JP6849926B2 - ワーク搬送装置 - Google Patents

Description

本発明は、進行波によりワークを搬送するワーク搬送装置に関するものである。

従来より、バネを駆動源として用いて搬送部全体を斜め方向に振動させることで、部品を搬送するワーク搬送装置が知られている。このようなワーク搬送装置では、振幅を大きくすることで部品の搬送速度を上げることが可能であるが、搬送部の下流端の水平振幅が大きくなると、搬送部の下流端に設定されるインターフェース部と次工程設備との間の隙間を広げる必要がある。その結果、次工程設備とインターフェース部との間に部品が落下したり、部品の詰まりが生じるおそれがある。特に、部品の微細化や搬送速度の高速化が進むほど、部品の落下や詰まりが生じる確率も高くなる。

また、上述のワーク搬送装置は、搬送部全体を斜め方向に振動させる駆動源の周波数を上げ、変位振幅を小さくすることで、ワークの搬送速度を上げることが可能であるが、一般的に３００Ｈｚ程度である駆動源の周波数をこれ以上に上げると、人間の耳の感度が高い１ｋＨｚ〜４ｋＨｚの周波数に近づき、騒音が大きくなる。また、板バネで共振させる構造では、３００Ｈｚを超え、１ｋＨｚ以上になると、搬送部などが弾性変形して、ワークを正常に搬送できなくなる（搬送部を均一に平行振動させるのが困難になる）。

このような不具合の発生を回避可能なワーク搬送装置として、搬送部に撓み進行波を発生させて部品を移送するワーク搬送装置も案出されている。特許文献１には、搬送面の水平方向振幅がゼロに近く、直線状に延びる搬送トラックに沿ってワークを搬送するリニアフィーダと、リニアフィーダの上流側に、ワークを多く貯留できるボウルフィーダとの接続部において両者を近接させることが可能な構成が開示されている。また、進行波が搬送部を周回することを利用して、リニアフィーダに、直線状に延びる搬送トラックを辿って次工程への搬送経路から脱落したワークをＵターンさせてボウルフィーダに戻すリターントラックが形成された構成も開示されている。

ボウルフィーダの搬送トラック（螺旋トラック）とリニアフィーダの搬送トラック（リニアトラック）を相互に接続する場合、搬送速度を維持しつつワークをスムーズに受け渡しするためには、接続部分においてワークに与える推進力の方向がワークの進行方向と一致し、且つボウルフィーダ側とリニアフィーダ側とでワーク進行方向が同方向となるように接続することが望ましい。つまり、進行波方式の場合、ボウルフィーダとリニアフィーダの接続部分におけるワーク搬送方向と進行波の進行方向が接線の関係となるように接続することが望ましい。

進行波方式のリニアフィーダ及びボウルフィーダを上記の関係を満たすように相互に接続する装置レイアウトとして、図２３及び図１９に示す構成を挙げることができる。なお、図２３及び図１９では、メイン搬送経路におけるワーク搬送方向を一点鎖線で示し、進行波の進行方向を実線で示し、リターン経路におけるワーク搬送方向を点線で示している。

特開２０１７−０４３４３１号公報

しかし、図２３に示す構成は、リニアフィーダＺのうちワークをボウルフィーダＹに戻すための搬送経路（リターン経路）の終端部分を含む所定領域が、ボウルフィーダＺのボウル搬送部１内を臨むレイアウトになり、ボウルフィーダＹ及びリニアフィーダＺの両方、または少なくともボウルフィーダＹの一部を刳り抜いて嵌め合わせる必要があり、加工領域が増大する。さらに、刳り抜き加工によってボウルフィーダＹ及びリニアフィーダＺの両方、または少なくともボウルフィーダＹにおいて、搬送部（ボウル搬送部１、リニア搬送部３）の構造の対称性が崩れ、進行波比（進行波比＝最小振幅／最大振幅）が低下してしまう懸念があり、搬送能力が低下したり、進行波が生成できないおそれがある。

また、図１９に示す構成は、リニアフィーダＺのうちリターン経路の終端部分を含む所定領域が、ボウルフィーダＹのボウル搬送部１内を臨むレイアウトではないため、図２３に示す構成と比較して、ボウルフィーダＹ及びリニアフィーダＺの両方、または少なくともボウルフィーダＹの一部に対する刳り抜き加工が不要、または加工領域の狭小化により、対称性の低下は軽減される。

しかしながら、図１９に示す構成であれば、リニアフィーダＺのうちリターン経路の終端部分が、ボウルフィーダＹの螺旋トラック１ＴとリニアフィーダＺのリニアトラック３Ｔの接続部分と平面視において交差するレイアウトである。したがって、リターン経路の出口からボウルフィーダＹに戻されるワークが、螺旋トラック１Ｔとリニアトラック３Ｔの接続部分及びその近傍を搬送中のワークと接触するおそれがある。

そこで、リターン経路の終端部分を、メイン経路のうちボウルフィーダとリニアフィーダの接続部分よりも高い位置となるように、リニア搬送部のうちリターン経路の一部をワークの搬送方向（リターン方向）に沿って登り勾配になる形状に設定し、リターン経路の出口を通過し終えたワークがボウルフィーダとリニアフィーダの接続部分の上を跳び越えて、ワーク同士の交錯を回避する構成が考えられる。

しかしながら、リニア搬送部のうちリターン経路の一部をワークの搬送方向（リターン方向）に沿って登り勾配になる形状に設定した場合、リニアフィーダの対称性が崩れることにより進行波比の低下が生じ、搬送能力の低下が懸念される。このような問題は搬送部の対称性が低下するほど顕著となる。

本発明者は、こうした問題がバネの振動で搬送部全体を斜めに振動させるタイプのワーク搬送装置では起こらず、特許文献１のように搬送部を弾性振動させて進行波を発生させる方式のワーク搬送装置において生じることを見出した。また、このような問題は、リニアフィーダ及びボウルフィーダの両方を備えたワーク搬送装置に限らず、リニアフィーダ単体、またはボウルフィーダ単体から構成したワーク搬送装置においても同様であることが、本発明者らの研究により分かってきた。

本発明は、このような点に着目してなされたものであって、主たる目的は、搬送部の一部に対称性を崩す加工箇所が存在することを許容しつつ、スムーズな搬送処理に支障を来すような振動不良が搬送部に発生する事態を防止・抑制可能な振動特性を発揮するワーク搬送装置を提供することにある。

すなわち本発明は、搬送トラックを有する搬送部と、進行波を搬送部に発生させる駆動手段とを備え、進行波によりワークを搬送面上で搬送するワーク搬送装置に関するものであり、搬送部のうち、搬送トラックが形成されている面を含む上側領域を低弾性率材料で構成するとともに、上側領域よりも下方の領域であって駆動手段が設けられる下側領域を低弾性率材料よりも弾性率が高い高弾性率材料で構成し、少なくとも下側領域は、対称性を持った形状であることを特徴としている。

ここで、本発明における低弾性率材料としては合成樹脂、ゴム（合成ゴム）を挙げることができ、高弾性率材料としては金属やセラミックスを挙げることができる。ただし、弾性率の高低は上側領域と下側領域の構成材料同士の比較によるものであるため、下側領域の構成材料が上側領域の構成材料よりも高い弾性率を有する材料であれば本発明の条件は満たされる。

