JP6804069B2 - Manufacturing method of substrate processing system, substrate processing equipment and semiconductor equipment - Google Patents

Manufacturing method of substrate processing system, substrate processing equipment and semiconductor equipment Download PDF

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Description

本開示は、基板処理システム、基板処理装置及び半導体装置の製造方法に関する。 The present disclosure relates to a substrate processing system, a substrate processing apparatus, and a method for manufacturing a semiconductor apparatus.

基板処理装置は、例えば搬送手段により処理室内へ基板(以下ウエハともいう)を搬送し、処理室内にて基板に対して所定の処理を行うよう構成されている。基板の搬送時には、例えば搬送手段のトラブルや処理室内外の圧力差で、基板がずれたり、落下したり、破損したりすることがある。 The substrate processing apparatus is configured to convey a substrate (hereinafter, also referred to as a wafer) to a processing chamber by, for example, a conveying means, and perform predetermined processing on the substrate in the processing chamber. When the substrate is transported, the substrate may be displaced, dropped, or damaged due to, for example, a trouble in the transporting means or a pressure difference between the inside and outside of the processing chamber.

従来から、この搬送手段の搬送状況を把握することが行われている(例えば、特許文献１参照)。また、基板の状態を検出する検出手段（例えば、光センサ、マッピングセンサ等のセンサ類）を設け、所定位置での基板の状態が期待値と異なった場合、それを搬送エラーとして検出し、そして、操作画面に搬送エラー状況や搬送エラー発生時の搬送系のモニタ画面を表示している(例えば、特許文献２参照)。但し、搬送エラーが発生したことはわかっても、位置ずれ、落下、破損等の基板の詳細の状態やその状態に至った原因を把握することについては直ちに知ることはできない。 Conventionally, it has been practiced to grasp the transport status of this transport means (see, for example, Patent Document 1). Further, a detection means (for example, sensors such as an optical sensor and a mapping sensor) for detecting the state of the board is provided, and when the state of the board at a predetermined position is different from the expected value, it is detected as a transport error, and then , The monitor screen of the transport system when the transport error status or the transport error occurs is displayed on the operation screen (see, for example, Patent Document 2). However, even if it is known that a transport error has occurred, it is not possible to immediately know the detailed state of the substrate such as misalignment, dropping, and damage, and the cause of the state.

係る状況を解消するには、例えばビデオカメラ等の記録手段を基板処理装置内に設置し、搬送エラーの解析に利用することが考えられる(例えば、特許文献３参照)。しかしながら、単に稼働中の画像データを保存し続けると、搬送エラーの発生時に膨大な量の画像データの中から適切な画像データを選択して表示させることになり、解析に時間を要してしまう。 In order to solve this situation, it is conceivable to install a recording means such as a video camera in the substrate processing apparatus and use it for analysis of transport errors (see, for example, Patent Document 3). However, if you simply keep saving the image data in operation, when a transfer error occurs, you will have to select and display the appropriate image data from the huge amount of image data, which will take time for analysis. ..

特開２０１０−１６１３４６号公報JP-A-2010-161346 特開２０１１−１５５２４４号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2011-155244 特開２０１３−０３０７４７号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2013-030747

本開示の目的は、基板搬送時の画像データと搬送エラー発生時の画像データを用いて解析を行う構成を提供することにある。 An object of the present disclosure is to provide a configuration for performing analysis using image data when a substrate is conveyed and image data when a transfer error occurs.

