JP6886936B2 - 水蒸気処理製品の製造方法および製造装置 - Google Patents

Description

本発明は、黒色めっき鋼板等の水蒸気処理製品を製造する方法および製造する装置に関する。

建築物の屋根材や外装材、家電製品、自動車などの分野では、意匠性などの観点から例えば黒色の外観を有する鋼板のニーズが高まっている。例えば、特許文献１には、黒色めっき鋼板の製造方法が開示されている。

特許文献１に記載の黒色めっき鋼板の製造方法は、密閉容器内でめっき鋼板に水蒸気を接触させてめっき層の表面を黒色化させる工程と、密閉容器内に大気等のガスを導入することにより、黒色化しためっき鋼板を冷却する工程とを備えている。

なお、以下の説明では、めっき鋼板等の被処理物のめっき層を黒色化するために、密閉容器の内部で上記被処理物に水蒸気を接触させることを、単に「水蒸気処理」ともいう。

特許第６０７２９５２号公報

しかしながら、特許文献１におけるめっき鋼板の冷却工程は冷却速度が十分ではなく、そのことが黒色めっき鋼板の製造に長時間を要する一因となっている。

そこで、本願発明では、水蒸気処理された被処理物を速やかに冷却することにより、黒色めっき鋼板等の水蒸気処理製品の製造時間を短縮することができる水蒸気処理製品の製造方法および製造装置を提供することを目的とする。

（１）被処理物が内部に配置された密閉容器内に水蒸気を導入し、当該水蒸気と、前記被処理物とを接触させる水蒸気処理工程と、前記水蒸気処理工程において水蒸気処理がなされた前記被処理物を冷却する被処理物冷却工程と、を備える水蒸気処理製品の製造方法であって、前記被処理物冷却工程は、前記密閉容器内に冷却用ガスを導入して当該冷却用ガスを前記被処理物に接触させ、導入した冷却用ガスを前記密閉容器から排出する工程であり、前記密閉容器から前記冷却用ガスを排出する前に、前記密閉容器内に冷却用ガスを導入し、導入した冷却用ガスを前記密閉容器内に一旦閉じ込める冷却用ガス導入工程を含むことを特徴とする水蒸気処理製品の製造方法。

上記（１）の構成によれば、被処理物冷却工程において、導入した冷却用ガスを密閉容器内に一旦閉じ込め、水蒸気処理により温度が上昇した被処理物に冷却用ガスを接触させ、その接触に伴う熱交換により温度が上昇した冷却用ガスを密閉容器から排出する。このように、導入した冷却用ガスを密閉容器内に一旦閉じ込め、被処理物の熱を抜熱した冷却用ガスを密閉容器から排出することにより、水蒸気処理後の被処理物を速やかに（短時間で）冷却することができ、黒色めっき鋼板等の水蒸気処理製品の製造時間を短縮することができる。

（２）前記被処理物冷却工程は、前記冷却用ガス導入工程の後に、前記密閉容器内の気圧が大気圧未満となるように排気ポンプを用いて前記密閉容器から前記冷却用ガスを排出する冷却用ガス排出工程を含むことを特徴とする（１）に記載の水蒸気処理製品の製造方法。

上記（２）の構成によれば、冷却用ガス導入工程において、冷却用ガスに被処理物の熱を十分に抜熱させ、冷却用ガス排出工程において、被処理物からの抜熱により温度上昇した冷却用ガスを排気ポンプによって積極的に外部に排出することができる。これにより、水蒸気処理後の被処理物をより一層速やかに冷却することができ、黒色めっき鋼板等の水蒸気処理製品の製造時間をさらに短縮することができる。

（３）前記被処理物冷却工程は、前記冷却用ガス導入工程と前記冷却用ガス排出工程とを交互に繰り返す工程であることを特徴とする（２）に記載の水蒸気処理製品の製造方法。

上記（３）の構成によれば、水蒸気処理された被処理物を上記（２）の場合よりも一層速やかに冷却することができ、黒色めっき鋼板等の水蒸気処理製品の製造時間をさらに短縮することができる。

（４）前記被処理物冷却工程は、前記冷却用ガス導入工程の後に、前記密閉容器内に冷却用ガスを導入して当該冷却用ガスを前記被処理物に接触させることと並行して、導入した冷却用ガスを前記密閉容器から排出する工程を含むことを特徴とする（１）に記載の水蒸気処理製品の製造方法。

上記（４）の構成によれば、密閉容器への冷却用ガスの導入と、導入した冷却用ガスの排出とが並行して行われるので、被処理物からの抜熱により温度上昇した冷却用ガスを、抜熱前の比較的低温の冷却用ガスにスムーズに入れ替えることができる。これにより、水蒸気処理された被処理物をより一層速やかに冷却することができ、黒色めっき鋼板等の水蒸気処理製品の製造時間をさらに短縮することができる。

（５）前記被処理物冷却工程において、前記密閉容器内に設けられたファンにより、前記密閉容器内の冷却用ガスを攪拌および循環させることを特徴とする（１）乃至（４）のいずれか１つに記載の水蒸気処理製品の製造方法。

上記（５）の構成によれば、密閉容器内で冷却用ガスが攪拌されつつ循環するので、被処理物に冷却用ガスを均一に接触させることができる。これにより、被処理物をより短時間でムラ無く冷却することができる。

本願発明によれば、水蒸気処理された被処理物を速やかに冷却することにより、黒色めっき鋼板等の水蒸気処理製品の製造時間を短縮することができる。

本願発明の第１実施形態に係る黒色めっき鋼板を製造する方法のフローチャートである。 本願発明の第１実施形態に係る黒色めっき鋼板を製造する装置の模式図である。 第１実施形態におけるめっき鋼板の冷却工程を示すフローチャートである。 第１実施形態のめっき鋼板の冷却工程における、（ａ）密閉容器内の圧力変化と、（ｂ）ガス導入弁の開閉タイミングと、（ｃ）排気弁の開閉タイミングと、（ｄ）排気ポンプのオン・オフタイミングと、（ｅ）大気圧開放弁の開閉タイミングと、の関係を示すタイミングチャートである。 本願発明の第２実施形態に係る黒色めっき鋼板を製造する装置の模式図である。 本願発明の第２実施形態の変形例に係る黒色めっき鋼板を製造する装置の模式図である。 第２実施形態の変形例における、（Ａ）密閉容器内の圧力の変化と、（Ｂ）ガス導入弁の開閉タイミングと、（Ｃ）排気弁の開閉タイミングと、（Ｄ）押込みブロワのオン・オフのタイミングと、（Ｅ）吸出しブロワのオン・オフのタイミングと、（Ｆ）循環ファンのオン・オフのタイミングとの関係を示すタイミングチャートである。

