JP6896888B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
図4に示すような設定画面を用いて操作者が観察条件を設定する。本実施例の設定画面には、加速電圧設定部401、倍率設定部402、スキャン条件設定部403、画像取込み前ビーム照射時間設定部408が含まれる。加速電圧設定部401では試料110に照射される電子ビームの加速電圧が設定される。倍率設定部402では観察画像の倍率が設定される。
制御部118は、鏡体部101に試料110への電子ビーム104の照射を開始させる。
制御部118が鏡体部101に試料110の観察領域で電子ビーム104を走査させるのにともなって、画像生成部102が検出器112から出力される観測信号を受信することにより、フレームスキャンが開始される。
画像生成部102は、S303で受信した観測信号に基づいてフレーム画像を生成する。生成されたフレーム画像はフレームメモリ115に蓄積される。
制御部118は、電子ビーム104の照射開始から所定時間が経過したか、または試料表面の帯電量が飽和したか否かを判断する。所定時間が経過したか否かは、S301で設定された画像取込み前ビーム照射時間に基づいて判断される。また帯電量が飽和したか否かは、生成されたフレーム画像と直前のフレームスキャンで生成されたフレーム画像との比較結果に基づいて判断される。具体的には、時間方向において隣り合うフレーム画像間の位置ずれや輝度値の変化が予め定められた閾値よりも小さい場合に、帯電量が飽和したと判断される。または操作者が2つのフレーム画像を見比べて帯電量が飽和したか否かを判断し、入力部119から判断結果を入力しても良い。
制御部118が鏡体部101に試料110の観察領域で電子ビーム104を走査させるのにともなって、画像生成部102が検出器112から出力される観測信号を受信することにより、フレームスキャンが再び開始される。
画像生成部102は、S306で受信した観測信号に基づいてフレーム画像を生成する。生成されたフレーム画像はフレームメモリ115に蓄積される。
制御部118は、フレーム画像の生成数がS301で設定された積算枚数に達したか否かを判断する。生成数が積算枚数に達していない場合はS306へ処理が戻り、達した場合はS309へ処理が進む。
画像処理部116は、フレームメモリ115に蓄積されたフレーム画像を積算し、フレーム積算画像を算出する。
表示部117にフレーム積算画像が表示される。
図6に示すような設定画面を用いて操作者が観察条件を設定する。本実施例の設定画面には、実施例1と同様に加速電圧設定部401、倍率設定部402、スキャン条件設定部403が含まれ、さらにスキャン休止時間設定部608が含まれる。加速電圧設定部401、倍率設定部402、スキャン条件設定部403は実施例1と同じである。
制御部118は、鏡体部101に試料110への電子ビーム104の照射を開始させる。
制御部118が鏡体部101に試料110の観察領域で電子ビーム104を走査させるのにともなって、画像生成部102が検出器112から出力される観測信号を受信することにより、フレームスキャンが開始される。
画像生成部102は、S503で受信した観測信号に基づいてフレーム画像を生成する。生成されたフレーム画像はフレームメモリ115に蓄積される。
制御部118は、フレーム画像の生成数がS501で設定された積算枚数に達したか否かを判断する。生成数が積算枚数に達していない場合はS506を介してS503へ処理が戻り、達した場合はS507へ処理が進む。
制御部118は、S501で設定されたスキャン休止時間が経過するまで、鏡体部101にスキャンを休止させる。スキャン休止は、観察領域に電子ビーム104を照射させないことで実行される。具体的には、電子銃103からの電子ビーム104の放射停止、電子銃103と試料110間への遮蔽物の挿入、偏向器111による観察領域の外への電子ビーム104の偏向、XYステージ108の移動等のいずれでも良い。観察領域に電子ビーム104を照射させないことにより、試料表面の観察領域の電荷が、試料室内の雰囲気や試料ホルダ109を通じて放電する。放電の速度は試料110の構造や組成に依存する。
画像処理部116は、フレームメモリ115に蓄積されたフレーム画像を積算し、フレーム積算画像を算出する。例えば、積算枚数が5枚である場合、図7(b)ではFSa1〜FSa5やFSb1〜FSb5のフレームスキャンによりスキャン休止時間をはさんで生成された5枚のフレーム画像が積算される。
表示部117にフレーム積算画像が表示される。
操作者は、実施例2と同様に、図6に示すような設定画面を用いて、加速電圧、倍率、スキャン条件、スキャン休止時間等の観察条件を設定する。設定された観察条件は制御部118に送信され、以降の処理において用いられる。
制御部118は、鏡体部101に試料110への電子ビーム104の照射を開始させる。
制御部118が鏡体部101に試料110の観察領域で電子ビーム104を走査させるのにともなって、画像生成部102が検出器112から出力される観測信号を受信することにより、フレームスキャンが開始される。
画像生成部102は、S803で受信した観測信号に基づいてフレーム画像を生成する。生成されたフレーム画像はフレームメモリ115に蓄積される。