本開示の一態様によれば、 基板の搬送時に発生するイベントデータ及び搬送エラーが生じたときに発生するアラームデータを取得する第１制御手段と、
基板の搬送動作を第１画像データとして記録しつつ、該基板の搬送動作を該第１画像データよりも解像度が高い第２画像データとして記録する記録手段と、
前記記録手段で記録した第１画像データを前記イベントデータに基づき第１記憶部に記憶させると共に、前記記録手段で記録した第２画像データを前記アラームデータに基づき第２記憶部に記憶させる第２制御手段と、
前記第１画像データと前記第２画像データを少なくとも表示する操作部と、を備え、
前記第２制御手段は、前記第１画像データと前記搬送エラー発生時に記録した前記第２画像データの両方を同じ画面に表示し、前記第１画像データと前記第２画像データの開始再生タイミングを調整することが可能な
技術が提供される。 According to one aspect of the present disclosure, a first control means for acquiring event data generated during transfer of a substrate and alarm data generated when a transfer error occurs, and
A recording means for recording the transfer operation of the substrate as the first image data and recording the transfer operation of the substrate as the second image data having a resolution higher than that of the first image data.
The first image data recorded by the recording means is stored in the first storage unit based on the event data, and the second image data recorded by the recording means is stored in the second storage unit based on the alarm data. Control means and
It includes the first image data and an operation unit that displays at least the second image data.
The second control means displays both the first image data and the second image data recorded when the transport error occurs on the same screen, and sets the start reproduction timing of the first image data and the second image data. Technology that can be adjusted is provided.

本開示によれば、基板搬送時の画像データと搬送エラー発生時の画像データをそれぞれ用いて搬送エラーの異常解析を行うことができる。 According to the present disclosure, it is possible to perform an abnormality analysis of a transfer error by using the image data at the time of substrate transfer and the image data at the time of occurrence of a transfer error.

本開示の第一実施形態で好適に用いられる収容室の斜透視図である。It is an oblique perspective view of a containment chamber preferably used in the first embodiment of the present disclosure. 本開示の第一実施形態で好適に用いられる基板処理装置の横断面図である。It is a cross-sectional view of the substrate processing apparatus preferably used in the 1st Embodiment of this disclosure. 本開示の一実施形態で好適に用いられる基板処理装置の縦型処理炉の概略構成図であり、処理炉部分の縦断面図である。It is a schematic block diagram of the vertical processing furnace of the substrate processing apparatus preferably used in one Embodiment of this disclosure, and is the vertical sectional view of the processing furnace part. 本開示の一実施形態で好適に用いられる基板処理装置のコントローラの概略構成図であり、コントローラの制御系をブロック図で示す図である。It is a schematic block diagram of the controller of the substrate processing apparatus preferably used in one Embodiment of this disclosure, and is the figure which shows the control system of the controller by the block diagram. 本開示の一実施形態で好適に用いられるコントローラのシステム構成を示す図である。It is a figure which shows the system configuration of the controller which is preferably used in one Embodiment of this disclosure. 本開示の一実施形態で好適に用いられる記録手段で記録した画像データを処理する監視コントローラで実行されるプログラム構成を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the program structure executed by the monitoring controller which processes the image data recorded by the recording means preferably used in one Embodiment of this disclosure. 本開示の一実施形態で好適に用いられる記録手段で記録した画像データを説明する図である。It is a figure explaining the image data recorded by the recording means preferably used in one Embodiment of this disclosure. ＭＪＰＥＧ形式について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the MJPEG format. Ｈ．２６４形式について説明するための図である。H. It is a figure for demonstrating the 264 format. （Ａ）は、Ｈ．２６４形式について説明するための図であって、（Ｂ）は、Ｈ．２６５形式について説明するための図である。(A) is H. It is a figure for demonstrating the 264 format, (B) is H. It is a figure for demonstrating the 265 format. （Ａ）及び（Ｂ）は、ＭＪＰＥＧ形式のファイル保存について説明するための図である。(A) and (B) are diagrams for explaining file storage in MJPEG format. アラーム録画のコマ送り再生を説明するための図である。It is a figure for demonstrating frame-by-frame reproduction of an alarm recording. 本開示の一実施形態で好適に用いられる記録手段を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the recording means preferably used in one Embodiment of this disclosure. 本開示の一実施形態で好適に用いられる記録手段を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the recording means preferably used in one Embodiment of this disclosure. 本開示の一実施形態で好適に用いられる画像監視プログラムのフローを説明する図である。It is a figure explaining the flow of the image surveillance program preferably used in one Embodiment of this disclosure. 本開示の一実施形態で好適に用いられるイベント頭出し機能の図示例である。It is an illustration of the event cueing function preferably used in one embodiment of the present disclosure. 本開示の一実施形態で好適に用いられる画像監視プログラムフローの要部を説明する図である。It is a figure explaining the main part of the image surveillance program flow preferably used in one Embodiment of this disclosure. 本開示の一実施形態で好適に用いられる比較画面表示機能を説明するシーケンスである。It is a sequence explaining the comparison screen display function preferably used in one embodiment of the present disclosure. 本開示の一実施形態で好適に用いられる装置コントローラの操作画面の図示例である。It is an illustration of the operation screen of the apparatus controller preferably used in one Embodiment of this disclosure. 本開示の一実施形態で好適に用いられるアラームＩＤ検索画面表示の図示例である。This is an illustrated example of an alarm ID search screen display preferably used in one embodiment of the present disclosure. 本開示の一実施形態で好適に用いられる比較画面表示の図示例である。This is an illustrated example of a comparison screen display preferably used in one embodiment of the present disclosure. 本開示の一実施形態で好適に用いられる比較画面表示の図示例である。This is an illustrated example of a comparison screen display preferably used in one embodiment of the present disclosure.

