JP6855003B2 - マイクロデバイス、計測ユニットおよび検査装置 - Google Patents
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Description
前記第2の流路は、前記外力の方向に逆らう方向に向かって流路を形成した第1の流路部と、前記外力の方向に従う方向に向かって流路を形成した第2の流路部とを有する第1のサイフォン構造部を備える。
1a〜1b、11a〜11b、51a〜51d、111a プライマリリザーバー
2a〜2b、12a〜12b、52a〜52d、112a 流路
3、13、53、113 チャンバー
14a〜14b、14a〜14d、114a セカンダリリザーバー
15a〜15b、55a〜55d、115a、115z 流路
15a’〜15b’ 流路
16a〜16b、56a〜56d、116a、116z サイフォン構成部
16am、56am、116am、116zm 屈曲点
16a’、16a’’ サイフォン構成部
1as〜1bs、11as〜11bs プライマリリザーバー出力口
1ae〜1be、11ae〜11be セカンダリリザーバー入力口
15as〜15bs、115as セカンダリリザーバー出力口
15ae〜15be、115ae チャンバー入力口
115zs チャンバー出力口
118 排液槽
115ze 排液槽入力口
57a〜57d、57za〜57zd、57z ベント
7 回転軸位置(基準点)
8、18、18−1、18−2、78、208 マイクロデバイス
80 ディスク
81、82 区画
91 テーピング
92 PDMS層
93 PDMSシート
94 基材部
95 セカンダリリザーバー部
96 細管
fla、flb 液体
F10 外力
Claims (11)
- 少なくとも二つ以上のチャネル(a,b)と、
第1の容器(13)を有する第1のサブデバイスと
を備え、
前記チャネルの各々は、
第2の容器(12a)と、
第2のサブデバイスと
を備え、
前記第2のサブデバイスは
第3の容器(14a)と、
一端が前記第2の容器の出力口に繋がれ、他端(11ae)が前記第3の容器の入力口に繋がれた第1の流路(11a)と、
一端(15as)が前記第3の容器の出力口に繋がれ、他端(15ae)が前記チャネルごとに設けられた前記第1の容器の入力口に接続された第2の流路(15a)とを、
具備し、
前記第1の流路の各々は、長さ・太さ・形状の少なくとも1つが互いに異なり、
前記第2の容器、前記第2のサブデバイス、前記第1のサブデバイスの順に、流路の上流側位置の基準点から離れるように構成され、
前記基準点を中心に回転することにより発生する遠心力または重力を外力として利用し、
前記第2の流路は、前記外力の方向に逆らう方向に向かって流路を形成した第1の流路部と、前記外力の方向に従う方向に向かって流路を形成した第2の流路部とを有する第1のサイフォン構造部を備える、
マイクロデバイス。 - 少なくとも二つ以上のチャネル(a,b)と、
第1の容器(13)を有する第1のサブデバイスと
を備え、
前記チャネルの各々は、
第2の容器(12a)と、
第2のサブデバイスと
を備え、
前記第2のサブデバイスは
一端が前記第2の容器の出力口に繋がれた第1の流路(11a)を
具備し、
前記チャネルの各々は、前記第1の流路の他端を経由し独立して前記第1の容器の前記チャネルごとに設けられた入力口にそれぞれ接続され、
前記第1の流路の各々は、長さ・太さ・形状の少なくとも1つが互いに異なり、
前記第2の容器、前記第2のサブデバイス、前記第1のサブデバイスの順に、流路の上流側位置の基準点から離れるように構成され、
さらに第3の容器(14a)と
一端(15as)が前記第3の容器の出力口に繋がれた第2の流路(15a)とを
備え、
前記第1の流路(11a)の他端(11ae)が前記第3の容器の入力口に繋がれ、
前記チャネルの第2の流路の他端(15ae)が前記チャネルごとに設けられた前記第1の容器の入力口に接続され、
前記基準点を中心に回転することにより発生する遠心力または重力を外力として利用し、
前記第2の流路の各々は、前記外力の方向に逆らう方向に向かって流路を形成した第1の流路部と、前記外力の方向に従う方向に向かって流路を形成した第2の流路部とを有する第1のサイフォン構造部を具備し、
前記第2の容器、前記第2のサブデバイスまたは前記第1のサブデバイスのうちの少なくともひとつと前記基準点とを結ぶ方向と前記外力の方向とが為す角度は、使用中一定であるマイクロデバイス。 - 前記第1のサブデバイスは、さらに
第4の容器(58)と
一端(55zs)が前記第1の容器の出力口に繋がれた第3の流路(55z)とを
備え、
前記第3の流路(55z)の他端(55ze)が前記第4の容器の入力口に繋がれ、
前記第3の流路は、前記外力の方向に逆らう方向に向かって流路を形成した第3の流路部と、前記外力の方向に従う方向に向かって流路を形成した第4の流路部とを有する第2のサイフォン構造部を備える、
請求項1または2に記載のマイクロデバイス。 - 前記第3の容器(114a)の出力口と前記第2の流路(115a)とがつながる第1のポイントと前記基準点との距離と、前記第1の容器(113)の入力口と前記第2の流路(115a)とがつながる第2のポイントと前記基準点との距離との距離が等しい請求項1乃至3のいずれか一項に記載のマイクロデバイス。
- 前記第1の流路部と前記第2の流路部とは、第1の屈曲点を介して互いに接続され、
前記第1の屈曲点と前記基準点との距離が、前記第3の容器のもっとも前記基準点に近いポイントと前記基準点との距離よりも長い請求項1乃至4のいずれか一項に記載のマイクロデバイス。 - 前記第1の屈曲点での流路を形成する細管の断面積が、前記第1のサイフォン構造部の流路の前記屈曲点以外のポイントでの細管の断面積よりも大きい請求項5に記載のマイクロデバイス。
- 前記第1の容器(113)の出力口と前記第3の流路(115z)とがつながる第3のポイントと前記基準点との距離に比べ、前記第4の容器(118)の入力口と前記第3の流路(115z)とがつながる第4のポイントと前記基準点との距離が長い請求項3に記載のマイクロデバイス。
- 前記マイクロデバイスが、ディスク上に形成され、前記基準点が前記ディスクの中心である請求項1乃至7のいずれか一項に記載のマイクロデバイス。
- 前記ディスクが、PMDS(Polydimethylsiloxane)層を備え、前記PMDS層に、前記マイクロデバイスの流路を形成した請求項8に記載のマイクロデバイス。
- 請求項8または9に記載のマイクロデバイスを前記ディスク上に、1つまたは複数形成した計測ユニット。
- 請求項1乃至9のいずれか一項に記載のマイクロデバイスを備えたことを特徴とする検査装置。
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