本発明者は、低弾性率材料で構成したパーツと、低弾性率材料よりも弾性率が高い高弾性率材料で構成したパーツとを二段状に接合した構造物において、振動特性（固有振動数や振動モード形状）に対しては高弾性率材料で構成したパーツの影響が相対的に大きく支配的であり、低弾性率材料で構成したパーツの影響は比較的小さいことに着目した。そして、本発明者は、振動特性に対して大きな影響を与える高弾性率材料で構成したパーツの対称性が低下することを回避するために、搬送トラックが形成される面を含む上側領域を、振動特性に対して大きな影響を与えない低弾性率材料で構成する一方、搬送部のうち搬送トラックが形成されない下側領域を高弾性率材料で構成し、上側領域に搬送トラックを形成したり、隣接する装置との接合形態に応じた刳り抜き加工や穿孔加工が施されることで、上側領域自体の対称性が崩れることを許容しつつ、高弾性率材料で構成する下側領域の対称性を保つことによって、搬送部全体として良好な振動特性を発揮可能なワーク搬送装置を案出するに至った。

加えて、本発明に係るワーク搬送装置であれば、搬送部のうち上側領域を低弾性率材料で構成するとともに、下側領域を高弾性率材料で構成していることにより、搬送部全体を同一材料から形成した態様と比較して、中立軸（曲げモーメントを掛けた場合に、材料が全く負荷を受けていない位置のことであり、引張も圧縮も発生していない位置）を搬送部の底面側、つまり下側領域の底面側に下げることができ、搬送部に進行波を発生させた際の搬送トラックの搬送面から中立軸までの距離（ｅ値）が大きくなり、搬送速度が向上し、搬送トラックが形成される面を含む上側領域を弾性率が低い材料で形成することで、搬送処理中のワークの跳躍を抑えることが可能である。ここで、本発明における「駆動手段」は進行波を搬送部に発生させるものであればよく、本発明では、搬送部を周回するように進行波を循環方式により発生させる駆動手段や、或いは、循環方式とは異なる方式（例えば搬送部が当該搬送部の両端を特定可能な形状であれば、両端にそれぞれ位相差を変えて加振する両端加振方式等）で進行波を発生させる駆動手段を適用することが可能である。

このような本発明に係るワーク搬送装置は、リニアフィーダやボウルフィーダに適用することができる。リニアフィーダは、搬送部として、少なくとも長手方向に延伸する搬送トラックを有し、且つ進行波が周回する形状に設定したリニア搬送部を備えたものである。また、ボウルフィーダは、搬送部として、少なくとも螺旋状の搬送トラックを有し、且つ進行波が周回する形状に設定したボウル搬送部を備えたものである。上側領域の対称性を考慮しなくてもよいため、上側領域の構成の自由度が向上し、リニアフィーダとボウルフィーダの組み合わせ方、配置構成の自由度を飛躍的に高めることができる。

さらに、本発明に係るワーク搬送装置は、リニアフィーダ及びボウルフィーダの両方を備えたパーツフィーダに適用することも可能である。ボウルフィーダは、搬送部として、少なくとも螺旋状の搬送トラック（螺旋トラック）を有するボウル搬送部を備えているものであればよい。したがって、ボウル搬送部は、進行波方式の振動でワークを螺旋トラックに沿って搬送させるものに限定されず、板バネを用いた共振作用でワークを螺旋トラックに沿って搬送させるものであっても構わない。一方、リニアフィーダは、搬送部として、長手方向に延伸する搬送トラック（リニアトラック）と、リニアトラックから外れたワークをボウル搬送部に返送するリターントラックを有し、且つ進行波が周回する形状に設定したリニア搬送部を備えたものである。このようなボウルフィーダとリニアフィーダを備えた本発明に係るワーク搬送装置では、螺旋トラックの終端とリニアトラックの始端が接合された状態にあり、螺旋トラック及びリニアトラックを辿って次工程に供給されるワークの経路であるメイン搬送経路（ワークを次工程に搬送する経路）と、リターントラックを辿ってボウル搬送部に返送されるワークの経路であるリターン経路の出口が、螺旋トラックとリニアトラックの接続部分または接続部分近傍において立体交差するように設定していることを特徴としている。

このようなワーク搬送装置であれば、ボウルフィーダに供給されたワークを螺旋トラックに沿って搬送した後、隣接配置したリニアフィーダのリニアトラックに受け渡して次工程に搬送させることが可能であるとともに、例えば適宜の判定基準（搬送中の姿勢変更等）を満たさずにリニアトラックからリターントラックに移されたワークをリターントラックに沿ってボウルフィーダに戻すことが可能である。特に、本発明では、メイン搬送トラックのうち螺旋トラックとリニアトラックの接続部分または接続部分近傍においてリターン経路の出口がメイン搬送経路と立体交差するように設定しているため、リターン経路の出口からボウルフィーダ内に戻されるワークが、メイン搬送経路を搬送中のワークと衝突する事態を回避することができる。しかも、リターン経路の出口がメイン搬送経路と立体交差するように、リターン経路とメイン経路に高低差を付ける構成であれば、少なくともリニア搬送部の上側領域の形状が対称性の崩れた形状になる。しかしながら、本発明に係るワーク搬送装置では、上述の通り、振動特性に対して大きな影響を与えない低弾性率材料でリニア搬送部の上側領域を構成しているため、上側領域自体の対称性が崩れることを許容しつつ、振動特性に対して大きな影響を与える高弾性率材料でリニア搬送部の下側領域を構成し、この下側領域の対称性を保つことによって、リニア搬送部全体として良好な振動特性を発揮することが可能である。

なお、搬送トラックの搬送面は、搬送部の上向き面、つまり上側領域の上向き面（傾斜している上向き面も含む）において上方に開放する面であり、水平又は略水平な面（水平面）、又は水平に対して傾斜角度傾斜した面（傾斜面）、或いはＵ字状の面（曲面）の何れをも包含する概念である。またワークとしては、例えば電子部品などの微小部品を挙げることができるが、電子部品以外の物品であってもよい。

本発明によれば、進行波によりワークを搬送トラックに沿って搬送する搬送部を、搬送トラックが形成される面を含む上側領域と、上側領域よりも下方の領域である下側領域に区別し、振動特性に対してさほど影響を与えない低弾性率材料で上側領域を構成するとともに、振動特性に対して大きな影響を与える高弾性率材料で下側領域を構成し、少なくとも下側領域の形状を対称性の保たれた形状に設定するという斬新な技術的思想に基づき、搬送部の上側領域に対称性を崩す加工箇所が存在しても、スムーズな搬送処理に支障を来すような振動不良が搬送トラックの搬送面に発生する事態を防止・抑制可能な振動特性を発揮し、搬送部に発生する進行波によってワークをスムーズ且つ高速に搬送することが可能なワーク搬送装置を提供できる。

本発明の一実施形態に係るワーク搬送装置の全体図。 同実施形態に係るワーク搬送装置の平面図。 同実施形態におけるボウルフィーダの平面図。 図３のＡ方向矢視図及び図３のａ−ａ線断面図。 図３のＢ方向矢視図及び図３のｂ−ｂ線断面図。 同実施形態におけるボウル下半部の平面図。 図６のＣ方向矢視図及び図３のｃ−ｃ線断面図。 同実施形態におけるボウル上半部の平面図。 図７のＤ方向矢視図及び図３のｄ−ｄ線断面図。 同実施形態のボウルフィーダに進行波発生させる駆動手段の構成図。 同実施形態におけるボウル搬送部及びリニア搬送部の進行波解析図。 搬送部の弾性変形を経時的に示す模式図。 同実施形態におけるリニアフィーダの平面図。 図１３のＡ方向矢視図、ａ−ａ線断面図、Ｂ方向矢視図及び図３のｂ−ｂ線断面図。 同実施形態におけるリニア下半部を示す図。 同実施形態におけるリニア上半部を示す図。 同実施形態におけるメイン経路及びリターン経路の立体交差を示す図。 同実施形態のリニアフィーダに進行波発生させる駆動手段の構成図。 同実施形態に係るワーク搬送装置の平面模式図。 本発明に係るワーク搬送装置の一変形例を示す図。 本発明に係るワーク搬送装置の一変形例を示す図。 本発明に係るワーク搬送装置の一変形例を示す図。 本発明に係るワーク搬送装置の一変形例を示す図。

