JP6877131B2 - 電流検出回路 - Google Patents
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Description
なお、出願当初の特許請求の範囲の記載は以下の通りである。
請求項1:
被試験デバイス(DUT)において電流を検出する電流検出回路(100、200、300、400、900)であって、
第1の入力端子(102)と、
第2の入力端子(104)と、
第1の出力端子(142、332)と、
前記第1の入力端子に接続された一方の端子を有するシャント抵抗(106)と、
前記シャント抵抗の前記一方の端子と前記シャント抵抗の他方の端子との間の電圧を増幅するように構成された第1のシャント抵抗センス回路(110、210、310、410)と、
前記第1のシャント抵抗センス回路の出力に結合された第1のローパスフィルタ(114、314)であって、第1のカットオフ周波数を有する、第1のローパスフィルタと、
1次巻線及び2次巻線を備える第1のカレントトランス(108、302)であって、該1次巻線は、前記シャント抵抗の前記他方の端子と前記第2の入力端子との間に接続され、該カレントトランスは、前記ローパスフィルタの前記カットオフ周波数と等しい低周波数側のカットオフ周波数を有する、第1のカレントトランスと、
前記第1のカレントトランスの前記2次巻線に接続され、前記2次巻線から出力された電流を増幅するように構成されたカレントトランスセンス回路(120、370)であって、該第1のカレントトランスセンス回路は、
第1のトランスインピーダンス増幅器(126、124、376、374)と、
前記2次巻線の一方の端子と前記第1のトランスインピーダンス増幅器の入力との間に接続された第1の入力抵抗(122、372)であって、前記2次巻線の他方の端子は接地されている、第1の入力抵抗と、
を備える、カレントトランスセンス回路と、
前記第1のローパスフィルタの出力と、前記第1のカレントトランスセンス回路の出力とを加算し、その結果の合計を該電流検出回路の前記第1の出力端子から第1の出力電圧(VOUT)として提供するように構成された第1の加算器(130、320)と、
を備える、電流検出回路。
請求項2:
前記第1のトランスインピーダンス増幅器の出力端子に接続され、前記第1のトランスインピーダンス増幅器の前記出力のゲインを調整するように構成された第1のゲイン調整増幅器を更に備え、前記第1の加算器は、前記第1のローパスフィルタの前記出力と、前記第1のゲイン調整増幅器の出力端子における前記第1のカレントトランスセンス回路の前記ゲイン調整された出力とを加算する、請求項1に記載の電流検出回路。
請求項3:
前記シャント抵抗は、約0.03Ω以上かつ約τ BLE /C byp Ω以下の抵抗値を有し、ここで、C byp は、前記DUTの測定回路の全静電容量を表し、τ BLE は、観測波形を得るのに必要な前記DUTの前記測定回路の時定数を表す、請求項1に記載の電流検出回路。
請求項4:
前記第1のシャント抵抗センス回路における第1の差動増幅器の接地端子と、前記第1のローパスフィルタの接地端子と、前記第1のカレントトランスの前記2次巻線の前記他方の端子と、前記第1のカレントトランスセンス回路の前記第1のトランスインピーダンス増幅器の接地端子と、前記第1の加算器における第1の加算増幅器の接地端子とは、アナログ接地電圧が供給されるアナログ接地端子に接続され、
前記第1のシャント抵抗センス回路における前記第1の差動増幅器の電源端子と、前記第1のカレントトランスセンス回路の前記第1のトランスインピーダンス増幅器の電源端子と、前記第1の加算器における前記第1の加算増幅器の電源端子とは、電源電圧が供給される電源端子に接続されている、請求項1に記載の電流検出回路。
請求項5:
前記電流検出回路は、
アナログ接地電圧が供給されるアナログ接地端子と、
第1の電源電圧が供給される第1の電源端子と、
前記第1の入力端子に接続された前記シャント抵抗の前記一方の端子に接続されたフローティング電源と、
前記第1のシャント抵抗センス回路と前記第1のローパスフィルタとの間に配置された第1の差動電圧ディバイダと、
を更に備え、
前記フローティング電源は、フローティング接地端子及びフローティング電源電圧端子を備え、該フローティング接地端子及び該フローティング電源電圧端子は、高電源電圧が供給される高電源電圧端子及び前記アナログ接地電圧が供給される前記アナログ接地端子を用いて、それぞれフローティング接地電圧及びフローティング電源電圧を生成するように構成され、
前記第1のシャント抵抗センス回路は、前記フローティング接地端子及び前記フローティング電源電圧端子に接続され、
前記電圧ディバイダは、前記第1のシャント抵抗センス回路の出力及び前記フローティング接地電圧を用いて、前記アナログ接地電圧に基づく分圧された電圧を出力するように構成され、
前記第1のカレントトランスセンス回路及び前記第1の加算器は、前記アナログ接地端子及び前記第1の電源電圧端子に接続されている、請求項1に記載の電流検出回路。
