JP2023113339A - 測定装置及び測定システム - Google Patents
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Abstract
【課題】測定しようとする物性が温度依存性を有する場合でも、良好な精度で測定することができる測定装置及び測定システムを提供する。【解決手段】測定装置は、第１面と、前記第１面とは反対側の第２面とを有する基板と、前記基板に設けられた第１電極及び第２電極と、前記第１面に設けられ、前記第１面に接する物質の熱を検知する感熱部と、前記第２面に設けられた温度センサと、前記基板を貫通し、前記感熱部の熱を前記温度センサに伝達する伝熱部材と、を有する。【選択図】図２
Description
本開示は、測定装置及び測定システムに関する。
溶液中の溶質の濃度の測定方法として、溶液中に電極を挿入し、電極間の抵抗等を測定する方法がある。
しかしながら、従来の測定方法では、電極の腐食等により良好な測定精度が得られないことがある。また、測定しようとする物性が温度依存性を有する場合には、溶液の温度を調整しなければ、良好な測定精度を得ること難しい。
本開示は、測定しようとする物性が温度依存性を有する場合でも、良好な精度で測定することができる測定装置及び測定システムを提供することを目的とする。
本開示の一形態によれば、第１面と、前記第１面とは反対側の第２面とを有する基板と、前記基板に設けられた第１電極及び第２電極と、前記第１面に設けられ、前記第１面に接する物質の熱を検知する感熱部と、前記第２面に設けられた温度センサと、前記基板を貫通し、前記感熱部の熱を前記温度センサに伝達する伝熱部材と、を有する測定装置が提供される。
開示の技術によれば、測定しようとする物性が温度依存性を有する場合でも、良好な精度で測定することができる。
以下、実施形態について添付の図面を参照しながら具体的に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複した説明を省くことがある。また、本開示においては、Ｘ１－Ｘ２方向、Ｙ１－Ｙ２方向、Ｚ１－Ｚ２方向を相互に直交する方向とする。Ｘ１－Ｘ２方向及びＹ１－Ｙ２方向を含む面をＸＹ面と記載し、Ｙ１－Ｙ２方向及びＺ１－Ｚ２方向を含む面をＹＺ面と記載し、Ｚ１－Ｚ２方向及びＸ１－Ｘ２方向を含む面をＺＸ面と記載する。なお、便宜上、Ｚ１－Ｚ２方向を上下方向とし、Ｚ１側を上側、Ｚ２側を下側とする。また、平面視とは、Ｚ１側から対象物を視ることをいい、平面形状とは、対象物をＺ１側から視た形状のことをいう。
（第１実施形態）
第１実施形態は測定装置に関する。図１及び図２は、第１実施形態に係る測定装置を示す図である。図１（ａ）は上面図であり、図１（ｂ）は下面図である。図２は図１中のII-II線に沿った断面図に相当する。
第１実施形態は測定装置に関する。図１及び図２は、第１実施形態に係る測定装置を示す図である。図１（ａ）は上面図であり、図１（ｂ）は下面図である。図２は図１中のII-II線に沿った断面図に相当する。
図１及び図２に示すように、第１実施形態に係る測定装置１は、基板１０と、第１電極２１と、第２電極２２と、第１銅（Ｃｕ）膜３１と、第２銅膜３２と、伝熱ビア４０と、温度センサ５０と、複数のスペーサ６０を有する。
基板１０は、第１面１１と、第１面１１とは反対側の第２面１２とを有する。第１面１１はＺ１側の面、すなわち上面である。第２面１２はＺ２側の面、すなわち下面である。基板１０は、例えば円形状の平面形状を有する。基板１０は、絶縁性の基板である。例えば、基板１０の材料はガラスエポキシ等である。基板１０の厚さは、例えば６００μｍ～１５００μｍ程度である。
測定装置１は、図２に示すように、第１面１１に測定対象物９０が載置されて使用される。測定対象物９０は、例えば、温度依存性を有する物性を備える。このような物性としては、誘電率及び導電率が挙げられる。測定対象物９０は、例えばガラス容器と、このガラス容器に封入された水等の物質とを有する。