以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。

本実施形態に係るワーク搬送装置は、例えば図１に示すボウルフィーダＹ及びリニアフィーダＺを備えたパーツフィーダＸに適用されるものである。図２は図１に示すパーツフィーダＸの平面図である。

ボウルフィーダＹは、図１乃至図５に示すように、螺旋状の搬送トラックである螺旋トラック１Ｔを有するボウル状の搬送部（ボウル搬送部１、本発明の「搬送部」に相当）と、ボウル搬送部１に進行波を発生させる駆動手段２（図１０参照）とを備え、進行波によりワークＷを螺旋トラック１Ｔに沿って搬送するものである。

ボウル搬送部１は、図３乃至図５（図４（ｉ）、（ｉｉ）、図５（ｉｉｉ）、（ｉｖ）は、それぞれ図３のＡ方向矢視図、ａ−ａ線断面、Ｂ方向矢視図、ｂ−ｂ線断面である）に示すように、螺旋トラック１Ｔが形成される面を含む上側の領域である上側領域１１と、上側領域１１よりも下側の領域である下側領域１２の２パーツを接合したものである。そして、本実施形態のボウル搬送部１は、上側領域１１であるボウル上半部１１を低弾性率材料で構成するとともに、当該低弾性率材料よりも弾性率の高い高弾性率材料によって下側領域１２であるボウル下半部１２を構成している。本実施形態では、低弾性率材料として樹脂（適宜の合成樹脂）を適用し、高弾性率材料として金属（例えばステンレスやアルミニウム）を適用している。このように、本実施形態のボウル搬送部１は、樹脂製のボウル上半部１１と、金属製のボウル下半部１２とを用いて構成されたものである。

ボウル下半部１２は、図６及び図７（図７（ｉ）、（ｉｉ）は、それぞれ図６のＣ方向矢視図、ｃ−ｃ線断面である）に示すように、全体として所定厚みを有する円盤状をなし、下向き面（底面）の全領域を凹凸の無いフラットな面に設定する一方、上向き面の中央部分に、他の部分よりも上方に膨出した中央円盤部１３を形成している。中央円盤部１３には、ボウル下半部１２の中心軸１ｍを円心とする同一半径上に、厚み方向（高さ方向）に貫通する固定用孔１４を所定ピッチで複数（図示例では６０度間隔で計６つ）形成している。この固定用孔１４に挿入したボルト等の適宜の止着具３Ｆによって、ボウル下半部１２、ひいてはボウル搬送部１を図示しない支持基部である台座（図示省略）に支持させた状態で固定している。ボウル下半部１２のうち中央円盤部１３の外周に形成されるリング状ベース１５の上向き面は、ボウル上半部１１を載置するスペース（載置部１Ｓ）として機能する。

このような形態を有するボウル下半部１２は、中心軸１ｍを中心とする軸対称性（中心軸１ｍから見たときに、形状や物理量が円周方向には変化せず、中心軸１ｍからの距離のみに依存して変化する形態）を持った構造である。

ボウル上半部１１は、図８及び図９（図９（ｉ）、（ｉｉ）は、それぞれ図８のＤ方向矢視図、ｄ−ｄ線断面である）に示すように、ボウル下半部１２と同じ径寸法に設定され、中央部分にボウル下半部１２の中央円盤部１３が嵌まり込む高さ方向に貫通した開口部１６を有し、この開口部１６の開口縁より外周に向かう所定領域に設定した平坦な内側リング状フラット面１７（内側円環状面）と、内側リング状フラット面１７の外周縁から外周に向かって登り勾配で傾斜する逆円錐面１８と、逆円錐面１８の外側に設定した平坦な外側リング状フラット面１９（外側円環状面）とを一体に設けたものである。本実施形態のボウル搬送部１では、ボウル上半部１１の底面から外側リング状フラット面１９までの高さ寸法（ボウル上半部１１の最大高さ寸法）を、ボウル下半部１２の最大高さ寸法（中央円盤部１３の厚み寸法に相当）よりも大きい値に設定している。

ボウル上半部１１の逆円錐面１８には、搬送トラックの一形態である螺旋トラック１Ｔを形成している。本実施形態では、螺旋トラック１Ｔの始端を、ワーク溜まりとして機能する内側リング状フラット面１７の所定箇所に設定するとともに、螺旋トラック１Ｔの終端を、外側リング状フラット面１９の所定箇所に設定している。螺旋トラック１Ｔは、始端から終端に亘って螺旋状に１回以上周回する形状に設定され、逆円錐面１８、内側リング状フラット面１７、外側リング状フラット面１９に溝を凹設することによって構成されている。逆円錐面１８、内側リング状フラット面１７及び外側リング状フラット面１９は、ボウル上半部１１の上向き面として捉えることができる。すなわち、螺旋トラック１Ｔは、ボウル上半部１１の上向き面に形成されている。

このようなボウル上半部１１は、上向き面（逆円錐面１８、内側リング状フラット面１７及び外側リング状フラット面１９）に螺旋トラック１Ｔを設けていることにより、その加工分に応じて対称性、具体的には中心軸１ｍを中心とする軸対称性が崩れているうえに、全く対称性を有していないことになる。

そして、ボウル上半部１１の開口部１６にボウル下半部１２の中央円盤部１３を嵌め込むことが可能な相対位置関係でボウル上半部１１の底面をボウル下半部１２の載置部１Ｓに載置し、この状態で適宜の接合剤や他の適宜の接合手段によってボウル上半部１１及びボウル下半部１２を強固に接合することにより、全体としてボウル状の形態をなす有底のボウル搬送部１を構成することができる。

ボウル搬送部１は、図１及び図２に示すように、押え板１Ｐを介して止着具１Ｆにより下半部の中央円盤部１３を台座（図示省略）に固定され、中央円盤部１３以外の部位が接地面から浮いた状態に設けられている。

このように互いに異なる材料からなるボウル上半部１１及びボウル下半部１２を一体的に接合した形態のボウル搬送部１は、２０ｋＨｚ以上の超音波振動で、中心軸中心軸１ｍの回りに少なくとも２つ以上の上下方向の撓み波を発生させることができるように構成されている。

ボウル搬送部１に進行波を発生させる駆動手段２は、例えば圧電素子を用いたものであり、図１０に示すように、螺旋トラック１Ｔが形成された面（内側リング状フラット面１７、逆円錐面１８、外側リング状フラット面１９）に対応させて、ボウル搬送部１の底面（ボウル下半部１２の底面）に所定ピッチで複数貼り付けられている。駆動手段２は、ボウル搬送部１に略沿う形で中心軸１ｍの周囲において周方向に伸縮することでボウル搬送部１に形成された螺旋トラック１Ｔに撓みを発生させる。具体的に、複数の駆動手段２（圧電素子）は、振動モードの腹の位置に１／２波長間隔で極性を交互に入れ替えて貼り付けられ、周波数を同じにしつつ、空間的に波の位相が９０°ずれた２つの撓み定在波モードで効率良く加振するために、加振する領域のうちボウル搬送部１の略半周を第１加振領域、残り略半周を第２加振領域として、第１加振領域と第２加振領域に駆動手段２を、進行波の波長λに対してλ（１＋２ｎ）／４（ｎ＝０、１、２、…）だけ空間的位相をずらして貼り付けるとともに、２相交流信号発信部２１で発生させた９０°位相の異なる交流信号を第１アンプ２２及び第２アンプ２３を介して第１加振領域及び第２加振領域の各駆動手段２に印加している。

