JP6905884B2

JP6905884B2 - プローブ

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Publication number: JP6905884B2
Application number: JP2017140798A
Authority: JP
Inventors: 宇崎　吉彦; 吉彦宇崎
Original assignee: Tlv Co Ltd
Current assignee: Tlv Co Ltd
Priority date: 2017-07-20
Filing date: 2017-07-20
Publication date: 2021-07-21
Anticipated expiration: 2037-07-20
Also published as: JP2019020320A

Description

ここに開示された技術は、プローブに関する。

従来より、プローブ、特に、渦電流を利用した探傷に用いられるプローブが知られている。例えば、特許文献１には、磁性体からなるコアと、コアに巻回されたコイルとを備えたプローブが開示されている。コイルにパルス状の電圧が印加されることによって、コアが励磁される。コアの両端部は、探傷の対象物である配管に対向するように配置されている。そのため、コイルが生成する磁場によって、配管には渦電流が発生する。この渦電流を検出することによって、配管の減肉検査等の探傷が行われる。

特開２００８−１４５１３７号公報

ところで、前述のようなプローブにおいては、対象物により多くの磁束を通過させることが望まれる場合がある。例えば、探傷においては、渦電流が大きいほど、傷の有無又は大きさに起因する渦電流の変化が判別しやすくなるので、測定精度が向上する。そのためには、より多くの磁束を対象物に通過させることが好ましい。

ここに開示された技術は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、より多くの磁束を対象物に通過させることにある。

ここに開示された技術は、対象物に渦電流を発生させるプローブが対象である。このプローブは、前記対象物に対向するように配置され且つ互いに反対の磁性に励磁される第１極及び第２極を有し、前記第１極及び前記第２極の一方から出て他方へ入る磁束を対象物に通過させるコアと、前記コアに巻回され、前記コアを励磁するコイルとを備え、前記第１極及び前記第２極は、先細な形状をしている。

前記プローブによれば、より多くの磁束を対象物に通過させることができる。

図１は、厚さ測定装置のブロック図である。図２は、プローブの正面図である。図３は、コアの第１極及び第２極の拡大斜視図である。図４は、電圧信号Ｖ（ｔ）の時間変化を示すグラフである。図５は、比較例に係るプローブであって、第１極及び第２極が切り欠かれていないプローブの正面図である。

以下、例示的な実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１は、厚さ測定装置１００のブロック図である。

厚さ測定装置１００は、測定対象物９に渦電流を発生させ且つ発生した渦電流を検出するセンサ装置１０と、検出された渦電流の過渡変化に基づいて測定対象物９の厚さを求める演算装置６とを備えている。厚さ測定装置１００は、パルス渦電流探傷（ＰＥＣ:Pulsed Eddy Current）によって測定対象物９の厚さを測定する。測定対象物９は、例えば、金属配管である。

センサ装置１０は、測定対象物９に渦電流を発生させ且つ発生した渦電流を検出するプローブ２と、プローブ２を制御する装置本体５とを有している。

プローブ２は、コア３と、コア３に巻回された励磁コイル４１及び受信コイル４２とを有している。プローブ２は、非接触型のプローブであり、測定対象物９に近接して配置される。尚、「非接触型」とは、非接触でも使用可能であることを意味し、接触状態での使用を除外するものではない。プローブ２は、変動磁場を発生させることによって測定対象物９に渦電流を発生させる。また、プローブ２は、測定対象物９に発生した渦電流の変化を誘導電圧として検出する。例えば、プローブ２は、断熱性を有するスペーサ（図示省略）を介して測定対象物９に設置される。

装置本体５は、励磁コイル４１に励磁電流を印加する励磁部５１と、測定対象物９の渦電流の過渡変化を検出する検出部５４と、外部機器と通信を行う通信部５６と、各種情報を記憶する記憶部５７と、少なくとも励磁部５１、検出部５４、通信部５６及び記憶部５７を制御する制御部５８とを有している。

励磁部５１は、パルス状の励磁電流を励磁コイル４１に供給する。励磁部５１は、パルス信号を発生するパルス発生器５２と、パルス発生器５２からのパルス信号を増幅して、励磁電流として出力する送信アンプ５３とを有している。

検出部５４は、測定対象物９の渦電流に応じて受信コイル４２に発生する誘導起電力を検出する。受信コイル４２に発生する誘導起電力の過渡変化は、測定対象物９に発生する渦電流の過渡変化と関連している。検出部５４は、受信コイル４２に発生する電圧を増幅する受信アンプ５５を少なくとも有している。検出部５４は、電圧信号にフィルタ処理を施すフィルタをさらに有していてもよい。

