JP6842732B1 - 電子部品の処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】電子部品の破損を抑制する。【解決手段】電子部品の処理装置は、所定の配置領域を通る搬送軌道の中心軸まわりに旋回する旋回部と、所定の変位方向に沿って変位可能となるように旋回部に設けられた可動部と、電子部品を保持し、搬送軌道に位置するように可動部に取り付けられた部品保持部と、部品保持部を配置領域に配置するように中心軸まわりに旋回部を旋回させる旋回駆動部と、配置領域において部品保持部が変位方向の一方側に移動するように、変位方向の一方側に可動部を変位させる変位駆動部と、可動部に対する部品保持部の変位方向に沿った変位が可能となるように、変位方向に交差して部品保持部と可動部とを接続する互いに平行な複数枚の板ばねとを備える。【選択図】図３

Description

本開示は、電子部品の処理装置に関する。

特許文献１には、チップをウェハからリードフレームに移送する装置が開示されている。特許文献１に開示の装置は、ピックアップ位置からボンディング位置にチップを移送する移送ヘッドを備えている。特許文献２には、アーム部材に上下方向に微小移動自在のバネ手段を介在して装着した電子部品のピックアップ用コレットが開示されている。バネ手段が上下に平行して離間配置した二枚の板バネからなっている。

特表２００６−５１３５６５号公報 特開平８−３０６７１３号公報

本開示は、電子部品の破損を抑制するのに有用な電子部品の処理装置を提供する。

本開示の一側面に係る電子部品の処理装置は、所定の配置領域を通る搬送軌道の中心軸まわりに旋回する旋回部と、所定の変位方向に沿って変位可能となるように旋回部に設けられた可動部と、電子部品を保持し、搬送軌道に位置するように可動部に取り付けられた部品保持部と、部品保持部を配置領域に配置するように中心軸まわりに旋回部を旋回させる旋回駆動部と、配置領域において部品保持部が変位方向の一方側に移動するように、変位方向の一方側に可動部を変位させる変位駆動部と、可動部に対する部品保持部の変位方向に沿った変位が可能となるように、変位方向に交差して部品保持部と可動部とを接続する互いに平行な複数枚の板ばねとを備える。

本開示によれば、電子部品の破損を抑制するのに有用な電子部品の処理装置が提供される。

図１は、処理装置の一例を模式的に示す平面図である。 図２は、処理装置の一例を模式的に示す側面図である。 図３は、図２に示される処理装置の一部を拡大して示す側面図である。 図４は、部品保持部の重心と板ばねとの位置関係の一例を説明するための側面図である。 図５（ａ）は、正常時の引き渡し動作の一例を説明するための模式図である。図５（ｂ）は、異常時の引き渡し動作の一例を説明するための模式図である。 図６（ａ）及び図６（ｂ）は、変形例に係る部品保持部の一例を示す模式図である。

以下、図面を参照して一実施形態について説明する。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。図面には必要に応じてＸＹＺ直交座標系が示される。例えば、Ｘ軸及びＹ軸が水平方向に対応し、Ｚ軸が鉛直方向に対応する。

［電子部品の処理装置］
本実施形態に係る電子部品の処理装置１は、所謂ダイソータであり、電子部品Ｗを搬送しながら、外観検査、電気特性検査、マーキング等の処理を施した上でテープ、コンテナチューブ、トレイ等の収容部材に梱包する装置である。処理対象の電子部品Ｗは、例えば、半導体製造工程の前工程で形成された後にダイシング等で個片化された部品である。以下に例示する処理装置１は、部品供給部から受け取った電子部品Ｗに検査等の各種処理を施し、当該電子部品Ｗを基板等にボンディングすることなく収容部材に梱包する装置である。図１及び図２に示されるように、処理装置１は、例えば、回転搬送部１０と、コントローラ１００とを備える。

（回転搬送部）
回転搬送部１０は、電子部品Ｗを搬送軌道ＣＲに沿って移動させる。搬送対象の電子部品Ｗは、互いに平行な（互いに逆向きの）二か所の主面Ｗａ，Ｗｂを有する（図３も参照）。回転搬送部１０は、例えば、旋回部２０と、複数の可動部３０と、複数の部品保持部４０と、旋回駆動部６０と、変位駆動部７０とを有する。なお、図１では、変位駆動部７０の図示が省略されている。

旋回部２０は、複数の配置領域ＡＲを通る搬送軌道ＣＲの中心軸Ａｘまわりに旋回する。一例では、搬送軌道ＣＲは水平な円軌道であり、中心軸Ａｘは鉛直である。旋回部２０は、例えば、ターンテーブル２２と、接続部２４とを有する。ターンテーブル２２は、中心軸Ａｘまわりに旋回可能に設けられ、水平に配置されている。ターンテーブル２２の外縁は、搬送軌道ＣＲよりも内側（中心軸Ａｘ寄り）に位置している。複数の接続部２４は、ターンテーブル２２の外周に沿って等間隔に並び、それぞれターンテーブル２２から外周側に突出している。