請求項6:
前記フローティング電源は、
前記第1の入力端子に接続された前記シャント抵抗の前記一方の端子の電圧をバッファリングして出力するように構成された第1のバッファと、
前記高電源電圧端子及び前記アナログ接地端子に接続された第1の電圧源と、
前記第1のバッファの出力を前記フローティング接地端子に接続するとともに、前記高電源電圧端子及び前記フローティング接地端子に接続されて前記フローティング電源電圧を前記フローティング電源電圧端子に出力する第2の電圧源と、
を更に備える、請求項5に記載の電流検出回路。
請求項7:
前記第1のバッファは、高入力インピーダンスバッファを含む、請求項6に記載の電流検出回路。
請求項8:
前記第1の電圧ディバイダは、
前記第1のシャント抵抗センス回路から出力された電圧を前記アナログ接地電圧に対して所与の分圧比で分圧し、該分圧された電圧を第1の差動増幅器の第1の入力として用い、
前記第1のシャント抵抗センス回路の前記フローティング接地電圧を前記アナログ接地電圧に対して前記所与の分圧比で分圧し、該分圧された電圧を前記第1の差動増幅器の第2の入力として用いる、
ように構成され、
前記差動増幅器は、前記アナログ接地端子及び前記電源電圧端子に接続され、前記第1のローパスフィルタに出力される前記分圧された電圧を生成するように構成されている、請求項5に記載の電流検出回路。
請求項9:
第2の出力端子と、
前記シャント抵抗の前記一方の端子と前記シャント抵抗の前記他方の端子との間の前記電圧を増幅するように構成された第2のシャント抵抗センス回路と、
前記第2のシャント抵抗センス回路の出力に結合された第2のローパスフィルタであって、第2のカットオフ周波数を有する、第2のローパスフィルタと、
1次巻線及び2次巻線を備える第2のカレントトランスであって、該1次巻線は、前記第1のカレントトランスの前記1次巻線の端子と前記第2の入力端子との間に接続され、該第2のカレントトランスは、前記第2のローパスフィルタの前記第2のカットオフ周波数と等しい低周波数側カットオフ周波数を有する、第2のカレントトランスと、
前記第2のカレントトランスの前記2次巻線に接続され、前記2次巻線から出力された電流を増幅するように構成された第2のカレントトランスセンス回路であって、該第2のカレントトランスセンス回路は、
第2のトランスインピーダンス増幅器と、
前記第2のカレントトランスの前記2次巻線の一方の端子と前記第2のトランスインピーダンス増幅器の入力との間に接続された第2の入力抵抗であって、前記2次巻線の他方の端子は接地されている、第2の入力抵抗と、
を備える、第2のカレントトランスセンス回路と、
前記第2のローパスフィルタの出力と、前記第2のカレントトランスセンス回路の出力とを加算し、その結果の合計を前記電流検出回路の前記第2の出力端子から第2の出力電圧として提供するように構成された第2の加算器と、
を更に備える、請求項1に記載の電流検出回路。
請求項10:
前記第1のシャント抵抗センス回路は、前記第2のシャント抵抗センス回路の電流電圧変換ゲインと異なる電流電圧変換ゲインを有し、前記第1のカレントトランスセンス回路は、前記第2のカレントトランスセンス回路の電流電圧変換ゲインと異なる電流電圧変換ゲインを有する、請求項9に記載の電流検出回路。
請求項11:
前記電流検出回路は、前記第2のトランスインピーダンス増幅器の出力端子に接続され、前記第2のトランスインピーダンス増幅器の前記出力のゲインを調整するように構成された第2のゲイン調整増幅器を更に備え、前記第2の加算器は、前記第2のローパスフィルタの前記出力と、前記第2のゲイン調整増幅器の出力端子における前記第2のカレントトランスセンス回路の前記ゲイン調整された出力とを加算する、請求項9に記載の電流検出回路。
請求項12:
前記シャント抵抗は、0.03Ω以上かつτ BLE /C byp Ω以下の抵抗値を有し、
ここで、C byp は、前記DUTの測定回路の全静電容量を表し、τ BLE は、観測波形
を得るのに必要な前記DUTについての前記測定回路の時定数を表す、請求項9に記載の電流検出回路。
請求項13:
前記電流検出回路は、
アナログ接地電圧が供給されるアナログ接地端子と、
第1の電源電圧が供給される第1の電源端子と、
前記シャント抵抗の前記一方の端子に接続されたフローティング電源と、
前記第1のシャント抵抗センス回路と前記第1のローパスフィルタとの間の第1の電圧ディバイダと、
前記第2のシャント抵抗センス回路と前記第2のローパスフィルタとの間の第2の電圧ディバイダと、
を更に備え、
前記フローティング電源は、フローティング接地端子及びフローティング電源電圧端子を備え、該フローティング接地端子及び該フローティング電源電圧端子は、高電源電圧が供給される高電源電圧端子及び前記アナログ接地電圧が供給される前記アナログ接地端子を用いて、それぞれフローティング接地電圧及びフローティング電源電圧を生成するように構成され、