通信部５６は、外部機器と無線通信を行う。例えば、通信部５６は、検出部５４によって検出された電圧信号を演算装置６に送信する。

制御部５８は、プロセッサで形成されている。例えば、制御部５８は、励磁部５１に所定期間だけ励磁電流を出力させる一方、励磁電流の出力停止後に検出部５４による検出信号を取得する。制御部５８は、取得した検出信号を記憶部５７に記憶させ、記憶部５７に記憶された検出信号を所定のタイミングで通信部５６を介して演算装置６に送信する。

演算装置６は、コンピュータ又はコンピュータネットワーク（所謂、クラウド）で形成されている。演算装置６は、外部機器と通信を行う通信部６１と、各種情報を記憶する記憶部６２と、検出された渦電流の過渡変化に基づいて測定対象物９の厚さを求める演算部６３とを有している。

通信部６１は、外部機器と無線通信を行う。例えば、通信部６１は、センサ装置１０からの電圧信号を受信する。

記憶部６２は、センサ装置１０からの電圧信号、及び、測定対象物９の厚さを演算するために必要な情報等を記憶している。

演算部６３は、プロセッサで形成されている。演算部６３は、センサ装置１０からの電圧信号（具体的には、電圧信号の過渡変化）に基づいて測定対象物９の厚さを演算する。

続いて、プローブ２について詳細に説明する。図２は、プローブ２の正面図である。図３は、コア３の第１極Ｐ１及び第２極Ｐ２の拡大斜視図である。

コア３は、第１直線部３１と、第２直線部３２と、第１直線部３１及び第２直線部３２を連結する連結部３３とを有し、全体として概ねＵ字状に形成されている。より詳しくは、コア３は、パーマロイで形成された、概ねＵ字状の複数の薄板を積層されて形成されている（図３参照）。パーマロイの薄板は、水素焼鈍が施されている。

コア３は、第１直線部３１の端部である第１端部３４と、第２直線部３２の端部である第２端部３５との２つの端部を有している。コア３が励磁コイル４１により励磁されることによって、第１端部３４及び第２端部３５には互いに反対の極が形成される。第１端部３４に形成される極を第１極Ｐ１と称し、第２端部３５に形成される極を第２極Ｐ２と称する。すなわち、コア３は、互いに反対の磁性に励磁される第１極Ｐ１及び第２極Ｐ２を有している。コア３は、第１極Ｐ１及び第２極Ｐ２が測定対象物９に対向するように配置される。第１極Ｐ１及び第２極Ｐ２の一方から出て他方へ入る磁束（図２中の二点鎖線の矢印）は、測定対象物９を通過する。このとき、連結部３３は、ヨークとして機能し、コア３と測定対象物９とで閉回路が形成される。

第１極Ｐ１及び第２極Ｐ２は、先細な形状をしている。より詳しくは、第１極Ｐ１の端縁のうち第２極Ｐ２寄りの部分は、切り欠かれ、切欠部３６が形成されている。同様に、第２極Ｐ２の端縁のうち第１極Ｐ１寄りの部分は、切り欠かれ、切欠部３７が形成されている。

励磁コイル４１は、第１直線部３１と第２直線部３２とに巻回されている。この例では、第１直線部３１に巻回された第１励磁コイル４１Ａと第２直線部３２に巻回された第２励磁コイル４１Ｂは、１本の電線で形成されている。以下、第１励磁コイル４１Ａと第２励磁コイル４１Ｂとを区別しない場合には、単に「励磁コイル４１」と称する。第１励磁コイル４１Ａ及び第２励磁コイル４１Ｂは、コア３の長手方向において同じ向きの磁場を発生させる。そのため、第１極Ｐ１がＮ極となるときには、第２極Ｐ２はＳ極となる。逆に、第１極Ｐ１がＳ極となるときには、第２極Ｐ２はＮ極となる。