また、２相交流信号発信部２１は、波形選択部２４で選択された波形の周波数を加振周波数調整手段２５で調整し、第１振幅調整手段２６で振幅調整した後に、第１アンプ２２と、第２アンプ２３にそれぞれ入力している。なお、第２アンプ２３には、第１振幅調整手段２６で振幅調整した後に電気的位相調整手段２７で位相を調整し、さらに第２振幅調整手段２８で振幅調整した後に入力している。ここで、定在波とは、共振するとその場で単に上下に振動するものである。

このような駆動手段２により、ボウル搬送部１に、周方向に沿って２箇所に時間的に位相を９０°ずらした超音波の正弦波振動を与えると、空間的かつ時間的に９０°ずれた２つの定常波が重ね合わされ、図１１（ｉ）に示すように、撓み振動が進行波となる。ここで、搬送部の弾性変形を時系列的に並べた模式図を図１２に示す。同図では、弾性変形前の状態における「搬送トラックの搬送面」、「中立軸」、「底面」をそれぞれ直線で示し、搬送部を弾性変形させた際の搬送面の「ある一点（黒丸）」の軌跡を楕円形で示し、弾性変形させると楕円振動が生じることを模式的に示している。このように、進行波が発生した搬送部の一点では、楕円振動が生じ、搬送部に生成された進行波によって、波の頂点の一点でワークに力が働き、楕円振動の水平成分（水平振幅）の推進力により、進行波の進む方向と逆方向にワークが搬送される。ボウル搬送部１でこのような撓み波の進行波が循環することで、ワークＷは螺旋トラック１Ｔを登坂する。

上昇しながら螺旋形状を描く螺旋トラック１Ｔの終端は、リニアフィーダＺのうち後述するリニアトラック３Ｔの始端（上流端）に接続されている。

本実施形態に係るリニアフィーダＺは、ボウルフィーダＹに隣接する位置に配置されたものであり、図１、図１３及び１４に示すように、直線状の搬送トラックであるリニアトラック３Ｔを有するリニア搬送部３（本願の「搬送部」に相当）と、リニア搬送部３に進行波を発生させる駆動手段４（図１８参照）とを備え、進行波によりワークＷをリニアトラック３Ｔに沿って搬送するものである。

リニア搬送部３は、図１３及び図１４（図１４（ｉ）、（ｉｉ）、（ｉｉｉ）、（ｉｖ）は、それぞれ図１３のＡ方向矢視図、ａ−ａ線断面、Ｂ方向矢視図、ｂ−ｂ線断面である）に示すように、リニアトラック３Ｔが形成される面を含む上側の領域である上側領域３１と、上側領域３１よりも下側の領域である下側領域３２の２パーツを接合したものである。そして、本実施形態のリニア搬送部３は、上側領域３１であるリニア上半部３１を低弾性率材料で構成するとともに、当該低弾性率材料よりも弾性率の高い高弾性率材料によって下側領域３２であるリニア下半部３２を構成している。本実施形態では、低弾性率材料として樹脂（適宜の合成樹脂）を適用し、高弾性率材料として金属（例えばステンレスやアルミニウム）を適用している。このように、本実施形態のリニア搬送部３は、樹脂製のリニア上半部３１と、金属製のリニア下半部３２とを用いて構成されたものである。

リニア下半部３２は、図１５（同図（ｉｉ）、（ｉｉｉ）は、同図（ｉ）のＡ方向矢視図、Ｂ方向矢視図である）に示すように、全体として所定厚みを有する平面視長円形状をなし、下向き面（底面）の全領域を凹凸の無いフラットな面に設定する一方、上向き面の中央部分に、他の部分よりも上方に膨出した中央長円形部３３を形成している。中央長円形部３３には、リニア下半部３２の長手方向に沿って延伸し且つリニア下半部３２の幅方向Ｗ中心を通る仮想直線（長軸３Ｌ）上に、厚み方向（高さ方向）に貫通する固定用孔３４を所定ピッチで複数（図示例では計７つ）形成している。この固定用孔３４に挿入したボルト等の適宜の止着具３Ｆによって、リニア下半部３２、ひいてはリニア搬送部３を図示しない支持基部（台座）に支持させた状態で固定している。リニア下半部３２のうち中央長円形部３３の外周に形成される長円リング状ベース３５の上向き面は、リニア上半部３１を載置するスペース（載置部３Ｓ）として機能する。

このような形態を有するリニア下半部３２は、リニア下半部３２を幅方向Ｗに２等分する鉛直面（長軸３Ｌに一致する断面）に関して面対称となり、且つリニア下半部３２を長手方向に２等分する鉛直面（長軸３Ｌと直交する短軸３Ｍに一致する断面）に関しても面対称となる対称性を持った構成である。

リニア上半部３１は、図１６（同図（ｉｉ）、（ｉｉｉ）は、同図（ｉ）のＡ方向矢視図、Ｂ方向矢視図である）に示すように、リニア下半部３２と同じ平面寸法に設定され、中央部分にリニア下半部３２の中央長円形部３３が嵌まり込む開口部３６を有し、この開口部３６の開口縁より外周に向かう所定領域に長円リング状部３７を備えたものである。長円リング状部３７の底面はフラットな水平面である。

そして、リニア上半部３１の開口部３６にリニア下半部３２の中央長円形部３３を嵌め込むことが可能な相対位置関係でリニア上半部３１の底面をリニア下半部３２の載置部３Ｓに載置し、この状態で適宜の接合剤や他の適宜の接合手段を利用してリニア上半部３１及びリニア下半部３２を強固に接合することにより、平面視長円形状の形態をなすリニア搬送部３を構成することができる。

リニア搬送部３は、図１に示すように、止着具３Ｆによりリニア下半部３２の中央長円形部３３を支持基部である台座（図示省略）に固定され、中央長円形部３３以外の部位が接地面から浮いた状態に設けられている。なお、リニア搬送部３の形状は平面視長円形状に限定されず、平面視長方形状であってもよい。

長円リング状部３７の上向き面には、ボウル搬送部１の螺旋トラック１Ｔの終端に接続されている直線状のリニアトラック３Ｔと、リニアトラック３Ｔから排除されたワークＷをボウルフィーダＹに戻すリターントラック３Ｒとを形成している。本実施形態では、リニアトラック３Ｔを、長円リング状部３７の上向き面のうち長軸３Ｌを境界とする一方側のエリアにのみ設け、リニアトラック３Ｔから排除されたワークＷをボウルフィーダＹに戻すリターントラック３Ｒを、長円リング状部３７の上向き面のうち長軸３Ｌを境界とする一方側のエリアから他方側のエリア側に亘る広範囲に設けている。