前記第1のシャント抵抗センス回路及び前記第2のシャント抵抗センス回路は、前記フローティング接地端子及び前記フローティング電源電圧端子に接続されて動作し、
前記第1の電圧ディバイダは、前記第1のシャント抵抗センス回路の出力及び前記フローティング接地電圧を用いて、前記アナログ接地電圧に基づく出力電圧を出力するように構成され、
前記第2の電圧ディバイダは、前記第2のシャント抵抗センス回路の出力及び前記フローティング接地電圧を用いて、前記アナログ接地電圧に基づく出力電圧を出力するように構成され、
前記第1のカレントトランスセンス回路、前記第1の加算器、前記第2のカレントトランスセンス回路、及び前記第2の加算器は、前記アナログ接地端子及び前記第1の電源電圧端子に接続されて動作する、請求項9に記載の電流検出回路。
請求項14:
前記フローティング電源は、
前記シャント抵抗の前記一方の端子の電圧をバッファリングして出力するように構成された第1のバッファと、
前記高電源電圧端子及び前記アナログ接地端子に接続された第1の電圧源と、
前記第1のバッファの出力を前記フローティング接地端子に接続するとともに、前記高電源電圧端子及び前記フローティング接地端子に接続されて前記フローティング電源電圧を前記フローティング電源電圧端子に出力する第2の電圧源と、
を更に備える、請求項13に記載の電流検出回路。
請求項15:
前記第1の電圧ディバイダは、
前記第1のシャント抵抗センス回路から出力された電圧を前記アナログ接地電圧に対して所与の分圧比で分圧し、該分圧された電圧を第1の差動増幅器の第1の入力として用い、
前記第1のシャント抵抗センス回路の前記フローティング接地電圧を前記アナログ接地電圧に対して前記所与の分圧比で分圧し、該分圧された電圧を前記第1の差動増幅器の第2の入力として用いる、
ように構成され、
前記第1の差動増幅器は、前記第1の入力、前記第2の入力、前記アナログ接地端子、及び前記第1の電源電圧端子に接続され、該第1の差動増幅器の出力電圧を生成するように構成され、
前記第2の電圧ディバイダは、
前記第2のシャント抵抗センス回路から出力された電圧を、前記アナログ接地電圧に対して所与の分圧比で分圧し、該分圧された電圧を第2の差動増幅器の第1の入力として用い、
前記第2のシャント抵抗センス回路の前記フローティング接地電圧を前記アナログ接地電圧に対して前記所与の分圧比で分圧し、該分圧された電圧を前記第2の差動増幅器の第2の入力として用いる、
ように構成され、
前記第2の差動増幅器は、前記第1の入力、前記第2の入力、前記アナログ接地端子、及び前記第1の電源電圧端子に接続されて動作し、該第2の差動増幅器の出力電圧を生成するように構成されている、請求項13に記載の電流検出回路。
請求項16:
被試験デバイス(DUT)において電流を検出する電流検出回路(100、200、800)であって、
第1の入力端子(102)と、
第2の入力端子(104)と、
前記第1の入力端子に接続された一方の端子を有するシャント抵抗(106)と、
前記シャント抵抗の他方の端子に接続された一方の端子と、前記第2の入力端子に接続された他方の端子とを有する1次巻線を備えるカレントトランス(108)と、
前記シャント抵抗の前記一方の端子と前記シャント抵抗の前記他方の端子との間の電圧を増幅するように構成されたシャント抵抗センス回路(110、210)と、
前記シャント抵抗センス回路の出力に接続され、カットオフ周波数を有するローパスフィルタ(114)と、
前記カレントトランスの2次巻線に結合され、該2次巻線から出力される電流を増幅するように構成されたカレントトランス(CT)センス回路(120、820)と、
前記ローパスフィルタの出力及び前記CT出力センス回路の出力に結合された加算器(130)であって、前記ローパスフィルタの出力と前記CT出力センス回路の出力とを加算し、その合計を該電流検出回路の出力端子(142)に出力するように構成されている、加算器と、
を備え、
前記カレントトランスは、前記ローパスフィルタの前記カットオフ周波数と等しい低周波数側カットオフ周波数を有する、電流検出回路。
請求項17:
前記カレントトランスセンス回路は、
CT出力センス増幅器(826)と、
前記2次巻線の一対の端子間に接続された入力抵抗(822)であって、前記2次巻線の前記一対の端子のうちの一方の端子は接地され、前記2次巻線の前記一対の端子のうちの他方の端子は前記CT出力センス増幅器の入力に結合されている、入力抵抗と、
を備える、請求項16に記載の電流検出回路。
請求項18:
被試験デバイス(DUT)において電流を検出する電流検出回路(300、400、900)であって、
第1の入力端子(102)と、
第2の入力端子(104)と、
第1の出力端子(332)と、
第2の出力端子(362)と、
2つの端子を有するシャント抵抗(106)であって、一方の端子は前記第1の入力端子に接続されている、シャント抵抗と、
1次巻線を備える第1のカレントトランス(302)及び1次巻線を備える第2のカレントトランス(304)であって、該1次巻線は、前記シャント抵抗の他方の端子と前記第2の入力端子との間に直列に接続されている、第1のカレントトランス及び第2のカレントトランスと、
前記シャント抵抗の前記一方の端子と前記シャント抵抗の前記他方の端子との間に並列に接続された第1のシャント抵抗センス回路(310、410)及び第2のシャント抵抗センス回路(310、442)であって、該第1のシャント抵抗センス回路及び該第2のシャント抵抗センス回路のそれぞれは、前記シャント抵抗の前記2つの端子間の電圧を増幅するように構成されている、第1のシャント抵抗センス回路及び第2のシャント抵抗センス回路と、
前記第1のシャント抵抗センス回路の出力に接続され、第1のカットオフ周波数を有する第1のローパスフィルタ(314)と、
前記第2のシャント抵抗センス回路の出力に接続され、第2のカットオフ周波数を有する第2のローパスフィルタ(344)と、
前記第1のカレントトランスの2次巻線の一対の端子の間に接続され、該一対の端子から出力される電流を増幅するように構成された第1のカレントトランスセンス回路(370)と、
前記第2のカレントトランスのうちの1つの2次巻線の一対の端子の間に接続され、該一対の端子から出力される電流を増幅するように構成された第2のカレントトランスセンス回路(380、920)と、
前記第1のローパスフィルタの出力と前記第1のカレントトランスセンス回路の出力とを加算し、その合計を前記第1の出力端子に出力するように構成された第1の加算器(320)と、
前記第2のローパスフィルタの出力と前記第2のカレントトランスセンス回路の出力とを加算し、その合計を前記第2の出力端子に出力するように構成された第2の加算器(350)と、
を備え、
前記第1のカレントトランスセンス回路(370)は、
第1のトランスインピーダンス増幅器(376、375)と、
前記第1のカレントトランスと前記第1のトランスインピーダンス増幅器との間に配置された第1の入力抵抗(372)と、
を備え、
前記第1のカレントトランスセンス回路に接続された前記第1のカレントトランスの前記2次巻線の前記一対の端子のうちの一方は接地され、前記第1のカレントトランスセンス回路に接続された前記第1のカレントトランスの前記2次巻線の前記一対の端子のうちの他方は、前記第1の入力抵抗の一方の端子に接続され、
前記第1のカレントトランスセンス回路に接続された前記第1のカレントトランスの前記2次巻線の前記一対の端子は、前記第1のトランスインピーダンス増幅器の入力に接続され、
前記第2のカレントトランスセンス回路(380)は、
第2の増幅器(386、384、926)と、
前記第2のカレントトランスと前記第2の増幅器との間に配置された第2の入力抵抗(382、922)と、
を備え、
前記第2のカレントトランスセンス回路に接続された前記第2のカレントトランスの前記2次巻線の前記一対の端子のうちの一方は接地され、前記第2のカレントトランスセンス回路に接続された前記第2のカレントトランスの前記2次巻線の前記一対の端子の他方は、前記第2の増幅器の入力に接続され、
前記第1のカレントトランスは、前記第1のカットオフ周波数と等しい低周波数側カットオフ周波数を有し、前記第2のカレントトランスは、前記第2のカットオフ周波数と等しい低周波数側カットオフ周波数を有する、電流検出回路。
請求項19:
前記第1のシャント抵抗センス回路は、前記第2のシャント抵抗センス回路の電流電圧変換ゲインと異なる電流電圧変換ゲインを有し、前記第1のカレントトランスセンス回路は、前記第2のカレントトランスセンス回路の電流電圧変換ゲインと異なる電流電圧変換ゲインを有する、請求項18に記載の電流検出回路。
請求項20:
前記シャント抵抗の抵抗値をRsとして示し、前記第1のシャント抵抗センス回路の入力換算雑音電圧スペクトル密度をen_inst1として示し、前記第1のカレントトランスセンス回路における前記第1のトランスインピーダンス増幅器の入力基準電圧雑音スペクトル密度をen_ct1として示し、前記第1のカレントトランスセンス回路に接続された前記カレントトランスの前記1次巻線と前記2次巻線との巻数比をN1として示し、前記第2のシャント抵抗センス回路の入力換算雑音電圧スペクトル密度をen_inst2として示し、前記第2のカレントトランスセンス回路における前記第1の増幅器の入力換算雑音電圧スペクトル密度をen_ct2として示し、前記第2のカレントトランスセンス回路に接続された前記カレントトランスの前記1次巻線と前記2次巻線との巻数比をN2として示すと、前記第1の抵抗の抵抗値Ri1は、Ri1=(en_ct1/en_inst1)*N1*Rsによって表され、前記第2の抵抗の抵抗値Ri2は、Ri2=(en_ct2/en_inst2)*N2*Rsによって表され、
前記第1のカレントトランスセンス回路に接続された前記カレントトランスの1次側励磁インダクタンスをLi1として示し、前記第2のカレントトランスセンス回路に接続された前記カレントトランスの1次側励磁インダクタンスをLi2として示すと、fc1として示される前記第1のカットオフ周波数は、fc1=Ri/(2*π*N1 2 *Li1)によって表され、fc2として示される前記第2のカットオフ周波数は、fc2=Ri/(2*π*N2 2 *Li2)によって表される、請求項18に記載の電流検出回路。