受信コイル４２は、第１直線部３１と第２直線部３２とに巻回されている。この例では、第１直線部３１に巻回された第１受信コイル４２Ａと第２直線部３２に巻回された第２受信コイル４２Ｂは、電気的に分離された電線で形成されている。以下、第１受信コイル４２Ａと第２受信コイル４２Ｂとを区別しない場合には、単に「受信コイル４２」と称する。測定対象物９のうち第１極Ｐ１に対向する部分に発生した渦電流によって形成され、第１直線部３１を介して第１受信コイル４２Ａを通過する磁束が変化することによって、第１受信コイル４２Ａに誘導起電力が発生する。測定対象物９のうち第２極Ｐ２に対向する部分に発生した渦電流によって形成され、第２直線部３２を介して第２受信コイル４２Ｂを通過する磁束が変化することによって、第１受信コイル４２Ａに誘導起電力が発生する。第１受信コイル４２Ａ及び第２受信コイル４２Ｂは、これらの誘導起電力を検出する。

続いて、厚さ測定装置１００による厚さ測定処理について説明する。

まず、制御部５８は、励磁部５１に励磁電流を励磁コイル４１へ出力させる。次に、制御部５８は、励磁電流の出力を停止させ、測定対象物９に発生する渦電流を検出部５４に検出させる。制御部５８は、検出部５４を介した電圧信号の検出を所定期間継続し、検出された電気信号を記憶部５７に記憶していく。これにより、制御部５８は、受信コイル４２の誘電起電力の過渡変化（経時変化）、即ち、測定対象物９に発生する渦電流の過渡変化を取得する。その後、制御部５８は、記憶部５７に記憶された電圧信号を演算部６３へ通信部５６を介して送信する。

制御部５８は、測定対象物９の厚さｄが既知の状態において前述のように渦電流の過渡変化を取得する。その後、制御部５８は、渦電流の過渡変化の取得を定期的に行う。これにより、厚さｄが変化した測定対象物９の渦電流の過渡変化が継続的に取得される。尚、定期的な渦電流の過渡変化の取得に際し、励磁コイル４１に印加される励磁電流の大きさは一定である。

演算装置６は、センサ装置１０から取得した電圧信号に基づいて測定対象物９の厚さｄを求める。

図４は、電圧信号Ｖ（ｔ）の時間変化を示すグラフである。図４のグラフは、両対数グラフである。図４において、電圧信号Ｖ０（ｔ）は、厚さｄ０を有する測定対象物９の電圧信号であり、電圧信号Ｖ１（ｔ）は、厚さｄ０よりも薄い厚さｄ１を有する測定対象物９の電圧信号である。

渦電流は、測定対象物９に浸透していくのに従って減衰していく。渦電流は、測定対象物９の表面（プローブ２が対向している面）から裏面に到達するまでの間は徐々に減衰し、裏面に到達すると急激に減衰する。電圧信号Ｖ（ｔ）も渦電流と同様の変化を示す。つまり、電圧信号Ｖ（ｔ）の過渡変化は、渦電流の過渡変化に相当する。渦電流が測定対象物９の裏面に達するまでの間の電圧信号Ｖ（ｔ）の変化は、両対数グラフ上では直線的（線形的）に表される。その後、電圧信号Ｖ（ｔ）は、急激に減衰していく。このように変化する電圧信号Ｖ（ｔ）は、以下の式（１）のように表され

ここで、Ａは、受信アンプ５５の増幅率である。ｎは、電圧信号Ｖ（ｔ）の減衰の程度に関連する定数であり、−ｎは、両対数グラフにおける電圧信号Ｖ（ｔ）の傾きを表す。

式（１）からもわかるように、電圧信号Ｖ（ｔ）の変化態様は、時間τにおいて切り替わる。以下、説明の便宜上、τを「減衰時間」と称する。減衰時間τは、以下の式（２）で表わされる。

τ＝σμｄ^２・・・（２）
ここで、σは、測定対象物９の導電率であり、μは、測定対象物９の透磁率であり、ｄは、測定対象物９の厚さである。

つまり、測定対象物９の厚さｄが変化すると、減衰時間τが変化する。この場合、測定対象物９の導電率σ及び透磁率μは一定なので、減衰時間τは、測定対象物９の厚さｄのみに依存して変化する。また、減衰時間τ及び厚さｄが変化しても、τ／ｄ^２は、一定である。そのため、既知の厚さｄ０に対する減衰時間τ０と、未知の厚さｄｘに対する減衰時間τｘとがわかれば、以下の式（３）に基づいて、未知の厚さｄｘを求めることができ