以下、本発明に係る水蒸気処理製品の製造方法を黒色めっき鋼板の製造方法に適用する場合について説明するとともに、その製造方法を実現可能な黒色めっき鋼板の製造装置について説明する。

なお、この明細書では、溶融Ａｌ、Ｍｇ含有Ｚｎめっき鋼板を、単に「めっき鋼板」とも言うことがある。また、溶融Ａｌ、Ｍｇ含有Ｚｎめっき鋼板の溶融Ａｌ、Ｍｇ含有Ｚｎめっき層を、単に「めっき層」ということがある。また、「雰囲気ガス」とは、密閉容器の内部に存在するガスを意味し、本願明細書に記載された大気、水蒸気、窒素ガスなどの総称である。また、この明細書における「ｋＰａ」は、絶対圧での圧力を意味する。

（第１実施形態）
第１実施形態に係る水蒸気処理製品の製造方法は、概略的には、図１に示されるように、めっき鋼板を水蒸気処理により黒色化させる工程（Ｓ１３０）と、黒色化しためっき鋼板を冷却する工程（Ｓ１５０）とを備えており、その冷却工程（Ｓ１５０）に最大の特徴を有している。以下、その冷却工程（Ｓ１５０）を詳しく説明する前に、当該冷却工程（Ｓ１５０）を実現するための構成を備える黒色めっき鋼板の製造装置について説明する。

［黒色めっき鋼板の製造装置］
（装置の構成）
本実施形態に係る黒色めっき鋼板の製造装置（以下、「黒色めっき鋼板製造装置」ともいう。）は、その一例を示す模式断面図である図２に示されているように、めっき鋼板１を取り出し可能に配置できる配置部１２を有する密閉容器１０と、密閉容器１０の内部に水蒸気を導入する導入水蒸気調整機構４０と、密閉容器１０の内部に露点がめっき鋼板１の温度未満であるガス（低水蒸気ガス）を導入するガス導入部５０と、密閉容器１０の内部の雰囲気ガスを排気する排気調整機構３０とを有する。導入水蒸気調整機構４０は、本発明の「水蒸気導入手段」に含まれる。ガス導入部５０は、本発明の「冷却用ガス導入手段」に含まれる。また、排気調整機構３０は、本発明の「冷却用ガス排出手段」に含まれる。

黒色めっき鋼板製造装置は、さらに、密閉容器１０の内部の圧力を大気圧に戻すための大気圧開放弁（図示せず。）と、密閉容器１０の内部の雰囲気ガスを撹拌しつつ循環させる循環ファン７１などの撹拌部７０とを有している。

黒色めっき鋼板製造装置は、さらに、めっき鋼板１の温度を測定する温度計測部６０や密閉容器１０内の圧力を測定する圧力計測部６１、雰囲気ガスの温度を計測するガス温度計測部６２を有していてもよい。さらに、密閉容器１０の内部を加熱（または冷却）する天井部温度調整機構２１、縦壁部温度調整機構２０、シースヒータ等の加熱装置２４を有していてもよい。また、黒色めっき鋼板製造装置は、導入水蒸気調整機構４０、ガス導入部５０、排気調整機構３０、撹拌部７０、温度調整機構２１、２０、シースヒータ等の加熱装置２４の他、各弁装置の開閉動作を制御して、黒色めっき鋼板１を製造させる制御部（図示せず）を有していてもよい。また、ドレン配管３５およびドレン弁３６を有しているとき、制御部はドレン弁３６の動作を制御して、装置内部から外部へ水を排出させてもよい。

以下に、図２を参照して、黒色めっき鋼板製造装置の例示的な態様について詳しく説明する。

密閉容器１０は、底部フレーム８と、上部カバー９とを有している。底部フレーム８は、めっき鋼板１が配置される配置部１２を備えている。また、上部カバー９は、天井面がドーム状に形成された上部カバー天井部１３と、側面が円形筒状に形成された上部カバー縦壁部１４とを有している。上部カバー９は、下部が開放される形状によって構成されている。また、密閉容器１０の外壁には、流体を流すことによって密閉容器１０内を加熱したり冷却したりすることができる天井部温度調整機構２１と、縦壁部温度調整機構２０とが別々に設けられている。また、密閉容器１０は、その外部から内部への気体の流入が実質的に不可能な密閉状態と、外部から内部へのめっき鋼板１の搬入が可能な開放状態との、いずれをもとることが可能に構成されている。密閉容器１０は、密閉状態において、雰囲気ガスの排気による内部の気体の圧力の低下や、水蒸気導入による内部圧力の上昇、加熱、冷却などに耐えうる強度を有している。

底部フレーム８には、水蒸気供給源から水蒸気を導入する水蒸気供給配管４１と、密閉容器１０内の雰囲気ガスや水蒸気などを排出するための排気配管３１、ドレン配管３５が接続されている。また、排気配管３１の中途部には、ガス導入配管５１が接続されている。これらの配管４１、３１、３５、５１に設けられた開閉弁を閉じることで、密閉容器１０の内部を密閉状態にできる。

底部フレーム８に設けられた配置部１２には、めっき鋼板１が配置される。めっき鋼板１は、スペーサー２によって積層されてもよい。また、図２に示されているように、配置部１２は、めっき鋼板１の上部からめっき鋼板１の下部に流れてきた雰囲気ガスが循環ファン７１に吸い込まれるようにするための吸込口１２Ａと、循環ファン７１に吸い込まれた雰囲気ガスを密閉容器１０の内部空間へ吐き出すための吐出口１２Ｂとを有している。このような構成によって、密閉容器１０の内部の気体がめっき鋼板１の隙間を通って循環するため、より均一に雰囲気ガスをめっき鋼板１に接触させることができる。

排気調整機構３０は、排気配管３１、排気弁３２および排気ポンプ３７を有している。排気ポンプ３７は、例えば真空ポンプである。なお、「排気弁３２」は、後述の排気弁３２２、３２４、３２６の総称である。また、「排気ポンプ３７」は、後述の排気ポンプ３７２、３７４、３７６の総称である。排気配管３１は、密閉容器１０の内部と密閉容器１０の外部とを連通するように底部フレーム８を貫通して設けられた配管である。例えば、密閉容器１０の内部の雰囲気ガスは、排気配管３１を通って排気ポンプ３７の吸引力によって外部に排気される。