第１電極２１及び第２電極２２は、例えば第１面１１に設けられている。第１電極２１及び第２電極２２は、互いに電気的に絶縁されている。第１電極２１及び第２電極２２は、例えば略円弧の帯状の平面形状を有する。第１電極２１は、一方の端部２１Ａと、他方の端部２１Ｂとを有し、第２電極２２は、一方の端部２２Ａと、他方の端部２２Ｂとを有する。第１電極２１の一方の端部２１Ａと第２電極の他方の端部２２Ｂとが対向し、第１電極２１の他方の端部２１Ｂと第２電極の一方の端部２２Ａとが対向している。第１電極２１及び第２電極２２は、互いから離れるように湾曲している。第１電極２１及び第２電極２２は、例えば銅膜等を有する。第１電極２１及び第２電極２２の厚さは、例えば１２μｍ～３０μｍ程度である。
第１銅膜３１は第１面１１に設けられている。第１銅膜３１は、第１電極２１の一方の端部２１Ａと第２電極２２の他方の端部２２Ｂとの間に設けられている。第１銅膜３１は、例えば矩形状の平面形状を有する。第１銅膜３１の厚さは、例えば１２μｍ～３０μｍ程度である。第１銅膜３１は感熱部の一例である。
第２銅膜３２は第２面１２に設けられている。第２銅膜３２は、例えば矩形状の平面形状を有する。第２銅膜３２は、第１面１１に垂直な方向からの平面視で第１銅膜３１と重なる。第２銅膜３２の厚さは、例えば１２μｍ～３０μｍ程度である。
基板１０に、複数のビアホール１３が形成されている。ビアホール１３は、第１面１１に垂直な方向からの平面視で第１銅膜３１の輪郭及び第２銅膜３２の輪郭の内側に形成されている。ビアホール１３は、第１面１１に垂直な方向（Ｚ１－Ｚ２方向）に延び、第１銅膜３１及び第２銅膜３２に達する。ビアホール１３の直径は、例えば１５０μｍ～３００μｍ程度である。
伝熱ビア４０は、ビアホール１３内に設けられており、第１銅膜３１及び第２銅膜３２に直接接触する。伝熱ビア４０は、第１面１１に垂直な方向（Ｚ１－Ｚ２方向）に延びる。伝熱ビア４０は、例えばビアホール１３の内壁面を覆う第３銅膜４１と、第３銅膜４１の内側を埋める埋込材４２とを有する。第３銅膜４１は第１銅膜３１及び第２銅膜３２に直接接触する。埋込材４２は、例えば樹脂製である。第３銅膜４１の厚さは、例えば１２μｍ～２０μｍ程度である。第２銅膜３２及び伝熱ビア４０は伝熱部材の一例である。
温度センサ５０は第２面１２に設けられている。温度センサ５０は、第２銅膜３２に接触する。第１面１１に垂直な方向からの平面視で、例えば、第１銅膜３１と温度センサ５０とが重なる。温度センサ５０は第２銅膜３２の温度を測定する。温度センサ５０は、例えば熱電対を含み、第２銅膜３２、伝熱ビア４０及び第１銅膜３１を通じて、第１面１１に載置された測定対象物９０の温度を測定する。
スペーサ６０は第２面１２に設けられている。スペーサ６０は、３個以上、ここでは４個設けられている。スペーサ６０は温度センサ５０の周囲に設けられている。スペーサ６０の高さは温度センサ５０の厚さよりも大きい。
上述のように、測定装置１は、図２に示すように、第１面１１に測定対象物９０が載置されて使用される。測定対象物９０は、第１銅膜３１に接触し、かつ第１電極２１及び第２電極２２を用いて所望の物性を測定できるように第１面１１に載置される。
第１実施形態によれば、第１電極２１及び第２電極２２を用いて測定対象物９０の物性及び温度を同時に測定することができる。このため、当該物性が温度依存性を有する場合でも、温度に応じて物性を高精度で測定することができる。