例えば、図４において電圧信号Ｖ０（ｔ），Ｖ１（ｔ）を比較すると、厚さｄ０の測定対象物９の電圧信号Ｖ０（ｔ）の変化態様は、減衰時間τ０で切り替わる。測定対象物９の厚さｄがｄ０からｄ１に減少すると、減衰時間τは、τ０からτ１に減少する。尚、電圧信号Ｖ（ｔ）のうち両対数グラフで直線状の部分の変化態様は、式（１）からわかるように厚さｄに依存しないので、電圧信号Ｖ０（ｔ），Ｖ１（ｔ）で実質的に同じである。厚さｄ０及び減衰時間τ０，τ１を式（３）に代入することによって、厚さｄ１を求めることができる。

演算装置６は、測定対象物９の既知の厚さを基準厚さｄ０とし、基準厚さｄ０における電圧信号Ｖ０（ｔ）の過渡変化を取得する。以下、電圧信号Ｖ０（ｔ）を基準電圧信号Ｖ０（ｔ）と称する。その後、演算装置６は、未知の厚さｄｘに関する電圧信号Ｖｘ（ｔ）を取得すると、電圧信号Ｖｘ（ｔ）の過渡変化を基準電圧信号Ｖ０（ｔ）の過渡変化と比較することによって、測定対象物９の厚さｄｘを求める。具体的には、演算装置６は、式（３）を用いて、基準厚さｄ０、基準減衰時間τ０及び減衰時間τｘから変化後の厚さｄｘを求める。

このように測定対象物９の厚さｄを求める厚さ測定装置１００において、前述のようなプローブ２を用いることによって、厚さｄの測定精度を向上させることができる。以下、その理由を、図２に示すように第１極Ｐ１がＮ極となり、第２極Ｐ２がＳ極となる場合を例に説明する。尚、第１極Ｐ１がＳ極となり、第２極Ｐ２がＮ極となる場合も同様の説明が成り立つ。

プローブ２の第１極Ｐ１から発せられる大部分の磁束は、第１極Ｐ１の端面の法線方向に出て測定対象物９内へ入り、測定対象物９内を略円弧状に通過し、第２極Ｐ２の端面の法線方向へ第２極Ｐ２に入っていく。しかし、一部の磁束は、第１極Ｐ１から測定対象物９の表層を通過して第２極Ｐ２へ入っていったり、第１極Ｐ１から空中を通って第２極Ｐ２へ入っていったりする。例えば、図５は、切欠部３６，３７が形成されていない第１極Ｐ１’及び第２極Ｐ２’を有するコア３’を備えたプローブ２’の正面図である。このような構成では、第１極Ｐ１’と第２極Ｐ２’との間隔が狭くなるため、測定対象物９の表層にしか磁場を発生させない磁束が多くなる。

それに対し、プローブ２のコア３の第１極Ｐ１及び第２極Ｐ２は、前述のように先細な形状をしている。磁束は、第１極Ｐ１のうちコア３の長手方向の最も端の部分から出て行き、第２極Ｐ２のうち測定対象物９に最も接近した部分、即ち、コア３の長手方向の最も端の部分から入ってくる傾向がある。そのため、第１極Ｐ１又は第２極Ｐ２から発せられる磁束密度及び第２極Ｐ２に入ってくる磁束密度が向上する。磁束密度が向上すると、第１極Ｐ１の端面の法線方向へ出ていく磁束、及び、第２極Ｐ２の端面の法線方向へ入ってくる磁束が増加する。このような磁束は、測定対象物９の深い部分（表層ではない部分）を通過するだけでなく、測定対象物９内を通過する距離が長くなるため、測定対象物９に作用する磁場が大きくなる。その結果、より大きな渦電流が測定対象物９に発生する。

測定対象物９に発生する渦電流が大きくなると、プローブ２による励磁を停止してから測定対象物９の渦電流が減衰し切るまでの時間が長くなる。つまり、減衰時間τが長くなる。減衰時間τが短いと、減衰時間τを高い精度で測定することが求められる。見方を変えれば、減衰時間τが長くなると、減衰時間τの測定精度が向上することになる。式（３）からわかるように、測定対象物９の厚さｄｘは、基準減衰時間τ０と減衰時間τｘとの比に基づいて求められる。減衰時間τの測定精度が向上すると、当然ながら基準減衰時間τ０と減衰時間τｘとの比の精度も向上する。その結果、厚さｄｘの測定精度が向上する。

