JP6805758B2 - スペクトル測定器及び分析装置 - Google Patents
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Description
最初に、図1に基づき、凹面回折格子を用いた一般的な分光器について説明する。この分光器では、基板900に形成されたスリット901から入射した入射光は、凹面回折格子902によって波長分散される。凹面回折格子902によって波長分散された光は、基板900に形成されたフォトディテクタアレイ903に入射し、フォトディテクタアレイ903において、波長分散された入射光のスペクトルが得られる。
次に、第1の実施の形態におけるスペクトル測定器100について図2に基づき説明する。
次に、本実施の形態における光反射格子30について図3に基づき説明する。尚、図3(a)は本実施の形態における光反射格子30を形成している格子の長手方向に沿った断面図であり、図3(b)は格子の長手方向に垂直な短手方向における断面図である。本実施の形態においては、光反射格子30を形成している格子の短手方向をX方向、長手方向をY方向、X方向及びY方向に垂直な方向をZ方向とする。
V=a1×Iλ1+a2×Iλ2+・・・・+an×Iλn・・・(1)
記憶部73には、光反射格子において、複数の格子パターンにおける各々の可動格子33の位置と、その格子パターンにおける係数a1〜anとの関係が記憶されている。即ち、複数の格子パターンにおいて、光検出素子50により検出される光量より得られる電圧と各々の波長における強度との関係が記憶されている。光反射格子を異なる格子パターンに変えるための制御は、制御部70における格子制御部71において行い、格子制御部71における制御に基づき、可動格子駆動電源60は、各々の固定電極32a〜32lと可動格子33a〜33lとの間に電圧を印加する。即ち、格子制御部71では、記憶部73に記憶されている格子パターンとなるように、可動格子駆動電源60により、所定の対応する固定電極32a〜32lと可動格子33a〜33lとの間に電圧を印加する制御を行う。
次に、第2の実施の形態について説明する。本実施の形態は、光反射格子を形成している可動格子を両持ちではなく、片持ちで支持している構造のものである。具体的には、図11に示すように、基板131に支持固定部136が設けられており、支持固定部136に、各々の可動格子133a〜133lの一方の端部が支持されている。本実施の形態においては、可動格子133a〜133lを可動格子133と記載する場合がある。尚、図11(a)は本実施の形態における光反射格子の正面図であり、図11(b)は上面図であり、図11(c)は側面図である。
次に、第3の実施の形態におけるスペクトル測定器300について図14に基づき説明する。
次に、本実施の形態における光反射格子330について図15に基づき説明する。尚、図15(a)は本実施の形態における光反射格子330を形成している格子の長手方向に沿った断面図であり、図15(b)は格子の長手方向に垂直な短手方向における断面図である。本実施の形態においては、光反射格子330を形成している格子の短手方向をX方向、長手方向をY方向、X方向及びY方向に垂直な方向をZ方向とする。
V=a1×Iλ1+a2×Iλ2+・・・・+an×Iλn・・・(1)
記憶部73には、光反射格子において、複数の格子パターンにおける各々の可動梁333の位置と、その格子パターンにおける係数a1〜anとの関係が記憶されている。即ち、複数の格子パターンにおいて、光検出素子50により検出される光量より得られる電圧と各々の波長における強度との関係が記憶されている。光反射格子を異なる格子パターンに変えるための制御は、制御部70における格子制御部71において行い、格子制御部71における制御に基づき、可動梁駆動電源360は、各々の固定電極32a〜32lと可動梁333a〜333lとの間に電圧を印加する。即ち、格子制御部71では、記憶部73に記憶されている格子パターンとなるように、可動梁駆動電源360により、所定の対応する固定電極32a〜32lと可動梁333a〜333lとの間に電圧を印加する制御を行う。
次に、第4の実施の形態について説明する。
次に、第5の実施の形態について説明する。本実施の形態は、第1の実施の形態または第2の実施の形態におけるスペクトル測定器を用いたモバイル型の分析装置である。
11 光入射部
12 光出射部
20 第2の基板
21 第1の凹面光反射部
22 第2の凹面光反射部
30 光反射格子
31 基板
31a 凹部
31b 底面
31c 上面