例えば、測定対象物９０が、ガラス容器と、このガラス容器に封入された水とを有する場合、水に含まれる炭酸塩（炭酸カルシウム及び炭酸マグネシウム等）の濃度を測定することができる。このとき、炭酸塩の濃度に応じて、第１電極２１と第２電極２２との間の誘電率が相違する。従って、第１電極２１と第２電極２２との間の誘電率を測定することで、炭酸塩の濃度を非接触で測定できる。従って、第１電極２１及び第２電極２２の腐食等による精度の低下を抑制することができる。また、水中の炭酸塩の濃度は温度依存性を有するが、温度センサ５０により水の温度を測定できるため、高精度で炭酸塩の濃度を測定することができる。更に、基板１０を貫通する伝熱ビア４０が第１銅膜３１の熱を温度センサ５０に伝達するため、低損失で測定対象物９０の熱が温度センサ５０に伝達される。
次に、第１電極２１及び第２電極２２が接続される検出回路の一例について説明する。この検出回路は、第１電極２１と第２電極２２との間の誘電率の検出に用いられる。図３は、検出回路の一例を示す回路図である。
図３に示すように、第１電極２１及び第２電極２２が接続される検出回路７０は、可変容量コンデンサ７１と、水晶振動子（Ｘｔａｌ）７２と、抵抗素子７３と、抵抗素子７４と、コンデンサ７５と、コンデンサ７６と、インバータ７７とを有する。検出回路７０は、更に、節点Ｎ１、Ｎ２、Ｎ３及びＮ４を有する。可変容量コンデンサ７１は第１電極２１及び第２電極２２を含み、第１電極２１と第２電極２２との間の誘電率に応じて可変容量コンデンサ７１の容量が変化する。
節点Ｎ１と節点Ｎ２との間に可変容量コンデンサ７１及び水晶振動子７２が直列に接続されている。節点Ｎ１にコンデンサ７５の一端が接続され、コンデンサ７５の他端は接地されている。節点Ｎ２にコンデンサ７６の一端が接続され、コンデンサ７６の他端は接地されている。節点Ｎ１と節点Ｎ３との間に抵抗素子７３が接続されている。節点Ｎ２と節点Ｎ４とが短絡され、節点Ｎ３と節点Ｎ４との間に抵抗素子７４及びインバータ７７が並列に接続されている。インバータ７７の入力が節点Ｎ４に接続され、出力が節点Ｎ３に接続されている。
検出回路７０では、第１電極２１と第２電極２２との間の誘電率に応じて可変容量コンデンサ７１の容量が変化し、可変容量コンデンサ７１の容量に応じて節点Ｎ３から出力される交流信号の周波数が変化する。従って、交流信号の周波数を解析することで第１電極２１と第２電極２２との間の誘電率を特定することができる。上述のように、測定対象物９０が、ガラス容器と、このガラス容器に封入された水とを有する場合、第１電極２１と第２電極２２との間の誘電率から水中の炭酸塩の濃度を特定することができる。節点Ｎ３から出力される交流信号は、クロック信号とよばれることがある。
水中の炭酸塩の濃度の測定に好適な測定システムは、図３に示すように、検出回路７０と、演算装置５１とを有する。
演算装置５１は、例えばコンピュータであり、中央処理装置（central processing unit：ＣＰＵ）５２と、メモリ等の記録媒体５３と、入力インタフェース（Ｉ／Ｆ）５４と、出力インタフェース（Ｉ／Ｆ）５５とを有する。記録媒体５３には、測定システムにおいて実行される各種の処理を制御するプログラムが格納される。演算装置５１は、入力インタフェース５４を通じて外部からの信号を受信し、出力インタフェース５５を通じて外部に信号を送信する。演算装置５１は、温度センサ５０の出力信号及び検出回路７０の出力信号（交流信号）を受信し、ＣＰＵ５２が記録媒体５３に記憶されたプログラムを実行する。このようにして、測定システムは、測定対象物９０に含まれる水中の炭酸塩の濃度を測定する。
上記プログラムは、例えばコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記憶され、その記録媒体から演算装置５１の記録媒体５３にインストールされる。コンピュータによって読み取り可能な記録媒体としては、例えば、ハードディスク（ＨＤ）、フレキシブルディスク（ＦＤ）、コンパクトディスク（ＣＤ）、マグネットオプティカルデスク（ＭＯ）、メモリカード等が挙げられる。なお、プログラムは、インターネットを介してサーバからダウンロードされ、演算装置５１の記録媒体５３にインストールされてもよい。