以下、本開示の第１の実施形態について、図１〜図３を用いて説明する。 Hereinafter, the first embodiment of the present disclosure will be described with reference to FIGS. 1 to 3.

（１）基板処理装置の構成
図１に示すように、本実施形態において、基板処理装置４は、ＩＣの製造方法における熱処理工程を実施する縦型熱処理装置（バッチ式縦型熱処理装置）として構成されている。なお、本開示が適用される縦型熱処理装置では、基板としてのウエハＷを搬送するキャリアとしてＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ：以下、ポッドという。）２０が使用されている。基板処理装置４は後述する処理炉８、収容室１２、搬送室１６を備える。 (1) Configuration of Substrate Processing Device As shown in FIG. 1, in the present embodiment, the substrate processing device 4 is configured as a vertical heat treatment device (batch type vertical heat treatment device) for performing a heat treatment step in the IC manufacturing method. Has been done. In the vertical heat treatment apparatus to which the present disclosure is applied, FOUP (Front Opening Unified Pod: hereinafter referred to as a pod) 20 is used as a carrier for conveying the wafer W as a substrate. The substrate processing device 4 includes a processing furnace 8, a storage chamber 12, and a transport chamber 16, which will be described later.

（収容室）
基板処理装置４の筐体内前側には、ポッド２０を装置内に搬入し、収納する収容室１２が配置されている。収容室１２の筐体前側には、ポッド２０を収容室１２に対して搬入搬出するための開口である搬入出口２２Ａが収容室１２の筐体内外を連通するように開設されている。搬入出口２２Ａはフロントシャッタによって開閉されるように構成されていても良い。搬入出口２２Ａの筐体内側にはロードポート（ポッド載置装置）としてのＡＧＶポート（Ｉ／Ｏステージ）２２が設けられている。収容室１２と搬送室１６との間の壁面には、移載ポート４２が設置されている。ポッド２０はＡＧＶポート２２上に基板処理装置４外にある工程内搬送装置（工程間搬送装置）によって基板処理装置４内に搬入され、かつまた、ＡＧＶポート２２上から搬出される。 (Accommodation room)
On the front side of the substrate processing apparatus 4 inside the housing, a storage chamber 12 for carrying the pod 20 into the apparatus and storing the pod 20 is arranged. On the front side of the housing of the storage chamber 12, a carry-in / exit 22A, which is an opening for carrying in / out the pod 20 to the storage chamber 12, is provided so as to communicate with the inside and outside of the housing of the storage chamber 12. The carry-in outlet 22A may be configured to be opened and closed by a front shutter. An AGV port (I / O stage) 22 as a load port (pod mounting device) is provided inside the housing of the carry-in outlet 22A. A transfer port 42 is installed on the wall surface between the accommodation chamber 12 and the transport chamber 16. The pod 20 is carried into the substrate processing device 4 by an in-process transfer device (inter-process transfer device) outside the substrate processing device 4 on the AGV port 22, and is also carried out from the AGV port 22.