Claims (20)
- 被試験デバイス(DUT)において電流を検出する電流検出回路(100、200、300、400、900)であって、
第1の入力端子(102)と、
第2の入力端子(104)と、
第1の出力端子(142、332)と、
前記第1の入力端子に接続された一方の端子を有するシャント抵抗(106)と、
前記シャント抵抗の前記一方の端子と前記シャント抵抗の他方の端子との間の電圧を増幅するように構成された第1のシャント抵抗センス回路(110、210、310、410)と、
前記第1のシャント抵抗センス回路の出力に結合された第1のローパスフィルタ(114、314)であって、第1のカットオフ周波数を有する、第1のローパスフィルタと、
1次巻線及び2次巻線を備える第1のカレントトランス(108、302)であって、該1次巻線は、前記シャント抵抗の前記他方の端子と前記第2の入力端子との間に接続され、該第1のカレントトランスは、前記ローパスフィルタの前記カットオフ周波数と等しい低周波数側のカットオフ周波数を有する、第1のカレントトランスと、
前記第1のカレントトランスの前記2次巻線に接続され、前記2次巻線から出力された電流を増幅するように構成された第1のカレントトランスセンス回路(120、370)であって、該第1のカレントトランスセンス回路は、第1のトランスインピーダンス増幅器(126、124、376、374)と、前記2次巻線の一方の端子と前記第1のトランスインピーダンス増幅器の入力との間に接続された第1の入力抵抗(122、372)であって、前記2次巻線の他方の端子は接地されている、第1の入力抵抗とを備える、第1のカレントトランスセンス回路と、
前記第1のローパスフィルタの出力と、前記第1のカレントトランスセンス回路の出力とを加算し、その結果の合計を該電流検出回路の前記第1の出力端子から第1の出力電圧(VOUT)として提供するように構成された第1の加算器(130、320)と
を備える、電流検出回路。 - 前記第1のトランスインピーダンス増幅器の出力端子に接続され、前記第1のトランスインピーダンス増幅器の前記出力のゲインを調整するように構成された第1のゲイン調整増幅器を更に備え、前記第1の加算器は、前記第1のローパスフィルタの前記出力と、前記第1のゲイン調整増幅器の出力端子における前記第1のカレントトランスセンス回路の前記ゲイン調整された出力とを加算する、請求項1に記載の電流検出回路。
- 前記シャント抵抗は、約0.03Ω以上かつ約τBLE/CbypΩ以下の抵抗値を有し、ここで、Cbypは、前記DUTの測定回路の全静電容量を表し、τBLEは、観測波形を得るのに必要な前記DUTの前記測定回路の時定数を表す、請求項1に記載の電流検出回路。
- 前記第1のシャント抵抗センス回路における第1の差動増幅器の接地端子と、前記第1のローパスフィルタの接地端子と、前記第1のカレントトランスの前記2次巻線の前記他方の端子と、前記第1のカレントトランスセンス回路の前記第1のトランスインピーダンス増幅器の接地端子と、前記第1の加算器における第1の加算増幅器の接地端子とは、アナログ接地電圧が供給されるアナログ接地端子に接続され、
前記第1のシャント抵抗センス回路における前記第1の差動増幅器の電源端子と、前記第1のカレントトランスセンス回路の前記第1のトランスインピーダンス増幅器の電源端子と、前記第1の加算器における前記第1の加算増幅器の電源端子とは、電源電圧が供給される電源端子に接続されている、請求項1に記載の電流検出回路。 - 前記電流検出回路は、
アナログ接地電圧が供給されるアナログ接地端子と、
第1の電源電圧が供給される第1の電源端子と、
前記第1の入力端子に接続された前記シャント抵抗の前記一方の端子に接続されたフローティング電源と、
前記第1のシャント抵抗センス回路と前記第1のローパスフィルタとの間に配置された第1の差動電圧ディバイダと
を更に備え、
前記フローティング電源は、フローティング接地端子及びフローティング電源電圧端子を備え、該フローティング接地端子及び該フローティング電源電圧端子は、高電源電圧が供給される高電源電圧端子及び前記アナログ接地電圧が供給される前記アナログ接地端子を用いて、それぞれフローティング接地電圧及びフローティング電源電圧を生成するように構成され、
前記第1のシャント抵抗センス回路は、前記フローティング接地端子及び前記フローティング電源電圧端子に接続され、
前記電圧ディバイダは、前記第1のシャント抵抗センス回路の出力及び前記フローティング接地電圧を用いて、前記アナログ接地電圧に基づく分圧された電圧を出力するように構成され、
前記第1のカレントトランスセンス回路及び前記第1の加算器は、前記アナログ接地端子及び前記第1の電源電圧端子に接続されている、請求項1に記載の電流検出回路。 - 前記フローティング電源は、