記録媒体５３には、上記のプログラムの他に、予め取得された検量線のデータを用いて作成された参照データも記録されている。図４は、検量線のデータの一例を示す図である。図４中のグラフの横軸は温度を示し、縦軸は差分周波数を示す。図４に示すデータは、硬度が既知の水を用いて取得されたデータである。硬度Ｘは、炭酸塩の濃度がＸ［ｍｇ／ｌ］であることを示す。ここで、差分周波数は、節点Ｎ３から出力される交流信号の周波数の基準周波数からの差であり、基準周波数は、硬度が２５で、温度が２５℃の水の測定を行った時に節点Ｎ３から出力される交流信号の周波数である。従って、差分周波数を測定することは、第１電極２１と第２電極２２との間の誘電率を測定することに相当する。
図４に示すように、硬度２５の水の検量線Ｃ１１の傾きは－０．１Ｈｚ／℃であり、硬度３５の水の検量線Ｃ１２の傾きは－１．０Ｈｚ／℃であり、硬度５０の水の検量線Ｃ１３の傾きは－１．４Ｈｚ／℃であり、硬度７０の水の検量線Ｃ１４の傾きは－１．７Ｈｚ／℃であり、硬度１００の水の検量線Ｃ１５の傾きは－２．０Ｈｚ／℃である。
図５は、差分周波数と硬度との関係を示す図である。図５には、温度が２５℃の時の差分周波数と硬度との関係が示されている。この関係は、図４において温度が２５℃の時の各硬度の差分周波数の値から取得される。
図６は、参照データの一例を示す図である。図６に示す参照データは、図４に示す検量線のデータ及び図５に示す関係を用いて作成されている。参照データは、ＸＹＺの直交座標系を用いた３次元データである。Ｘ軸は温度を示し、Ｙ軸は差分周波数を示し、Ｚ軸は算出硬度を示す。なお、この直交座標系のＸＹＺは、図１等におけるＸ１、Ｘ２、Ｙ１、Ｙ２、Ｚ１及びＺ２とは関連しない。記録媒体５３には、図５のような参照データが記録されている。
図６は、次のようにして作成される。例えば、図４中の任意の検量線上の点Ａを選択し、点Ａの温度ＴＡ及び差分周波数ＦＡを読み取る。次に、図５から差分周波数ＦＡに対応する硬度を算出硬度ＨＡとして読み取る。そして、座標が（ＴＡ，ＦＡ，ＨＡ）となる点を図６中にプロットする。この演算を図４中の各検量線上の各点について行うことにより、図６の参照データが作成される。算出硬度とは、このような演算により算出された硬度である。また、図６中の５本の取得検量線Ｃ２１、Ｃ２２、Ｃ２３、Ｃ２４及びＣ２５は、それぞれ図４中の検量線Ｃ１１、Ｃ１２、Ｃ１３、Ｃ１４及びＣ１５からの演算により取得されている。
次に、記録媒体５３に記憶されたプログラムの一例について説明する。図７は、記録媒体５３に記憶されたプログラムの一例を示すフローチャートである。図８～図１２は、記録媒体５３に記憶されたプログラムと参照データとの関係を示す図である。
まず、ＣＰＵ５２は、入力インタフェース５４を通じて、測定対象物９０の温度Ｔ０と、検出回路７０から出力される交流信号の差分周波数Ｆ０とを取得する（ステップＳ１）。図８に、温度Ｔ０及び差分周波数Ｆ０に対応する点Ｐ０（Ｔ０，Ｆ０，０）を示す。
次に、ＣＰＵ５２は、参照データ中の複数の取得検量線のうちから、点Ｐ０（Ｔ０，Ｆ０，０）を通りＺ軸に平行な直線Ｌ０との距離が最も小さい２本の取得検量線Ｌ１及びＬ２を抽出する（ステップＳ２）。図９に、直線Ｌ０と、２本の取得検量線Ｌ１及びＬ２とを示す。ここでは、取得検量線Ｃ２４が一方の取得検量線Ｌ１であり、取得検量線Ｃ２３が他方の取得検量線Ｌ２である。
次に、ＣＰＵ５２は、取得検量線Ｌ１に温度Ｔ０を入力して、温度Ｔ０に対応する差分周波数Ｆ１及び算出濃度Ｈ１を取得するとともに、取得検量線Ｌ２に温度Ｔ０を入力して、温度Ｔ０に対応する差分周波数Ｆ２及び算出濃度Ｈ２を取得する（ステップＳ３）。この結果、図１０に示すように、２点の座標が得られる。すなわち、取得検量線Ｌ１上の点Ｐ１の座標（Ｔ０，Ｆ１，Ｈ１）と、取得検量線Ｌ２上の点Ｐ２の座標（Ｔ０，Ｆ２，Ｈ２）とが取得される。