リニアトラック３Ｔは、長円リング状部３７のうち長軸３Ｌを境界とする一方側のエリアのうち、長円リング状部３７の外縁近傍領域において長軸３Ｌとほぼ平行に一直線状に延伸し、始端及び終端は長円リング状部３７の外縁に到達している。すなわち、リニアトラック３Ｔの始端及び終端は、リニアトラック３Ｔの外側からアクセス可能に開放されている。本実施形態のリニアトラック３Ｔは、Ｖ字状の断面形状に設定されている。リニアトラック３Ｔの上向き傾斜面（Ｖ字状の面）が、ワークＷを搬送する搬送面として機能する。なお、リニアトラック３Ｔの断面形状は、Ｖ字状以外の適宜の形状であってもよい。リニアトラック３Ｔは、始端から搬送されたワークＷを搬送中に一列に整列させて終端から次工程装置に供給することができる。

リターントラック３Ｒは、図１６に示すように、長円リング状部３７の上向き面のうち長軸３Ｌを境界とする一方側のエリアにおいてリニアトラック３Ｔよりも内側（長軸３Ｌに近い方）に設けた直線状の上流側リターントラック３Ｒａと、長円リング状部３７の上向き面のうち長軸３Ｌを境界とする他方側のエリアに設けた直線状の下流側リターントラック３Ｒｂと、上流側リターントラック３Ｒａの下流端（終端）から下流側リターントラック３Ｒｂの上流端（始端）に亘って設けた部分円弧状（Ｕ字状）の中間リターントラック３Ｒｃと、下流側リターントラック３Ｒｂの下流端（終端）から上流側リターントラック３Ｒａの上流端（始端）に向かって延伸し且つ終端が長円リング状部３７の外縁に到達している部分円弧状（Ｕ字状）の最終リターントラック３Ｒｄとから構成されている。すなわち、長円リング状部３７の長軸Ｌを挟んで並行する２本の直線トラックである上流側リターントラック３Ｒａ及び下流側リターントラック３Ｒｂと、２本の直線トラック（上流側リターントラック３Ｒａ及び下流側リターントラック３Ｒｂ）を連絡するＵターントラックである中間リターントラック３Ｒｃと、下流側リターントラック３Ｒｂの終端から長円リング状部３７の外縁に亘ってほぼＵ字状に延伸する最終リターントラック３Ｒｄとによって、リターントラック３Ｒを構成している。なお、リターントラック３Ｒの終端（最終リターントラック３Ｒｄの下流端）は、リターントラック３Ｒの始端（上流側リターントラック３Ｒａの上流端）に繋がっておらず、リターントラック３Ｒ上のワークＷがリターントラック３Ｒを周回することはない。

上流側リターントラック３Ｒａ及び下流側リターントラック３Ｒｂは、長円リング状部３７の長軸３Ｌに対して相互にほぼ対称となる位置に形成されている。上流側リターントラック３Ｒａの始端は、長円リング状部３７の外縁に到達しておらず、長円リング状部３７の外側からアクセス不能に設定されている。また、部分円弧状の中間リターントラック３Ｒｃは、長円リング状部３７の長軸３Ｌを中心に対称となる形状に設定されている。リターントラック３Ｒの搬送面は、ワークＷをボウルフィーダＹへワークＷを返送する返送面として機能する。本実施形態では、断面形状がＵ字状の面（曲面）を有する搬送面を適用しているが、リターントラック３Ｒの搬送面が、水平又は略水平な面（水平面）、又は水平に対して所定角度傾斜した面（傾斜面）であってもよい。

さらに、本実施形態のリニアフィーダＺは、長円リング状部３７の上向き面の全部または一部を、所定の勾配を有する面に設定している。本実施形態では、長円リング状部３７の上向き面のうち、リニアトラック３Ｔ、上流側リターントラック３Ｒａ、中間リターントラック３Ｒｃを設けた領域をフラットな水平面に設定する一方、下流側リターントラック３Ｒｂを設けた領域を、下流側リターントラック３Ｒｂの終端（下流側リターントラック３Ｒｂと最終リターントラック３Ｒｄとの連絡部分）に向かって漸次登り勾配となる傾斜面３Ｋに設定している（図１６（ｉｉ）参照）。また、長円リング状部３７の上向き面のうち最終リターントラック３Ｒｄを設けた領域は、下流側リターントラック３Ｒｂの終端と同じ高さ位置であって且つフラットな水平面に設定されている。特に、本実施形態では、図１７に示すように、最終リターントラック３Ｒｄの出口（終端）における搬送面と、リニアトラック３Ｔの搬送面との高低差を、搬送対象物であるワークＷの高さ寸法よりも大きい適宜の値に設定している。なお、長円リング状部３７の上向き面を基準とするリターントラック３Ｒの搬送面の深さ寸法は、上流側リターントラック３Ｒａ、中間リターントラック３Ｒｃ、下流側リターントラック３Ｒｂ及び最終リターントラック３Ｒｄ、これら全てのリターントラック３Ｒにおいてほぼ同じ値である。

以下では、長円リング状部３７のうち長軸３Ｌを境界とする一方側のエリアを「リニアトラック側エリア」とし、他方側のエリアを「リターントラック側エリア」とする。

本実施形態に係るリニアフィーダＺは、リニアトラック３Ｔに搬送されるワークＷの搬送姿勢を判別する選別部（図示省略）を備えている。選別部は、例えば、姿勢判別に利用されるセンサ（姿勢判別用センサ）と、姿勢判別の結果に基づいてエアを噴出させるエア噴出部とを有し、リニアトラック３Ｔの搬送面上において搬送されるワークＷのうち、姿勢判別用センサが所望の適正な姿勢ではない姿勢（異方向姿勢）あると判別したワークＷに対して、エア噴出部からエアを噴出することで、異方向姿勢のワークＷをリニアトラック３Ｔから排除し、リニアトラック３Ｔよりも内側にある上流側リターントラック３Ｒａに移動させるものである。

リニアトラック３Ｔから排除されて上流側リターントラック３Ｒａに移動した異方向姿勢のワークＷは、中間リターントラック３Ｒｃ、登り勾配に設定した下流側リターントラック３Ｒｂ、最終リターントラック３Ｒｄを辿って、ボウルフィーダＹのボウル搬送部１に戻される。適正な姿勢であると判別されたワークＷは、リニアトラック３Ｔの終端（下流端）から次工程装置に排出される。

これらリニアトラック３Ｔ、上流側リターントラック３Ｒａ、中間リターントラック３Ｒｃ、下流側リターントラック３Ｒｂ、最終リターントラック３Ｒｄは、長円リング状部３７の上向き面に溝を凹設することによって構成されている。

このようなリニア上半部３１は、長円リング状部３７の上向き面に上述の各種トラックを設けていることにより、その加工分に応じて対称性、具体的にはリニア上半部３１を幅方向Ｗに２等分する鉛直面（長軸３Ｌに一致する断面）に関する面対称性、及びリニア上半部３１を長手方向に２等分する鉛直面（短軸３Ｍに一致する断面）に関する面対称性が崩れている。

このように互いに異なる材料からなるリニア上半部３１及びリニア下半部３２を一体的に接合した形態のリニア搬送部３は、２０ｋＨｚ以上の超音波振動で、周回する少なくとも２つ以上の上下方向の撓み波を発生させることができるように構成されている。