前記第1の入力端子に接続された前記シャント抵抗の前記一方の端子の電圧をバッファリングして出力するように構成された第1のバッファと、
前記高電源電圧端子及び前記アナログ接地端子に接続された第1の電圧源と、
前記第1のバッファの出力を前記フローティング接地端子に接続するとともに、前記高電源電圧端子及び前記フローティング接地端子に接続されて前記フローティング電源電圧を前記フローティング電源電圧端子に出力する第2の電圧源と
を更に備える、請求項5に記載の電流検出回路。 - 前記第1のバッファは、高入力インピーダンスバッファを含む、請求項6に記載の電流検出回路。
- 前記第1の電圧ディバイダは、前記第1のシャント抵抗センス回路から出力された電圧を前記アナログ接地電圧に対して所与の分圧比で分圧し、該分圧された電圧を第1の差動増幅器の第1の入力として用い、前記第1のシャント抵抗センス回路の前記フローティング接地電圧を前記アナログ接地電圧に対して前記所与の分圧比で分圧し、該分圧された電圧を前記第1の差動増幅器の第2の入力として用いるように構成され、
前記第1の差動増幅器は、前記アナログ接地端子及び前記電源電圧端子に接続され、前記第1のローパスフィルタに出力される前記分圧された電圧を生成するように構成されている、請求項5に記載の電流検出回路。 - 第2の出力端子と、
前記シャント抵抗の前記一方の端子と前記シャント抵抗の前記他方の端子との間の前記電圧を増幅するように構成された第2のシャント抵抗センス回路と、
前記第2のシャント抵抗センス回路の出力に結合された第2のローパスフィルタであって、第2のカットオフ周波数を有する、第2のローパスフィルタと、
1次巻線及び2次巻線を備える第2のカレントトランスであって、該1次巻線は、前記第1のカレントトランスの前記1次巻線の端子と前記第2の入力端子との間に接続され、該第2のカレントトランスは、前記第2のローパスフィルタの前記第2のカットオフ周波数と等しい低周波数側カットオフ周波数を有する、第2のカレントトランスと、
前記第2のカレントトランスの前記2次巻線に接続され、前記2次巻線から出力された電流を増幅するように構成された第2のカレントトランスセンス回路であって、該第2のカレントトランスセンス回路は、第2のトランスインピーダンス増幅器と、前記第2のカレントトランスの前記2次巻線の一方の端子と前記第2のトランスインピーダンス増幅器の入力との間に接続された第2の入力抵抗であって、前記2次巻線の他方の端子は接地されている、第2の入力抵抗とを備える、第2のカレントトランスセンス回路と、
前記第2のローパスフィルタの出力と、前記第2のカレントトランスセンス回路の出力とを加算し、その結果の合計を前記電流検出回路の前記第2の出力端子から第2の出力電圧として提供するように構成された第2の加算器と
を更に備える、請求項1に記載の電流検出回路。 - 前記第1のシャント抵抗センス回路は、前記第2のシャント抵抗センス回路の電流電圧変換ゲインと異なる電流電圧変換ゲインを有し、前記第1のカレントトランスセンス回路は、前記第2のカレントトランスセンス回路の電流電圧変換ゲインと異なる電流電圧変換ゲインを有する、請求項9に記載の電流検出回路。
- 前記電流検出回路は、前記第2のトランスインピーダンス増幅器の出力端子に接続され、前記第2のトランスインピーダンス増幅器の前記出力のゲインを調整するように構成された第2のゲイン調整増幅器を更に備え、前記第2の加算器は、前記第2のローパスフィルタの前記出力と、前記第2のゲイン調整増幅器の出力端子における前記第2のカレントトランスセンス回路の前記ゲイン調整された出力とを加算する、請求項9に記載の電流検出回路。
- 前記シャント抵抗は、0.03Ω以上かつτBLE/CbypΩ以下の抵抗値を有し、
ここで、Cbypは、前記DUTの測定回路の全静電容量を表し、τBLEは、観測波形
を得るのに必要な前記DUTについての前記測定回路の時定数を表す、請求項9に記載の電流検出回路。 - 前記電流検出回路は、
アナログ接地電圧が供給されるアナログ接地端子と、
第1の電源電圧が供給される第1の電源端子と、
前記シャント抵抗の前記一方の端子に接続されたフローティング電源と、
前記第1のシャント抵抗センス回路と前記第1のローパスフィルタとの間の第1の電圧ディバイダと、
前記第2のシャント抵抗センス回路と前記第2のローパスフィルタとの間の第2の電圧ディバイダと
を更に備え、
前記フローティング電源は、フローティング接地端子及びフローティング電源電圧端子を備え、該フローティング接地端子及び該フローティング電源電圧端子は、高電源電圧が供給される高電源電圧端子及び前記アナログ接地電圧が供給される前記アナログ接地端子を用いて、それぞれフローティング接地電圧及びフローティング電源電圧を生成するように構成され、
前記第1のシャント抵抗センス回路及び前記第2のシャント抵抗センス回路は、前記フローティング接地端子及び前記フローティング電源電圧端子に接続されて動作し、
