JP6842274B2 - ワイヤボンディング構造および電子装置 - Google Patents
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Description
1 リードフレーム
11 ダイパッド
12 インナーリード
13 アウターリード
2 電子素子
21 第1導電層
211 ボンディングパッド
211A パッド表面
211B パッド裏面
211E 延出部
211R 接合領域
212 配線メタル
22 保護層
22A 開口部
221 パッシベーション膜
222 ポリイミド層
23 第2導電層
231 第1配線部位
232 第2配線部位
24 第3導電層
25 半導体基板
261 第1ビア
262 第2ビア
263 連絡部
27 絶縁層
291 バリア層
3 ワイヤ
31 ボンディング部分
311 底面
312 側面
312A 下側曲面部(第1曲面部)
312B 上側曲面部(第2曲面部)
313 被押し付け面
313A 内側環状部(第3環状部)
313B 中央環状部(第1環状部)
313C 外側環状部(第2環状部)
313D 内側屈曲部(第2屈曲部)
313E 外側屈曲部(第1屈曲部)
314 周面
39 溶融ボール
4 封止樹脂
7 キャピラリ
7A 先端
71 貫通孔
72 円筒部
73 円錐台部
74 ボトルネック部
741 側面
742 内面
743 押し付け面
743A 内側領域
743B 中央領域
743C 外側領域
L1 ワイヤ径
L2 ボール径
L3 帯幅
L5 ホール径
Claims (25)
- 接合対象と、前記接合対象に接合されたボンディング部分を有するワイヤと、を備えたワイヤボンディング構造であって、
前記ボンディング部分の外面は、前記接合対象に接する底面と、前記ボンディング部分の厚さ方向において前記底面と反対側を向く被押し付け面と、前記底面および前記被押し付け面を繋ぐ側面と、を有し、
前記被押し付け面は、前記厚さ方向視において円環状であり、かつ、第1屈曲部を介して互いに繋がる、第1環状部および第2環状部を有しており、
前記第1環状部は、前記底面に対して平行であり、かつ、前記厚さ方向視において前記第2環状部より内側に位置しており、
前記第2環状部は、前記第1屈曲部を起点として、前記厚さ方向視において外側に向かうほど、前記厚さ方向において前記底面と反対側に向かい、
前記厚さ方向視において、前記第1環状部の径方向内側の端部と径方向外側の端部との当該径方向に沿う離間距離が、前記第2環状部の径方向内側の端部と径方向外側の端部との当該径方向に沿う離間距離よりも小さい、
ことを特徴とするワイヤボンディング構造。 - 前記第1環状部は、前記厚さ方向視において、前記底面と重なっている、
請求項1に記載のワイヤボンディング構造。 - 前記被押し付け面は、第2屈曲部を介して前記第1環状部に繋がり、かつ、前記厚さ方向視において前記第1環状部より内側に位置する、円環状の第3環状部をさらに有しており、
前記厚さ方向視において、前記第1環状部の径方向内側の端部と径方向外側の端部との当該径方向に沿う離間距離が、前記第3環状部の径方向内側の端部と径方向外側の端部との当該径方向に沿う離間距離よりも小さい、
請求項1または請求項2に記載のワイヤボンディング構造。 - 前記第3環状部は、平坦であり、前記第2屈曲部に繋がる側に向かうほど、前記厚さ方向に直交する平面における断面が大となる、
請求項3に記載のワイヤボンディング構造。 - 前記ボンディング部分の外面は、前記第3環状部に繋がり、かつ、前記被押し付け面から起立する周面をさらに有する、
請求項3または請求項4に記載のワイヤボンディング構造。 - 前記周面は、前記厚さ方向に直交する平面における断面形状が円形状である、
請求項5に記載のワイヤボンディング構造。 - 前記第1環状部は、前記周面に対して垂直である、
請求項5または請求項6に記載のワイヤボンディング構造。 - 前記側面は、前記底面と前記側面との境界を起点として、前記厚さ方向視において、外側に向かうほど、前記被押し付け面側に向かう第1曲面部と、前記被押し付け面と前記側面との境界を起点として、前記厚さ方向視において、外側に向かうほど、前記底面側に向かい、かつ、前記第1曲面部に繋がる第2曲面部と、を有する、
請求項1ないし請求項7のいずれか一項に記載のワイヤボンディング構造。 - 前記第2環状部は、径方向内側の端部と径方向外側の端部との離間距離が、2〜10μmである、
請求項1ないし請求項8のいずれか一項に記載のワイヤボンディング構造。 - 前記厚さ方向視における前記ボンディング部分の径は、45〜78μmである、
請求項1ないし請求項9のいずれか一項に記載のワイヤボンディング構造。 - 前記ワイヤの径は、20〜35μmである、
請求項1ないし請求項10のいずれか一項に記載のワイヤボンディング構造。 - 前記厚さ方向視における、前記ボンディング部分の径は、前記ワイヤの径の2〜3倍である、
請求項1ないし請求項11のいずれか一項に記載のワイヤボンディング構造。 - 請求項1ないし請求項12のいずれか一項に記載のワイヤボンディング構造を有する電子装置であって、
前記ワイヤがボンディングされ、前記接合対象としてのボンディングパッドを含む電子素子を備えている、
ことを特徴とする電子装置。 - 前記電子素子および前記ワイヤを覆う封止樹脂を、さらに備える、
請求項13に記載の電子装置。 - 前記ボンディングパッドは、前記厚さ方向において、互いに反対側を向くパッド表面およびパッド裏面を有し、
前記ワイヤは、前記パッド表面にボンディングされている、
請求項14に記載の電子装置。 - 前記電子素子は、絶縁性の保護層を含み、
前記保護層は、前記パッド表面を露出させる開口部を有しており、
前記ボンディング部分は、前記開口部から露出した前記パッド表面に配置されている、請求項15に記載の電子装置。 - 前記保護層は、パッシベーション膜を有する、
請求項16に記載の電子装置。 - 前記保護層は、前記パッシベーション膜を覆うポリイミド層を、さらに有する、
請求項17に記載の電子装置。 - 前記ボンディングパッドは、前記ボンディング部分に沿って前記パッド表面から延び出た延出部を、さらに有する、
請求項18に記載の電子装置。 - 前記延出部は、前記側面に接している、
請求項19に記載の電子装置。 - 前記延出部の上端は、前記パッシベーション膜の上端より上方に位置し、かつ、前記ポリイミド層の上端より下方に位置する、
請求項19または請求項20に記載の電子装置。 - 前記厚さ方向において、前記延出部と前記パッド表面との間に前記封止樹脂が介在する部分を有する、
請求項19ないし請求項21のいずれか一項に記載の電子装置。 - 前記電子素子を搭載するダイパッドと、前記封止樹脂に覆われ、かつ、前記ワイヤの前記ボンディング部分と反対側の端部がボンディングされたインナーリードと、前記封止樹脂から露出し、かつ、前記インナーリードと一体的に形成されたアウターリードと、を有するリードフレームを、さらに備える、
請求項14ないし請求項22のいずれか一項に記載の電子装置。 - 前記ボンディングパッドは、主成分がAlである、
請求項13ないし請求項23のいずれか一項に記載の電子装置。 - 前記ワイヤは、主成分がCuである、
請求項13ないし請求項24のいずれか一項に記載の電子装置。
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