複数の配置領域ＡＲは、搬送軌道ＣＲに沿って互いに等間隔となるように設定されてもよい。複数の配置領域ＡＲは、旋回部２０が旋回しても動かない領域である。処理装置１は、複数の配置領域ＡＲの少なくとも一部に配置される複数の処理部１２を更に備える。複数の配置領域ＡＲのいずれか一つでは、処理部１２から回転搬送部１０への電子部品Ｗの受け渡しが行われ、複数の配置領域ＡＲのいずれか一つでは、回転搬送部１０から処理部１２への電子部品Ｗの受け渡しが行われる。

処理部１２の具体例としては、電子部品Ｗを回転搬送部１０に供給する部品供給部１２Ａ、電子部品Ｗを回転搬送部１０から回収し、収容部材に梱包する回収部１２Ｂ、及び部品供給部１２Ａと回収部１２Ｂとの間で電子部品Ｗに対して所定の処理を施す中間処理部１２Ｃが挙げられる。中間処理部１２Ｃとしては、電子部品Ｗの外観検査を行う検査部、電子部品Ｗの電気特性を検査する検査部、及び電子部品Ｗにマーキングを施すマーキング部等が挙げられる。

複数の可動部３０は、所定の方向に沿って変位可能となるように旋回部２０に設けられている。以下では、旋回部２０に対して可動部３０が変位可能な方向を「変位方向」と称する。例えば、複数の可動部３０は、旋回部２０の複数の接続部２４にそれぞれ対応しており、各可動部３０は、変位方向に沿って変位可能となるように対応する接続部２４に取り付けられている。一例では、変位方向は、ターンテーブル２２（搬送軌道ＣＲを含む面）に対して垂直な方向に設定されている。なお、本開示において「取り付けられる」とは、直接取り付けられている場合だけでなく、他の部材を介して取り付けられる場合も含む。可動部３０は、図３に示されるように、例えば、スライド部３２と、受け部３４と、第１接続部３６と、第２接続部３８とを有する。

スライド部３２は、変位方向に沿って延びるように形成されており、対応する接続部２４に変位可能に設けられている。スライド部３２の少なくとも一部は、接続部２４から上方に突出している。受け部３４は、スライド部３２の上端に接続されており、スライド部３２（可動部３０）が変位するための押圧力を受ける部分である。平面視（上方から見ること）において、受け部３４はスライド部３２を覆っており、受け部３４の大きさはスライド部３２の大きさよりも小さい。

第１接続部３６は、スライド部３２の下端に接続されており、水平方向（例えば図示のＸ軸方向）に沿って延びるように形成されている。図３に例示される可動部３０では、第１接続部３６は、搬送軌道ＣＲの半径方向に沿って延びている。より詳細には、第１接続部３６の一方の端部はスライド部３２の下端に接続されており、第１接続部３６は、スライド部３２との接続部分を起点として、搬送軌道ＣＲの内側（中心軸Ａｘ）に向かって延びている。第１接続部３６の他方の端部（中心軸Ａｘに近い端部）には、第２接続部３８が接続されている。

第２接続部３８は、ターンテーブル２２に垂直な方向に沿って延びるように形成されている。より詳細には、第２接続部３８の上端は第１接続部３６の端部に接続されており、第２接続部３８は、第１接続部３６との接続部分を起点として、鉛直下方に向かって延びている。この場合、第２接続部３８は、搬送軌道ＣＲ又はスライド部３２（接続部２４の先端部）よりも内側に配置される。つまり、中心軸Ａｘと第２接続部３８との間の距離は、中心軸Ａｘと搬送軌道ＣＲ又はスライド部３２との間の距離よりも短い。以上の可動部３０では、受け部３４に変位方向の一方側に向けた押圧力が加わると、スライド部３２、受け部３４、第１接続部３６、及び第２接続部３８（可動部３０の全体）が変位方向に沿って変位する。第１接続部３６及び第２接続部３８は、可動部３０と部品保持部４０との接続部分を構成する。

図１に戻り、複数の部品保持部４０は、複数の可動部３０にそれぞれ対応するように設けられる。複数の部品保持部４０のそれぞれは、搬送軌道ＣＲに位置するように対応する可動部３０に取り付けられている。例えば、複数の部品保持部４０は、搬送軌道ＣＲに沿って等間隔に配置されている。複数の部品保持部４０の数と複数の配置領域ＡＲの数は同じである。複数の部品保持部４０が搬送軌道ＣＲに沿って配置されるピッチ角度（互いに隣り合う部品保持部４０同士の間の角度）と、複数の配置領域ＡＲが搬送軌道ＣＲに沿って配置されるピッチ角度とが、互いに同じであってもよい。

複数の部品保持部４０それぞれは、電子部品Ｗを保持する。部品保持部４０は、いかなる方式で電子部品Ｗを保持してもよい。電子部品Ｗを保持する方式の具体例としては、負圧（真空）吸着、静電気式の吸着（クーロン力を利用した保持）、及び把持等が挙げられる。例えば、部品保持部４０は、ターンテーブル２２に垂直な方向（図示のＺ軸方向）の一方側から電子部品Ｗの主面Ｗａ，Ｗｂのいずれか一方を負圧により吸着する。