本実施形態のリニアフィーダＺは、図１３に示すように、リニアフィーダＺの底面（リニア下半部３２の下向き面）のうち台座から離間した位置に、圧電素子を利用した駆動手段４を配置し、上述のボウルフィーダＹと同様または準じた構成によって、リニアフィーダＺに長円状の軌道に沿って進行波を発生させるように構成している。すなわち、リニアフィーダＺの駆動手段４は、０°定在波モードと９０°定在波モードが生じるように第１加振領域３Ａ（メイントラック側エリア）と第２加振領域３Ｂ（リターントラック側エリア）の各々に１／２波長間隔で極性を異ならせて圧電素子を配置し、第１加振領域３Ａと第２加振領域３Ｂの間には進行波の波長λに対してλ（１＋２ｎ）／４（ｎ＝０、１、２、…）の間隔が設けられている。そして、２相交流信号発信部４１で発生させた所定位相差の駆動信号をアンプ４２、４３で増幅して各圧電素子を駆動するようにしている。この２相交流信号発信部４１もボウルフィーダＹの２相交流信号発信部２１と同様に、波形選択部４４、加振周波数調整手段４５、電気的位相調整手段４７、第１振幅調整手段４６、第２振幅調整手段４８によって構成されている。

本実施形態では、図２及び図１９に示すように、ボウルフィーダＹの螺旋トラック１Ｔを経てリニアフィーダＺのリニアトラック３Ｔを辿り、次工程装置に供給されるワークＷの経路をメイン搬送経路（ワークＷを次工程に搬送する経路）として捉えることができ、このメイン搬送経路において、ボウルフィーダＹとリニアフィーダＺの接続部分におけるワーク搬送方向（図１９に一点鎖線で示す方向）及び進行波の進行方向（同図に実線で示す方向）が、ほぼ接戦の関係となるようにボウルフィーダＹ及びリニアフィーダＺを相互に接続している。

したがって、本実施形態に係るパーツフィーダＸによれば、ボウルフィーダＹとリニアフィーダＺの接続部分において、ワークＷに与える推進力の方向と進行波の進行方向がほぼ一致し、且つメイン搬送経路が極端な曲線（Ｒの小さい曲線）状の搬送トラックを辿る経路とならないため、高速でありながらスムーズなワークＷの乗り継ぎを実現できる。

そして、本実施形態に係るパーツフィーダＸは、ボウル搬送部１の下半部（ボウル下半部１２）及び上半部（ボウル上半部１１）をそれぞれ別体の異種材料で構成するとともに、リニア搬送部３の下半部（リニア下半部３２）及び上半部（リニア上半部３１）をそれぞれ別体の異種材料で構成している。具体的には、ボウル下半部１２及びリニア下半部３２を高い弾性率を有する材料（高弾性率材料）で構成し、ボウル上半部１１及びリニア上半部３１を高弾性率材料よりも弾性率の低い材料（低弾性率材料）で構成するとともに、ボウル下半部１２及びリニア下半部３２を、ボウル上半部１１及びリニア上半部３１よりも良好な対称性を有する形状に設定している。

ここで、振動特性は、高弾性率材料で構成したパーツ、すなわちボウル下半部１２及びリニア下半部３２が支配的であり、低弾性率材料で構成パーツ、すなわちボウル上半部１１及びリニア上半部３１の振動特性に対する影響は比較的小さい。したがって、本実施形態に係るパーツフィーダＸは、ボウル上半部１１及びリニア上半部３１に、それぞれトラック（螺旋トラック１Ｔ、リニアトラック３Ｔ、リターントラック３Ｒ）を設けたり、螺旋トラック１Ｔとリニアトラック３Ｔとの良好な接続状態を実現するためにボウル上半部１１及びリニア上半部３１の所定部分に適宜の加工処理を施すことにより、ボウル上半部１１及びリニア上半部３１の形状の対称性がそれぞれ崩れるものの、振動特性への影響が大きいボウル下半部１２及びリニア下半部３２の形状の対称性を保っているため、進行波比の高い進行波を生成することが可能である。つまり、本実施形態に係るパーツフィーダＸによれば、ボウル上半部１１及びリニア上半部３１の加工程度に寄らず、ボウル搬送部１を周回する進行波や、リニア搬送部３を周回する進行波を生成することができ、良好な振動特性を発揮する。

また、本実施形態では、メイン搬送経路において、ボウルフィーダＹとリニアフィーダＺの接続部分におけるワーク搬送方向及び進行波の進行方向が、ほぼ接戦の関係となるようにボウルフィーダＹ及びリニアフィーダＺを相互に接続する装置レイアウトを採用していることにより、ワークＷをボウルフィーダＹに戻すリターン経路、つまり、上流側リターントラック３Ｒａ、中間リターントラック３Ｒｃ、下流側リターントラック３Ｒｂ、最終リターントラック３Ｒｄを辿る経路が、当該リターン経路の終端近傍においてメイン搬送経路と交差する構成になる。図１９にリターン経路におけるワーク搬送方向を点線で示す。

このような構成であれば、メイン搬送経路のうちボウルフィーダＹとリニアフィーダＺの接続部分を通過するワークＷと、リターントラック３Ｒの出口（最終リターントラック３Ｒｄの終端）からボウルフィーダＹに戻されるワークＷが相互に接触するおそれがある。

そこで、本実施形態のパーツフィーダＸでは、リターン経路のうち出口（最終リターントラック３Ｒｄの終端）の搬送面とメイン搬送経路の搬送面の高低差を、メイン搬送経路を搬送中のワークＷの高さ寸法を超える値に設定している。これにより、リターントラック３Ｒの終端（最終リターントラック３Ｒｄの終端）を通過したワークＷが、リターントラック３Ｒの終端通過時点の搬送速度及び慣性によってメイン搬送経路上のワークＷを飛び越えてリニアフィーダＺからボウルフィーダＹに戻り、ワークＷ同士の不要な衝突を回避することができる。仮にメイン搬送経路を搬送中のワークＷが、リターントラック３Ｒの終端を通過したワークＷと衝突してメイン搬送経路から外れてボウル搬送部１内に落下しても、ボウル搬送部１及びリニア搬送部３の良好な振動特性により後続のワークＷが前方のワークＷに近付くように間を詰めるため、ワーク供給効率の低下を回避または最小限に抑えることができる。また、ボウル上半部１１が樹脂製であるため、リターントラック３Ｒから飛び出してボウル搬送部１内に戻るワークＷの損傷も起こりにくい。

さらに、本実施形態に係るパーツフィーダＸは、ボウル搬送部１のうち、搬送トラックを含む上面側の領域であるボウル上半部１１を低弾性率材料で構成するとともに、ボウル下半部１２を低弾性率材料よりも弾性率が高い高弾性率材料で構成しているため、ボウル搬送部１全体を同一材料から形成した態様と比較して、低弾性率材料と高弾性率材料の剛性の違いにより、撓み振動の中立軸（曲げモーメントを掛けた場合に、材料が全く負荷を受けていない位置のことであり、引張も圧縮も発生していない位置）をボウル搬送部１の底面側に下げることができ、螺旋トラック１Ｔの搬送面に進行波を発生させた際の搬送面から中立軸までの距離（ｅ値）が大きくなり、搬送面の振動の水平方向成分が大きくなって、搬送速度が向上するとともに、ボウル下半部１２を構成する材料よりも低い弾性率の材料でボウル上半部を構成することで、搬送処理中のワークＷの跳躍を抑えることが可能である。

同様に、リニア搬送部３のうち、搬送面を含む外周部の上面側の領域であるリニア上半部３１を低弾性率材料で構成するとともに、他の領域（リニア下半部３２）を低弾性率材料よりも弾性率が高い高弾性率材料で構成しているため、リニア搬送部３全体を同一材料から形成した態様と比較して、撓み振動の中立軸をリニア搬送部３の底面１０側に下げることができ、リニアトラック３Ｔの搬送面及びリターントラック３Ｒの搬送面（返送面）に進行波を発生させた際の搬送面から中立軸までの距離（ｅ値）が大きくなり、搬送面の振動の水平方向成分が大きくなって、搬送速度が向上するとともに、リニア下半部３２を構成する材料よりも低い弾性率の材料でリニア上半部３１を構成することで、搬送処理中のワークＷの跳躍を抑えることが可能である。

