JP6876290B2 - 受光素子 - Google Patents
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Description
本発明の課題は、暗状態での電流値が極めて低く、光入射時の受光感度も良好な受光素子を提供することである。
本発明の一態様である受光素子(以下、「一態様の受光素子」と称する。)では、第一窒化物半導体層がチャネル層、第二窒化物半導体層がバリア層として機能し、チャネル層とバリア層との界面に二次元電子ガス(2DEG)層が存在する。そして、第二窒化物半導体層が第一窒化物半導体層とは反対側の面(第二窒化物半導体層の上面)に凹部を有することで、これらの層の界面の凹部直下の部分が空乏層となり、凹部を挟んだ両側の部分がソース・ドレイン領域となる。
一態様の受光素子は、第二窒化物半導体層の上記凹部以外の位置での厚さ(T1)に対する上記凹部の底面位置での厚さ(T2)の比(T2/T1)が0.05以上0.4以下であることが好ましい。
膜厚比(T2/T1)が0.05以上0.4以下の範囲にある受光素子は、後述の実施例での記載の通り、膜厚比(T2/T1)がこの範囲外にある受光素子よりも、暗状態での電流値が極めて低いことと光入射時の受光感度が高いことの両立という点で優れている。
一態様の受光素子は、第一窒化物半導体層と第二窒化物半導体層の界面のうち、上記凹部の直下を除く部分に、電子濃度が1×108cm-2以上の二次元電子ガス層(電子走行層)が存在することが好ましい。これにより、光入射時にソース・ドレイン間に大量の電流が流れるため、光入射時の受光感度が高くなる。
<好ましい態様3>
一態様の受光素子は、上記界面のうち、上記凹部の直下の部分に電子濃度が1×107cm−2以下の空乏層が存在することが好ましい。これにより、暗状態の電流値を極めて低くできる。
一態様の受光素子を構成する第一窒化物半導体層の材料としては、Al及びGaのうち少なくとも一つの元素を含むものであれば特に限定されないが、一例としては、AlN、GaN、AlGaN等が挙げられる。
一態様の受光素子を構成する第二窒化物半導体層の材料としては、Al、In及びGaのうち少なくとも一つの元素を含む窒化物半導体層であれば特に限定されないが、一例としては、AlN、GaN、AlGaN等が挙げられる。
なお、結晶性を担保する観点から、第一窒化物半導体層はアンドープ(例えば、不純物の濃度が1×1016cm-3未満)のAlXGa(1-X)N(0≦X<1)からなる層であることが好ましく、第二窒化物半導体層はアンドープのAlYGa(1-Y)N(0≦X<Y≦1)からなる層であることが好ましい。
一態様の受光素子は、第一窒化物半導体層がAlXGa(1-X)N(0.3≦X≦0.6)からなる層であり、第二窒化物半導体層がAlYGa(1-Y)N(0.6<Y≦0.9)からなる層であることが好ましい。これにより、第一窒化物半導体層と第二窒化物半導体層との界面に高濃度の二次元電子ガス層が形成される。
第一窒化物半導体層がAlXGa(1-X)N(0≦X<1)からなる層であり、第二窒化物半導体層がAlYGa(1-Y)N(0≦X<Y≦1)からなる層である場合、XとYとの差が大きい程、二次元電子ガス層の濃度が高くなる。しかし、この差が大きくなり過ぎると、格子定数の差により第一窒化物半導体層と第二窒化物半導体層との界面に欠陥が生じて、暗状態での電流値が高くなる恐れがある。これに対して、0.3≦X≦0.6且つ0.6<Y≦0.9を満たすこと、つまり、0.3<Y−X≦0.3を満たすことで、暗状態での電流値を低減できる。
一態様の受光素子では、上記界面のうち、上記凹部の直下の部分がゲート領域となり、上記凹部を挟んだ両側の部分がソース・ドレイン領域となるが、ゲート長となる上記凹部の寸法は0.5μm以上5μm以下であることが好ましい。これにより、ソース・ドレイン間に高電界を印加することが可能となり、光入射時にソース・ドレイン間に大量の電流を流すことができる。
<好ましい態様7>
一態様の受光素子は、第二窒化物半導体層の膜厚が10nm以上50nm以下であることが好ましい。これにより、二次元電子ガス層のキャリア濃度を調整し易くなる。
<好ましい態様8>
一態様の受光素子は、上記凹部の底面が露出していることが好ましい。これにより、一態様の受光素子を、凹部の底面を受光面として使用した場合の受光感度が高くなる。