図３に示されるように、部品保持部４０は、変位方向に沿って可動部３０の第１接続部３６と並ぶ。例えば、部品保持部４０は、スライド部３２（第１接続部３６のスライド部３２との接続部分）の鉛直下方に配置されている。部品保持部４０は、変位方向に交差する方向（以下、「交差方向」という。）に沿って可動部３０の第２接続部３８と並ぶ。例えば、搬送軌道ＣＲの半径方向に沿って、中心軸Ａｘ、第２接続部３８、及び部品保持部４０がこの順で配置されている。

部品保持部４０は、例えば、ノズルホルダ４２と、吸着ノズル４４とを有する。ノズルホルダ４２は、吸着ノズル４４を保持する。ノズルホルダ４２は、変位方向において第１接続部３６に対向し、上記交差方向において第２接続部３８に対向するように配置されている。例えば、第１接続部３６の下端面とノズルホルダ４２の上端面とが変位方向において対向し、第２接続部３８の中心軸Ａｘを向く側面とは反対側の側面（搬送軌道ＣＲの外を向く側面）と、ノズルホルダ４２の中心軸Ａｘを向く側面とが、上記交差方向において対向する。

吸着ノズル４４は、搬送軌道ＣＲに位置している。吸着ノズル４４は、例えば、下方に開口しており、電子部品Ｗの主面Ｗａ，Ｗｂのいずれか一方（例えば主面Ｗａ）を上方から負圧により吸着する。一例では、吸着ノズル４４は、ターンテーブル２２に対して垂直に延びており、その下端部が下方に開口している。回転搬送部１０は、制御信号の入力に応じて吸着ノズル４４による負圧吸着のオン及びオフを切り替えるためのバルブ（不図示）を更に有する。バルブの具体例としては、電磁バルブ等が挙げられる。図３に例示した可動部３０及び部品保持部４０では、吸着ノズル４４、ノズルホルダ４２、第１接続部３６のスライド部３２との接続部分、スライド部３２、及び受け部３４が、変位方向に平行なラインＬ１に沿って並ぶ。

部品保持部４０は、可動部３０に対して変位方向に沿って変位可能となるように可動部３０に取り付けられている。具体的には、可動部３０と部品保持部４０との間には、可動部３０に対する部品保持部４０の変位方向に沿った変位を可能とする互いに平行な複数枚の板ばねが設けられる。複数枚の板ばねは、変位方向に交差して可動部３０と部品保持部４０とを接続する。複数枚の板ばね（の全て）は、互いに平行に配置されている。一例では、回転搬送部１０は、可動部３０と部品保持部４０との間を接続する２枚の平行な板ばねを有する。以下では、２枚の平行な板ばねの一方を「板ばね５０ａ」とし、他方を「板ばね５０ｂ」とする。

板ばね５０ａ，５０ｂそれぞれは、変位方向に交差する交差方向（例えば、水平方向）に沿って延びるように形成されている。一例では、板ばね５０ａ，５０ｂそれぞれ（の主面）は、水平に配置されている。板ばね５０ａ，５０ｂは、板ばね５０ａの主面と板ばね５０ｂの主面とが互いに平行になるように配置されている。板ばね５０ａ，５０ｂは、互いに離れて上下に並び（変位方向に沿って並び）、板ばね５０ａは、板ばね５０ｂよりも上方に配置されている。板ばね５０ａと板ばね５０ｂとの間隔は、ターンテーブル２２の厚さと同程度であってもよい。板ばね５０ａと板ばね５０ｂとは、互いに同じばね特性を有するように形成されてもよい。例えば、板ばね５０ａと板ばね５０ｂとは、互いに同じ材料で構成されている。また、板ばね５０ａと板ばね５０ｂとは、互いに同一の形状を有している。なお、同一形状とは、板ばね５０ａが板ばね５０ｂに完全に一致する場合だけでなく、略一致する場合も含まれる。

図３に示される例では、板ばね５０ａ，５０ｂは、部品保持部４０のノズルホルダ４２と可動部３０の第２接続部３８とを接続する。より詳細には、板ばね５０ａ，５０ｂの一方の端部が、ノズルホルダ４２の中心軸Ａｘを向く側面に接続されており、板ばね５０ａ，５０ｂの他方の端部が、第２接続部３８の搬送軌道ＣＲの外側を向く側面に接続されている。板ばね５０ａ，５０ｂは、第１接続部３６（第１接続部３６の略中央部）の鉛直下方に配置されている。

以上のように、板ばね５０ａ，５０ｂは、可動部３０と部品保持部４０とを接続する。そのため、部品保持部４０に外力が加わらない限り、可動部３０に対する部品保持部４０の相対的な位置が略一定に保たれたまま、可動部３０の変位に伴って部品保持部４０が変位方向に移動する。部品保持部４０に外力が加わった場合には、板ばね５０ａ，５０ｂが変形するので、可動部３０に対して部品保持部４０が変位する。この際、板ばね５０ａ，５０ｂによって、可動部３０に対して部品保持部４０が変位する方向（部品保持部４０の移動動作）が規制される。すなわち、板ばね５０ａ，５０ｂは、可動部３０に対する部品保持部４０の移動をガイドする機能を有する。