収容室１２の筐体内前方のＡＧＶポート２２上方には、ポッド２０を収納する収納棚（ポッド棚）３０Ａが上下２段に設置されている。また、収容室１２の筐体内後方には、ポッド２０を収納する収納棚（ポッド棚）３０Ｂがマトリクス状に設置されている。 A storage shelf (pod shelf) 30A for storing the pod 20 is installed in two upper and lower stages above the AGV port 22 in the front of the housing of the storage chamber 12. Further, a storage shelf (pod shelf) 30B for storing the pod 20 is installed in a matrix behind the inside of the housing of the storage chamber 12.

筐体前方の上段の収納棚３０Ａと水平方向の同一直線状には、ロードポートとしてのＯＨＴポート３２が左右に並んで設置されている。ポッド２０は、基板処理装置４外にある工程内搬送装置（工程間搬送装置）によって基板処理装置４の上方からＯＨＴポート３２上に搬入され、かつまた、ＯＨＴポート３２上から搬出される。ＡＧＶポート２２、収納棚３０ＡおよびＯＨＴポート３２は、水平駆動機構２６によってポッド２０を載置位置と受渡し位置とに水平移動可能なように構成されている。以後、ＡＧＶポート２２を第１ロードポート、ＯＨＴポート３２を第２ロードポートという場合がある。 OHT ports 32 as load ports are installed side by side in the same straight line in the horizontal direction as the upper storage shelf 30A in front of the housing. The pod 20 is carried into the OHT port 32 from above the substrate processing device 4 by an in-process transfer device (inter-process transfer device) outside the substrate processing device 4, and is also carried out from the OHT port 32. The AGV port 22, the storage shelf 30A, and the OHT port 32 are configured so that the pod 20 can be horizontally moved between the mounting position and the delivery position by the horizontal drive mechanism 26. Hereinafter, the AGV port 22 may be referred to as a first load port, and the OHT port 32 may be referred to as a second load port.

図２に示すように、収容室１２の筐体内の前側の収納棚３０Ａと後側の収納棚３０Ｂとの間の空間はポッド搬送領域１４を形成しており、このポッド搬送領域１４でポッド２０の受渡しおよび搬送が行われる。ポッド搬送領域１４の天井部（収容室１２の天井部）にはポッド搬送装置としてのポッド搬送機構４０の走行路としてのレール機構４０Ａが形成されている。ここで、受渡し位置はポッド搬送領域１４内に位置し、例えば、ポッド搬送機構４０の真下の位置のことである。 As shown in FIG. 2, the space between the front storage shelf 30A and the rear storage shelf 30B in the housing of the storage chamber 12 forms a pod transport area 14, and the pod 20 is formed in the pod transport area 14. Is delivered and transported. A rail mechanism 40A as a traveling path of the pod transport mechanism 40 as a pod transport device is formed on the ceiling portion of the pod transport region 14 (ceiling portion of the accommodation chamber 12). Here, the delivery position is located in the pod transport area 14, and is, for example, a position directly below the pod transport mechanism 40.

ポッド２０を搬送するポッド搬送機構４０は走行路を走行する走行部４０Ｂと、ポッド２４を保持する保持部４０Ｃと、保持部４０Ｃを垂直方向に昇降させる昇降部４０Ｄを備える。走行部４０Ｂを駆動させるモータのエンコーダを検出することにより、走行路４０Ｂ中の位置を検知することができ、任意の位置に走行部４０Ｂを移動させることができる。 The pod transport mechanism 40 that transports the pod 20 includes a traveling portion 40B that travels on the traveling road, a holding portion 40C that holds the pod 24, and an elevating portion 40D that raises and lowers the holding portion 40C in the vertical direction. By detecting the encoder of the motor that drives the traveling unit 40B, the position in the traveling path 40B can be detected, and the traveling unit 40B can be moved to an arbitrary position.