さらに、第１極Ｐ１の端縁のうち第２極Ｐ２寄りの部分が切り欠かれ、同様に、第２極Ｐ２の端縁のうち第１極Ｐ１寄りの部分が切り欠かれている。これにより、第１極Ｐ１の切欠部３６から出る磁束は減り、第１極Ｐ１におけるコア３の長手方向の最も端の部分、即ち、測定対象物Ｐと最も接近している端面から出る磁束が増加する。第２極Ｐ２へ入る磁束も同様であり、第２極Ｐ２の切欠部３７へ入る磁束は減り、第２極Ｐ２におけるコア３の長手方向の最も端の部分、即ち、測定対象物Ｐと最も接近している端面へ入る磁束が増加する。結果として、第１極Ｐ１と第２極Ｐ２との間隔が、切欠部３６，３７が形成されていない場合と比べて拡がる。これにより、前述の第１極Ｐ１から測定対象物９の表層を通過して第２極Ｐ２へ入っていく磁束や、第１極Ｐ１から空中を通って第２極Ｐ２へ入っていく磁束が減少し、第１極Ｐ１の端面の法線方向へ出て、測定対象物９の深い部分（表層ではない部分）へ入っていく磁束が増加する。これにより、測定対象物９に作用する磁場が大きくなり、より大きな渦電流が測定対象物９に発生する。

ところで、第１極Ｐ１と第２極Ｐ２とを単純に引き離すことによっても、前述の第１極Ｐ１から測定対象物９の表層を通過して第２極Ｐ２へ入っていく磁束や、第１極Ｐ１から空中を通って第２極Ｐ２へ入っていく磁束を減少させることができるかもしれない。しかしながら、その場合、コア３の寸法、ひいては、プローブ２の寸法が大きくなる。プローブ２が大きくなると、プローブ２の取り扱いが煩雑となるだけでなく、測定対象物９のうち厚さｄの測定箇所の大きさが大きくなってしまう。つまり、第１極Ｐ１及び第２極Ｐ２に前述のような切欠部３６，３７を形成することによって、コア３を小型化しつつ、測定対象物９に大きな渦電流を発生させることができる。コア３を小型化させることによって、プローブ２の取り扱いが容易になると共に、測定対象物９の局所的な部分の厚さｄを測定することができる。

以上のように、測定対象物９（対象物）に渦電流を発生させるプローブ２は、測定対象物９に対向するように配置され且つ互いに反対の磁性に励磁される第１極Ｐ１及び第２極Ｐ２を有し、第１極Ｐ１及び第２極Ｐ２の一方から出て他方へ入る磁束を測定対象物９に通過させるコア３と、コア３に巻回され、コアを励磁する励磁コイル４１（コイル）とを備え、第１極Ｐ１及び第２極Ｐ２は、先細な形状をしている。

この構成によれば、第１極Ｐ１及び第２極Ｐ２の磁束密度を向上させることができる。これにより、第１極Ｐ１及び第２極Ｐ２の一方から空中又は測定対象物９の表層を通って他方へ入る磁束を低減し、測定対象物９に深く入っていく磁束を増加させることができる。その結果、より多くの磁束を測定対象物９に通過させて、測定対象物９に大きな渦電流を発生させることができる。

また、第１極Ｐ１の端縁のうち第２極Ｐ２寄りの部分、及び、第２極Ｐ２の端縁のうち第１極Ｐ１寄りの部分は、切り欠かれている。

この構成によれば、並んで配置される第１極Ｐ１及び第２極Ｐ２のそれぞれの内側の端縁を切り欠くことによって、第１極Ｐ１及び第２極Ｐ２の一方から空中又は測定対象物９の表層を通って他方へ入る磁束を低減し、測定対象物９に深く入っていく磁束を増加させることができる。それに加えて、コア３を大型にすることなく、第１極Ｐ１と第２極Ｐ２との間隔を大きくすることができる。

また、プローブ２は、測定対象物９の厚さｄを測定するためのものである。

渦電流を用いた厚さ測定においては、測定対象物９に大きな渦電流を発生させることが望まれる。そのため、プローブ２が特に有効となる。

さらに、コア３は、パーマロイで形成されている。

この構成によれば、パーマロイが高透磁性材料なので、コア３の長手方向の最も端の部分から磁束が出る傾向が強くなる。そのため、前述のように第１極Ｐ１及び第２極Ｐ２に切欠部３６，３７を形成しても、切欠部３６，３７からの磁束は増加せず、第１極Ｐ１又は第２極Ｐ２の最も先の部分からでる磁束、又は、最も先の部分へ入ってくる磁束を増加させることができる。