前記第1の電圧ディバイダは、前記第1のシャント抵抗センス回路の出力及び前記フローティング接地電圧を用いて、前記アナログ接地電圧に基づく出力電圧を出力するように構成され、
前記第2の電圧ディバイダは、前記第2のシャント抵抗センス回路の出力及び前記フローティング接地電圧を用いて、前記アナログ接地電圧に基づく出力電圧を出力するように構成され、
前記第1のカレントトランスセンス回路、前記第1の加算器、前記第2のカレントトランスセンス回路、及び前記第2の加算器は、前記アナログ接地端子及び前記第1の電源電圧端子に接続されて動作する、請求項9に記載の電流検出回路。 - 前記フローティング電源は、
前記シャント抵抗の前記一方の端子の電圧をバッファリングして出力するように構成された第1のバッファと、
前記高電源電圧端子及び前記アナログ接地端子に接続された第1の電圧源と、
前記第1のバッファの出力を前記フローティング接地端子に接続するとともに、前記高電源電圧端子及び前記フローティング接地端子に接続されて前記フローティング電源電圧を前記フローティング電源電圧端子に出力する第2の電圧源と
を更に備える、請求項13に記載の電流検出回路。 - 前記第1の電圧ディバイダは、前記第1のシャント抵抗センス回路から出力された電圧を前記アナログ接地電圧に対して所与の分圧比で分圧し、該分圧された電圧を第1の差動増幅器の第1の入力として用い、前記第1のシャント抵抗センス回路の前記フローティング接地電圧を前記アナログ接地電圧に対して前記所与の分圧比で分圧し、該分圧された電圧を前記第1の差動増幅器の第2の入力として用いるように構成され、
前記第1の差動増幅器は、前記第1の入力、前記第2の入力、前記アナログ接地端子、及び前記第1の電源電圧端子に接続され、該第1の差動増幅器の出力電圧を生成するように構成され、
前記第2の電圧ディバイダは、前記第2のシャント抵抗センス回路から出力された電圧を、前記アナログ接地電圧に対して所与の分圧比で分圧し、該分圧された電圧を第2の差動増幅器の第1の入力として用い、前記第2のシャント抵抗センス回路の前記フローティング接地電圧を前記アナログ接地電圧に対して前記所与の分圧比で分圧し、該分圧された電圧を前記第2の差動増幅器の第2の入力として用いるように構成され、
前記第2の差動増幅器は、前記第1の入力、前記第2の入力、前記アナログ接地端子、及び前記第1の電源電圧端子に接続されて動作し、該第2の差動増幅器の出力電圧を生成するように構成されている、請求項13に記載の電流検出回路。 - 被試験デバイス(DUT)において電流を検出する電流検出回路(100、200、800)であって、
第1の入力端子(102)と、
第2の入力端子(104)と、
前記第1の入力端子に接続された一方の端子を有するシャント抵抗(106)と、
前記シャント抵抗の他方の端子に接続された一方の端子と、前記第2の入力端子に接続された他方の端子とを有する1次巻線を備えるカレントトランス(108)と、
前記シャント抵抗の前記一方の端子と前記シャント抵抗の前記他方の端子との間の電圧を増幅するように構成されたシャント抵抗センス回路(110、210)と、
前記シャント抵抗センス回路の出力に接続され、カットオフ周波数を有するローパスフィルタ(114)と、
前記カレントトランスの2次巻線に結合され、該2次巻線から出力される電流を増幅するように構成されたカレントトランス(CT)センス回路(120、820)と、
前記ローパスフィルタの出力及び前記CTセンス回路の出力に結合された加算器(130)であって、前記ローパスフィルタの出力と前記CTセンス回路の出力とを加算し、その合計を該電流検出回路の出力端子(142)に出力するように構成されている、加算器と
を備え、前記カレントトランスは、前記ローパスフィルタの前記カットオフ周波数と等しい低周波数側カットオフ周波数を有する、電流検出回路。 - 前記CTセンス回路は、
CT出力センス増幅器(826)と、
前記2次巻線の一対の端子間に接続された入力抵抗(822)であって、前記2次巻線の前記一対の端子のうちの一方の端子は接地され、前記2次巻線の前記一対の端子のうちの他方の端子は前記CT出力センス増幅器の入力に結合されている、入力抵抗と
を備える、請求項16に記載の電流検出回路。 - 被試験デバイス(DUT)において電流を検出する電流検出回路(300、400、900)であって、
第1の入力端子(102)と、
第2の入力端子(104)と、
第1の出力端子(332)と、
第2の出力端子(362)と、
2つの端子を有するシャント抵抗(106)であって、一方の端子は前記第1の入力端子に接続されている、シャント抵抗と、
1次巻線を備える第1のカレントトランス(302)及び1次巻線を備える第2のカレントトランス(304)であって、該1次巻線は、前記シャント抵抗の他方の端子と前記第2の入力端子との間に直列に接続されている、第1のカレントトランス及び第2のカレントトランスと、