32 固定電極
32a〜32l 固定電極
33 可動格子
33a〜33l 可動格子
34 反射膜
40 スペーサ
50 光検出素子
60 可動格子駆動電源
70 制御部
71 格子制御部
72 演算部
73 記憶部
100 スペクトル測定器
Claims (9)
- 長手方向の長さが同一となるように、短手方向に沿って配列された複数の可動格子と、
各々の前記可動格子の位置を変位させる可動格子駆動部と、を有し、前記可動格子駆動部
により、前記複数の可動格子の位置を変位させることにより、格子パターンが変化する光
反射格子と、
前記光反射格子に入射し、前記光反射格子において反射された光を検出する光検出素子
と、
変化させた各々の前記格子パターンにおいて、前記光検出素子により検出される光量と
各々の波長における強度の関係が記憶されている記憶部と、
を有し、
前記記憶部に記憶されている各々の前記格子パターンにおける前記光検出素子により検
出される光量と各々の波長における強度との関係に基づき、
前記格子パターンを変化させて、前記光検出素子で検出した前記格子パターン毎の光量
から、前記光反射格子に入射した光の各々の波長における強度を算出する演算部を有する
ことを特徴とするスペクトル測定器。 - 前記光反射格子は、
凹部の形成された基板と、
前記凹部の底面に形成された固定電極と、
を有し、
前記複数の可動格子における各々の長手方向の端部は、前記基板の凹部の縁の上面にお
いて少なくとも一方の前記端部が支持されており、
前記可動格子駆動部は、前記固定電極と各々の前記可動格子との間に電圧を印加し、前
記印加された電圧による静電力により、電圧の印加された前記可動格子が、前記固定電極
の側に変位することを特徴とする請求項1に記載のスペクトル測定器。 - 前記光反射格子は、
基板と、
前記基板に形成された支持固定部と、
前記基板の表面に形成された固定電極と、
を有し、
前記複数の可動格子における各々の長手方向の端部は、前記支持固定部において少なく
とも一方の前記端部が支持されており、
前記可動格子駆動部は、前記固定電極と各々の前記可動格子との間に電圧を印加し、前
記印加された電圧による静電力により、電圧の印加された前記可動格子が、前記固定電極
の側に変位することを特徴とする請求項1に記載のスペクトル測定器。 - 前記光反射格子は、
基板と、
前記基板に形成された支持固定部と、
を有し、
前記複数の可動格子における各々の長手方向の端部は、前記支持固定部において少なく
とも一方の前記端部が支持されており、
前記複数の可動格子には、各々圧電素子が設けられており、
前記可動格子駆動部は、前記圧電素子に電圧を印加することにより、電圧の印加された
前記圧電素子の前記可動格子が、変位することを特徴とする請求項1に記載のスペクトル
測定器。 - 前記光反射格子は、
基板と、
前記基板に形成された支持固定部と、
を有し、
前記複数の可動格子における各々の長手方向の端部は、前記支持固定部において少なく
とも一方の前記端部が支持されており、
前記複数の可動格子は、圧電材料により形成されており、
前記可動格子駆動部は、前記可動格子に電圧を印加することにより、電圧の印加された
前記可動格子が、変位することを特徴とする請求項1に記載のスペクトル測定器。 - 光が入射する光入射部と、
前記光入射部より入射した光を反射して、前記光反射格子に入射させる第1の反射部と
、
前記光反射格子において反射された光を反射し、前記光検出素子に入射させる第2の反
射部と、
を有することを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載のスペクトル測定器。 - 前記記憶部に記憶されている格子パターンとなるように、前記可動格子駆動部により印
加される電圧を制御する格子制御部を有することを特徴とする請求項1から6のいずれか
に記載のスペクトル測定器。 - 前記可動格子は格子部と連結部と可動部を備え、
前記光反射格子は、前記可動部の位置を変位させることにより、格子パターンが変化す
ることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載のスペクトル測定器。 - 請求項1から8のいずれかに記載のスペクトル測定器と、
光源と、
を少なくとも有し、
前記光源から被測定物に光を照射し、前記被測定物からの光を前記スペクトル測定器に
より分光し、前記被測定物における波長スペクトルを得ることを特徴とする分析装置。
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