また、コア３は、積層板で形成されている。

この構成よれば、コア３に発生する磁場を強くすることができる。

《その他の実施形態》
以上のように、本出願において開示する技術の例示として、前記実施形態を説明した。しかしながら、本開示における技術は、これに限定されず、適宜、変更、置き換え、付加、省略などを行った実施の形態にも適用可能である。また、前記実施形態で説明した各構成要素を組み合わせて、新たな実施の形態とすることも可能である。また、添付図面および詳細な説明に記載された構成要素の中には、課題解決のために必須な構成要素だけでなく、前記技術を例示するために、課題解決のためには必須でない構成要素も含まれ得る。そのため、それらの必須ではない構成要素が添付図面や詳細な説明に記載されていることをもって、直ちに、それらの必須ではない構成要素が必須であるとの認定をするべきではない。

前記実施形態について、以下のような構成としてもよい。

例えば、プローブ２は、厚さ測定装置１００に適用されているが、これに限られるものではない。対象物に渦電流を発生させる必要がある装置であれば、前述のプローブ２を適用することができる。

さらに、プローブ２は、前述の構成に限られない。例えば、プローブ２は、受信コイル４２を備えていなくてもよい。その場合、測定対象物９の渦電流を、プローブ２とは物理的に分離された受信コイルで検出してもよい。また、測定対象物９の渦電流は、ホール素子等で検出こともできる。

また、コア３は、第１直線部３１、第２直線部３２及び連結部３３を有する概ねＵ字状に形成されているが、これに限られるものではない。例えば、コア３は、第１極Ｐ１と第２極Ｐ２とを有していればよく、例えば、第１直線部３１と第２直線部３２とが物理的に分離されていてもよい。ただし、前述のように第１直線部３１と第２直線部３２とを連結部３３によって連結することによって、連結部３３がヨークのように作用するので、コア３に形成される磁場が強くなる。

また、第１励磁コイル４１Ａと第２励磁コイル４１Ｂは、電気的に分離された別々の電線で形成されていてもよい。励磁コイル４１は、第１直線部３１と第２直線部３２との２箇所ではなく、１箇所だけに設けられていてもよい。励磁コイル４１は、連結部３３に巻回されていてもよい。

さらに、厚さ測定装置１００による厚さ測定は、一例に過ぎない。ＰＥＣによる厚さ測定方法は、様々であるので、任意の測定手法を採用することができる。

また、厚さ測定装置１００の構成も一例に過ぎない。センサ装置１０と演算装置６は、一体的に構成されていてもよい。また、センサ装置１０のプローブ２、励磁部５１及び検出部５４を別筐体に収容して分離してもよい。また、センサ装置１０と演算装置６とが有線で接続されていてもよい。また、１つの演算装置６に対して複数のセンサ装置１０が接続されていてもよい。また、演算装置６は、無線又は有線により接続された他の装置に対して、演算した厚さに関するデータを送信するようにしてもよい。

以上説明したように、ここに開示された技術は、プローブについて有用である。

２プローブ
３コア
４１Ａ第１励磁コイル（コイル）
４１Ｂ第２励磁コイル（コイル）
９測定対象物（対象物）
Ｐ１第１極
Ｐ２第２極

Claims

対象物に渦電流を発生させるプローブであって、
前記対象物に対向するように配置され且つ互いに反対の磁性に励磁される第１極及び第２極を有し、前記第１極及び前記第２極の一方から出て他方へ入る磁束を対象物に通過させるコアと、
前記コアに巻回され、前記コアを励磁するコイルとを備え、
前記第１極及び前記第２極は、先細な形状をし、
前記コアは、前記コイルが巻回され、端部に前記第１極が形成される第１直線部と、前記コイルが巻回され、端部に前記第２極が形成される第２直線部とを有し、
前記第１極の端縁は、対象物に対向する平坦な端面と、前記第２極寄りの部分に形成された切欠部とを有し、
前記第２極の端縁は、対象物に対向する平坦な端面と、前記第１極寄りの部分に形成された切欠部とを有していることを特徴とするプローブ。
請求項１に記載のプローブであって、
前記プローブは、対象物の厚さを測定するためのものであることを特徴とするプローブ。
請求項１又は２に記載のプローブにおいて、
前記コアは、パーマロイで形成されていることを特徴とするプローブ。
請求項１乃至３の何れか１つに記載のプローブにおいて、
前記コアは、積層板で形成されていることを特徴とするプローブ。