なお、本発明は上述した各実施形態に限定されるものではない。例えば、上述の実施形態では、ワークを次工程に搬送するメイン搬送経路を、ボウルフィーダの螺旋トラック１とリニアフィーダのリニアトラックとを用いて構成した態様を例示したが、長円形状のリニアフィーダＺでは、長円状に周回する進行波が生成されることに着目して、図２０乃至図２２に示すように、リニア搬送部３のうち長円リング状部３７のＵ字部分に形成した曲線状（部分円弧状）のトラック３Ｔａを利用してメイン搬送経路を形成することもできる。

図２０に示す変形例は、図１９に示す上述の実施形態と比較して、螺旋トラック１Ｔの終端をワークの搬送方向（ボウル搬送部１中に一点鎖線で示す矢印方向）に沿って反時計回りに略４５°近く位相が進んだ位置に設定した構成である。

また、図２１に示す変形例は、図１９に示す上述の実施形態と比較して、螺旋トラック１Ｔの終端をワークの搬送方向（ボウル搬送部１中に一点鎖線で示す矢印方向）に沿って反時計回りにそれぞれ略９０°近く位相が進んだ位置に設定した構成であり、図２２に示す変形例は、図１９に示す上述の実施形態と比較して、螺旋トラック１Ｔの終端をワークの搬送方向（ボウル搬送部１中に一点鎖線で示す矢印方向）に沿って反時計回りにそれぞれ略１３５°近く位相が進んだ位置に設定した構成である。なお、図２０乃至図２２では、図１９と同様に、メイン搬送経路におけるワーク搬送方向を一点鎖線で示し、進行波の進行方向を実線で示し、リターン経路におけるワーク搬送方向を点線で示している。

このような各変形例に係る構成であっても、長円状に周回する進行波が生成されるリニアフィーダＺの構成に基づき、メイン搬送経路のうち特にボウル搬送部１からリニア搬送部３の接続部分におけるワークのスムーズな乗り継ぎを実現することができる。すなわち、本発明に係るパーツフィーダによれば、ボウルフィーダとリニアフィーダの接続部分におけるワーク搬送方向及び進行波の進行方向がほぼ接戦の関係となる範囲において、ボウルフィーダとリニアフィーダの相対位置関係を自由に設定することができ、他設備との干渉を避けるように装置レイアウトを設定することが可能である。なお、板バネ式のリニアフィーダでは一直線状にしか搬送できないため、長円リング状部のＵ字部分に形成した曲線状（部分円弧状）のトラックを利用してワークのスムーズな乗り継ぎ（接線での接続）と自由なレイアウトは両立できない。

また、ワークをボウルフィーダに戻すリターン経路（上述の実施形態であれば上流側リターントラック、中間リターントラック、下流側リターントラック、最終リターントラックを辿る経路）が、当該リターン経路の終端近傍においてメイン搬送経路と交差する構成である場合、上述の実施形態のように、リターン経路のうち出口（最終リターントラックの終端）の搬送面をメイン搬送経路の搬送面よりも高い位置（具体的にはワークの高さ寸法を越える高低差）に設定して、リターントラックの出口（最終リターントラックの終端）を通過したワークが、メイン搬送経路上のワークを飛び越えてリニアフィーダからボウルフィーダに戻る態様が有利である。一方、リターン経路のうち出口（最終リターントラックの終端）の搬送面をメイン搬送経路の搬送面よりも低い位置に設定するとともに、ボウルフィーダのうち、リターン経路の出口に対応する位置にトンネル状の溝を形成して、リターントラックの終端（最終リターントラックの終端）を通過したワークが、メイン搬送経路の下を潜りながら通過してリニアフィーダからボウルフィーダに戻るように構成してもよい。このような構成であっても、メイン搬送経路のうちボウルフィーダとリニアフィーダの接続部分を通過するワークと、リターントラックの終端（最終リターントラックの終端）からボウルフィーダに戻されるワークが相互に接触する事態を回避することができる。

ここで、リターン経路のうち出口（最終リターントラックの終端）の搬送面をメイン搬送経路の搬送面よりも低い位置に設定する具体的な構成としては、リターン経路のうち出口近傍領域の搬送面（返送面）を、当該出口に向かって漸次下り勾配となる面に設定する構成を挙げることができる。

また、本発明では、ボウルフィーダとリニアフィーダの接続部分におけるワーク搬送方向及び進行波の進行方向がほぼ接戦の関係をとなる条件を満たす装置レイアウト（ボウルフィーダ及びリニアフィーダの相対位置関係）として、図２３に示すように、リニアフィーダＺのリターントラック３Ｒのうち直線状の下流側リターントラック３Ｒｂが、上流側リターントラック３ＲａよりもボウルフィーダＹの中心に近い位置となる装置レイアウトを採用することも可能である。この場合、下流側リターントラック３Ｒｂは、長円リング状部３７の外縁に到達する位置まで一直線状に延伸し、下流側リターントラック３Ｒｂの終端がリターン経路の出口となる。したがって、長円リング状のＵ字部分に部分円弧状の最終リターンを形成する必要がない。なお、図２２に示す装置レイアウトを採用した場合にも、下流側リターントラック３Ｒｂの終端を長円リング状部３７の外縁に到達する位置まで一直線状に延伸させて、下流側リターントラック３Ｒｂの終端がリターン経路の出口となるように設定できる。

さらに、図２３に示すパーツフィーダＸであれば、リターン経路が、当該リターン経路の終端近傍においてメイン搬送経路と交差しない構成であるため、リターン経路の出口（下流側リターントラック３Ｒｂの終端）の搬送面と、メイン搬送経路の搬送面とで高低差を付ける必要がなく、加工容易性に優れる。同図に示すリニアフィーダＺは、全領域がフラットな水平面である長円リング状部３７の上向き面に、リニアトラック３Ｔ及びリターントラック３Ｒを設けたものである。このようなリニア搬送部３においても、リニアトラック３Ｔは、長円リング状部３７のうち長軸を境界とする一方側のエリア（メイントラック側エリア）にのみ設けているため、対称性が崩れる。しかしながら、リニア上半部３１を低弾性率材料から構成し、リニア下半部を高弾性率材料から構成し、これらリニア上半部３１及びリニア下半部を接合しているため、上述の通り、振動特性に悪影響を及ぼすことなく、進行波の生成が可能である。

加えて、進行波が周回可能な形状であることが要求される進行波方式のリニアフィーダは、従来の板バネを用いた振動方式のリニアフィーダＺと比較してリニア搬送部の幅寸法が大きくなってしまい、図２３に示す装置レイアウトを採用すれば、リニアフィーダＺとボウルフィーダＹとの干渉領域（接触領域）が大きくなる。その結果、ボウルフィーダＹのうちリニアフィーダＺとの干渉領域を刳り抜く加工領域が大きくなり、それに応じてボウル搬送部１の対称性が崩れ、進行波比が低下し、搬送能力が低下したり、進行波を生成できないおそれがある。しかしながら、刳り抜く加工領域がボウル上半部１１に留まる限り、振動特性への影響が大きい材料（高弾性率材料）からなるボウル下半部の対称性は保たれているため、進行波の生成が可能である。

