JP6885804B2 - 超音波接合装置 - Google Patents
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Description
20…アンビル
30…ワーク
40…ホーン
41…ヘッド
50…コーン
60…振動子
61…振動子ホルダ
70…加圧装置
80…熱流センサ
100…超音波接合装置
200…超音波接合装置
Claims (5)
- 接合対象部位を含むワークをアンビル上に載置し、前記接合対象部位に加重を与えるとともに超音波ホーンから超音波振動を印加し、前記接合対象部位を接合する超音波接合装置であって、
前記超音波ホーンに超音波振動を与える超音波振動子を保持する超音波振動子ホルダと、
前記超音波振動子ホルダに取り付けられる熱流センサと、
前記熱流センサの検知出力から前記超音波振動子の振幅を監視する監視手段と、
を具備することを特徴とする超音波接合装置。 - 前記振動子ホルダは、
前記超音波振動子の振動を前記超音波ホーンに伝えるコーン上であって、前記超音波振動子による振動の振幅が最小となる部位に取り付けられる
ことを特徴とする請求項1に記載の超音波接合装置。 - 前記監視手段により監視した前記超音波振動子の振幅が予め設定した振動範囲から外れた場合は、前記超音波振動子または前記超音波ホーンの異常として報知する報知手段、
を更に具備することを特徴とする請求項1又は2に記載の超音波接合装置。 - 前記熱流センサは、
高熱伝導率材料ブロックで押えられて前記超音波振動子ホルダの側面に取り付けられることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の超音波接合装置。 - 前記監視手段は、
前記熱流センサにより検出した熱流のピーク値から前記超音波振動子の振幅のピーク値を監視し、
前記報知手段は、
前記超音波ホーンの振幅のピーク値が予め設定した振動範囲から外れた場合は、前記超音波振動子または前記超音波ホーンの異常として報知する
ことを特徴とする請求項3に記載の超音波接合装置。
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