なお、本実施形態では、図２に示されているとおり、水蒸気処理中の密閉容器１０内の水蒸気量を調整するために、排気配管３１は、排気方向の上流端部から所定の区間（分岐点Ａまでの区間）では１つの配管とされ、上記所定の区間より下流側では、呼び径が互いに異なる３つの配管３３２、配管３３４及び配管３３６に分岐している。配管３３２、配管３３４及び配管３３６のそれぞれには、排気弁３２２、３２４、３２６が設けられている。また、配管３３２、配管３３４及び配管３３６には、それぞれ、排気ポンプ３７２，３７４，３７６が設けられている。排気ポンプ３７２、３７４、３７６は、それぞれ、排気弁３２２、３２４、３２６よりも排気方向の下流側に位置する。

ここで、例えば、配管３３２には呼び径２０Ａの配管を、配管３３４には呼び径２５Ａの配管を、配管３３６には呼び径８０Ａの配管を、それぞれ用いることにより、必要な密閉容器内の水蒸気量にもとづき、制御部によって排気弁３２の開閉制御を行い、細かく正確な排気量調整が可能に構成されている。もちろん、本実施形態に限定されるものではなく、配管３３２、３３４、３３６の呼び径や数は必要に応じて設定可能である。また、後述の第２工程および第４工程において、排気調整機構３０は、排気ポンプ３７２、３７４、３７６を用いて雰囲気ガスを排気することによって密閉容器１０内の気体の圧力を７０ｋＰａ以下にできるように構成されている。

ドレン配管３５は、密閉容器１０の内部と密閉容器１０の外部とを連通するように底部フレーム８を貫通して設けられた配管である。密閉容器１０の内部の液体（結露水など）は、ドレン配管３５を通って外部に排出される。

導入水蒸気調整機構４０は、水蒸気供給配管４１および水蒸気供給弁４２を有しており、密閉容器１０内に供給する水蒸気量を、水蒸気供給弁４２で調整するものである。なお、「水蒸気供給弁４２」は、後述の水蒸気供給弁４２２、４２４、４２６の総称である。密閉容器１０内に水蒸気の供給をしないときは、水蒸気供給弁４２は閉じられて、水蒸気供給配管４１を通じた密閉容器１０内への水蒸気の供給は遮断される。

なお、本実施形態の黒色めっき鋼板製造装置では、図２に示されているとおり、水蒸気処理中の密閉容器１０内への水蒸気量を調整するために、水蒸気供給配管４１は、密閉容器１０との接続部から上流側への所定の区間では１つの配管とされ、上記所定の区間より上流側では、呼び径が互いに異なる３つの配管４３２、４３４、４３６に分岐している。配管４３２、４３４、４３６には、それぞれ、水蒸気供給弁４２２、４２４、４２６が設けられている。

ここで、例えば、配管４３２には呼び径２０Ａの配管を、配管４３４には呼び径２５Ａの配管を、配管４３６には呼び径８０Ａの配管を、それぞれ用いることにより、必要な密閉容器１０内の水蒸気量にもとづき、水蒸気供給弁４２の開閉制御を行い、細かく正確な導入水蒸気量の調整が可能に構成されている。もちろん、本実施形態に限定されるものではなく、水蒸気供給配管４１の呼び径や数は必要に応じて設定可能である。

ガス導入部５０は、ガス導入配管５１と、このガス導入配管５１に設けられるガス導入弁５２とを有している。本実施形態では、ガス導入配管５１におけるガスの流れ方向の下流端部Ｂは、排気配管３１における分岐点Ａよりも排気流れ方向の上流側の部分（１つの配管）に接続されている。つまり、ガス導入配管５１は、排気配管３１を介して密閉容器１０の内部と連通している。また、ガス導入配管５１の上流端部は、不図示のガス供給源と連通している。このガス導入部５０は、例えば、後述の第１工程（Ｓ１１０）や第５工程（Ｓ１５０）において、密閉容器１０の内部に低水蒸気ガスを導入するために用いることができる。

温度計測部６０は、めっき鋼板１の表面のうちそれぞれ異なる領域に当接して設置された複数の温度センサーであり、例えば、熱電対を用いてめっき鋼板１の温度を測定する。なお、めっき鋼板１をコイル状にした場合、コイルの板間に熱電対を挿入してもよい。

圧力計測部６１は、密閉容器１０の内部の圧力を測定するための圧力計である。この圧力計は、後述の第１工程（Ｓ１１０）、第２工程（Ｓ１２０）、第３工程（Ｓ１３０）、第４工程（Ｓ１４０）、および第５工程（Ｓ１５０）の全ての工程を通じて圧力を測定可能な圧力計である。

ガス温度計測部６２は、密閉容器１０の内部の雰囲気ガスの温度を測定するための温度センサーであり、例えば熱電対を用いることができる。また、この温度センサーは１箇所のみ設けるのでなく、密閉容器１０の内部の複数個所に設けて、適宜切り替えて用いてもよい。

撹拌部７０は、底部フレーム８に配置された循環ファン７１と、循環ファン７１を回転駆動する駆動モーター７２とを有している。駆動モーター７２が循環ファン７１を回転させると、図２において矢印で示されているように、めっき鋼板１の内径部分を抜けてきた雰囲気ガスが、配置部１２の上部に設けられた吸込口１２Ａから吸い込まれるとともに、配置部１２の外周部に設けられた吐出口１２Ｂから流出して、密閉容器１０の内壁とコイル１の外周面の間を通過し、めっき鋼板１の上部からめっき鋼板１の隙間に流入する。そして、再びめっき鋼板１の下部から配置部１２の上部に設けられた吸込口１２Ａから雰囲気ガスが循環ファン７１吸い込まれて上記のように密閉容器１０内を循環する。このようにして、水蒸気処理中の密閉容器１０の内部の雰囲気ガスは撹拌されるとともに、めっき鋼板１の隅々まで雰囲気ガスを行き渡らせることができる。もちろん、撹拌部７０は水蒸気処理中（後述の第３工程（Ｓ１３０））だけ使用されるものではなく、めっき鋼板１の加熱工程（後述の第１工程（Ｓ１１０））や冷却工程（後述の第５工程（Ｓ１５０））において使用してもよい。