制御部118は、試料表面の帯電量が飽和したか否かを判断する。帯電量が飽和したか否かは、生成されたフレーム画像と直前のフレームスキャンで生成されたフレーム画像との比較結果に基づいて判断される。具体的には、時間方向において隣り合うフレーム画像間の位置ずれや輝度値の変化が予め定められた閾値よりも小さい場合に、帯電量が飽和したと判断される。例えば、図7(b)においてFSa5やFSb4のフレーム画像が生成されたときに、FSa4やFSb3のフレーム画像と比較されて帯電量が飽和したと判断される。または操作者が2つのフレーム画像を見比べて帯電量が飽和したか否かを判断し、入力部119から判断結果を入力しても良い。
制御部118は、S801で設定されたスキャン休止時間が経過するまで、鏡体部101にスキャンを休止させる。スキャン休止は、実施例2と同様に実行される。
制御部118が鏡体部101に試料110の観察領域で電子ビーム104を走査させるのにともなって、画像生成部102が検出器112から出力される観測信号を受信することにより、フレームスキャンが再び開始される。
画像生成部102は、S807で受信した観測信号に基づいてフレーム画像を生成する。生成されたフレーム画像はフレームメモリ115に蓄積される。
制御部118は、フレーム画像の生成数がS801で設定された積算枚数に達したか否かを判断する。生成数が積算枚数に達していない場合はS810を介してS807へ処理が戻り、達した場合はS811へ処理が進む。
制御部118は、S801で設定されたスキャン休止時間が経過するまで、鏡体部101にスキャンを休止させる。スキャン休止は、実施例2と同様に実行される。
画像処理部116は、フレームメモリ115に蓄積されたフレーム画像を積算し、フレーム積算画像を算出する。
表示部117にフレーム積算画像が表示される。
図10に示すような設定画面を用いて操作者が観察条件を設定する。本実施例の設定画面には、実施例2と同様に加速電圧設定部401、倍率設定部402、スキャン条件設定部403、スキャン休止時間設定部608が含まれ、さらに連続回数設定部1009が含まれる。加速電圧設定部401、倍率設定部402、スキャン条件設定部403、スキャン休止時間設定部608は実施例2と同じある。
制御部118は、鏡体部101に試料110への電子ビーム104の照射を開始させる。
制御部118が鏡体部101に試料110の観察領域で電子ビーム104を走査させるのにともなって、画像生成部102が検出器112から出力される観測信号を受信することにより、フレームスキャンが開始される。
画像生成部102は、S903で受信した観測信号に基づいてフレーム画像を生成する。生成されたフレーム画像はフレームメモリ115に蓄積される。
制御部118は、フレーム画像の生成数がS901で設定された連続回数に達したか否かを判断する。生成数が連続回数に達していない場合はS906を介してS903へ処理が戻る。生成数が連続回数に達した場合はS907へ処理が進むとともに、一つの連続フレームスキャンがなされたとして連続フレームスキャン数がカウントアップされ、フレーム画像の生成数がリセットされる。
制御部118は、S901で設定されたスキャン休止時間が経過するまで、鏡体部101にスキャンを休止させる。スキャン休止は、実施例2と同様に実行される。
制御部118は、連続フレームスキャン数がS901で設定された積算枚数に達したか否かを判断する。連続フレームスキャン数が積算枚数に達していない場合はS908を介してS903へ処理が戻り、達した場合はS909へ処理が進む。
制御部118は、試料110の観察領域が十分に放電するまで、鏡体部101にスキャンを停止させる。スキャン停止は、スキャン休止と同様に、観察領域に電子ビーム104を照射させないことで実行される。
画像処理部116は、フレームメモリ115に蓄積されたフレーム画像の中から、フレームスキャンの回数が同じフレーム画像同士、例えばFS11のフレーム画像とFS21のフレーム画像を積算して積算画像を算出する。
表示部117に、S909で算出された積算画像がフレームスキャンの回数と対応づけられて表示される。このような表示により、フレームスキャンの回数、言い換えると電子ビームの照射時間に対する試料の帯電傾向を把握することができる。その結果、操作者にとって最適な帯電状態、すなわち操作者が望む画素値やコントラストを有する画像の取得が容易になる。例えば、電子ビームの照射時間に対する試料の帯電傾向に基づいて実施例1の画像取込み前ビーム照射時間が設定されても良い。
Claims (10)
- 試料へ荷電粒子線を照射する荷電粒子線源と、
前記試料の観察領域で前記荷電粒子線を走査する偏向器と、
前記荷電粒子線の走査によって前記試料から放出される荷電粒子を検出する検出器と、
前記検出器から出力される観測信号に基づいて前記観察領域のフレーム画像を生成する画像生成部と、
フレーム画像の生成後に前記観察領域での前記荷電粒子線の走査を休止させる時間であるスキャン休止時間を設定するスキャン休止時間設定部を備え、
前記画像生成部は、前記スキャン休止時間をはさんで生成されたフレーム画像を積算することによりフレーム積算画像を算出する荷電粒子線装置であって、
時間方向において隣り合うフレーム画像間の比較結果に基づいて前記観察領域の帯電量が飽和したか否かを判断する制御部をさらに備え、
前記画像生成部は、帯電量が飽和したとの判断がされた以降に生成されたフレーム画像を用いてフレーム積算画像を算出することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 試料へ荷電粒子線を照射する荷電粒子線源と、