一態様の受光素子を構成する基板としては、Al、In及びGaのうち少なくとも一つを含む第一窒化物半導体層を形成可能なものであれば特に制限されない。基板の材料の具体例としては、Si、SiC、MgO、Ga2O3、Al2O3、ZnO、GaN、InN、AlN、あるいはこれらの混晶が挙げられる。また、基板には不純物が混入していても良い。
基板をなす材料がサファイア、AlN、またはGaNであると、第一窒化物半導体層との格子定数差が小さく、格子整合系で成長させることができるため、貫通転位を少なくできる。
つまり、一態様の受光素子は、基板が、サファイア基板、AlN基板、またはGaN基板であることが好ましい。
一態様の受光素子は、基板と第一窒化物半導体層との間にAlNからなるバッファ層をさらに備えることが好ましい。これにより、第一窒化物半導体層の結晶性を向上させ、光入射時の受光感度をさらに高めることができる。
<好ましい態様11>
一態様の受光素子は、第二窒化物半導体層上の凹部を挟んだ両側に、ソース電極及びドレイン電極をさらに備えることが好ましい。
ソース電極及びドレイン電極は、第二窒化物半導体層上に形成され、受光素子にバイアス電圧を印加することが可能であり、入射した光によって発生した電流を取り出すことが可能なものであれば特に限定されない。
一態様の受光素子は、ソース電極およびドレイン電極がTi、Al、Au、Ni、V、Mo、およびZrのうち少なくとも一つを含む材料からなることが好ましい。これにより、コンタクト抵抗を低減することができる。
<好ましい態様13>
一態様の受光素子は、第二窒化物半導体層上にゲート電極が存在しないことが好ましい。ゲート電極が存在しないことでバイアス電圧の印加が不要となる。また、ゲート電極の形成工程が不要となるため、素子形成の製造コストが軽減される。
一態様の受光素子は、波長200nm以上365nm以下の光が入射されたときのみにソース電極とドレイン電極との間に10-8A/mm以上の電流が流れることが好ましい。これにより、受光波長の選択性が高いものとなる。
<好ましい態様15>
一態様の受光素子は、波長250nmの光が入射されたときの応答速度が1ms以下であることが好ましい。
一態様の受光素子は、受光波長が200nm以上365nm以下であり、暗状態での電流値が10-9A/mm以下であることが好ましい。
<好ましい態様17>
一態様の受光素子は、波長200nm以上365nm以下の光が入射されたときの受光感度が1×102A/W以上であることが好ましい。
一態様の受光素子は表面保護層を備えていても良い。表面保護層としてはSiO2、SiN、Al2O3、AlNなどが挙げられるが、この限りではない。
<第一窒化物半導体層がAlまたはGaを含むことの確認方法>
第一窒化物半導体層がAlまたはGaを含むことは、蛍光X線元素分析装置(XRF)、ラザフォード後方散乱分光装置(RBS)、二次イオン質量測定装置(SIMS)およびX線光電子分光装置(XPS)を用いて確認できる。
第一窒化物半導体層のAlXGa(1-X)NのAl組成比(X)は、X線回折(XRD:X−ray Diffaction)法による2θ−ωスキャンおよび逆格子マッピング測定(RSM)を行うことで測定できる。
具体的には、先ず、X線回折で、基板表面の面方位に対応する面の面指数の2θ−ωスキャンを行い、そのピーク位置から第一窒化物半導体層のAlXGa(1-X)Nの格子定数を求める。
次に、得られたAlXGa(1-X)Nの格子定数から、Vegard則を用いてAlXGa(1-X)NのX(Al組成比)を決定する。Vegard則は具体的には以下の式(1)で表される。
aAB=XaA+(1−X)aB…(1)
よって、aA=3.112Å、aB=3.189Åと、得られたAlXGa(1-X)Nの格子定数の値(aAB)とを用い、式(1)からX(Al組成比)の値を求めることができる。
一態様の受光素子の製造方法について説明する。
受光素子の製造方法は、基板上に有機金属堆積法(MOCVD法)により第一窒化物半導体層を堆積させる工程と、第一窒化物半導体層上に第二窒化物半導体層を堆積させる工程と、第二窒化物半導体層の第一窒化物半導体層とは反対の面(上面)に凹部を形成する工程と、を含む。第二窒化物半導体層の上面に凹部を形成する方法としては、エッチング等種々の方法が挙げられる。
Al原料としては、例えばトリメチルアルミニウム(TMAl)を用いることができる。In原料としては、例えばトリメチルインジウム(TMIn)を用いることができる。Ga原料としては、例えばトリメチルガリウム(TMGa)やトリエチルガリウム(TEGa)などを用いることができる。N原料としては例えば、アンモニア(NH3)を用いることができる。