［黒色めっき鋼板を製造する方法］
黒色めっき鋼板の製造方法は、上記の黒色めっき鋼板製造装置を用いて、ＡｌおよびＭｇを含有する溶融Ａｌ、Ｍｇ含有Ｚｎめっき鋼板１を密閉容器１０の内部で水蒸気に接触させて黒色めっき鋼板を製造する方法である。

本実施形態の黒色めっき鋼板の製造方法では、図１のフローチャートに示されているように、密閉容器１０（図２参照）の内部に配置した（積み込んだ）溶融Ａｌ、Ｍｇ含有Ｚｎめっき鋼板１を加熱する第１工程（Ｓ１１０）と、密閉容器１０の内部の雰囲気ガスを排気して、密閉容器１０内部の気体圧力を７０ｋＰａ以下にする第２工程（Ｓ１２０）と、密閉容器１０の内部に水蒸気を導入して水蒸気処理を行う第３工程（Ｓ１３０）と、第３工程（Ｓ１３０）の後に密閉容器１０の内部の圧力をいったん大気圧に戻した後に、密閉容器１０内部の気体圧力を再び７０ｋＰａ以下にする第４工程（Ｓ１４０）と、密閉容器１０内部のめっき鋼板１を冷却する第５工程（Ｓ１５０）とを、この順番で行う。なお、以下の説明では、加熱装置２４、温度調整機構２０、２１、撹拌装置７０、各弁３２、４２、５２、排気ポンプ３７等は、図外の制御部からの制御信号によってそれぞれの動作が制御されるものとする。

以下、各工程についてより詳しく説明する。

（第１工程）
第１工程（Ｓ１１０）では、密閉容器１０の内部に配置しためっき鋼板１を加熱する。

めっき鋼板１は、基材鋼板と、基材鋼板の表面に形成された溶融Ａｌ、Ｍｇ含有Ｚｎめっき層とを有する。

基材鋼板の種類は特に限定されないが、例えば、低炭素鋼、中炭素鋼、高炭素鋼、および合金鋼などからなる鋼板を使用することができる。良好なプレス成形性が必要とされる場合は、低炭素Ｔｉ添加鋼および低炭素Ｎｂ添加鋼などの深絞り用鋼板が基材鋼板として好ましい。また、Ｐ、Ｓｉ、Ｍｎなどを添加した高強度鋼板を用いてもよい。

溶融Ａｌ、Ｍｇ含有Ｚｎめっき層は、水蒸気との接触により黒色化する組成を有していればよい。例えば、Ａｌが０．１質量％以上６０質量％以下、Ｍｇが０．０１質量％以上１０質量％以下、Ｚｎが残部の組成を有するめっき層は、水蒸気との接触によって好適に黒色化することができる。

めっき鋼板１の形状は、黒色化すべき領域のめっき層が水蒸気と接触することができるのであれば、特に限定されない。例えば、めっき鋼板１の形状は、めっき層が平坦な形状（例えば、平板状）でもよいし、屈曲した形状（例えば、コイル状）であってもよい。

また、第１工程（Ｓ１１０）において、めっき鋼板１は、露点が常にめっき鋼板温度未満であるガス（低水蒸気ガス）の存在下で加熱される。つまり、密閉容器１０の内部に存在する雰囲気ガスは低水蒸気ガスである。めっき鋼板１の加熱作業を容易にする観点から、低水蒸気ガスは大気であってもよいが、めっき鋼板１の黒色化が可能な限りにおいて、窒素などの不活性ガスに置換してもよい。その他、大気よりも低露点の雰囲気に置換してもよい。なお、低水蒸気ガスは、密閉容器１０に接続されたガス導入部５０から密閉容器１０内へ導入することができる。

第１工程（Ｓ１１０）におけるめっき鋼板１の加熱は、めっき層の表面温度が水蒸気との接触によってめっき層が黒色化される温度（以下、「黒色処理温度」ともいう。）に達するまで行われる。例えば、密閉容器１０内に設置しためっき鋼板１の表面温度を温度計測部６０で測定しながら黒色処理温度を超えるまで加熱を行うようにするとよい。

黒色処理温度は、めっき層の組成（例えば、めっき層中のＡｌおよびＭｇの含有量）もしくは厚み、または必要とする明度などに応じて任意に設定することができる。

めっき鋼板１の加熱方法は、めっき層の表面を黒色処理温度にすることができればよく、特に限定されるものではない。例えば、密閉容器１０内にシースヒータ等の加熱装置２４を設けて、密閉容器１０内の雰囲気ガスを加熱してめっき鋼板１を加熱してもよい。

なお、密閉容器内の雰囲気ガスを加熱する際に、密閉容器１０内に設けた循環ファン７１などの撹拌装置７０で雰囲気ガスを撹拌すると、効率よく短時間でムラ無く、めっき鋼板１を加熱することが可能である。

（第２工程）
第２工程（Ｓ１２０）では、密閉容器１０内の雰囲気ガスを、排気配管３１を通じて排気し、密閉容器１０内の気体の圧力を７０ｋＰａ以下にする。例えば、密閉容器１０外に設置した排気ポンプ３７で、密閉容器１０の中の雰囲気ガスを排出することで、密閉容器１０内の気体の圧力を上記範囲にすることができる。第２工程（Ｓ１２０）においては、雰囲気ガスの排気を１回のみ行ってもよいし、密閉容器１０内に残存する水蒸気以外の気体成分の量をより少なくするため、雰囲気ガスの排気と、ガス導入配管５１からの低水蒸気ガスの導入を繰り返し行ってもよい。

第２工程（Ｓ１２０）で密閉容器１０内の雰囲気ガスを排気して密閉容器１０内の気体圧力を低くすることによって、後述する第３工程（Ｓ１３０）で導入される水蒸気を、めっき鋼板１の間の隙間にまで十分に行き渡らせることができる。これにより、黒色化すべきめっき層全体をより均一に水蒸気処理することができ、黒色化のムラを発生しにくくすることができる。このような観点から、第２工程（Ｓ１２０）では、密閉容器１０内の気体圧力を７０ｋＰａ以下にすることが好ましく、さらに５０ｋＰａ以下にすることがより好ましい。

（第３工程）
第３工程（Ｓ１３０）では、密閉容器１０内に水蒸気を導入してめっき鋼板１のめっき層を黒色化する。すなわち、第３工程（Ｓ１３０）では、めっき鋼板１に対して、水蒸気処理を行う。第３工程（Ｓ１３０）は、本発明の「水蒸気処理工程」に含まれる。