ここで、図４を参照して、部品保持部４０の重心ＣＧと、複数枚の板ばね（互いに平行な複数枚の板ばね）との位置関係の一例について説明する。部品保持部４０の重心ＣＧは、変位方向において複数枚の板ばねの間に位置してもよい。図４に示される例では、部品保持部４０の重心ＣＧ（ノズルホルダ４２と吸着ノズル４４とで構成される物体の重心）は、鉛直方向において板ばね５０ａと板ばね５０ｂとの間に位置する。より詳細には、部品保持部４０の重心ＣＧは板ばね５０ａの上端よりも下方に位置し、且つ板ばね５０ｂの下端よりも上方に位置する。

部品保持部４０の重心ＣＧは、鉛直方向において板ばね５０ａと板ばね５０ｂとの間の中間位置の近傍に位置していてもよい。例えば、重心ＣＧの高さ位置は、板ばね５０ａの下端から板ばね５０ａと板ばね５０ｂとの間の最短距離（以下、「距離Ｄｓ」という。）の１／４だけ下方の高さ位置よりも低く、且つ、板ばね５０ｂの上端から距離Ｄｓの１／４だけ上方の高さ位置よりも高くてもよい。又は、重心ＣＧの高さ位置は、板ばね５０ａの下端から距離Ｄｓの１／３だけ下方の高さ位置よりも低く、且つ、板ばね５０ｂの上端から距離Ｄｓの１／３だけ上方の高さ位置よりも高くてもよい。あるいは、重心ＣＧの高さ位置が、板ばね５０ａと板ばね５０ｂとの間の鉛直方向における中間位置に略一致していてもよい。

図２に示されるように、旋回駆動部６０は、中心軸Ａｘまわりに旋回部２０を回転させる。旋回駆動部６０は、例えば電動モータ等の動力源を含み、ギヤを介さないダイレクトドライブによって中心軸Ａｘまわりにターンテーブル２２を回転させる。複数の部品保持部４０は、板ばね５０ａ，５０ｂ、可動部３０及び接続部２４を介してターンテーブル２２に接続されているので、ターンテーブル２２の回転に伴って複数の部品保持部４０が搬送軌道ＣＲに沿って移動する（中心軸Ａｘまわりに旋回する）。旋回駆動部６０は、複数の部品保持部４０それぞれを一の配置領域ＡＲに順に配置するように旋回部２０を旋回させる。例えば、旋回駆動部６０は、複数の配置領域ＡＲに複数の部品保持部４０がそれぞれ一時停止するように、旋回部２０を間欠的に旋回させる。これにより、一の配置領域ＡＲには、複数の部品保持部４０のうちのいずれか１つ（いずれか１つが保持する電子部品Ｗ）が順次一時停止する。

変位駆動部７０は、配置領域ＡＲにおいて部品保持部４０が変位方向の一方側に移動するように、変位方向の一方側に可動部３０を変位させる。例えば、変位駆動部７０は、配置領域ＡＲにおいて部品保持部４０が鉛直下方に移動するように、可動部３０を鉛直下方に変位させる。回転搬送部１０は、複数の変位駆動部７０を備えてもよい。複数の変位駆動部７０は、例えば、複数の配置領域ＡＲにそれぞれ設けられている。なお、部品保持部４０を移動（変位）させる必要がない配置領域ＡＲには、変位駆動部７０が設けられなくてもよい。複数の変位駆動部７０は、複数の配置領域ＡＲにそれぞれ固定されており、旋回部２０が旋回しても移動しない。一の変位駆動部７０は、当該変位駆動部７０が位置する配置領域ＡＲに順次配置される部品保持部４０に対応する可動部３０を、変位方向の一方側に移動させる。

回転搬送部１０は、複数の変位駆動部７０を所定の位置に固定する（保持する）固定部７８を更に備えてもよい。固定部７８は、例えば、旋回部２０のターンテーブル２２の上方に配置される板状の部材である。固定部７８は、ターンテーブル２２と共に旋回しないように構成されている。複数の変位駆動部７０は、複数の配置領域ＡＲにそれぞれ位置するように固定部７８に固定されている。そのため、複数の変位駆動部７０は、旋回部２０が旋回しても動かない。

変位駆動部７０は、例えば、本体部７２と、プッシャー７４と、駆動部７６とを有する。本体部７２は、ターンテーブル２２（旋回部２０）と共に旋回しないように配置領域ＡＲに固定される。例えば、本体部７２は、固定部７８の外縁部のうちの配置領域ＡＲに対応する部分に固定されている。プッシャー７４は、本体部７２に対して変位方向に沿って変位可能となるように当該本体部７２に設けられる。例えば、プッシャー７４は、鉛直方向に沿って移動可能となるように本体部７２に保持されている。プッシャー７４は、部品保持部４０が配置領域ＡＲに位置する状態において、当該部品保持部４０に対応する可動部３０の一部（受け部３４）の鉛直上方に配置される。図３に示される例では、配置領域ＡＲにおいて、プッシャー７４は、部品保持部４０の鉛直上方に位置する。