以下、本発明を実施するための形態(以下、「実施形態」と称する。)について説明するが、本発明は以下に示す実施形態に限定されない。以下に示す実施形態では、本発明を実施するために技術的に好ましい限定がなされているが、この限定は本発明の必須要件ではない。また、図は模式的なものであり、各層の厚さは現実のものとは異なり、各層の厚さの比率も現実のものとは異なる。具体的な厚さと寸法は、本実施形態や実施例の説明を参酌して判断すべきものである。
基板2はサファイア基板からなる。第一窒化物半導体層3は、AlXGa(1-X)N(0.3≦X≦0.6)からなる層であり、基板2と第一窒化物半導体層3との間にAlNからなるバッファ層を有する。第二窒化物半導体層4は、AlYGa(1-Y)N(0.6<Y≦0.9)からなる。第二窒化物半導体層4の上面(第一窒化物半導体層3とは反対側の面)40に凹部41が形成されている。
第一窒化物半導体層3と第二窒化物半導体層4の界面のうち、凹部41の直下の部分34aには電子濃度が1×107cm-2以下の空乏層が存在し、凹部41の直下を除く部分34bには電子濃度が1×108cm-2以上の二次元電子ガス層が存在する。つまり、両層の界面のうち凹部41の直下の部分34aがゲート領域となり、凹部41の直下を除く部分(凹部41を挟んだ両側の部分)34bがソース・ドレイン領域となる。ソース電極5およびドレイン電極6は、上面40の凹部41を挟んだ両側に形成されている。
また、実施形態の受光素子1は、第二窒化物半導体層4の上面40が受光面であり、凹部41の底面41aが露出している。
また、本実施形態の受光素子1によれば、第二窒化物半導体層4の凹部41の膜厚比(T2/T1)が0.05以上0.4以下の範囲にあるため、膜厚比(T2/T1)がこの範囲を外れるものと比較して、暗状態での電流値が極めて低いことと受光感度が高いことの両立という点で特に優れたものになる。
なお、膜厚比(T2/T1)が0.05以上0.4以下の範囲を外れるものであっても、凹部41を有さないものとの比較では、暗状態での電流値が極めて低いことと受光感度が高いことの両立という点で優れたものになる。
実施例1〜6の受光素子は、図1に示す実施形態の受光素子1と同様に、サファイアからなる基板2、バッファ層、第一窒化物半導体層3、第二窒化物半導体層4、ソース電極5、およびドレイン電極6を備え、第二窒化物半導体層4の上面に凹部41が形成されている。比較例1の受光素子は、これと同じ層構成を有するが、第二窒化物半導体層4の上面に凹部41が形成されていない。
2インチのサファイアウエハからなる基板2上に、基板の表面温度を1250℃に保った状態で、有機金属堆積法によりAlN層(バッファ層)を3μm成長させた。次に、AlN層の表面温度を1100℃に保った状態で、AlN層上に、AlXGa(1-X)N(X=0.52)からなる第一窒化物半導体層3を500nm成長させた。次に、第一窒化物半導体層3の表面温度を1100℃に保った状態で、第一窒化物半導体層3上に、AlYGa(1-Y)N(Y=0.7)からなる第二窒化物半導体層4を25nm成長させた。
次に、この状態の基板2を洗浄し、第一窒化物半導体層3上に、30μm×100μmの開口部を複数有するレジストマスクを形成した。次に、このレジストマスクを用いてAlN層までメサ分離を行うことにより、ウエハ上に形成する複数の素子間を電気的に絶縁した。
次に、この状態の基板2の第二窒化物半導体層4上に、2μm(ゲート長)×100μm(ゲート幅)の開口部を複数有するレジストマスクを形成した。複数の開口部は、各素子のソース電極5とドレイン電極6との間となる位置に設けてある。次に、レジストマスクの開口部に存在する第二窒化物半導体層4に対してRIE(反応性イオンエッチング)を行うことで、各素子の第二窒化物半導体層4の上面40に凹部41を形成した。
得られた受光素子の基板面に垂直な断面を透過型電子顕微鏡(TEM)を用いて解析したところ、凹部41の底面41aの位置での第二窒化物半導体層4の厚さ(T2)は2.0nmであった。第二窒化物半導体層4の凹部41以外の位置での厚さ(T1)は25nmであるため、膜厚比(T2/T1)は0.08となる。
得られた受光素子の特性を以下の方法で測定した。
