JP6935314B2 - レーザー加工方法 - Google Patents
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λa=λo/2n
=1064(nm)/(2×3.6)
=147.8(nm)
となる。
f=v/λa
=9620(m/s)/147.8(nm)
=9620(m/s)/(147.8×10−9(m))
=65.09×109(Hz)
となる。
t=1/f
=1/(65.09×109(Hz))
=15.4×10−12(s)
=15.4(ps)
となる。
パルスレーザー光線の波長 :1064nm(YAGレーザー)
繰り返し周波数 :65.09GHz
パルスの時間間隔 :15.4ps
パルス幅 :100fs
見た目の繰り返し周波数 :100kHz
見た目のパルス幅 :15.4ns
開口数(NA) :0.8
スポット径 :φ2.5μm
平均出力 :1W
送り速度 :500mm/s
2a:表面
2b:裏面
4:分割予定ライン
6:デバイス
52:改質層
54:バリア
LB:パルスレーザー光線
Claims (4)
- 被加工物に対して透過性を有する波長のパルスレーザー光線の集光点を被加工物の内部に位置づけてパルスレーザー光線を被加工物に照射し改質層を形成するレーザー加工方法であって、
被加工物の屈折率とパルスレーザー光線の波長とからブラッグ反射を生成する被加工物内における音波の波長を算出する音波波長算出工程と、
被加工物内の音速と該音波波長算出工程で算出した音波の波長とから音波の周波数を算出する周波数算出工程と、
該周波数算出工程で算出した音波の周波数から、連続して発生する音波が干渉して強め合う時間間隔を算出する時間間隔算出工程と、
該時間間隔算出工程で算出した時間間隔と同じ時間間隔でパルスレーザー光線の集光点を被加工物の内部に位置づけてパルスレーザー光線を被加工物に照射しブラッグ反射によって等方性のバリアを集光点の周りに生成してレーザー加工を施す加工工程と、
を少なくとも含むレーザー加工方法。 - 該音波波長算出工程において、音波の波長をλa、パルスレーザー光線の波長をλo、被加工物の屈折率をnとした場合、音波の波長をλa=λo/2nで算出し、
該周波数算出工程において、音波の周波数をfとし、被加工物内の音速をvとした場合、音波の周波数をf=v/λaで算出し、
該時間間隔算出工程において、時間間隔をtとした場合、時間間隔をt=1/fで算出する請求項1記載のレーザー加工方法。 - 被加工物は、複数の分割予定ラインによって区画され複数のデバイスがシリコン基板の表面に形成されたウエーハであり、
パルスレーザー光線の波長は1064nmであり、
シリコンの内部における音速は9620m/sであり、
シリコンの屈折率は3.6であり、
該加工工程において、ウエーハの裏面から分割予定ラインに対応する内部にパルスレーザー光線の集光点を位置づけてパルスレーザー光線をウエーハに照射し、分割予定ラインに沿って改質層を形成する請求項1又は2記載のレーザー加工方法。 - 分割予定ラインの内部に改質層が形成されたウエーハに外力を付与して個々のデバイス毎のチップに分割する分割工程を含む請求項3記載のレーザー加工方法。
Priority Applications (1)
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JP2017231488A JP6935314B2 (ja) | 2017-12-01 | 2017-12-01 | レーザー加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2017231488A JP6935314B2 (ja) | 2017-12-01 | 2017-12-01 | レーザー加工方法 |
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JP2019098365A JP2019098365A (ja) | 2019-06-24 |
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ID=66975062
Family Applications (1)
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JP2017231488A Active JP6935314B2 (ja) | 2017-12-01 | 2017-12-01 | レーザー加工方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6935314B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
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JPH10277760A (ja) * | 1997-04-10 | 1998-10-20 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | レーザエッチング装置 |
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JP2005103587A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザー加工装置 |
-
2017
- 2017-12-01 JP JP2017231488A patent/JP6935314B2/ja active Active
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JP2019098365A (ja) | 2019-06-24 |
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