第３工程（Ｓ１３０）では、水蒸気処理中の密閉容器１０内の雰囲気温度が１０５℃以上であることが好ましい。雰囲気温度を１０５℃以上とすることで、黒色化をより短時間に行うことができる。なお、この明細書では、密閉容器の内部の雰囲気ガスの温度を「雰囲気温度」と称する。雰囲気温度は、密閉容器の内部に設けられたガス温度計測部６２により計測することができる。

第３工程（Ｓ１３０）では、めっき鋼板１の黒色化のムラを防ぐため、密閉容器１０の内部に水蒸気を導入した後または導入中の黒色化処理中に、密閉容器１０の内部の雰囲気ガスを撹拌部７０によって撹拌してもよい。

また、水蒸気処理の処理時間は、めっき層の組成（たとえば、めっき層中のＡｌおよびＭｇの含有量）もしくは厚み、ならびに必要とする明度などに応じて任意に設定することができるが、水蒸気処理は２４時間程度行うのが好ましい。

（第４工程）
第４工程（Ｓ１４０）では、密閉容器１０の内部の圧力をいったん大気圧に戻した後に、密閉容器１０の内部の雰囲気ガスを排気して、密閉容器１０の内部の気体圧力を７０ｋＰａ以下にする。例えば、密閉容器１０の内部の圧力をいったん大気圧に戻すためには、密閉容器に設けた大気圧開放弁（図示せず。）を開くことで行うことができる。また、密閉容器１０内の気体圧力を７０ｋＰａ以下とするためには、密閉容器１０外に設置した排気ポンプ３７を使用し、密閉容器１０内の雰囲気ガスを、排気配管３１を通じて排出することで密閉容器１０内の圧力を低くすることができる。

（第５工程）
第５工程（Ｓ１５０）では、密閉容器１０の内部に露点が常にめっき鋼板温度未満であるガス（低水蒸気ガス）をガス導入管５１から導入してこの低水蒸気ガスをめっき鋼板１に接触させ、導入した低水蒸気ガスを密閉容器１０から排出することにより、めっき鋼板１を冷却する。第５工程（Ｓ１５０）は、本発明の「被処理物冷却工程」に含まれる。また、上記「低水蒸気ガス」は、本発明の「冷却用ガス」に含まれる。なお、第５工程（Ｓ１５０）で導入されるガスは、加熱されていないことが好ましいが、必要に応じて、密閉容器１０内の雰囲気温度よりも低温に加熱されていてもよい。

第５工程（Ｓ１５０）で導入される低水蒸気ガスは、例えば、大気、窒素ガス、または不活性ガスとすることができ、作業性を考慮すると、大気を導入することが好ましい。

第５工程（Ｓ１５０）は、密閉容器１０内に低水蒸気ガスを導入し、導入した低水蒸気ガスを密閉容器１０内に閉じ込める低水蒸気ガス導入工程と、当該低水蒸気ガス導入工程の後に、密閉容器１０内の気体圧力が大気圧未満となるように排気ポンプ３７を用いて密閉容器１０内の雰囲気ガス（導入した低水蒸気ガスを含む）を外部へ排出する雰囲気ガス排出工程と、を含む。上記「低水蒸気ガス導入工程」は、本発明の「冷却用ガス導入工程」に含まれ、上記「雰囲気ガス排出工程」は、本発明の「冷却用ガス排出工程」に含まれる。なお、上記低水蒸気ガス導入工程と上記雰囲気ガス排出工程とは、冷却速度向上のために、交互に繰り返して行うことが好ましい。

図３は、図１における第５工程（Ｓ１５０）の詳細を示すフローチャートである。図３に示される例では、低水蒸気ガス導入工程（Ｓ２１０）→雰囲気ガス排出工程（Ｓ２２０）→低水蒸気ガス導入工程（Ｓ２３０）→雰囲気ガス排出工程（Ｓ２４０）、の順に、低水蒸気ガス導入工程と、雰囲気ガス排出工程とを、交互に２回繰り返して行っている。そして、最後の雰囲気ガス排出工程（Ｓ２４０）の後に、図外の大気圧開放弁を開くことにより、密閉容器１０内を大気圧開放している（Ｓ２５０）。なお、低水蒸気ガス導入工程と雰囲気ガス排出工程とを繰り返す回数は、特に限定されるものではなく、３回以上繰り返してもよい。また、低水蒸気ガス導入工程と、雰囲気ガス排出工程とを繰り返さずに、各々１回ずつ行ってもよい。

図４は、先の第４工程（Ｓ１４０）の終盤から第５工程（Ｓ１５０）における、（ａ）密閉容器１０内の圧力（圧力計測部６１で測定した圧力）の変化と、（ｂ）ガス導入弁５２の開閉タイミングと、（ｃ）排気弁３２の開閉タイミングと、（ｄ）排気ポンプ３７のオン・オフのタイミングと、（ｅ）大気圧開放弁の開閉タイミングと、の関係を示すタイミングチャートである。以下、第４工程の終盤および第５工程についてさらに詳しく説明する。

（第４工程の終盤）
図４に示される例では、先の第４工程（Ｓ１４０）において密閉容器１０内の気体圧力を７０ｋＰａ以下の圧力（（ａ）の圧力Ｐ０、状態ａ０参照）まで減圧させる際に、ガス導入弁５２を閉じ（（ｂ）の状態ｂ０参照）、排気ポンプ３７をオンにし（（ｄ）の状態ｄ０参照）、排気弁３２を開く（（ｃ）の状態ｃ０参照）。なお、大気圧開放弁は閉じた状態にある（（ｅ）の状態ｅ０参照）。また、３つの配管３３２、配管３３４及び配管３３６のうち、少なくとも１つの配管から排気できればよいため、必ずしも全ての排気ポンプ３７をオンにし、全ての排気弁３２を開く必要はない。

（低水蒸気ガス導入工程）
次に、第５工程（Ｓ１５０）の低水蒸気ガス導入工程（Ｓ２１０）に入る。図４に示される例では、全ての排気弁３２を閉じ（（ｃ）の状態ｃ１参照）、全ての排気ポンプ３７をオフにし（（ｄ）の状態ｄ１参照）、ガス導入弁５２を開く（（ｂ）の状態ｂ１参照）。この排気ポンプ３７のオフ動作および弁類の弁開閉動作により、密閉容器１０内に低水蒸気ガスを導入し、導入した低水蒸気ガスを密閉容器１０内に一旦閉じ込めて、密閉容器１０内の気体圧力を大気圧Ｐ２まで上昇させる（（ａ）の状態ａ１参照）。密閉容器１０内に低水蒸気ガスを導入して、導入した低水蒸気ガスを密閉容器１０内に一旦閉じ込めることにより、めっき鋼板１に低水蒸気ガスを十分に接触させ、この接触に伴う熱交換によりめっき鋼板１の熱を低水蒸気ガスに十分に抜熱させる。