また、ボウル搬送部やリニア搬送部の上部に、搬送方向に沿って所定間隔おきに複数のスリットを形成した構成にしてもよい。スリットはボウル下半部やリニア下半部に到達しない深さであればよく、このようなスリットを複数形成して櫛歯状の搬送面を形成することで、搬送面にスリットが形成されていない構成と比較して、中立軸が下がるため、搬送面に進行波を発生させた際の搬送面から中立軸までの距離（ｅ値）が大きくなり、ボウル搬送部やリニア搬送部を進行波の進行方向に変形させ易くして、ワークに働く力の水平成分を増大させるとともに、垂直成分を低減させられる。よって、スリットが形成されていない搬送部を用いた場合と比較して、搬送面上でのワークを極力跳ねさせず、搬送速度を向上させて効率的に搬送することができる。なお、搬送部に多数のスリットを設けて櫛歯状の搬送面に設定した構成において、櫛歯状の搬送面に図示しないフィルムを貼り付け、ワークがスリットに落下しないようにしてもよい。

なお、ボウル、リニア、リターンの各フィーダを問わず、搬送部を構成する下半部（本発明の「下側領域」に相当）に上方へ開口するスリットを多数設ける構成であってもよい。このようなスリットを設ける構成によれば、上述した実施形態のようにスリットのない稠密な下半部を有する搬送部と比較して、振動特性の支配的部分である搬送部における中立軸が下半部のより低い側（すなわちスリットの底と下半部の下縁との間）になり、進行波における水平方向成分が大きくなることで、高速搬送、跳躍抑制が実現される。スリットの溝幅や隣接するスリット同士の間隔については、「下側領域が対称性を持った形状である」という条件を満たす範囲で適宜に設定すればよい。斯かる下半部には、例えばアルミ等の金属材料を適用することができる。このようにスリットを設けた下半部に対して、上半部（本発明の「上側領域」に相当）には例えば進行波生成に影響がない（中立軸を上げないような）下半部とは異なる材料を適用することが望ましく、搬送面となる上面側が平滑な板状の樹脂部材等の軽量な低弾性率材料からなる部材等を適用することができ、この上半部によって下半部の上面に開口したスリットを覆うことができる。この場合、搬送面の上面にスリットによる凹凸が表出しない程度の厚さ、硬さを有する樹脂部材等で上半部を構成することが望ましい。また、このようなスリットを有する構成に代えて、下半部の内部を空洞や中空とした構成を採用しても、中立軸を下半部のより低位に設定することができる。

本発明では、駆動手段として、圧電素子に代えて、磁歪素子を適用することが可能である。

また、本発明に係るワーク搬送装置がリニアフィーダ及びボウルフィーダを備えたパーツフィーダである場合、リニアフィーダの駆動手段は、進行波を循環方式により発生させるもの、または循環方式とは異なる方式（例えば搬送部がリニア搬送部の両端にそれぞれ位相差を変えて加振する両端加振方式等）により進行波を発生させるものである一方、ボウルフィーダとして、板バネを用いて振動させるものを適用することができる。ここで、本発明に係るワーク搬送装置がリニアフィーダ及びボウルフィーダを備えたパーツフィーダである場合、リニアフィーダ及びボウルフィーダの各駆動手段の組み合わせとしては、各フィーダの駆動手段が進行波を循環方式により発生させるものである組み合わせ（第１の組み合わせ）、各フィーダの駆動手段が進行波を循環方式とは異なる方式により発生させるものである組み合わせ（第２の組み合わせ）、一方のフィーダの駆動手段が進行波を循環方式により発生させるものであり、他方のフィーダの駆動手段が進行波を循環方式とは異なる方式により発生させるものである組み合わせ（第３の組み合わせ）、リニアフィーダの駆動手段が進行波を循環方式により発生させるものであり、ボウルフィーダの駆動手段が板バネを用いて振動させるものである組み合わせ（第４の組み合わせ）、リニアフィーダの駆動手段が進行波を循環方式とは異なる方式により発生させるものであり、ボウルフィーダが板バネを用いて振動させるものである組み合わせ（第５の組み合わせ）、以上を挙げることができる。

また、本発明に係るワーク搬送装置は、ボウルフィーダ単体、またはリニアフィーダ単体で構成されたものであっても構わない。この場合、何れの装置も進行波を循環方式により発生させる駆動手段を備えたものであってもよいし、循環方式とは異なる方式（例えば搬送部が当該搬送部の両端を特定可能な形状であれば、両端にそれぞれ位相差を変えて加振する両端加振方式等）で進行波を発生させる駆動手段を備えたものであってもよい。

本発明における低弾性率材料としてゴム（合成ゴム）を適用することもできる。また、本発明における「弾性率の高低」は上側領域と下側領域の構成材料同士の比較によるものであるため、下側領域の構成材料が上側領域の構成材料よりも高い弾性率を有する材料であれば本発明の条件は満たされる。したがって、例えば、上側領域がアルミニウム製であり、下側領域がステンレス製である構成も本発明に含まれる。

ワークとしては、例えば電子部品などの微小部品を挙げることができるが、電子部品以外の物品であってもよい。

その他、各部の具体的構成についても上記実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。

１、３…搬送部（ボウル搬送部、リニア搬送部）
１Ｔ、３Ｔ…搬送トラック（螺旋トラック、リニアトラック）
１１、３１…上側領域（ボウル上半部、リニア上半部）
１２、３２…下側領域（ボウル下半部、リニア下半部）
２、４…駆動手段（駆動手段２、駆動手段２）
Ｘ…ワーク搬送装置（パーツフィーダ）

Claims (4)

1. 搬送トラックを有する搬送部、及び進行波を前記搬送部に発生させる駆動手段を備え、前記進行波によりワークを前記搬送トラックに沿って搬送するワーク搬送装置であって、
   前記搬送部のうち、前記搬送トラックが形成される面を含む上側領域を低弾性率材料で構成するとともに、前記上側領域よりも下方の領域であって前記駆動手段が設けられる下側領域を前記低弾性率材料よりも弾性率が高い高弾性率材料で構成し、少なくとも前記下側領域は、対称性を持った形状であることを特徴とするワーク搬送装置。
2. 前記搬送部が、少なくとも長手方向に延伸する搬送トラックを有し、且つ前記進行波が周回する形状に設定したリニア搬送部である請求項１に記載のワーク搬送装置。
3. 前記搬送部が、少なくとも螺旋状の搬送トラックを有し、且つ前記進行波が周回する形状に設定したボウル搬送部である請求項１に記載のワーク搬送装置。
4. 前記搬送部として少なくとも螺旋状の搬送トラックである螺旋トラックを有するボウル搬送部を備えたボウルフィーダと、
   前記搬送部として少なくとも長手方向に延伸する搬送トラックであるリニアトラック及び当該リニアトラックから外れたワークを前記ボウル搬送部に返送するリターントラックを有し、且つ前記進行波が周回する形状に設定したリニア搬送部を備えたリニアフィーダとを具備し、
   前記螺旋トラックの終端と前記リニアトラックの始端とが接合された状態にあり、
   前記螺旋トラック及び前記リニアトラックを辿って次工程に供給されるワークの経路であるメイン搬送経路と、前記リターントラックを辿って前記ボウル搬送部に返送されるワークの経路であるリターン経路の出口が、前記螺旋トラックと前記リニアトラックの接続部分または接続部分近傍において立体交差するように設定している請求項１に記載のワーク搬送装置。

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