前記試料の観察領域で前記荷電粒子線を走査する偏向器と、
前記荷電粒子線の走査によって前記試料から放出される荷電粒子を検出する検出器と、
前記検出器から出力される観測信号に基づいて前記観察領域のフレーム画像を生成する画像生成部と、
フレーム画像の生成後に前記観察領域での前記荷電粒子線の走査を休止させる時間であるスキャン休止時間を設定するスキャン休止時間設定部を備え、
前記画像生成部は、前記スキャン休止時間をはさんで生成されたフレーム画像を積算することによりフレーム積算画像を算出する荷電粒子線装置であって、
前記試料の帯電量や前記フレーム積算画像の輝度値の目標値が入力される入力部と、
前記目標値に応じて前記スキャン休止時間を算出し、算出された前記スキャン休止時間を前記スキャン休止時間設定部に設定させる制御部をさらに備えることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 試料へ荷電粒子線を照射する荷電粒子線源と、
前記試料の観察領域で前記荷電粒子線を走査する偏向器と、
前記荷電粒子線の走査によって前記試料から放出される荷電粒子を検出する検出器と、
前記検出器から出力される観測信号に基づいて前記観察領域のフレーム画像を生成する画像生成部と、
フレーム画像の生成後に前記観察領域での前記荷電粒子線の走査を休止させる時間であるスキャン休止時間を設定するスキャン休止時間設定部を備え、
前記画像生成部は、前記スキャン休止時間をはさんで生成されたフレーム画像を積算することによりフレーム積算画像を算出する荷電粒子線装置であって、
フレーム画像の生成を連続して実行させる回数である連続回数を設定する連続回数設定部と、
前記連続回数分のフレームスキャンの実行である連続フレームスキャンを、前記試料の帯電状態を初期化するためのスキャン停止をはさみながら複数回実行させる制御部をさらに備え、
前記画像生成部は、複数の前記連続フレームスキャンにより生成されたフレーム画像の中から、フレームスキャン回数が同じフレーム画像同士を積算することにより積算画像を生成し、各積算画像の評価値を算出することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項3に記載の荷電粒子線装置であって、
前記評価値と前記フレームスキャン回数とが対応付けられたグラフを表示することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項4に記載の荷電粒子線装置であって、
前記グラフには、前記評価値の変化が最も大きくなる点が表示されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項3に記載の荷電粒子線装置であって、
前記積算画像は前記フレームスキャン回数と対応付けられて並列表示されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項3に記載の荷電粒子線装置であって、
前記評価値が、前記積算画像の輝度値の平均値、標準偏差、前記平均値と前記標準偏差との比のいずれかであることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 荷電粒子線を発生する荷電粒子線源と、
試料の観察領域で前記荷電粒子線を走査する偏向器と、
前記荷電粒子線の走査によって前記試料から放出される荷電粒子を検出する検出器と、
前記検出器から出力される観測信号に基づいて前記観察領域のフレーム画像を生成する画像生成部と、
所定時間を設定する時間設定部を備え、
前記画像生成部は、前記荷電粒子線の走査の開始から前記所定時間の経過後に生成されたフレーム画像を積算することによりフレーム積算画像を算出する荷電粒子線装置であって、
フレーム画像の生成を連続して実行させる回数である連続回数を設定する連続回数設定部と、
前記連続回数分のフレームスキャンの実行である連続フレームスキャンを、前記試料の帯電状態を初期化するためのスキャン停止をはさみながら複数回実行させる制御部をさらに備え、
前記画像生成部は、複数の前記連続フレームスキャンにより生成されたフレーム画像の中から、フレームスキャン回数が同じフレーム画像同士を積算することにより積算画像を生成し、各積算画像の評価値を算出することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項8に記載の荷電粒子線装置であって、
前記時間設定部は前記評価値に基づいて前記所定時間を設定することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 荷電粒子線を発生する荷電粒子線源と、
試料の観察領域で前記荷電粒子線を走査する偏向器と、
前記荷電粒子線の走査によって前記試料から放出される荷電粒子を検出する検出器と、
前記検出器から出力される観測信号に基づいて前記観察領域のフレーム画像を生成する画像生成部と、
所定時間を設定する時間設定部を備え、
前記画像生成部は、前記荷電粒子線の走査の開始から前記所定時間の経過後に生成されたフレーム画像を積算することによりフレーム積算画像を算出する荷電粒子線装置であって、
前記時間設定部は時間方向において隣り合うフレーム画像間の比較結果に基づいて前記所定時間を設定することを特徴とする荷電粒子線装置。
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