（雰囲気ガス排出工程）
次に、雰囲気ガス排出工程（Ｓ２２０）に入る。この工程では、ガス導入弁５２を閉じ（（ｂ）の状態ｂ２参照）、排気ポンプ３７をオンにし（（ｄ）の状態ｄ２参照）、排気弁３２を開く（（ｃ）の状態ｃ２参照）。この排気ポンプ３７のオン状態および弁類の弁開閉状態は、密閉容器１０内の気体圧力が圧力Ｐ２の半分以下の圧力Ｐ１に低下するまで維持される（（ａ）の状態ａ２参照）。つまり、密閉容器１０内の気体（低水蒸気ガスを含む雰囲気ガス）を半分以上排出させる。図４の（ａ）に示される例では、密閉容器１０内の気体圧力を圧力Ｐ２の半分未満の圧力まで低下させる。雰囲気ガスの排出に伴い、低水蒸気ガスが密閉容器１０から排出される。なお、３つの配管３３２、配管３３４及び配管３３６のうち、少なくとも１つの配管から排気できればよいため、必ずしも全ての排気ポンプ３７をオンにし、全ての排気弁３２を開く必要はない。後の雰囲気ガス排出工程（Ｓ２４０）においても同様である。

（低水蒸気ガス導入工程）
次に、低水蒸気ガス導入工程（Ｓ２３０）に入る。この工程では、全ての排気弁３２を閉じ（（ｃ）の状態ｃ３参照）、全ての排気ポンプ３７をオフにし（（ｄ）の状態ｄ３参照）、ガス導入弁５２を開く（（ｂ）の状態ｂ３参照）。この排気ポンプ３７のオフ動作および弁類の弁開閉動作により、密閉容器１０内に低水蒸気ガスを導入し、導入した低水蒸気ガスを密閉容器１０内に一旦閉じ込めて、密閉容器１０内の気体圧力を圧力Ｐ２まで上昇させる（（ａ）の状態ａ３参照）。これにより、めっき鋼板１の熱を低水蒸気ガスに十分に抜熱させる。なお、この工程では、排気バルブ３７を閉じて排気できないようにすれば、排気ポンプ３７を必ずしもオフにしなくてもよい（オンのままでもよい）。

（雰囲気ガス排出工程）
次に、雰囲気ガス排出工程（Ｓ２４０）に入る。この工程では、ガス導入弁５２を閉じ（（ｂ）の状態ｂ４参照）、排気ポンプ３７をオンにし（（ｄ）の状態ｄ４参照）、排気弁３２を開く（（ｃ）の状態ｃ４参照）。この排気ポンプ３７のオン状態および弁類の弁開閉状態は、密閉容器１０内の気体圧力が圧力Ｐ２の半分以下の圧力Ｐ１に低下するまで維持される（（ａ）の状態ａ４参照）。図４の（ａ）に示される例では、密閉容器１０内の気体圧力を圧力Ｐ２の半分未満の圧力まで低下させる。雰囲気ガスの排出に伴い、低水蒸気ガスが密閉容器１０から排出される。

（大気圧開放工程）
次に、大気圧開放工程（Ｓ２５０）に入る。この工程では、全ての排気弁３２を閉じ（（ｃ）の状態ｃ５参照）、全ての排気ポンプ３７をオフにし（（ｄ）の状態ｄ５参照）、図外の大気圧開放弁を開く（（ｅ）の状態ｅ１参照）。この排気ポンプ３７のオフ動作および弁類の弁開閉動作により、密閉容器１０内を大気圧開放する（（ａ）の状態ａ５参照）。

（第１実施形態の効果）
第１実施形態によれば、第５工程（Ｓ１５０）において、密閉容器１０内に低水蒸気ガスを導入して、めっき鋼板１に低水蒸気ガスを接触させ、この接触に伴う熱交換によりめっき鋼板１の熱を低水蒸気ガスに抜熱させる。そして、めっき鋼板１からの抜熱により温度が上昇した低水蒸気ガスを、密閉容器１０から排出する。このように、めっき鋼板１の熱を抜熱した低水蒸気ガスを密閉容器１０から排出することによって、水蒸気処理後のめっき鋼板１を速やかに（短時間で）冷却することができ、黒色めっき鋼板の製造時間を短縮することができる。

また、密閉容器１０内に導入した低水蒸気ガスを密閉容器１０内に一旦閉じ込めることにより、低水蒸気ガスにめっき鋼板１の熱を十分に抜熱させる。そして、めっき鋼板１からの抜熱により温度が上昇した低水蒸気ガスを排気ポンプ３７によって積極的に外部に排出することにより、水蒸気処理されためっき鋼板１の冷却速度を効果的に高めることができ、黒色めっき鋼板の製造時間を大幅に短縮することができる。

また、本実施形態では、図３、４に示されるように、低水蒸気ガスの導入および閉じ込めと、導入した低水蒸気ガスの排出とを交互に繰り返し行っているので、めっき鋼板１の冷却速度を効果的に高めることができる。

なお、本実施形態においては、第５工程（Ｓ１５０）において、密閉容器１０内に設けた循環ファン７１などの撹拌装置７０によって雰囲気ガス（低水蒸気ガスを含む）を撹拌すると、さらに効率よく短時間でムラ無く、めっき鋼板１を冷却することができる。

（第２実施形態）
第１実施形態では、ガス導入配管５１を排気配管３１に接続しているが、これに代えて、図５に示されるように、ガス導入配管５１を、密閉容器１０の内部と密閉容器１０の外部とを連通するように底部フレーム８を貫通して設けてもよい。この場合、ガス導入配管５１と排気配管３１とは互いに独立したものとなる。このため、例えば以下のように、第５工程（Ｓ１５０）を行うことができる。

具体的には、ガス導入弁５２を開くとともに排気弁３２を開く。これにより、ガス導入配管５１を通じて密閉容器１０内に低水蒸気ガスを導入して当該低水蒸気ガスをめっき鋼板１に接触させることと並行して、導入した低水蒸気ガスを排気配管３１を通じて密閉容器１０から排出する。

