-
2017
- 2017-04-17 JP JP2017081228A patent/JP2018182116A/ja active Pending
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A521 | Written amendment |
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