JP6804282B2 - 振動子駆動装置及び振動発生装置 - Google Patents
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 33
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 28
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 13
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 12
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 10
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 3
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 55
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 28
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 7
- 102220475756 Probable ATP-dependent RNA helicase DDX6_S30A_mutation Human genes 0.000 description 6
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 3
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
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- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Description
駆動電圧発生部10は、トランスTRを介して振動子VTに供給される交流の駆動電圧Vo1を発生する。駆動電圧発生部10は、制御部30の制御に従って、駆動電圧Vo1の周波数と振幅を調節する。
図2の例において、矩形波発生回路11は、制御部30から出力されるPWM信号S30Aを平均化して直流電圧を生成するローパスフィルタ111と、ローパスフィルタ111において生成された直流電圧をスイッチングして矩形波S11を生成するスイッチ回路112を含む。
バンドパスフィルタ13は、波形変換回路12において発生した三角波S12から高調波成分を除去した正弦波S13を出力する。矩形波S11(三角波S12)の周波数の変化範囲が高調波に比べて十分に小さい場合、バンドパスフィルタ13の通過帯域は一定でよい。バンドパスフィルタ13は、例えば、縦続接続された複数段のバンドパスフィルタによって構成される。
図3の例において、スイッチングアンプ15は、それぞれハイレベルとローレベルの電圧を切り替えて出力する第1アンプ部A1及び第2アンプ部A2と、三角波発生器153とを有する。
トランスTRの一次コイルL1は、フィルタ16から出力される正弦波状の駆動電圧Vo1を入力する。トランスTRの二次コイルL2は、駆動電圧Vo1に対して昇圧された駆動電圧Vo2を発生する。この駆動電圧Vo2が、振動子VTに供給される。
検出部20は、振動子VTに流れる電流を検出する。図1の例において、検出部20は、カレントトランスCTと、シャント抵抗Rsと、電流検出アンプ21と、全波整流回路22と、ローパスフィルタ23を有する。
制御部30は、振動発生装置1の全体的な動作を制御する回路であり、例えばコンピュータを含んで構成される。制御部30は、駆動電圧Vo1の周波数や振幅が変化するように、駆動電圧発生部10を制御する。具体的には、制御部30は、矩形波発生回路11のスイッチ回路112に入力する制御信号S30Aによって、矩形波S11の周波数(周期)を制御し、矩形波発生回路11のローパスフィルタ111に入力するPWM信号S30Aによって、矩形波S11の振幅を制御する。また、制御部30は、レンジ切替回路14の減衰比を切り替えることによって、スイッチングアンプ15に入力する正弦波S14の振幅の範囲を制御する。
本実施形態によれば、第1動作モードにおいて、駆動電圧Vo1の周波数を変化させながら取得した検出部20の検出結果に基づいて、振動子VTに流れる電流Ioが極小値となる反共振周波数faが探索される。第2動作モードでは、駆動電圧Vo1の周波数が、第1動作モードで探索された反共振周波数faに保持される。振動子VTが反共振周波数faで駆動される場合、振動子VTのインピーダンスは、振動子VTの機械的負荷が増大するほど小さくなる。振動子VTのインピーダンスが小さくなると、振動子VTの電圧が一定のままでも、振動子VTに供給される電力が大きくなる。すなわち、定電流制御などを行わなくても、振動子VTの機械的負荷の増大に伴って振動子VTに供給される電力が大きくなる。従って、定電流制御などのフィードバック制御を行わない簡易な構成でありながら、振動子VTの機械的負荷の変化に伴う振幅の変化を効果的に抑制できる。また、反共振周波数faでは、振動子VTの機械的負荷が小さいほど振動子VTのインピーダンスが大きくなるため、機械的負荷が小さい状態における消費電力を低減できる。
電気エネルギーを機械的な振動エネルギーに変換する振動子を駆動する振動子駆動装置であって、前記振動子に供給される交流の駆動電圧を発生する駆動電圧発生部と、前記振動子に流れる電流又は前記振動子に供給される電力を検出する検出部と、前記駆動電圧の周波数が変化するように前記駆動電圧発生部を制御する制御部とを有し、前記制御部は、第1動作モードにおいて、前記駆動電圧の周波数を変化させながら前記検出部の検出結果を取得し、当該取得した検出結果に基づいて、前記振動子に流れる電流又は前記振動子に供給される電力が極小値となる反共振周波数を探索し、第2動作モードにおいて、前記駆動電圧の周波数を前記第1動作モードで探索した前記反共振周波数に保持する、振動子駆動装置。
[付記2]
前記駆動電圧発生部が発生した前記駆動電圧を昇圧して前記振動子に印加するトランスを有する、付記1に記載の振動子駆動装置。
[付記3]
前記駆動電圧発生部から前記トランスの一次コイルへ電流が流れる経路に設けられ、前記反共振周波数より高い周波数において前記振動子の静電容量成分との共振を生じ、当該共振により、前記駆動電圧の周波数の変化に応じた前記振動子の電流の変化を強調するインダクタを有する、付記2に記載の振動子駆動装置。
[付記4]
前記駆動電圧発生部は、スイッチングアンプと、前記スイッチングアンプの出力電圧に含まれるスイッチング成分を除去するフィルタとを含み、前記トランスは、前記フィルタにおいて前記スイッチング成分が除去された前記スイッチングアンプの出力電圧を前記駆動電圧として昇圧し、前記フィルタは、前記スイッチングアンプから前記一次コイルへ電流が流れる経路に設けられた少なくとも1つのチョークを含み、前記チョークが前記インダクタとして働く、付記3に記載の振動子駆動装置。
[付記5]
前記スイッチングアンプは、それぞれハイレベルとローレベルの電圧を切り替えて出力する第1アンプ部及び第2アンプ部を含み、前記フィルタは、前記第1アンプ部の出力から前記一次コイルの一方の端子へ電流が流れる経路に設けられた第1チョークと、前記第2アンプ部の出力から前記一次コイルの他方の端子へ電流が流れる経路に設けられた第2チョークとを含み、前記第1チョーク及び前記第2チョークが前記インダクタとして働く、付記4に記載の振動子駆動装置。
[付記6]
前記駆動電圧発生部は、矩形波を発生する矩形波発生回路と、前記矩形波を三角波に変換する波形変換回路と、前記三角波から正弦波を抽出し、前記スイッチングアンプに入力するバンドパスフィルタとを含み、前記制御部は、前記矩形波発生回路において発生する前記矩形波の周波数を制御する、付記5に記載の振動子駆動装置。
[付記7]
前記制御部は、前記駆動電圧発生部による前記駆動電圧の発生を停止する動作停止モードにおいて前記駆動電圧を発生するように指示する制御信号を入力した場合に前記第1動作モードへ移行し、前記第1動作モードにおいて前記反共振周波数を探索した後で前記第2動作モードに移行し、前記第2動作モードにおいて前記駆動電圧発生部により前記駆動電圧を発生する、付記1乃至付記6の何れか1つに記載の振動子駆動装置。
[付記8]
前記制御部は、前記第1動作モードにおいて、前記反共振周波数が含まれ得る所定の周波数範囲の高周波側から低周波側に向かって前記駆動電圧の周波数を変化させながら、前記検出部において検出される前記電流又は前記電力が低下から上昇へ転じる周波数を探索する、付記1乃至付記7の何れか1つに記載の振動子駆動装置。
[付記9]
電気エネルギーを機械的な振動エネルギーに変換する振動子と、前記振動子を駆動する付記1乃至付記8の何れか1つに記載の振動子駆動装置と、を有する振動発生装置。
Claims (6)
- 電気エネルギーを機械的な振動エネルギーに変換する振動子を駆動する振動子駆動装置であって、
前記振動子に供給される交流の駆動電圧を発生する駆動電圧発生部と、
前記振動子に流れる電流又は前記振動子に供給される電力を検出する検出部と、
前記駆動電圧の周波数が変化するように前記駆動電圧発生部を制御する制御部と、
前記駆動電圧発生部が発生した前記駆動電圧を昇圧して前記振動子に印加するトランスと、
前記駆動電圧発生部から前記トランスの一次コイルへ電流が流れる経路に設けられ、前記反共振周波数より高い周波数において前記振動子の静電容量成分との共振を生じ、当該共振により、前記駆動電圧の周波数の変化に応じた前記振動子の電流の変化を強調するインダクタとを有し、
前記制御部は、
第1動作モードにおいて、前記駆動電圧の周波数を変化させながら前記検出部の検出結果を取得し、当該取得した検出結果に基づいて、前記振動子に流れる電流又は前記振動子に供給される電力が極小値となる反共振周波数を探索し、
第2動作モードにおいて、前記駆動電圧の周波数を前記第1動作モードで探索した前記反共振周波数に保持し、
前記駆動電圧発生部は、
スイッチングアンプと、
前記スイッチングアンプの出力電圧に含まれるスイッチング成分を除去するフィルタとを含み、
前記トランスは、前記フィルタにおいて前記スイッチング成分が除去された前記スイッチングアンプの出力電圧を前記駆動電圧として昇圧し、
前記フィルタは、前記スイッチングアンプから前記一次コイルへ電流が流れる経路に設けられた少なくとも1つのチョークを含み、
前記チョークが前記インダクタとして働く、
振動子駆動装置。 - 前記スイッチングアンプは、それぞれハイレベルとローレベルの電圧を切り替えて出力する第1アンプ部及び第2アンプ部を含み、
前記フィルタは、
前記第1アンプ部の出力から前記一次コイルの一方の端子へ電流が流れる経路に設けられた第1チョークと、
前記第2アンプ部の出力から前記一次コイルの他方の端子へ電流が流れる経路に設けられた第2チョークとを含み、
前記第1チョーク及び前記第2チョークが前記インダクタとして働く、
請求項1に記載の振動子駆動装置。 - 前記駆動電圧発生部は、
矩形波を発生する矩形波発生回路と、
前記矩形波を三角波に変換する波形変換回路と、
前記三角波から正弦波を抽出し、前記スイッチングアンプに入力するバンドパスフィルタとを含み、
前記制御部は、前記矩形波発生回路において発生する前記矩形波の周波数を制御する、
請求項2に記載の振動子駆動装置。 - 前記制御部は、前記駆動電圧発生部による前記駆動電圧の発生を停止する動作停止モードにおいて前記駆動電圧を発生するように指示する制御信号を入力した場合に前記第1動作モードへ移行し、前記第1動作モードにおいて前記反共振周波数を探索した後で前記第2動作モードに移行し、前記第2動作モードにおいて前記駆動電圧発生部により前記駆動電圧を発生する、
請求項1乃至3の何れか一項に記載の振動子駆動装置。 - 前記制御部は、前記第1動作モードにおいて、前記反共振周波数が含まれ得る所定の周波数範囲の高周波側から低周波側に向かって前記駆動電圧の周波数を変化させながら、前記検出部において検出される前記電流又は前記電力が低下から上昇へ転じる周波数を探索する、
請求項1乃至4の何れか一項に記載の振動子駆動装置。 - 電気エネルギーを機械的な振動エネルギーに変換する振動子と、
前記振動子を駆動する請求項1乃至5の何れか一項に記載の振動子駆動装置と
を有する振動発生装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016238201A JP6804282B2 (ja) | 2016-12-08 | 2016-12-08 | 振動子駆動装置及び振動発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016238201A JP6804282B2 (ja) | 2016-12-08 | 2016-12-08 | 振動子駆動装置及び振動発生装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018094456A JP2018094456A (ja) | 2018-06-21 |
JP6804282B2 true JP6804282B2 (ja) | 2020-12-23 |
Family
ID=62633948
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016238201A Active JP6804282B2 (ja) | 2016-12-08 | 2016-12-08 | 振動子駆動装置及び振動発生装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6804282B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7189702B2 (ja) * | 2018-08-30 | 2022-12-14 | 株式会社ミツトヨ | 焦点距離可変レンズ装置および焦点距離可変レンズ制御方法 |
KR102163992B1 (ko) * | 2019-02-26 | 2020-10-12 | 주식회사 코러스트 | 개별 주파수 필터가 구비된 초음파 생성 장치 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5881470A (ja) * | 1981-11-10 | 1983-05-16 | 東北金属工業株式会社 | 超音波加工機用発振回路 |
JPH09122139A (ja) * | 1995-10-31 | 1997-05-13 | Olympus Optical Co Ltd | 超音波治療装置 |
JP4112199B2 (ja) * | 2001-09-03 | 2008-07-02 | オリンパス株式会社 | 超音波手術装置 |
JP4887652B2 (ja) * | 2005-04-21 | 2012-02-29 | ソニー株式会社 | 噴流発生装置及び電子機器 |
JP2006346558A (ja) * | 2005-06-15 | 2006-12-28 | Sharp Corp | 振動装置および洗濯機 |
JP4572789B2 (ja) * | 2005-09-27 | 2010-11-04 | パナソニック電工株式会社 | 超音波発生装置及び超音波美容装置 |
JP5277010B2 (ja) * | 2009-02-09 | 2013-08-28 | パナソニック株式会社 | 駆動装置 |
-
2016
- 2016-12-08 JP JP2016238201A patent/JP6804282B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018094456A (ja) | 2018-06-21 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190807 |
|
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|
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R250 | Receipt of annual fees |
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