（第２実施形態の効果）
第２実施形態によれば、密閉容器１０において、低水蒸気ガスの導入と、導入した低水蒸気ガスの排出とが並行して行われるので、密閉容器１０内でめっき鋼板１からの抜熱により温度が上昇した低水蒸気ガスを、抜熱前の比較的低温の低水蒸気ガスにスムーズに入れ替えることができる。これにより、水蒸気処理後のめっき鋼板１をより速やかに冷却することができ、黒色めっき鋼板の製造時間を短縮することができる。

また、図５に示されるように、配管３３２、配管３３４及び配管３３６を、排気弁３２２、３２４、３２６よりも下流側で集合させてもよい。図５に示される例では、排気配管３１は、配管３３２、配管３３４及び配管３３６の集合点Ｃよりも下流側では１つの配管３３７とされている。この１つの配管３３７には、１つの排気ポンプ３７７が設けられている。つまり、３つの配管（３系統の配管）３３２、３３４、３３６に対して、ポンプ３７７を１台で共通化してもよい。なお、図５の排気配管３１内における破線の矢印は、排気弁３２２、３２４を閉じ、排気弁３２６を開いた場合の雰囲気ガスの流れ（排気の流れ）を示している。もちろん、排気弁３２６だけでなく、排気弁３２２、３２４、３２６のうちの任意の排気弁を開いて、排気配管３１からの排気速度を制御することが可能である。

なお、第１および第２実施形態では、排気配管３１として、途中（分岐点Ａ）で分岐したものを用いているが、分岐していないものを用いてもよい。この場合、排気配管に排気ポンプおよび排気弁を１つずつ設ければよい。

（第２実施形態の変形例）
上記の第２実施形態では、密閉容器１０において、低水蒸気ガスの導入と、導入した低水蒸気ガスの排出とを並行して行っている。第２実施形態の変形例においても、このような特徴を有するが、低水蒸気ガスを導入するための構造、および、雰囲気ガスを排出するための構造が第２実施形態とは異なっている。第２実施形態の変形例について、図６および図７を参照しつつ説明する。

第２実施形態の変形例では、第２実施形態のガス導入部５０に代えてガス導入部９０（図６参照）が設けられており、また、排気調整機構８０が設けられている。なお、第２実施形態の変形例においても、第２実施形態の導入水蒸気調整機構４０および排気調整機構３０と同様の機構が設けられているが、図６においては、便宜上、その図示を省略している。

ガス導入部９０は、ガス導入配管９１と、このガス導入配管９１に設けられるガス導入弁９２と、ガス導入配管９１に設けられる押込みブロワ９３とを有している。ガス導入配管９１は、密閉容器１０の内部と密閉容器１０の外部とを連通するように底部フレーム８を貫通して設けられた配管である。導入される低水蒸気ガスの流れ方向におけるガス導入配管９１の上流端部は、不図示のガス供給源と連通している。ガス導入部９０は、例えば、前述の第１工程（Ｓ１１０）や後述の第５工程（Ｓ３００）において、密閉容器１０の内部に低水蒸気ガスを導入するために用いることができる。

なお、第５工程で導入される低水蒸気ガスは、例えば、大気、窒素ガス、または不活性ガスとすることができ、作業性を考慮すると、大気を導入することが好ましい。

排気調整機構８０は、排気配管８１と、排気弁８２と、吸出しブロワ８３とを備えている。排気配管８１は、密閉容器１０の内部と密閉容器１０の外部とを連通するように底部フレーム８を貫通して設けられた配管である。例えば、密閉容器１０の内部の雰囲気ガスは、排気配管８１を通って吸出しブロワ８３の吸引力によって外部に排気される。排気調整機構８０は、例えば、後述の第５工程（Ｓ３００）において、密閉容器１０内の雰囲気ガスを外部に排出するために用いることができる。

第２実施形態の変形例における第５工程について説明する。第５工程では、密閉容器１０の内部に露点が常にめっき鋼板温度未満であるガス（低水蒸気ガス）をガス導入管９１から導入してこの低水蒸気ガスをめっき鋼板１に接触させ、導入した低水蒸気ガスを密閉容器１０から排出することにより、めっき鋼板１を冷却する。

第５工程は、密閉容器１０内に低水蒸気ガスを導入してこの低水蒸気ガスをめっき鋼板１に接触させることと並行して、導入した低水蒸気ガスを密閉容器１０から排出する工程である。

具体的には、第５工程は、密閉容器１０内の気体圧力が大気圧となるまで密閉容器１０内に低水蒸気ガスを導入する低水蒸気ガス導入工程と、この低水蒸気ガス導入工程の後に、密閉容器１０内に低水蒸気ガスを引き続き導入してこの低水蒸気ガスをめっき鋼板１に接触させることと並行して、密閉容器１０内の気体圧力が大気圧を維持するように密閉容器１０内の雰囲気ガス（導入した低水蒸気ガスを含む）を外部へ排出する低水蒸気ガス導入・雰囲気ガス排出工程と、密閉容器１０内の気体圧力を大気圧に維持しつつ、第５工程を終了する終了工程とを含む。

図７は、先の第４工程（Ｓ１４０）の終盤から第５工程（Ｓ３００）における、（Ａ）密閉容器１０内の圧力（圧力計測部６１で測定した圧力）の変化と、（Ｂ）ガス導入弁９２の開閉タイミングと、（Ｃ）排気弁８２の開閉タイミングと、（Ｄ）押込みブロワ９３のオン・オフのタイミングと、（Ｅ）吸出しブロワ８３のオン・オフのタイミングと、（Ｆ）循環ファン７１のオン・オフのタイミングとの関係を示すタイミングチャートである。以下、第４工程の終盤および第５工程についてさらに詳しく説明する。

（第４工程の終盤）
図７に示される例では、先の第４工程（Ｓ１４０）において密閉容器１０内の気体圧力を７０ｋＰａ以下の圧力（（Ａ）の圧力Ｐ０、状態Ａ０参照）まで減圧させる際に、ガス導入弁９２を閉じ（（Ｂ）の状態Ｂ０参照）、排気弁８２を開く（（Ｃ）の状態Ｃ０参照）。押込みブロワ９３、吸出しブロワ８３、循環ファン７１は使用しないので、それぞれオフの状態である（（Ｄ）の状態Ｄ０参照、（Ｅ）の状態Ｅ０参照、（Ｆ）の状態Ｆ０参照）。また、大気圧開放弁（図示せず。）は閉じた状態にある。

