JP6843595B2 - マイクロメカニカル部品、照明装置および対応する製造方法 - Google Patents
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Description
特に自動車においては、ヘッドライトの実現のために、例えばハロゲンランプ、ガス放電ランプまたはLEDプロジェクタが用いられている。ここでは、一方で視野の最適な照明のための、そして他方で対向車の眩惑を回避するための光円錐を、簡単な方法で実現するための技術的努力が講じられている。
本発明は、請求項1によるマイクロメカニカル部品、請求項11による照明装置および請求項12による対応する製造方法を提供する。
本発明の基礎となる考察は、特に車両用のヘッドライトを、反射によって、特にマイクロメカニカルに駆動されるミラー(以下では単にマイクロミラーと称する)による、集束された光ビームの動的な変調によって、実現するための具体的な構造および接続技術を提供することにある。さらにマイクロメカニカル部品は、特に、マイクロメカニカル部品内で動作中に生じる熱を、効果的にかつ低コストで放出させる問題を解決する。以下で説明するマイクロミラーは、磁気および磁束シートを用いたマイクロマシン技術、および、マイクロミラー若しくはミラーハウジングと、評価回路との間の信号伝送のためのプリント基板に基づいている。ここでのプリント基板は、特にミラーハウジング内に配置されてもよい。
図中同じ要素若しくは機能の同じ要素には、同じ符号が付されている。
Claims (13)
- 光入射および/または光出射窓(12)を備えたミラーハウジング(2)内に配置されて、マイクロメカニカルに駆動されるミラー(3)と、
前面側(V1)および背面側(R1)を備え、前記ミラー(3)を調整するために前記ミラー(3)との間で信号伝送を行う回路(1)と、
金属製接触要素(5)と、
を含み、
前記金属製接触要素(5)は、少なくとも部分的に、前記回路(1)内に形成された収容開口部(A1)内に配置されており、かつ、少なくとも領域毎に、前記回路(1)の前記前面側(V1)および/または前記背面側(R1)に接触接続しており、前記金属製接触要素(5)には、当該金属製接触要素(5)によって少なくとも部分的に囲繞される開口部(O1)が形成されている、マイクロメカニカル部品(100)であって、
前記ミラーハウジング(2)が、前記金属製接触要素(5)に配置され、それによって、前記光入射および/または光出射窓(12)を少なくとも部分的に囲繞する、前記ミラーハウジング(2)の取り付け面(M1)が、前記金属製接触要素(5)と接触接続し、かつ、前記光入射および/または光出射窓(12)は、前記開口部(O1)を少なくとも部分的に遮蔽することを特徴とする、マイクロメカニカル部品(100)。 - 前記金属製接触要素(5)は、前記前面側(V1)から前記背面側(R1)まで、前記回路(1)を通って延在しており、さらに前記金属製接触要素(5)における前記開口部(O1)も、同様に前記前面側(V1)から前記背面側(R1)まで延在している、請求項1記載のマイクロメカニカル部品(100)。
- 前記ミラーハウジング(2)は、前記金属製接触要素(5)を用いて前記回路(1)の前面側(V1)に配置されている、請求項1または2記載のマイクロメカニカル部品(100)。
- 前記金属製接触要素(5)は、前記回路(1)の背面側(R1)を少なくとも50%遮蔽している、請求項1から3いずれか1項記載のマイクロメカニカル部品(100)。
- 前記ミラーハウジング(2)は、熱伝導性一成分接着剤(E1)を用いて前記金属製接触要素(5)に結合されている、請求項1から4いずれか1項記載のマイクロメカニカル部品(100)。
- 前記熱伝導性一成分接着剤(E1)は、金属製粉粒体を含んでいる、請求項5記載のマイクロメカニカル部品(100)。
- 前記金属製接触要素(5)の開口部(O1)の直径(S1)は、前記背面側(R1)から前記前面側(V1)に向かう方向で減少している、請求項1から6いずれか1項記載のマイクロメカニカル部品(100)。
- 前記ミラーハウジング(2)と前記回路(1)とに、それぞれ少なくとも1つのボンディングパッド(B1,B2)が接続されており、さらに少なくとも1つのボンディングワイヤ(D1)が、前記回路(1)の前記少なくとも1つのボンディングパッドと、前記ミラーハウジング(2)の前記少なくとも1つのボンディングパッドとの間で延在している、請求項1から7いずれか1項記載のマイクロメカニカル部品(100)。
- 前記金属製接触要素(5)は、所定の熱伝導率を有する少なくとも1つの金属から形成されている、請求項1から8いずれか1項記載のマイクロメカニカル部品(100)。
- 前記ミラー(3)は、磁気的、静電的および/または圧電的アクチュエータ装置を用いて、少なくとも1つの回転軸線周りで調整可能である、請求項1から9いずれか1項記載のマイクロメカニカル部品(100)。
- 請求項1から9いずれか1項記載のマイクロメカニカル部品(100)を備えた、車両(F1)用の照明装置(101)。
- 光入射および/または光出射窓(12)を備えたミラーハウジング(2)内に配置されて、マイクロメカニカルに駆動されるミラー(3)を含むマイクロメカニカル部品(100)のための製造方法であって、
A)金属製接触要素(5)を、前面側(V1)および背面側(R1)を備え、前記ミラー(3)を調整するために前記ミラー(3)との間で信号伝送を行う回路(1)に形成された収容開口部(A1)に配置し、それによって、前記前面側(V1)および/または前記背面側(R1)が、少なくとも領域毎に前記金属製接触要素(5)によって接触接続されるステップと、
B)前記ミラーハウジング(2)を、前記金属製接触要素(5)に配置し、それによって、前記光入射および/または光出射窓(12)を少なくとも部分的に囲繞する、前記ミラーハウジング(2)の取り付け面(M1)が、前記金属製接触要素(5)に接触接続し、かつ、前記光入射および/または光出射窓(12)が、前記金属製接触要素(5)によって少なくとも部分的に囲繞された開口部(O1)を、少なくとも部分的に遮蔽するステップと、
を含んでいることを特徴とする製造方法。 - 前記ミラーハウジング(2)は、前記金属製接触要素(5)に、熱伝導性一成分接着剤(E1)を用いて固定される、請求項12記載の製造方法。
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