測定の結果、暗電流は1.0×10-10A/mmであり、光電流は3.0×10-5A/mmであった。光電流を換算して得られた受光感度は3.3×105A/Wであった。また、得られた暗電流値に対する光電流値(250nm紫外光照射時の電流値)の比(光電流/暗電流)は3.0×105であった。また、紫外光照射時(光入射時)の応答速度は1μsec以下であった。
第二窒化物半導体層4の上面40に凹部41を形成する工程で、RIEによるエッチング深さを実施例1よりも浅くして、凹部41の底面41aの位置での第二窒化物半導体層4の厚さ(T2)を3.0nmにした。第二窒化物半導体層4の凹部41以外の位置での厚さ(T1)は25nmであるため、膜厚比(T2/T1)は0.12となる。これ以外の点は実施例1と同じ方法で受光素子1を得た。
得られた受光素子の特性を実施例1に記載の方法で測定したところ、暗電流は3.0×10-10A/mmであり、光電流は3.0×10-5A/mmであった。光電流を換算して得られた受光感度は3.3×105A/Wであった。また、得られた暗電流値に対する光電流値(250nm紫外光照射時の電流値)の比(光電流/暗電流)は1.0×105であった。また、紫外光照射時(光入射時)の応答速度は1μsec以下であった。
第二窒化物半導体層4の上面40に凹部41を形成する工程で、RIEによるエッチング深さを実施例1よりも浅くして、凹部41の底面41aの位置での第二窒化物半導体層4の厚さ(T2)を5.0nmにした。第二窒化物半導体層4の凹部41以外の位置での厚さ(T1)は25nmであるため、膜厚比(T2/T1)は0.20となる。これ以外の点は実施例1と同じ方法で受光素子1を得た。
得られた受光素子の特性を実施例1に記載の方法で測定したところ、暗電流は5.0×10-10A/mmであり、光電流は3.0×10-5A/mmであった。光電流を換算して得られた受光感度は3.3×104A/Wであった。また、得られた暗電流値に対する光電流値(250nm紫外光照射時の電流値)の比(光電流/暗電流)は6.0×104であった。また、紫外光照射時(光入射時)の応答速度は1μsec以下であった。
第二窒化物半導体層4の上面40に凹部41を形成する工程で、RIEによるエッチング深さを実施例1よりも浅くして、凹部41の底面41aの位置での第二窒化物半導体層4の厚さ(T2)を9.0nmにした。第二窒化物半導体層4の凹部41以外の位置での厚さ(T1)は25nmであるため、膜厚比(T2/T1)は0.36となる。これ以外の点は実施例1と同じ方法で受光素子1を得た。
得られた受光素子の特性を実施例1に記載の方法で測定したところ、暗電流は8.0×10-10A/mmであり、光電流は3.0×10-5A/mmであった。光電流を換算して得られた受光感度は3.3×104A/Wであった。また、得られた暗電流値に対する光電流値(250nm紫外光照射時の電流値)の比(光電流/暗電流)は3.8×104であった。また、紫外光照射時(光入射時)の応答速度は1μsec以下であった。
第二窒化物半導体層4の上面40に凹部41を形成する工程で、RIEによるエッチング深さを実施例1よりも浅くして、凹部41の底面41aの位置での第二窒化物半導体層4の厚さ(T2)を12.5nmにした。第二窒化物半導体層4の凹部41以外の位置での厚さ(T1)は25nmであるため、膜厚比(T2/T1)は0.50となる。これ以外の点は実施例1と同じ方法で受光素子1を得た。
得られた受光素子の特性を実施例1に記載の方法で測定したところ、暗電流は3.0×10-9A/mmであり、光電流は3.0×10-5A/mmであった。光電流を換算して得られた受光感度は3.3×105A/Wであった。また、得られた暗電流値に対する光電流値(250nm紫外光照射時の電流値)の比(光電流/暗電流)は1.0×104であった。また、紫外光照射時(光入射時)の応答速度は1μsec以下であった。
第二窒化物半導体層4の上面40に凹部41を形成する工程で、RIEによるエッチング深さを実施例1よりも深くして、凹部41の底面41aの位置での第二窒化物半導体層4の厚さ(T2)を1.0nmにした。第二窒化物半導体層4の凹部41以外の位置での厚さ(T1)は25nmであるため、膜厚比(T2/T1)は0.04となる。これ以外の点は実施例1と同じ方法で受光素子1を得た。