（第５工程）
（低水蒸気ガス導入工程）
次に、第５工程（Ｓ３００）の低水蒸気ガス導入工程（Ｓ３１０）に入る。図７に示される例では、排気弁８２を閉じ（（Ｃ）の状態Ｃ１参照）、ガス導入弁９２を開く（（Ｂ）の状態Ｂ１参照）。このとき、また、循環ファン７１をオンにしてもよい（（Ｆ）の状態Ｆ１参照）。押込みブロワ９３は、このときオンにしてもよい（（Ｄ）の状態Ｄ１参照）し、オフ状態に維持してもよい（（Ｄ）の状態Ｄ３参照）。この弁類の弁開閉動作により、密閉容器１０内に低水蒸気ガスを導入し、導入した低水蒸気ガスを密閉容器１０内に一旦閉じ込めて、密閉容器１０内の気体圧力を大気圧Ｐ２まで上昇させる（（Ａ）の状態Ａ１参照）。密閉容器１０内に低水蒸気ガスを導入して、導入した低水蒸気ガスを密閉容器１０内に一旦閉じ込めることにより、めっき鋼板１に低水蒸気ガスを十分に接触させ、この接触に伴う熱交換によりめっき鋼板１の熱を低水蒸気ガスに十分に抜熱させる。密閉容器１０内の気体圧力が大気圧Ｐ２まで上昇したら、大気圧開放弁（図示せず。）を開く。

（低水蒸気ガス導入・雰囲気ガス排出工程）
次に、低水蒸気ガス導入・雰囲気ガス排出工程（Ｓ３２０）に入る。この工程では、排気弁８２を開き（（Ｂ）の状態Ｃ２参照）、吸出しブロワ８３をオンにする（（Ｅ）の状態Ｅ１参照）。また、先の低水蒸気ガス導入工程（Ｓ３１０）において押込みブロワ９３をオフ状態に維持していた場合には、低水蒸気ガス導入・雰囲気ガス排出工程（Ｓ３２０）において押込みブロワ９３をオンにする。この吸出しブロワ８３０および押込みブロワ９３のオン状態および弁類の弁開閉状態により、密閉容器１０内の気体圧力は大気圧に維持される（（Ａ）の状態Ａ１参照）。つまり、密閉容器１０内への低水蒸気ガスの導入と密閉容器１０からの雰囲気ガス（低水蒸気ガスを含む）の排出が並行して行われて、密閉容器１０内の気体圧力は大気圧に維持される。

（終了工程）
次に、終了工程（Ｓ３３０）に入る。この工程では、ガス導入弁９２および排気弁８２を閉じ（（Ｂ）の状態Ｂ２、（Ｃ）の状態Ｃ３参照）、押込みブロワ９３、吸出しブロワ８３、および循環ファン７１をオフにする（（Ｄ）の状態Ｄ２、（Ｅ）の状態Ｅ２、（Ｆ）の状態Ｆ２参照）。密閉容器１０内が大気圧開放となった状態で第５工程を終了する（Ａ）の状態Ａ１参照）。

（第２実施形態の変形例の効果）
第２実施形態の変形例によれば、押込みブロワ９３により低水蒸気ガスを密閉容器１０内に押し込むことと並行して、吸出しブロワ８３により密閉容器１０内の雰囲気ガスを排出するので、密閉容器１０内に出入りする低水蒸気ガスの流量を増加させて、抜熱効果をより一層高めることができ、めっき鋼板１の冷却をより一層速やかに行うことができる。また、循環ファン７１によって雰囲気ガス（低水蒸気ガスを含む）を撹拌することで、さらに効率よく短時間でムラ無く、めっき鋼板１を冷却することができる。

なお、冷却効率を高める点では、押込みブロワ９３および吸出しブロワ８３の両方を設けることが望ましいが、押込みブロワ９３および吸出しブロワ８３のうち、いずれか一方のみを設けるようにしてもよい。

また、上記各実施形態では、黒色めっき鋼板を製造する場合について説明したが、黒色めっき鋼板以外の水蒸気処理製品を製造する場合に本発明を適用することも可能である。

本願発明の方法は、黒色めっき鋼板等の水蒸気処理製品の製造時間を短縮することができるため、黒色めっき鋼板等の水蒸気処理製品のより一層の普及に貢献することが期待される。

１ めっき鋼板
１０ 密閉容器
３０、８０ 排気調整機構（冷却用ガス排出手段）
３７ 排気ポンプ
４０ 導入水蒸気調整機構（水蒸気導入手段）
５０、９０ ガス導入部（冷却用ガス導入手段）
７０ 攪拌部
７１ 循環ファン
８３ 吸出しブロワ
９３ 押込みブロワ

Claims (5)

1. 被処理物が内部に配置された密閉容器内に水蒸気を導入し、当該水蒸気と、前記被処理物とを接触させる水蒸気処理工程と、
   前記水蒸気処理工程において水蒸気処理がなされた前記被処理物を冷却する被処理物冷却工程と、
   を備える水蒸気処理製品の製造方法であって、
   前記被処理物冷却工程は、
   前記密閉容器内に冷却用ガスを導入して当該冷却用ガスを前記被処理物に接触させ、導入した冷却用ガスを前記密閉容器から排出する工程であり、
   前記密閉容器から前記冷却用ガスを排出する前に、前記密閉容器内に冷却用ガスを導入し、導入した冷却用ガスを前記密閉容器内に一旦閉じ込める冷却用ガス導入工程を含む
   ことを特徴とする水蒸気処理製品の製造方法。
2. 前記被処理物冷却工程は、前記冷却用ガス導入工程の後に、前記密閉容器内の気圧が大気圧未満となるように排気ポンプを用いて前記密閉容器から前記冷却用ガスを排出する冷却用ガス排出工程を含む
   ことを特徴とする請求項１に記載の水蒸気処理製品の製造方法。
3. 前記被処理物冷却工程は、前記冷却用ガス導入工程と前記冷却用ガス排出工程とを交互に繰り返す工程である
   ことを特徴とする請求項２に記載の水蒸気処理製品の製造方法。
4. 前記被処理物冷却工程は、前記冷却用ガス導入工程の後に、前記密閉容器内に冷却用ガスを導入して当該冷却用ガスを前記被処理物に接触させることと並行して、導入した冷却用ガスを前記密閉容器から排出する工程を含む
   ことを特徴とする請求項１に記載の水蒸気処理製品の製造方法。
5. 前記被処理物冷却工程において、前記密閉容器内に設けられたファンにより、前記密閉容器内の冷却用ガスを攪拌および循環させる
   ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の水蒸気処理製品の製造方法。

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