JP6811021B2 - 駆動装置及びミラー装置 - Google Patents
駆動装置及びミラー装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6811021B2 JP6811021B2 JP2016050775A JP2016050775A JP6811021B2 JP 6811021 B2 JP6811021 B2 JP 6811021B2 JP 2016050775 A JP2016050775 A JP 2016050775A JP 2016050775 A JP2016050775 A JP 2016050775A JP 6811021 B2 JP6811021 B2 JP 6811021B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- driven
- leaf spring
- resonance frequency
- elastic
- frame
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 15
- 244000126211 Hericium coralloides Species 0.000 description 27
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Micromachines (AREA)
Description
S1 第1の板ばね部(第1の振動部)
FL 枠部
S2 第2の板ばね部(第2の振動部)
S3 ねじりばね(第1の振動部)
AX、AX1、AY、AY1 回転軸
CA 中心軸
Claims (10)
- ベース部と、
第1弾性部を介して、前記ベース部に回転可能に支持される枠部と、
第2弾性部を介して、前記枠部に回転可能に支持される被駆動部と、を有し、
前記枠部及び前記被駆動部の各々は、第1回転軸、及び前記第1回転軸と交わる第2回転軸の周りに回転可能であって、
前記第1弾性部、前記枠部、前記第2弾性部、及び前記被駆動部から構成され、かつ前記ベース部を基礎とする第1の回転振動系において、前記第1回転軸周りの第1の共振周波数と前記第2回転軸周りの第2の共振周波数とが略同一であり、
前記第2弾性部、及び前記被駆動部から構成され、かつ前記枠部を基礎とする第2の回転振動系において、前記第1回転軸周りの第3の共振周波数と前記第2回転軸周りの第4の共振周波数とが略同一であり、
前記第1の共振周波数及び第2の共振周波数は、前記第3の共振周波数及び前記第4の共振周波数よりも大きいことを特徴とする駆動装置。 - 前記被駆動部は前記第1回転軸及び前記第2回転軸に直交する中心軸を有する円板形状を有し、
前記第2弾性部は、前記被駆動部の外周部において前記被駆動部に接続され、前記被駆動部の前記中心軸に関して回転対称形状を有し、
前記枠部は、前記第2弾性部の外周部を取り囲むように環状に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の駆動装置。 - 前記第2弾性部は、前記被駆動部の前記中心軸に関して3回回転対称に配置されていることを特徴とする請求項2に記載の駆動装置。
- 前記第1弾性部は、一端がベース部に固定され、他端が前記枠部の外周部に接続された第1の板ばね部を含み、
前記第2弾性部は、一端が前記枠部の内周部に接続され、他端が前記被駆動部の外周部に接続された第2の板ばね部を有し、
前記第1の板ばね部は、前記第2の板ばね部よりも大きなばね定数を有していることを特徴とする請求項2又は3に記載の駆動装置。 - 前記第1の板ばね部は前記第2の板ばね部よりも大きな板厚又は板幅を有することを特徴とする請求項4に記載の駆動装置。
- 前記第2の板ばね部は、前記被駆動部の前記中心軸の周方向に伸張していることを特徴とする請求項4又は5に記載の駆動装置。
- 前記被駆動部における前記中心軸上の1点を支持する支持ピンを有することを特徴とする請求項2乃至6のいずれか1つに記載の駆動装置。
- 前記第1弾性部は駆動電極を有し、前記第1弾性部は前記駆動電極への電圧を印加により生ずる静電気力又は電磁気力によって振動することを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1つに記載の駆動装置。
- 前記第1弾性部は、ベース部及び前記枠部間に接続されたねじりばねを含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の駆動装置。
- 請求項1乃至9のいずれか1つに記載の駆動装置と、
前記被駆動部上に設けられた反射ミラーと、を有することを特徴とするミラー装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016050775A JP6811021B2 (ja) | 2016-03-15 | 2016-03-15 | 駆動装置及びミラー装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016050775A JP6811021B2 (ja) | 2016-03-15 | 2016-03-15 | 駆動装置及びミラー装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017167254A JP2017167254A (ja) | 2017-09-21 |
JP6811021B2 true JP6811021B2 (ja) | 2021-01-13 |
Family
ID=59913464
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016050775A Active JP6811021B2 (ja) | 2016-03-15 | 2016-03-15 | 駆動装置及びミラー装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6811021B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111149372B (zh) * | 2017-09-27 | 2021-06-22 | 第一精工株式会社 | 超声波传感器 |
JP6753449B2 (ja) * | 2017-11-24 | 2020-09-09 | 株式会社村田製作所 | 走査反射器システム |
KR20190087977A (ko) * | 2017-12-25 | 2019-07-25 | 저텍 테크놀로지 컴퍼니 리미티드 | 레이저 빔 스캐닝 표시 장치 및 증강 현실 안경 |
US12007507B2 (en) | 2018-02-13 | 2024-06-11 | Pioneer Corporation | Control device, irradiation system, control method, and program |
JPWO2019163526A1 (ja) | 2018-02-22 | 2021-02-12 | パイオニア株式会社 | 測定装置、制御方法、プログラム、及び記憶媒体 |
JP6870699B2 (ja) | 2018-05-03 | 2021-05-12 | 株式会社村田製作所 | 拡大された画像領域を備える走査光学デバイス |