得られた受光素子の特性を実施例1に記載の方法で測定したところ、暗電流は9.0×10-11A/mmであり、光電流は8.0×10-6A/mmであった。光電流を換算して得られた受光感度は8.9×104A/Wであった。また、得られた暗電流値に対する光電流値(250nm紫外光照射時の電流値)の比(光電流/暗電流)は8.9×104であった。また、紫外光照射時(光入射時)の応答速度は1μsec以下であった。
第二窒化物半導体層4の上面40に凹部41を形成する工程を行わなかった。これ以外の点は実施例1と同じ方法で受光素子1を得た。
得られた受光素子の特性を実施例1に記載の方法で測定したところ、暗電流は3.0×10-5A/mmであり、光電流は3.0×10-5A/mmであった。光電流を換算して得られた受光感度は3.3×105A/Wであった。また、得られた暗電流値に対する光電流値(250nm紫外光照射時の電流値)の比(光電流/暗電流)は1.0であった。また、紫外光照射時(光入射時)の応答速度は1μsec以下であった。
第二窒化物半導体層4の上面40に凹部41を有する実施例1〜6の受光素子は、凹部41を有さない比較例1の受光素子と比較して、暗電流値が極めて低い。実施例1〜6の受光素子の光電流値および受光感度は、比較例1の受光素子の光電流値および受光感度と同じである。つまり、実施例1〜6の受光素子は、暗状態での電流値が極めて低く、光入射時の受光感度が高い受光素子である。
よって、膜厚比(T2/T1)が0.05以上0.4以下の範囲にある受光素子は、膜厚比(T2/T1)がこの範囲外にある受光素子よりも、暗状態での電流値が極めて低いことと光入射時の受光感度が高いことの両立という点で優れている。
2 基板
3 第一窒化物半導体層
34a 第一窒化物半導体層と第二窒化物半導体層の界面のうち、凹部の直下の部分
34b 第一窒化物半導体層と第二窒化物半導体層の界面のうち、凹部の直下を除く部分
4 第二窒化物半導体層
40 第二窒化物半導体層の上面(第一窒化物半導体層とは反対側の面)
41 凹部
41a 凹部の底面
5 ソース電極
6 ドレイン電極
Claims (11)
- 基板と、
前記基板上に形成され、Al、In及びGaのうち少なくとも一つを含む窒化物半導体からなる第一窒化物半導体層と、
前記第一窒化物半導体層上に形成された第二窒化物半導体層であって、Al、In及びGaのうち少なくとも一つを含む窒化物半導体からなり、前記第一窒化物半導体層よりも格子定数が小さく、前記第一窒化物半導体層とは反対側の面に凹部を有する第二窒化物半導体層と、を有し、
前記第一窒化物半導体層はAl X Ga (1-X) N(0.3≦X≦0.6)からなる層であり、
前記第二窒化物半導体層はAl Y Ga (1-Y) N(0.6<Y≦0.9)からなる層であり、
前記凹部の底面が露出している受光素子。 - 前記第二窒化物半導体層の前記凹部以外の位置での厚さ(T1)に対する前記凹部の底面位置での厚さ(T2)の比(T2/T1)が0.05以上0.4以下である請求項1記載の受光素子。
- 前記第一窒化物半導体層と前記第二窒化物半導体層の界面のうち、前記凹部の直下を除く部分に、電子濃度が1×108cm-2以上の二次元電子ガス層が存在する請求項1または請求項2記載の受光素子。
- 前記界面のうち、前記凹部の直下の部分には、電子濃度が1×107cm-2以下の空乏層が存在する請求項3記載の受光素子。
- 前記第一窒化物半導体層と前記第二窒化物半導体層の界面のうち、前記凹部の直下の部分がゲート領域であり、前記凹部を挟んだ両側の部分がソース・ドレイン領域であり、ゲート長となる前記凹部の寸法が0.5μm以上5μm以下である請求項1〜4の何れか一項に記載の受光素子。
- 前記第二窒化物半導体層の前記凹部以外の位置での膜厚が10nm以上50nm以下である請求項1〜5の何れか一項に記載の受光素子。
- 前記基板は、サファイア基板、AlN基板、またはGaN基板である請求項1〜6の何れか一項に記載の受光素子。
- 前記基板と前記第一窒化物半導体層との間にAlNからなるバッファ層をさらに備える請求項1〜7の何れか一項に記載の受光素子。
- 前記第二窒化物半導体層上の前記凹部を挟んだ両側に、ソース電極及びドレイン電極をさらに備える請求項1〜8の何れか一項に記載の受光素子。
- 前記ソース電極およびドレイン電極は、Ti、Al、Au、Ni、V、Mo、およびZrのうち少なくとも一つを含む材料からなる請求項9記載の受光素子。
- 前記第二窒化物半導体層上にゲート電極が存在しない請求項1〜10の何れか一項に記載の受光素子。
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