次に、ＣＰＵ５２は、点Ｐ１と点Ｐ２とを通る直線Ｌ３の式を算出する（ステップＳ４）。図１１に、直線Ｌ３を示す。直線Ｌ３の式は、次のように表される。
次に、ＣＰＵ５２は、直線Ｌ０と直線Ｌ３との交点Ｐ３の座標（Ｔ０，Ｆ０，Ｈ３）を算出する（ステップＳ５）。具体的には、ＣＰＵ５２は、直線Ｌ３のＹに、ステップＳ１で取得した差分周波数Ｆ０を代入することで、図１２に示すように、点Ｐ３のＺ座標（Ｈ３）を算出する。
次に、ＣＰＵ５２は、点Ｐ３のＺ座標（Ｈ３）の値を水中の炭酸塩の濃度として、出力インタフェース５５を通じて出力する（ステップＳ６）。
記録媒体５３に記憶されたプログラムは、演算装置５１にこのような動作を行わせる。
測定装置１と、検出回路７０と、演算装置５１とを備えた測定システムによれば、記録媒体５３に記憶されたプログラムに基づく処理により、温度依存性を有する水中の炭酸塩の濃度を高精度で測定することができる。
図１３は、炭酸塩の濃度の測定結果の例を示す図である。図１３（ａ）は、温度が２５℃のときの濃度と差分周波数との関係を示す検量線を用いて測定した場合の結果を示す。図１３（ｂ）は、上記の検出システムを用いて測定した場合の結果を示す。図１３（ａ）及び（ｂ）中の試料Ｎｏ．１は、硬度が１９であるとして市販されている水であり、試料Ｎｏ．２は、硬度が３０であるとして市販されている水であり、試料Ｎｏ．３は、硬度が４０であるとして市販されている水であり、試料Ｎｏ．４は、硬度が５９であるとして市販されている水である。
図１３に示すように、上記の検出システムを用いた測定によれば、ばらつきを抑制し、優れた測定精度を得ることができた。
（第２実施形態）
次に、第２実施形態について説明する。第２実施形態は測定装置に関する。図１４及び図１５は、第２実施形態に係る測定装置を示す図である。図１４（ａ）は上面図であり、図１４（ｂ）は下面図である。図１５は図１４中のXV-XV線に沿った断面図に相当する。
次に、第２実施形態について説明する。第２実施形態は測定装置に関する。図１４及び図１５は、第２実施形態に係る測定装置を示す図である。図１４（ａ）は上面図であり、図１４（ｂ）は下面図である。図１５は図１４中のXV-XV線に沿った断面図に相当する。
図１４及び図１５に示すように、第２実施形態に係る測定装置２は、測定装置１と同様に、基板１０と、第１電極２１と、第２電極２２と、第１銅膜３１と、第２銅膜３２と、伝熱ビア４０と、温度センサ５０と、複数のスペーサ６０とを有する。測定装置２は、更に、第３電極２３と、第４電極２４と、第１バッファ回路８１と、第２バッファ回路８２とを有する。
第３電極２３及び第４電極２４は、例えば第２面１２に設けられている。第３電極２３及び第４電極２４は、互いに電気的に絶縁されている。第３電極２３及び第４電極２４は、例えば略円弧の帯状の平面形状を有する。第３電極２３及び第４電極２４は、互いから離れるように湾曲している。第１面１１に垂直な方向からの平面視で第３電極２３が第１電極２１と重なり、第４電極２４が第２電極２２と重なる。第３電極２３及び第４電極２４は、例えば銅膜等を有する。第３電極２３及び第４電極２４の厚さは、例えば１２μｍ～３０μｍ程度である。
第１バッファ回路８１は、第１電極２１と第３電極２３との間に接続されている。第１バッファ回路８１の入力が第１電極２１に接続され、出力が第３電極２３に接続されている。第２バッファ回路８２は、第２電極２２と第４電極２４との間に接続されている。第２バッファ回路８２の入力が第２電極２２に接続され、出力が第４電極２４に接続されている。
他の構成は第１実施形態と同様である。