US12038576B2 (en) | 2019-03-19 | 2024-07-16 | Mitsubishi Electric Corporation | Optical scanning device and method for manufacturing the same |
CN114402247A (zh) * | 2019-10-18 | 2022-04-26 | 株式会社理光 | 可移动装置 |
JP7363352B2 (ja) * | 2019-10-18 | 2023-10-18 | 株式会社リコー | 可動装置、画像投影装置、ヘッドアップディスプレイ、レーザヘッドランプ、ヘッドマウントディスプレイ、物体認識装置、及び車両 |
JP7459580B2 (ja) * | 2020-03-16 | 2024-04-02 | 株式会社リコー | 可動装置、画像投影装置、ヘッドアップディスプレイ、レーザヘッドランプ、ヘッドマウントディスプレイ、物体認識装置、及び移動体 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002189176A (ja) * | 2000-12-20 | 2002-07-05 | Mitsubishi Electric Corp | ミラー駆動装置 |
JP4492252B2 (ja) * | 2003-09-05 | 2010-06-30 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエータ |
JP2008170500A (ja) * | 2007-01-09 | 2008-07-24 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | 2次元走査装置 |
DE102011104556B4 (de) * | 2011-06-15 | 2021-03-18 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Ablenkvorrichtung für einen Scanner mit Lissajous-Abtastung |
JP5915446B2 (ja) * | 2011-09-14 | 2016-05-11 | 株式会社デンソー | 光走査装置 |
DE102013223933B4 (de) * | 2013-11-22 | 2021-12-02 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Resonanz-Mikrospiegelanordnung |
-
2016
- 2016-03-15 JP JP2016050775A patent/JP6811021B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017167254A (ja) | 2017-09-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6811021B2 (ja) | 駆動装置及びミラー装置 | |
JP5151065B2 (ja) | 光スキャナ及び走査型プロジェクタ | |
JP4574396B2 (ja) | 光偏向器 | |
CN106809796B (zh) | 具有双轴致动的微机械结构及对应的mems设备 | |
EP1773596B1 (en) | Multilaser bi-directional printer with an oscillating scanning mirror | |
CN101750734B (zh) | 振动镜部件 | |
US20080238592A1 (en) | Two-axis driving electromagnetic micro-actuator | |
JP6278130B2 (ja) | 微小光学電気機械デバイスおよびその製造方法 | |
JP6015564B2 (ja) | 光走査装置 | |
JP2008295174A (ja) | 揺動装置、同装置を用いた光走査装置、映像表示装置、及び揺動装置の制御方法 | |
JP2007192902A (ja) | 微小電気機械素子の駆動方法及び微小電気機械素子アレイの駆動方法、微小電気機械素子及び微小電気機械素子アレイ、並びに画像形成装置 | |
JP2007155984A5 (ja) | ||
CN116018541A (zh) | 微镜器件及光扫描装置 | |
JP2006115683A (ja) | 静電アクチュエータ及び光走査装置 | |
JP2008111882A (ja) | アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置 | |
JP5554895B2 (ja) | 揺動構造体、及び揺動構造体を用いた揺動体装置 | |
JP4868047B2 (ja) | アクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置 | |
JP2011013621A (ja) | 光偏向器、画像形成装置及び画像投影装置 | |
JP2009031643A (ja) | 揺動体装置、光偏向器およびそれを用いた画像形成装置 | |
JP2007163817A (ja) | 光偏向器、及びそれを用いた光学機器 | |
JP5294033B2 (ja) | 光走査装置及び画像形成装置 | |
KR102331643B1 (ko) | 스캐닝 마이크로미러 | |
JP5299482B2 (ja) | アクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置 | |
JP2018013783A (ja) | 機械的構成部品および少なくとも回動軸線を中心として調節可能部分を調節する方法 | |
KR102658547B1 (ko) | 전자기력을 이용하여 동작하는 스캐닝 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190227 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200129 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200204 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20200330 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200601 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20201117 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20201214 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6811021 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |