JP2017219330A - 分光器、分光装置及び分析装置 - Google Patents
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Description
最初に、分光装置について説明する。図1は、凹面回折格子を用いた一般的な分光装置の構成を示す。この分光装置では、基板900に形成されたスリット901から入射した入射光は、凹面回折格子902によって波長分散される。凹面回折格子902によって波長分散された光は、基板900に形成されたフォトディテクタアレイ903に入射し、フォトディテクタアレイ903において、波長分散された入射光の光のスペクトルが得られる。
次に、第1の実施の形態における分光器について、図2から図4に基づき説明する。尚、図2は、本実施の形態における分光装置の断面図であり、図3は、本実施の形態における分光装置の可動光反射部が形成されている部分の断面図であり、図4は、可動光反射部が形成されている部分の上面図である。尚、図3(a)は、図4における一点鎖線4A−4Bにおいて切断した断面図であり、図3(b)は、図4における一点鎖線4C−4Dにおいて切断した断面図である。
次に、本実施の形態における分光器の製造方法について説明する。本実施の形態における分光器の製造方法としては、例えば、第1の基板10及び第2の基板20に、Si基板を用いた方法が考えられる。この場合、第1の基板10の一方の面には、凹面回折格子13をナノインプリントやグレースケールマスクを用いたドライエッチング等により形成し、光入射部11、光出射部12をウェットプロセスまたはドライプロセスの異方性エッチング等により形成する。
本実施の形態における分光装置は、図6に示すように、第1の基板10の一方の面の光出射部12が形成されていた位置に、光検出素子51を形成したものであってもよい。この場合、光検出素子51は、分光器の内側に、第1の基板10に一体として形成されるため、より一層分光器を小型化することができる。また、分光器の外側に光検出素子を設けた場合と比べて、光出射部12と光検出素子との位置、距離、角度の調整が不要となるため、製造工程等が簡略化され、更なる低コスト化が可能となる。また、この分光装置においては、第1の基板10に光出射部12を形成しなくともよい。
次に、第2の実施の形態における分光器について説明する。本実施の形態における分光器は、図9に示すように、第1の基板10の一方の面に平面回折格子113を形成し、第2の基板20の一方の面に、凹面光反射部121及び凹面可動光反射部130を形成した構造のものである。尚、平面回折格子113とは、平面に回折格子が形成されているものであり、凹面可動光反射部130は、表面の反射面が凹面で形成されているものである。
また、本実施の形態における分光器は、スペーサ40を用いることなく、第1の基板と第2の基板とを貼り合わせることにより作製したものであってもよい。例えば、図10(a)に示すように、第1の基板10とスペーサ40とが一体化されている構造の第1の基板110を用いて、第1の基板110と第2の基板20とを直接貼り合わせたものであってもよい。また、図10(b)に示すように、第2の基板20とスペーサ40とが一体化されている構造の第2の基板120を用いて、第1の基板10と第2の基板120とを直接貼り合わせたものであってもよい。
次に、第3の実施の形態における分光器について説明する。本実施の形態における分光器は、分光器の内部に、光反射部等が複数設けられている構造のものである。尚、破線矢印は、光入射部より光検出器に入射した光の光路を示す。本実施の形態は、図12〜図14に示されるように、第2の基板220に、光入射部221及び光出射部222が形成されている構造のものであってもよい。
〔第4の実施の形態〕
次に、第4の実施の形態について説明する。本実施の形態は、第1の実施の形態から第3の実施の形態における分光器又は分光装置を用いたモバイル型の分析装置である。
11 光入射部
12 光出射部
13 凹面回折格子
20 第2の基板
21 光反射部
30 可動光反射部
31 薄板部
32 反射膜
33 回転軸
34 回転支持部
40 スペーサ
50 光検出素子
113 平面回折格子
121 凹面光反射部
130 凹面可動光反射部
Claims (16)
- 光が入射する光入射部と、
前記光入射部より入射した光を反射する光反射部と、
前記光反射部において反射された光を波長分散させる回折格子と、
前記波長分散された光を反射する可動光反射部と、
を有することを特徴とする分光器。 - 前記可動光反射部を回転させるための駆動部と、を有し、
前記駆動部を用いて前記可動光反射部の回転が制御されることを特徴とする請求項1に記載の分光器。 - 前記光反射部は、複数設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の分光器。
- 前記回折格子は、凹面に形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の分光器。
- 前記可動光反射部は、表面が凹面で形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の分光器。
- 前記光反射部は、表面が凹面で形成されていることを特徴とする請求項5に記載の分光器。
- 第1の基板と第2の基板により形成されており、
前記第1の基板には、前記光入射部と、前記回折格子が設けられており、
前記第2の基板には、前記光反射部と、前記可動光反射部が設けられていることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の分光器。 - 第1の基板と第2の基板により形成されており、
前記第1の基板には、前記光入射部と、前記回折格子と、前記可動光反射部が設けられており、
前記第2の基板には、前記光反射部が設けられていることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の分光器。 - 第1の基板と第2の基板により形成されており、
前記第1の基板には、前記回折格子が設けられており、
前記第2の基板には、前記光入射部と、前記光反射部と、前記可動光反射部が設けられていることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の分光器。 - 第1の基板と第2の基板により形成されており、
前記第1の基板には、前記回折格子と、前記可動光反射部が設けられており、
前記第2の基板には、前記光入射部と、前記光反射部が設けられていることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の分光器。 - 前記第2の基板にも、可動光反射部が設けられていることを特徴とする請求項10に記載の分光器。
- 前記可動光反射部は、前記第1の基板または前記第2の基板に、回転支持部により回転可能な状態で支持されていることを特徴とする請求項7から11のいずれかに記載の分光器。
- 前記第1の基板または前記第2の基板のうちのいずれかには、前記可動光反射部において反射された光が出射する光出射部が設けられていることを特徴とする請求項7から12のいずれかに記載の分光器。
- 請求項13に記載の分光器と、
前記光出射部より出射される光を検出する光検出素子と、
を有することを特徴とする分光装置。 - 請求項7から12のいずれかに記載の分光器と、
前記第1の基板または前記第2の基板のうちのいずれかにおいて、前記可動光反射部において反射された光が集光する位置に設けられた光検出素子と、