駆動部７６は、電動モータ又はエアシリンダ等の動力源によって、プッシャー７４を下方に移動させる。これにより、プッシャー７４によって可動部３０が下方に押され、その結果、可動部３０が下方に変位する。つまり、プッシャー７４は、変位方向の一方側に向かって可動部３０を押すように構成されている。プッシャー７４が可動部３０を下方に押している状態では、プッシャー７４の下端が可動部３０の受け部３４の上端面に接触する。すなわち、変位駆動部７０（プッシャー７４）から可動部３０への力の作用点は、受け部３４の上端面に位置している。

図３に示されるように、回転搬送部１０は、反発ばね８０を更に有してもよい。反発ばね８０は、変位方向の他方側に向かって可動部３０を押すように構成されている。より詳細には、反発ばね８０は、変位駆動部７０（プッシャー７４）が可動部３０を押す方向と反対の方向に可動部３０を押すように構成されている。反発ばね８０は、可動部３０の受け部３４と接続部２４との間に設けられている。反発ばね８０は、例えばコイルばね（圧縮コイルばね）である。反発ばね８０は、その中心軸が変位方向に沿った状態で受け部３４と接続部２４との間に配置されている。

反発ばね８０の上端は受け部３４の下端面に接し、反発ばね８０の下端は接続部２４の上端面に接している。反発ばね８０は、可動部３０が鉛直下方に変位した際に、鉛直上方に向かう方向に受け部３４に反力を付与する。すなわち、反発ばね８０から可動部３０への力の作用点は、受け部３４の下端面に位置している。受け部３４の上端面に下向きの力を付与した状態を変位駆動部７０（プッシャー７４）が解除すると、反発ばね８０の反力によって可動部３０が変位前の位置に戻り、これに伴って部品保持部４０も移動前の位置に戻る。

図３に示される例では、部品保持部４０が配置領域ＡＲに配置された際に、当該配置領域ＡＲにおいて、プッシャー７４、反発ばね８０、及び部品保持部４０が、変位方向に延びるラインＬ１に沿って並ぶ。この場合、プッシャー７４から可動部３０への力の作用点、反発ばね８０から可動部３０への反力の作用点、及び部品保持部４０による電子部品Ｗの保持位置（例えば吸着ノズル４４による電子部品Ｗの吸着位置）が、ラインＬ１に沿って並ぶ。

回転搬送部１０は、補助ばね８８を更に有してもよい。補助ばね８８は、変位方向に沿って伸縮可能であり、伸縮に応じた反力を発生する。補助ばね８８は、例えばコイルばねである。補助ばね８８は、可動部３０の第１接続部３６と部品保持部４０（ノズルホルダ４２）とを接続する。補助ばね８８は、その中心軸が変位方向に沿った状態で設けられる。補助ばね８８の上端は、第１接続部３６の下端面に接続（固定）されており、補助ばね８８の下端はノズルホルダ４２の上端面に接続（固定）されている。

補助ばね８８は、可動部３０に対して部品保持部４０が変位していない状態において、部品保持部４０を支持するように構成されてもよい。例えば補助ばね８８は、部品保持部４０が変位していない状態において、その自然長よりも若干伸びており、部品保持部４０を支持する力（反力）を発生するように構成されている。これにより、板ばね５０ａ，５０ｂが部品保持部４０を支持する力を、補助ばね８８を設けない場合に比べて低下させることでき、板ばね５０ａ，５０ｂのばね定数を小さくできる。一例では、補助ばね８８は、部品保持部４０が変位していない状態において、当該補助ばね８８が部品保持部４０を支持する力と部品保持部４０の自重とが略等しくなるように構成されている。これにより、板ばね５０ａ，５０ｂが部品保持部４０を支持する力をゼロに近づけることができ、板ばね５０ａ，５０ｂのばね定数を更に小さくできる。

補助ばね８８は、可動部３０に対して部品保持部４０が変位した状態において、部品保持部４０が変位した方向とは反対の方向に押す力（反力）を部品保持部４０に対して付与するように構成されてもよい。より詳細には、補助ばね８８は、当該補助ばね８８が自然長よりも短くなる（圧縮される）程度まで部品保持部４０が変位した際に、部品保持部４０を上記反対の方向（例えば図示のＺ軸負方向）に押す力を発生するように構成されてもよい。

回転搬送部１０から電子部品Ｗを回収する処理部１２（回収部１２Ｂ）は、配置領域ＡＲに配置される部品保持部４０（吸着ノズル４４）から電子部品Ｗを回収するように、部品保持部４０から受け取った電子部品Ｗを収容部材９０に収容する。収容部材９０は、例えば、収容トレイ又はキャリアテープであり、電子部品Ｗを収容するための複数のポケット９２を有する。ポケット９２は、電子部品Ｗに対応した形状を有する。回収部１２Ｂは、当該回収部１２Ｂが位置する配置領域ＡＲに部品保持部４０が配置されてくる度に、空のポケット９２を部品保持部４０の鉛直下方に配置するように収容部材９０を移動させる。部品保持部４０は、例えば、変位駆動部７０によって可動部３０と共に鉛直下方に移動した状態で、吸着ノズル４４が吸着している電子部品Ｗの吸着を解除することで、空のポケット９２に電子部品Ｗを引き渡す。

