JP6909627B2 - 光導波路装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
図5〜図11は第1実施形態の光導波路装置の製造方法を示す図、図12及び図13は第1実施形態の光導波路装置を示す図である。以下、光導波路装置の製造方法を説明しながら、光導波路装置の構造を説明する。
図14〜図19は第2実施形態の光導波路装置の製造方法を示す断面図、図20及び図21は第2実施形態の光導波路装置を示す断面図である。
図22〜図28は第3実施形態の光導波路装置の製造方法を示す図、図29及び図30は第3実施形態の光導波路装置を示す図である。
そして、第2グレートーンマスク62の透光部62a及び半透光部62bを通して図26(a)の第2光硬化性樹脂34xに紫外線を照射する。さらに、露光された第2光硬化性樹脂34xを100℃〜150℃の温度で加熱処理する。
次に、前述した第1実施形態の図13の光導波路装置1に光素子を搭載する方法について説明する。
Claims (9)
- 第1クラッド層と、
前記第1クラッド層の上に形成されたコア層と、
前記第1クラッド層及び前記コア層の上に形成され、前記第1クラッド層よりも平面視での面積が小さい第2クラッド層と
を有し、
前記第1クラッド層は、本硬化部と、リング状の半硬化部とを有し、
前記第2クラッド層の外周部は、前記第1クラッド層の半硬化部の上に配置されていることを特徴とする光導波路装置。 - 第1クラッド層と、
前記第1クラッド層の上に形成された複数のコア層と、
前記第1クラッド層及び前記複数のコア層の上に形成された第2クラッド層と
を有し、
前記第1クラッド層は、本硬化部と、複数の半硬化部とを有し、
前記複数のコア層は、前記第1クラッド層の半硬化部の上にそれぞれ配置され、
前記第2クラッド層は、本硬化部と、前記複数のコア層の上面及び側面を覆う半硬化部とを有することを特徴とする光導波路装置。 - 前記第1クラッド層及び前記第2クラッド層は、光硬化性樹脂から形成されることを特徴とする請求項1又は2に記載の光導波路装置。
- 前記半硬化部は、架橋率が前記本硬化部に対して10%〜80%であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の光導波路装置。
- 前記コア層に形成された光路変換ミラーに光結合された光素子を有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の光導波路装置。
- 基板の上に、本硬化部と、平面視でリング状領域に配置された半硬化部とを備えた第1クラッド層を形成する工程と、
前記第1クラッド層の上にコア層を形成する工程と、
前記第1クラッド層及び前記コア層の上に第2クラッド層を形成する工程と
を有し、
前記第2クラッド層を形成する工程では、前記第2クラッド層の外周部が前記第1クラッド層の半硬化部の上に配置されることを特徴とする光導波路装置の製造方法。 - 基板の上に、本硬化部と、複数の半硬化部とを有する第1クラッド層を形成する工程と、
前記第1クラッド層の複数の半硬化部の上に複数のコア層をそれぞれ形成する工程と、
前記第1クラッド層及び前記複数のコア層の上に第2クラッド層を形成する工程と
を有し、
前記第2クラッド層を形成する工程では、本硬化部と、前記複数のコア層のそれぞれの上面及び側面を覆う複数の半硬化部とを形成することを特徴とする光導波路装置の製造方法。 - 基板の上に第1クラッド層を形成する工程と、
前記第1クラッド層の上にコア層を形成する工程と、
前記第1クラッド層及び前記コア層の上に、前記第1クラッド層よりも平面視での面積が小さく、かつ、外周部が、本硬化部の外周を覆うリング状の半硬化部からなる第2クラッド層を形成する工程と
を有し、
前記第2クラッド層を形成する工程は、
光硬化性樹脂を形成する工程と、
中央部に第1透光部を備えた第1フォトマスクを通して前記光硬化性樹脂に紫外線を照射して半硬化させる工程と、
前記第1透光部よりもサイズの小さい第2透光部を備えた第2フォトマスクを通して、前記光硬化性樹脂に紫外線を照射して本硬化させる工程とを含むこと特徴とする光導波路装置の製造方法。 - 前記第2クラッド層を形成する工程は、
光硬化性樹脂を形成する工程と、
透光部と半透光部とを備えたフォトマスクを通して前記光硬化性樹脂に紫外線を照射する工程とを含み、
前記第2クラッド層の本硬化部は、前記フォトマスクの透光部に対応する前記光硬化性樹脂から得られ、
前記第2クラッド層の半硬化部は、前記フォトマスクの半透光部に対応する前記光硬化性樹脂から得られることを特徴とする請求項7に記載の光導波路装置の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017089792A JP6909627B2 (ja) | 2017-04-28 | 2017-04-28 | 光導波路装置及びその製造方法 |
US15/957,230 US10185082B2 (en) | 2017-04-28 | 2018-04-19 | Optical waveguide apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017089792A JP6909627B2 (ja) | 2017-04-28 | 2017-04-28 | 光導波路装置及びその製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018189714A JP2018189714A (ja) | 2018-11-29 |
JP2018189714A5 JP2018189714A5 (ja) | 2020-02-06 |
JP6909627B2 true JP6909627B2 (ja) | 2021-07-28 |
Family
ID=63917043
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017089792A Active JP6909627B2 (ja) | 2017-04-28 | 2017-04-28 | 光導波路装置及びその製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10185082B2 (ja) |
JP (1) | JP6909627B2 (ja) |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AU3601500A (en) * | 1999-02-23 | 2000-09-14 | Corning Incorporated | Planar polymeric waveguide devices with temperature dependence control features |
US6306563B1 (en) * | 1999-06-21 | 2001-10-23 | Corning Inc. | Optical devices made from radiation curable fluorinated compositions |
US6929899B2 (en) * | 2001-01-25 | 2005-08-16 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Fluorinated photopolymer composition and waveguide device |
US7011932B2 (en) * | 2001-05-01 | 2006-03-14 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Polymer waveguide fabrication process |
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JP2011118163A (ja) | 2009-12-03 | 2011-06-16 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 光電気モジュール及びその製造方法並びに光電気モジュール基板 |
US8649645B2 (en) * | 2011-06-10 | 2014-02-11 | Xyratex Technology Limited | Optical waveguide and a method of fabricating an optical waveguide |
-
2017
- 2017-04-28 JP JP2017089792A patent/JP6909627B2/ja active Active
-
2018
- 2018-04-19 US US15/957,230 patent/US10185082B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10185082B2 (en) | 2019-01-22 |
JP2018189714A (ja) | 2018-11-29 |
US20180314002A1 (en) | 2018-11-01 |
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JP2018189714A5 (ja) |
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