第２実施形態によっても第１実施形態と同様の効果を得ることができる。また、第２実施形態によれば、第３電極２３が第１電極２１に対するシールド電極として機能し、第４電極２４が第２電極２２に対するシールド電極として機能する。このため、第１電極２１及び第２電極２２への、基板１０の第２面１２側からの電界の影響を抑制することできる。従って、第１電極２１及び第２電極２２への電界のノイズを抑制し、より優れた精度での測定を行うことが可能となる。
第２実施形態に係る測定装置２も、測定装置１と同様に測定システムに用いることができる。
（参考例）
次に、参考例について説明する。参考例は測定装置に関する。図１６及び図１７は、参考例に係る測定装置を示す図である。図１６（ａ）は上面図であり、図１６（ｂ）は下面図である。図１７は図１６中のXVII-XVII線に沿った断面図に相当する。
次に、参考例について説明する。参考例は測定装置に関する。図１６及び図１７は、参考例に係る測定装置を示す図である。図１６（ａ）は上面図であり、図１６（ｂ）は下面図である。図１７は図１６中のXVII-XVII線に沿った断面図に相当する。
図１６及び図１７に示すように、参考例に係る測定装置３は、測定装置２と同様に、基板１０と、第１電極２１と、第２電極２２と、第３電極２３と、第４電極２４と、第１バッファ回路８１と、第２バッファ回路８２とを有する。ただし、測定装置３は、第１銅膜３１と、第２銅膜３２と、伝熱ビア４０と、温度センサ５０と、複数のスペーサ６０とを有しない。
他の構成は第２実施形態と同様である。
参考例に係る測定装置３においても、第２実施形態と同様に、第３電極２３が第１電極２１に対するシールド電極として機能し、第４電極２４が第２電極２２に対するシールド電極として機能する。このため、第１電極２１及び第２電極２２への、基板１０の第２面１２側からの電界の影響を抑制することできる。従って、第１電極２１及び第２電極２２への電界のノイズを抑制し、優れた精度での測定を行うことが可能となる。
参考例に係る測定装置３も、測定装置１及び２と同様に測定システムに用いることができる。
なお、第１実施形態及び第２実施形態において、ビアホール１３及び伝熱ビア４０が複数設けられている必要はなく、基板１０に１個のビアホール１３が形成され、このビアホール１３内に１個の伝熱ビア４０が設けられていてもよい。
また、測定しようとする物性は誘電率に限定されず、例えば電気抵抗であってもよい。また、水以外の液体中の物質の濃度を測定してもよい。
以上、好ましい実施の形態等について詳説したが、上述した実施の形態等に制限されることはなく、特許請求の範囲に記載された範囲を逸脱することなく、上述した実施の形態等に種々の変形及び置換を加えることができる。
１、２、３ 測定装置
１０ 基板
１１ 第１面
１２ 第２面
２１ 第１電極
２２ 第２電極
２３ 第３電極
２４ 第４電極
３１ 第１銅膜
３２ 第２銅膜
４０ 伝熱ビア
４１ 第３銅膜
５０ 温度センサ
５１ 演算装置
８１ 第１バッファ回路
８２ 第２バッファ回路
１０ 基板
１１ 第１面
１２ 第２面
２１ 第１電極
２２ 第２電極
２３ 第３電極
２４ 第４電極
３１ 第１銅膜
３２ 第２銅膜
４０ 伝熱ビア
４１ 第３銅膜
５０ 温度センサ
５１ 演算装置
８１ 第１バッファ回路
８２ 第２バッファ回路
Claims (9)
- 第１面と、前記第１面とは反対側の第２面とを有する基板と、
前記基板に設けられた第１電極及び第２電極と、
前記第１面に設けられ、前記第１面に接する物質の熱を検知する感熱部と、
前記第２面に設けられた温度センサと、
前記基板を貫通し、前記感熱部の熱を前記温度センサに伝達する伝熱部材と、
を有することを特徴とする測定装置。 - 前記第１電極及び前記第２電極は、前記第１電極と前記第２電極との間の誘電率の検出に用いられることを特徴とする請求項１に記載の測定装置。
- 前記感熱部は、第１銅膜を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の測定装置。
