JP6882088B2 - レーザー加工装置 - Google Patents
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Description
(1)被加工物に対して吸収性を有する波長のレーザー光線の集光点を被加工物の上面に位置づけてレーザー光線を被加工物に照射しアブレーション加工を施して被加工物の上面に溝を形成するタイプ(たとえば特許文献1参照。)
(2)被加工物に対して透過性を有する波長のレーザー光線の集光点を被加工物の内部に位置づけてレーザー光線を被加工物に照射し被加工物の内部に改質層を形成するタイプ(たとえば特許文献2参照。)
集光レンズの開口数(NA) :0.8
繰り返し周波数 :15kHz
平均出力 :0.8W
加工送り速度 :150mm/s
集光レンズの開口数(NA) :0.8
繰り返し周波数 :15kHz
平均出力 :0.8W
加工送り速度 :90mm/s
集光レンズの開口数(NA) :0.8
繰り返し周波数 :15kHz
平均出力 :0.8W
加工送り速度 :150mm/s(改質層形成加工)
加工送り速度 :90mm/s(アブレーション加工)
4:保持手段
6:レーザー光線照射手段
8:加工送り手段
28:発振器
30:集光器
38:カバーガラス
60:ウエーハ(被加工物)
70:改質層
LB:パルスレーザー光線
FP:集光点
Claims (2)
- 被加工物を加工するレーザー加工装置であって、
被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段と、該保持手段と該レーザー光線照射手段とを相対的に加工送りする加工送り手段と、を少なくとも含み、
該レーザー光線照射手段は、レーザー光線を発振する発振器と、該発振器が発振したレーザー光線を集光し集光点を該保持手段に保持された被加工物の内部に位置づけると共に上面に位置づける集光器と、を備え、
該発振器は、被加工物に対して透過性を有すると共に吸収性を有する波長のレーザー光線を発振し、
該集光器を保護するカバーガラスが選択的に位置づけられ、
レーザー光線を透過して被加工物の内部に改質層が形成される内部加工が施される際は、該カバーガラスが該集光器の端部から外され、
レーザー光線を吸収して被加工物の上面にアブレーション加工が施される際は、該カバーガラスが該集光器の端部に位置づけられるレーザー加工装置。 - 該発振器が発振するレーザー光線の波長は532nmであり、被加工物は、ガラス、サファイア(Al2O3)、炭化ケイ素(SiC)、リチウムタンタレート(LiTaO3)、リチウムナイオベート(LiNbO3)のいずれかである請求項1記載のレーザー加工装置。
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