（搬送室）
収容室１２の後方に隣接して搬送室１６が構成されている。収容室１２の搬送室１６側には、ウエハＷを搬送室１６に対して搬入出するためのウエハ搬入出口が水平方向に複数並べられて開設されており、各ウエハ搬入出口に対して移載ポート４２がそれぞれ設置されている。移載ポート４２では、ポッド２０を載置する載置台４２Ｂを水平移動させてウエハ搬入出口に押し当て、図示しない蓋開閉機構（蓋開閉装置）としてのＦＩＭＳ(Ｆｒｏｎｔ−Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ Ｓｔａｎｄａｒｄ)オープナによりポッド２０の蓋が展開される。ポッド２０の蓋が展開されると、基板移載装置としての基板移載機８６によって、ポッド２０内外へのウエハＷの搬送が行われる。 (Transport room)
A transport chamber 16 is configured adjacent to the rear of the containment chamber 12. A plurality of wafer loading / unloading outlets for loading / unloading the wafer W to / from the transport chamber 16 are provided horizontally arranged on the transport chamber 16 side of the storage chamber 12, and are transferred to each wafer loading / unloading port. Each port 42 is installed. At the transfer port 42, the mounting table 42B on which the pod 20 is mounted is horizontally moved and pressed against the wafer loading / unloading port, and the pod is operated by a FIMS (Front-Opening Interface Standard) opener as a lid opening / closing mechanism (lid opening / closing device) (not shown). Twenty lids are unfolded. When the lid of the pod 20 is unfolded, the wafer W is transferred into and out of the pod 20 by the substrate transfer machine 86 as a substrate transfer device.

（処理炉）
搬送室１６の上方には処理炉８が設けられている。図３に示すように、処理炉８は加熱手段（加熱機構）としてのヒータ４６を有する。ヒータ４６は円筒形状であり、保持板としてのヒータベース（図示せず）に支持されることにより垂直に据え付けられている。ヒータ４６は、後述するようにガスを熱で活性化（励起）させる活性化機構（励起部）としても機能する。 (Processing furnace)
A processing furnace 8 is provided above the transfer chamber 16. As shown in FIG. 3, the processing furnace 8 has a heater 46 as a heating means (heating mechanism). The heater 46 has a cylindrical shape and is vertically installed by being supported by a heater base (not shown) as a holding plate. The heater 46 also functions as an activation mechanism (excitation portion) for activating (exciting) the gas with heat as described later.

ヒータ４６の内側には、ヒータ４６と同心円状に反応容器（処理容器）を構成する反応管５０が配設されている。反応管５０は、例えば石英（ＳｉＯ2）または炭化シリコン（ＳｉＣ）等の耐熱性材料で構成され、上端が閉塞し下端が開口した円筒形状に形成されている。反応管５０の筒中空部には、処理室５４が形成されている。処理室５４は、基板としてのウエハＷを後述するボート５８によって水平姿勢で垂直方向に多段に整列した状態で収容可能に構成されている。 Inside the heater 46, a reaction tube 50 constituting a reaction vessel (processing vessel) is arranged concentrically with the heater 46. The reaction tube 50 is made of a heat-resistant material such as quartz (SiO 2 ) or silicon carbide (SiC), and is formed in a cylindrical shape with the upper end closed and the lower end open. A processing chamber 54 is formed in the hollow portion of the reaction tube 50. The processing chamber 54 is configured so that the wafer W as a substrate can be accommodated in a state of being arranged in multiple stages in the vertical direction in a horizontal posture by a boat 58 described later.