- 前記第１面に垂直な方向からの平面視で、前記感熱部と前記温度センサとが重なり、
前記伝熱部材は、前記第１面に垂直な方向に延びる伝熱ビアを有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の測定装置。 - 前記伝熱部材は、前記第２面に設けられ、前記伝熱ビアが接する第２銅膜を有し、
前記温度センサは、前記第２銅膜に接することを特徴とする請求項４に記載の測定装置。 - 前記伝熱部材は、前記感熱部に接する第３銅膜を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の測定装置。
- 前記第２面に設けられた第３電極及び第４電極と、
前記第１電極と前記第３電極との間に電気的に接続された第１バッファ回路と、
前記第２電極と前記第４電極との間に電気的に接続された第２バッファ回路と、
を有し、
前記第１面に垂直な方向からの平面視で、
前記第１電極と前記第３電極とが重なり、
前記第２電極と前記第４電極とが重なることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の測定装置。 - 請求項１乃至７のいずれか１項に記載の測定装置と、
前記第１電極と前記第２電極との間の誘電率を検出する検出回路と、
前記温度センサの出力信号及び前記検出回路の出力信号から前記第１面に載置された測定対象物の物性を演算する演算装置と、
を有することを確認する測定システム。 - 前記測定対象物は、
容器と、
前記容器に封入された水と、
を有することを特徴とする請求項８に記載の測定システム。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2022015632A JP2023113339A (ja) | 2022-02-03 | 2022-02-03 | 測定装置及び測定システム |
| US18/154,366 US20230243772A1 (en) | 2022-02-03 | 2023-01-13 | Measuring device and measuring system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2022015632A JP2023113339A (ja) | 2022-02-03 | 2022-02-03 | 測定装置及び測定システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2023113339A true JP2023113339A (ja) | 2023-08-16 |
Family
ID=87431842
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2022015632A Pending JP2023113339A (ja) | 2022-02-03 | 2022-02-03 | 測定装置及び測定システム |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20230243772A1 (ja) |
| JP (1) | JP2023113339A (ja) |
-
2022
- 2022-02-03 JP JP2022015632A patent/JP2023113339A/ja active Pending
-
2023
- 2023-01-13 US US18/154,366 patent/US20230243772A1/en active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20230243772A1 (en) | 2023-08-03 |
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