JP6932782B2 - 温度センサ - Google Patents
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Description
第1の実施の形態における温度センサについて、図1及び図2に基づき説明する。図1は、本実施の形態における温度センサ100の電極の配置を上面から見た図であり、図2は、図1における一点鎖線1A−1Bにおいて切断した温度センサ100の断面図である。本実施の形態における温度センサ100は、温度測定の対象となる測定対象物10の表面の温度を測定するものであり、第1の絶縁層110、第1の電極120、ポリマー層130、第2の電極140、第2の絶縁層150等が、Z2方向の側からZ1方向に向かって積層されている。
P=−0.00375×T+3.475・・・・・(1)
下記の表1は、上記(1)に示す式により得られた温度と比誘電率との関係を示す。
C=P×ε0×S/d・・・・・・(2)
ここで、ポリマー層130の厚さdを12.5μm(1.25×10−5m)とした場合における温度と静電容量の関係は、表2に示される。
次に、図5に基づき本実施の形態における温度センサを用いた温度測定装置について説明する。本実施の形態における温度センサ100は、第1の電極120の側を温度測定の対象となる測定対象物10の表面に接触させて測定を行う。尚、図5では、便宜上、ポリマー層130や第1の絶縁層110及び第2の絶縁層150は省略されているが、省略されている第1の絶縁層110を測定対象物10の表面に接触させて測定を行う。本実施の形態における温度センサ100は、ポリマー層130や第1の絶縁層110及び第2の絶縁層150等が可撓性を有する材料により形成されており、第1の電極120及び第2の電極140は、膜状に形成されており極めて薄い。このため、測定対象物10の表面が平らではなく、曲面等の場合であっても、測定対象物10の表面の形状に対応して変形させることができる。よって、測定対象物10の表面が曲面等の場合であっても密着させて接触させることができ、測定対象物10の表面の温度を正確に測定することができる。
本実施の形態における温度センサは、第1の絶縁層110の側を測定対象物10の表面に接触させて温度を測定するものであるため、第1の電極120と測定対象物10との間の第1の絶縁層110は、熱伝導率が高い材料であることが好ましい。また、外部からの熱の影響を避けるため、第2の絶縁層150は、熱伝導率が低い材料により形成されていることが好ましい。従って、本実施の形態は、第1の絶縁層110は、第2の絶縁層150よりも、熱伝導率の高い材料により形成されていることが好ましい。
また、本実施の形態における温度センサは、図9に示すように、測定対象物10の表面に密着させるための粘着層180を第1の絶縁層110の表面、即ち、測定対象物10の側の面に設けたものであってもよい。このような粘着層180を形成することにより、温度測定の対象となる測定対象物10の表面に、温度センサを密着させることができ、各々の領域における温度を正確に測定することができる。即ち、第1の絶縁層110と測定対象物10の表面との間に隙間があると、その隙間に存在している空気等により断熱され、測定対象物10の表面の温度を正確には測定することができない。よって、温度センサの第1の絶縁層110の表面に粘着層180を設けることにより、測定対象物10の表面に温度センサ100を密着させることができ、測定対象物10の表面の各々の領域ごとの正確な温度を測定することが可能となる。尚、粘着層180は、第1の絶縁層110と一体となっているものであってもよい。
次に、第2の実施の形態の温度センサについて説明する。本実施の形態は、図14に示すように、第1の電極は複数設けられており、第2の電極は一体で形成されている構造のものである。図14Aは、本実施の形態における温度センサ200の電極の配置を上面から見た図であり、図14Bは、図14Aにおける一点鎖線14A−14Bにおいて温度センサ200を切断した断面図であり、図14Cは、図14Aにおける一点鎖線14C−14Dにおいて温度センサ200を切断した断面図である。
次に、第3の実施の形態における温度センサについて説明する。本実施の形態における温度センサは、第1の電極及び第2の電極の形状が帯状ではなく、温度が測定される領域となる複数の島状領域と、島状領域を接続する接続領域と、により形成されている。
100 温度センサ
110 第1の絶縁層
120 第1の電極
130 ポリマー層
130a 一方の面
130b 他方の面
140 第2の電極
150 第2の絶縁層
160 温度測定部
161 静電容量検出部
162 演算部
163 制御部
170 表示部
180 粘着層
190 第3の電極
191 第3の絶縁層
Claims (10)
- ポリマー層と、
前記ポリマー層の一方の面に形成された第1の電極と、
前記ポリマー層の他方の面に形成された第2の電極と、
前記ポリマー層の一方の面に形成された前記第1の電極を覆う第1の絶縁層と、
を有し、
前記ポリマー層は、温度により比誘電率が変化するものであって、可撓性を有する材料により形成されており、
前記第1の絶縁層は、膜厚方向における熱伝導率が、面内方向よりも高く、
測定対象物に前記第1の電極の側を接触させて、前記第1の電極と前記第2の電極との間に挟まれた領域の前記ポリマー層の静電容量に基づき、前記測定対象物の温度を測定することを特徴とする温度センサ。 - 前記ポリマー層の他方の面に形成された前記第2の電極を覆う第2の絶縁層を有し、
前記第1の絶縁層の膜厚方向における熱伝導率は、前記第2の絶縁層の膜厚方向における熱伝導率よりも高いことを特徴とする請求項1に記載の温度センサ。 - 前記第2の絶縁層の上には、第3の電極が設けられていることを特徴とする請求項2に記載の温度センサ。
- 前記第1の絶縁層には、前記測定対象物の表面に接触する粘着層が設けられていることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の温度センサ。
- 前記第1の電極は複数設けられており、
前記第1の電極と前記第2の電極との間に挟まれた複数の領域の前記ポリマー層の静電容量に基づき前記測定対象物の温度分布を測定することを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の温度センサ。 - 前記第1の電極は複数設けられており、
前記第2の電極は複数設けられており、
前記第1の電極の延びる方向と、前記第2の電極の延びる方向とは、略直交するものであって、
前記第1の電極と前記第2の電極との間に挟まれた複数の領域の前記ポリマー層の静電容量に基づき前記測定対象物の温度分布を測定することを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の温度センサ。 - 前記ポリマー層の厚さは、隣り合う前記第1の電極間の間隔よりも短いことを特徴とする請求項5または6に記載の温度センサ。
- 前記ポリマー層は、ポリイミド、PETまたはPENのうちのいずれかを含むものにより形成されていることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の温度センサ。
- 前記静電容量は、前記第1の電極と前記第2の電極との間に、交流電圧を印加して得られた値であることを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載の温度センサ。
- 前記ポリマー層の厚さは、50μm以下であることを特徴とする請求項1から9のいずれか一項に記載の温度センサ。
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