（コントローラ）
コントローラ１００は、予め定められた制御手順で回転搬送部１０及び複数の処理部１２を制御するコンピュータである。この制御手順において、コントローラ１００は、少なくとも、部品保持部４０に電子部品Ｗを保持させた状態で、当該部品保持部４０をいずれかの配置領域ＡＲに移動させるように旋回駆動部６０を制御することと、配置領域ＡＲに移動した部品保持部４０を鉛直下方に移動させるように変位駆動部７０を制御することとを実行するように構成されている。以下では、一の電子部品Ｗが回収部１２Ｂに回収されるまでにコントローラ１００によって実行される制御手順の一例を説明する。

回収予定の電子部品Ｗを保持する部品保持部４０が、回収部１２Ｂが位置する配置領域ＡＲよりも中心軸Ａｘまわりの角度ピッチの１ピッチ分だけ離間した配置領域ＡＲに配置されている状態で、コントローラ１００は以下の処理を実行する。すなわち、コントローラ１００は、回収予定の電子部品Ｗを保持する部品保持部４０が、回収部１２Ｂが位置する配置領域ＡＲに配置されるように、旋回駆動部６０により旋回部２０を角度ピッチの１ピッチ分だけ旋回させる。部品保持部４０が当該配置領域ＡＲに配置されると、変位駆動部７０のプッシャー７４、反発ばね８０、及び部品保持部４０（この部品保持部４０に保持されている電子部品Ｗ）が、上述のラインＬ１上に並ぶ。また、コントローラ１００は、空のポケット９２が部品保持部４０の鉛直下方に配置されるように回収部１２Ｂを制御する。

次に、コントローラ１００は、配置領域ＡＲの部品保持部４０が鉛直下方に向かって移動するように、変位駆動部７０（プッシャー７４）により可動部３０を鉛直下方に変位させる。プッシャー７４によって可動部３０を変位させる際には、配置領域ＡＲに位置する変位駆動部７０がプッシャー７４を下降させる。プッシャー７４が初期位置から所定量下降すると、プッシャー７４が可動部３０の受け部３４に接触する。そして、変位駆動部７０がプッシャー７４により受け部３４を更に鉛直下方に押すと、旋回部２０に対して可動部３０が鉛直下方に変位する。これに伴って、部品保持部４０が鉛直下方に移動する。

コントローラ１００は、部品保持部４０に保持されている（吸着ノズル４４によって吸着されている）電子部品Ｗが、空のポケット９２に収容される位置まで達すると、プッシャー７４が可動部３０を鉛直下方に押す動作を変位駆動部７０に停止させる（図５（ａ）参照）。そして、コントローラ１００は、吸着ノズル４４による電子部品Ｗの吸着を解除するように部品保持部４０を制御する。これにより、電子部品Ｗが空のポケット９２に引き渡される。

次に、コントローラ１００は、プッシャー７４を初期位置まで上昇させるように変位駆動部７０を制御する。プッシャー７４が受け部３４を押している状態が解除されると、反発ばね８０の反力によって、可動部３０が鉛直上方に変位する。これに伴って、電子部品Ｗを保持していない部品保持部４０が下降前の位置まで戻る。コントローラ１００は、他の電子部品Ｗ（後続の電子部品Ｗ）についても、以上の処理を繰り返し実行する。

図５（ａ）には、以上の電子部品Ｗの引き渡し（回収）が正常に行われる場合の動作の一例が示されており、図５（ｂ）には、電子部品Ｗの引き渡しが正常に行われない場合の動作の一例が示されている。図５（ａ）に示されるように、部品保持部４０を下方に移動させているときに、当該部品保持部４０に外力が加わらない限り、板ばね５０ａ，５０ｂは変形しない。そのため、部品保持部４０が可動部３０に対して変位しない。

図５（ｂ）に示されるように、電子部品Ｗを収容する予定の空のポケット９２が、部品保持部４０の鉛直下方の位置からずれて配置される場合もある。この場合、部品保持部４０を下方に移動させていくと、吸着ノズル４４に吸着されている電子部品Ｗが、ポケット９２の周縁部（収容部材９０の上面）に接触し、部品保持部４０に外力が加わる。この場合、板ばね５０ａ，５０ｂが変形して、可動部３０に対して部品保持部４０が上方に変位する。このように、電子部品Ｗ（部品保持部４０）に外力が加わっても、部品保持部４０を上方に退避せることができ、電子部品Ｗに過度な力が加わることが回避される。また、可動部３０に対して部品保持部４０が上方に変位した際に、板ばね５０ａ，５０ｂの変形による反力と補助ばね８８の圧縮による反力とが部品保持部４０に加わり得る。

（変形例）
以上に例示した処理装置１では、２枚の板ばね（板ばね５０ａ，５０ｂ）が設けられるが、可動部３０と部品保持部４０との間が、３枚以上の平行な板ばねによって接続されていてもよい。この場合、部品保持部４０の重心ＣＧは、変位方向（３枚以上の板ばねが並ぶ方向）において、最上段の板ばねと最下段の板ばねとの間に位置していてもよい。例えば、部品保持部４０の重心ＣＧの高さ位置が、最上段の板ばねと最下段の板ばねとの間の中間位置に略一致していてもよい。