を有することを特徴とする分光装置。 - 請求項13または14に記載の分光装置と、
光源と、
を有し、
前記光源から被測定物に光を照射し、前記被測定物からの光を前記分光装置により分光し、前記被測定物における波長スペクトルを得ることを特徴とする分析装置。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020003235A (ja) * | 2018-06-25 | 2020-01-09 | 株式会社リコー | 支持枠、分光器、分光分析ユニット、及び画像形成装置 |
US11060909B2 (en) | 2017-01-20 | 2021-07-13 | Ricoh Company, Ltd. | Spectrometer, analysis equipment, and wavelength-variable light source |
WO2023191575A1 (ko) * | 2022-04-01 | 2023-10-05 | 한국과학기술원 | 단일 픽셀 마이크로 분광기 및 이의 제조방법 |
US12085727B2 (en) | 2021-08-11 | 2024-09-10 | Disco Corporation | Light irradiation apparatus |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3734588A1 (de) * | 1987-10-13 | 1989-04-27 | Schmidt Werner Dr Rer Nat Habi | Registrierendes photometer hoher anpassungsfaehigkeit |
JPH06207853A (ja) * | 1991-12-20 | 1994-07-26 | Texas Instr Inc <Ti> | 分光計及び光の分析方法 |
US6046808A (en) * | 1999-04-09 | 2000-04-04 | Three Lc, Inc. | Radiation filter, spectrometer and imager using a micro-mirror array |
JP2005037441A (ja) * | 2003-07-15 | 2005-02-10 | Tdk Corp | 空間光変調器 |
JP2005514615A (ja) * | 2001-12-27 | 2005-05-19 | カペラ フォトニクス インコーポレイテッド | 時分割多重検出方式を採用する光学的スペクトルパワーモニタ |
US20060285109A1 (en) * | 2005-06-20 | 2006-12-21 | Odhner Jefferson E | Compact spectrometer |
JP2007093414A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Photon Design:Kk | 分光装置 |
US20090262346A1 (en) * | 2008-04-18 | 2009-10-22 | Franuhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.V. | Optical apparatus of a stacked design, and method of producing same |
JP2015148485A (ja) * | 2014-02-05 | 2015-08-20 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光器、及び分光器の製造方法 |
-
2016
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3734588A1 (de) * | 1987-10-13 | 1989-04-27 | Schmidt Werner Dr Rer Nat Habi | Registrierendes photometer hoher anpassungsfaehigkeit |
JPH06207853A (ja) * | 1991-12-20 | 1994-07-26 | Texas Instr Inc <Ti> | 分光計及び光の分析方法 |
US6046808A (en) * | 1999-04-09 | 2000-04-04 | Three Lc, Inc. | Radiation filter, spectrometer and imager using a micro-mirror array |
JP2005514615A (ja) * | 2001-12-27 | 2005-05-19 | カペラ フォトニクス インコーポレイテッド | 時分割多重検出方式を採用する光学的スペクトルパワーモニタ |
JP2005037441A (ja) * | 2003-07-15 | 2005-02-10 | Tdk Corp | 空間光変調器 |
US20060285109A1 (en) * | 2005-06-20 | 2006-12-21 | Odhner Jefferson E | Compact spectrometer |
JP2007093414A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Photon Design:Kk | 分光装置 |
US20090262346A1 (en) * | 2008-04-18 | 2009-10-22 | Franuhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.V. | Optical apparatus of a stacked design, and method of producing same |
JP2015148485A (ja) * | 2014-02-05 | 2015-08-20 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光器、及び分光器の製造方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11060909B2 (en) | 2017-01-20 | 2021-07-13 | Ricoh Company, Ltd. | Spectrometer, analysis equipment, and wavelength-variable light source |
JP2020003235A (ja) * | 2018-06-25 | 2020-01-09 | 株式会社リコー | 支持枠、分光器、分光分析ユニット、及び画像形成装置 |
JP7024624B2 (ja) | 2018-06-25 | 2022-02-24 | 株式会社リコー | 支持枠、分光器、分光分析ユニット、及び画像形成装置 |
US12085727B2 (en) | 2021-08-11 | 2024-09-10 | Disco Corporation | Light irradiation apparatus |
WO2023191575A1 (ko) * | 2022-04-01 | 2023-10-05 | 한국과학기술원 | 단일 픽셀 마이크로 분광기 및 이의 제조방법 |
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