前記シャント抵抗の前記一方の端子と前記シャント抵抗の前記他方の端子との間に並列に接続された第1のシャント抵抗センス回路(310、410)及び第2のシャント抵抗センス回路(340、442)であって、該第1のシャント抵抗センス回路及び該第2のシャント抵抗センス回路のそれぞれは、前記シャント抵抗の前記2つの端子間の電圧を増幅するように構成されている、第1のシャント抵抗センス回路及び第2のシャント抵抗センス回路と、
前記第1のシャント抵抗センス回路の出力に接続され、第1のカットオフ周波数を有する第1のローパスフィルタ(314)と、
前記第2のシャント抵抗センス回路の出力に接続され、第2のカットオフ周波数を有する第2のローパスフィルタ(344)と、
前記第1のカレントトランスの2次巻線の一対の端子の間に接続され、該一対の端子から出力される電流を増幅するように構成された第1のカレントトランスセンス回路(370)と、
前記第2のカレントトランスのうちの1つの2次巻線の一対の端子の間に接続され、該一対の端子から出力される電流を増幅するように構成された第2のカレントトランスセンス回路(380、920)と、
前記第1のローパスフィルタの出力と前記第1のカレントトランスセンス回路の出力とを加算し、その合計を前記第1の出力端子に出力するように構成された第1の加算器(320)と、
前記第2のローパスフィルタの出力と前記第2のカレントトランスセンス回路の出力とを加算し、その合計を前記第2の出力端子に出力するように構成された第2の加算器(350)と
を備え、
前記第1のカレントトランスセンス回路(370)は、第1のトランスインピーダンス増幅器(376、374)と、前記第1のカレントトランスと前記第1のトランスインピーダンス増幅器との間に配置された第1の入力抵抗(372)とを備え、前記第1のカレントトランスセンス回路に接続された前記第1のカレントトランスの前記2次巻線の前記一対の端子のうちの一方は接地され、前記第1のカレントトランスセンス回路に接続された前記第1のカレントトランスの前記2次巻線の前記一対の端子のうちの他方は、前記第1の入力抵抗の一方の端子に接続され、前記第1のカレントトランスセンス回路に接続された前記第1のカレントトランスの前記2次巻線の前記一対の端子は、前記第1のトランスインピーダンス増幅器の入力に接続され、
前記第2のカレントトランスセンス回路(380)は、第2の増幅器(386、384、926)と、前記第2のカレントトランスと前記第2の増幅器との間に配置された第2の入力抵抗(382、922)とを備え、前記第2のカレントトランスセンス回路に接続された前記第2のカレントトランスの前記2次巻線の前記一対の端子のうちの一方は接地され、前記第2のカレントトランスセンス回路に接続された前記第2のカレントトランスの前記2次巻線の前記一対の端子の他方は、前記第2の増幅器の入力に接続され、
前記第1のカレントトランスは、前記第1のカットオフ周波数と等しい低周波数側カットオフ周波数を有し、前記第2のカレントトランスは、前記第2のカットオフ周波数と等しい低周波数側カットオフ周波数を有する、電流検出回路。 - 前記第1のシャント抵抗センス回路は、前記第2のシャント抵抗センス回路の電流電圧変換ゲインと異なる電流電圧変換ゲインを有し、前記第1のカレントトランスセンス回路は、前記第2のカレントトランスセンス回路の電流電圧変換ゲインと異なる電流電圧変換ゲインを有する、請求項18に記載の電流検出回路。
- 前記シャント抵抗の抵抗値をRsとして示し、前記第1のシャント抵抗センス回路の入力換算雑音電圧スペクトル密度をen_inst1として示し、前記第1のカレントトランスセンス回路における前記第1のトランスインピーダンス増幅器の入力基準電圧雑音スペクトル密度をen_ct1として示し、前記第1のカレントトランスセンス回路に接続された前記カレントトランスの前記1次巻線と前記2次巻線との巻数比をN1として示し、前記第2のシャント抵抗センス回路の入力換算雑音電圧スペクトル密度をen_inst2として示し、前記第2のカレントトランスセンス回路における前記第2の増幅器の入力換算雑音電圧スペクトル密度をen_ct2として示し、前記第2のカレントトランスセンス回路に接続された前記カレントトランスの前記1次巻線と前記2次巻線との巻数比をN2として示すと、前記第1の入力抵抗の抵抗値Ri1は、Ri1=(en_ct1/en_inst1)*N1*Rsによって表され、前記第2の入力抵抗の抵抗値Ri2は、Ri2=(en_ct2/en_inst2)*N2*Rsによって表され、
前記第1のカレントトランスセンス回路に接続された前記カレントトランスの1次側励磁インダクタンスをLi1として示し、前記第2のカレントトランスセンス回路に接続された前記カレントトランスの1次側励磁インダクタンスをLi2として示すと、fc1として示される前記第1のカットオフ周波数は、fc1=Ri/(2*π*N12*Li1)によって表され、fc2として示される前記第2のカットオフ周波数は、fc2=Ri/(2*π*N22*Li2)によって表される、請求項18に記載の電流検出回路。
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