以上に例示した処理装置１では、配置領域ＡＲにおいて、変位方向（ラインＬ１）に沿ってプッシャー７４、反発ばね８０、及び部品保持部４０が並ぶが、プッシャー７４及び反発ばね８０は、部品保持部４０とは異なる位置に配置されてもよい。例えば、平面視において、プッシャー７４及び反発ばね８０の位置が、配置領域ＡＲの部品保持部４０（吸着ノズル４４）の位置と異なっていてもよい。この場合、プッシャー７４から可動部３０への力の作用点と、反発ばね８０から可動部３０への反力の作用点とが、部品保持部４０の鉛直上方に位置していなくてもよい。処理装置１は、第１接続部３６と部品保持部４０との間に設けられる補助ばね８８を備えていなくてもよい。

以上に例示した処理装置１では、可動部３０の第１接続部３６が、スライド部３２との接続部分を起点として中心軸Ａｘに向かって延びるように形成されているが、第１接続部３６が延びる方向は、いずれの方向（いずれの水平方向）であってもよい。例えば、第１接続部３６は、搬送軌道ＣＲの接線方向に沿って延びるように形成されていてもよい。この場合、板ばね５０ａ，５０ｂも搬送軌道ＣＲの接線方向に沿って延びるように配置される。あるいは、第１接続部３６は、スライド部３２との接続部分を起点として中心軸Ａｘから離れる方向に延びるように形成されていてもよい。この場合、搬送軌道ＣＲの半径方向に沿って、中心軸Ａｘ、部品保持部４０（ノズルホルダ４２）、板ばね５０ａ，５０ｂ、及び第２接続部３８が、この順で配置されてもよい。

第１接続部３６のスライド部３２との接続部分は、当該第１接続部３６の端部以外の部分であってもよく、第２接続部３８は、第１接続部３６の端部以外の部分に接続されてもよい。第１接続部３６が延びる水平方向と、板ばね５０ａ，５０ｂが延びる水平方向とが、互いに異なっていてもよい。この場合、変位方向において、ノズルホルダ４２と第１接続部３６とが対向していなくてもよい。可動部３０は、第１接続部３６及び第２接続部３８を有さずに、スライド部３２に接続され、鉛直下方に延びる接続部を有してもよい。この接続部とノズルホルダ４２とを接続するように、板ばね５０ａ，５０ｂが設けられてもよい。

以上に例示した処理装置１では、部品保持部４０の重心ＣＧは、変位方向において板ばね５０ａと板ばね５０ｂとの間に位置するが、重心ＣＧが、板ばね５０ａよりも上方に位置していてもよく、板ばね５０ｂよりも下方に位置していてもよい。例えば、図６（ａ）及び図６（ｂ）には、変形例に係る部品保持部４０Ａが例示されている。この部品保持部４０Ａは、ノズルホルダ４２Ａと、吸着ノズル４４Ａとを有する。ノズルホルダ４２Ａ及び吸着ノズル４４Ａは、部品保持部４０のノズルホルダ４２及び吸着ノズル４４とそれぞれ同様の機能を有する。部品保持部４０Ａの重心ＣＧは、板ばね５０ｂの下方に位置している。

［実施形態の効果］
以上説明したように、上記実施形態に係る処理装置１は、所定の配置領域ＡＲを通る搬送軌道ＣＲの中心軸Ａｘまわりに旋回する旋回部２０と、所定の変位方向に沿って変位可能となるように旋回部２０に設けられた可動部３０と、電子部品Ｗを保持し、搬送軌道ＣＲに位置するように可動部３０に取り付けられた部品保持部４０，４０Ａと、部品保持部４０，４０Ａを配置領域ＡＲに配置するように中心軸Ａｘまわりに旋回部２０を旋回させる旋回駆動部６０と、配置領域ＡＲにおいて部品保持部４０，４０Ａが変位方向の一方側に移動するように、変位方向の一方側に可動部３０を変位させる変位駆動部７０と、可動部３０に対する部品保持部４０，４０Ａの変位方向に沿った変位が可能となるように、変位方向に交差して部品保持部４０，４０Ａと可動部３０とを接続する互いに平行な複数枚の板ばねとを備える。

この処理装置１では、部品保持部４０，４０Ａと可動部３０との間が、互いに平行な複数枚の板ばねによって接続されているので、可動部３０が変位方向に変位すると部品保持部４０，４０Ａも共に移動する。複数枚の板ばねは、可動部３０に対する部品保持部４０，４０Ａの変位を可能とするので、可動部３０が変位している際に部品保持部４０，４０Ａが保持している電子部品Ｗに外力が加わると、可動部３０に対して部品保持部４０，４０Ａが変位する。その結果、変位方向と反対方向への過度な力が、部品保持部４０，４０Ａに保持されている電子部品Ｗに加わることを防止できる。従って、電子部品Ｗの破損を抑制するのに有用である。

上記実施形態に係る処理装置１において、可動部３０は、変位方向に沿って部品保持部４０，４０Ａと並ぶ第１接続部３６と、第１接続部３６に接続され、変位方向に交差する方向に沿って部品保持部４０，４０Ａと並ぶ第２接続部３８とを有してもよい。複数枚の板ばねは、部品保持部４０，４０Ａと第２接続部３８とを接続してもよい。この場合、変位方向から見て、可動部３０と部品保持部４０とを少なくとも部分的に重ねることができるので、処理装置１の省スペース化に有用である。

上記実施形態に係る処理装置１は、第１接続部３６と部品保持部４０とを接続し、変位方向に沿って伸縮すると共に伸縮に応じて反力を発生する補助ばね８８を更に備えてもよい。複数枚の板ばねは、ばね定数を調節し難い傾向を有するが、上記構成では、複数枚の板ばねに加えて補助ばね８８を設けることで、複数枚の板ばねによって部品保持部４０の変位動作を規制しつつ、部品保持部４０にばね部材から加わる力を柔軟に調節することできる。

上記実施形態に係る処理装置１において、複数枚の板ばねは、変位方向に沿って並んでいてもよい。部品保持部４０の重心ＣＧは、変位方向において複数枚の板ばねの間に位置してもよい。旋回部２０の旋回（回転）開始時又は停止時において部品保持部４０には慣性力が加わる。上記構成では、重心ＣＧが板ばねの間に位置することで、部品保持部４０に加わる慣性力に起因して、部品保持部４０の振動が発生するのを抑制できる。

例えば、図６（ｂ）に示される変形例に係る部品保持部４０Ａでは、部品保持部４０Ａの重心ＣＧが板ばね５０ａ，５０ｂの下方に位置しているので、旋回部２０の回転方向Ｒ１への回転停止に伴って、当該回転方向Ｒ１と同じ向きの力Ｆが吸着ノズル４４Ａに加わり、部品保持部４０Ａにモーメントが加わる。その結果、電子部品Ｗの位置ずれ、及び電子部品Ｗの落下等が発生してしまう可能性がある。これに対して、部品保持部４０の重心ＣＧを板ばね５０ａ，５０ｂの間に配置することで、旋回部２０の回転開始時及び回転停止時に部品保持部４０に加わるモーメントを抑制でき、電子部品Ｗの位置ずれ、及び電子部品Ｗの落下の可能性を低下させることができる。また、板ばね５０ａ，５０ｂの他部材との接合部分に無理な力が加わることを防止することができる。

上記実施形態に係る処理装置１は、変位方向の他方側に向かって可動部３０を押す反発ばね８０を更に備えてもよい。変位駆動部７０は、変位方向の一方側に向かって可動部３０を押すプッシャー７４を有してもよい。配置領域ＡＲにおいて、プッシャー７４、反発ばね８０、及び部品保持部４０，４０Ａが、変位方向に沿って並んでもよい。この場合、電子部品Ｗが他部材に当接した際に、部品保持部４０によって保持されている電子部品Ｗの主面に対して垂直な方向に沿って変位駆動部７０から電子部品Ｗに力が加わる。そのため、処理部において電子部品Ｗが他部材に当接した際に、電子部品Ｗの主面に対して斜め方向に荷重が加わることを抑制できる。なお、第２接続部３８を搬送軌道ＣＲの内側に配置することで、処理装置１の省スペース化に更に有用である。

１…処理装置、２０…旋回部、３０…可動部、３６…第１接続部、３８…第２接続部、４０，４０Ａ…部品保持部、５０ａ，５０ｂ…板ばね、６０…旋回駆動部、７０…変位駆動部、７４…プッシャー、８０…反発ばね、８８…補助ばね、Ｗ…電子部品、ＣＧ…重心。

Claims (2)

1. 所定の配置領域を通る搬送軌道の中心軸まわりに旋回する旋回部と、
   所定の変位方向に沿って変位可能となるように前記旋回部に設けられた可動部と、
   電子部品を保持し、前記搬送軌道に位置するように前記可動部に取り付けられた部品保持部と、
   前記部品保持部を前記配置領域に配置するように前記中心軸まわりに前記旋回部を旋回させる旋回駆動部と、
   前記配置領域において前記部品保持部が前記変位方向の一方側に移動するように、前記変位方向の一方側に前記可動部を変位させる変位駆動部と、
   互いに平行な複数枚の板ばねと、
   補助ばねとを備え、
   前記可動部は、前記変位方向に沿って前記部品保持部と並ぶ第１接続部と、前記第１接続部に接続され、前記変位方向に交差する方向に沿って前記部品保持部と並ぶ第２接続部とを有し、
   前記複数枚の板ばねそれぞれは、前記可動部に対する前記部品保持部の前記変位方向に沿った変位が可能となるように、前記変位方向に交差する方向に沿って延びて前記部品保持部と前記可動部の前記第２接続部とを接続し、
   前記補助ばねは、前記第１接続部と前記部品保持部とを接続し、前記変位方向に沿って伸縮すると共に伸縮に応じた反力を発生するように構成されている、電子部品の処理装置。
2. 前記複数枚の板ばねは、前記変位方向に沿って並び、
   前記部品保持部の重心は、前記変位方向において前記複数枚の板ばねの間に位置する、請求項１記載の処理装置。

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