処理室５４には、ノズル６０が、反応管５０の下部を貫通するように設けられている。ノズル６０は、例えば石英またはＳｉＣ等の耐熱性材料からなる。ノズル６０には、ガス供給管６２ａ及びガス供給管６２ｃが接続されている。ガス供給管６２ａ，６２ｃには、それぞれ上流方向から順に、流量制御器（流量制御部）であるマスフローコントローラ（ＭＦＣ）６４ａ，６４ｃおよび開閉弁であるバルブ６６ａ，６６ｃが設けられている。ガス供給管６２ａ，６２ｃのバルブ６６ａ，６６ｃよりも下流側には、それぞれ不活性ガスを供給するガス供給管６２ｂ，６２ｄが接続されている。ガス供給管６２ｂ，６２ｄには、それぞれ上流方向から順に、ＭＦＣ６４ｂ，６４ｄおよびバルブ６６ｂ，６６ｄが設けられている。主に、ガス供給管６２ａ、ＭＦＣ６４ａ、バルブ６６ａにより、処理ガス供給系である処理ガス供給部が構成される。また、ガス供給管６２ｃ、ＭＦＣ６４ｃ、バルブ６６ｃにより、反応ガス供給系である反応ガス供給部が構成される。また、ガス供給管６２ｂ，６２ｄ、ＭＦＣ６４ｂ，６４ｄ、バルブ６６ｂ，６６ｄにより、不活性ガス供給系である不活性ガス供給部が構成される。 The processing chamber 54 is provided with a nozzle 60 so as to penetrate the lower part of the reaction tube 50. The nozzle 60 is made of a heat resistant material such as quartz or SiC. A gas supply pipe 62a and a gas supply pipe 62c are connected to the nozzle 60. The gas supply pipes 62a and 62c are provided with mass flow controllers (MFCs) 64a and 64c which are flow rate controllers (flow control units) and valves 66a and 66c which are on-off valves, respectively, in order from the upstream direction. Gas supply pipes 62b and 62d for supplying the inert gas are connected to the downstream side of the gas supply pipes 62a and 62c with respect to the valves 66a and 66c, respectively. The gas supply pipes 62b and 62d are provided with MFCs 64b and 64d and valves 66b and 66d in order from the upstream direction, respectively. The processing gas supply unit, which is a processing gas supply system, is mainly composed of the gas supply pipe 62a, the MFC64a, and the valve 66a. Further, the gas supply pipe 62c, the MFC 64c, and the valve 66c form a reaction gas supply unit which is a reaction gas supply system. Further, the gas supply pipes 62b, 62d, MFC64b, 64d, and valves 66b, 66d constitute an inert gas supply unit which is an inert gas supply system.

ノズル６０は、反応管５０の内壁とウエハＷとの間における円環状の空間に、反応管５０の内壁の下部より上部に沿って、ウエハＷの配列方向上方に向かって立ち上がるように設けられている。すなわち、ノズル６０は、ウエハＷが配列されるウエハ配列領域の側方の、ウエハ配列領域を水平に取り囲む領域に、ウエハ配列領域に沿うように設けられている。ノズル６０は、Ｌ字型のロングノズルとして構成されており、その水平部は反応管５０の下部側壁を貫通するように設けられており、その垂直部は少なくともウエハ配列領域の一端側から他端側に向かって立ち上がるように設けられている。ノズル６０の側面には、ガスを供給するガス供給孔６０Ａが設けられている。ガス供給孔６０Ａは、反応管５０の中心を向くようにそれぞれ開口しており、ウエハＷに向けてガスを供給することが可能となっている。ガス供給孔６０Ａは、反応管５０の下部から上部にわたって複数設けられ、それぞれが同一の開口面積を有し、更に同じ開口ピッチで設けられている。 The nozzle 60 is provided in the annular space between the inner wall of the reaction tube 50 and the wafer W so as to rise upward in the arrangement direction of the wafer W along the upper part from the lower part of the inner wall of the reaction tube 50. There is. That is, the nozzle 60 is provided along the wafer arrangement region in the region horizontally surrounding the wafer arrangement region on the side of the wafer arrangement region in which the wafer W is arranged. The nozzle 60 is configured as an L-shaped long nozzle, its horizontal portion is provided so as to penetrate the lower side wall of the reaction tube 50, and its vertical portion is at least one end side to the other end of the wafer arrangement region. It is provided so that it stands up toward the side. A gas supply hole 60A for supplying gas is provided on the side surface of the nozzle 60. The gas supply holes 60A are opened so as to face the center of the reaction tube 50, and gas can be supplied toward the wafer W. A plurality of gas supply holes 60A are provided from the lower part to the upper part of the reaction tube 50, each having the same opening area, and further provided with the same opening pitch.

反応管５０には、処理室５４の雰囲気を排気する排気管６８が設けられている。排気管６８には、処理室５４の圧力を検出する圧力検出器（圧力検出部）としての圧力センサ７０および圧力調整器（圧力調整部）としてのＡＰＣ（Ａｕｔｏ Ｐｒｅｓｓｕｒｅ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）バルブ７２を介して、真空排気装置としての真空ポンプ７４が接続されている。ＡＰＣバルブ７２は、真空ポンプ７４を作動させた状態で弁を開閉することで、処理室５４の真空排気および真空排気停止を行うことができ、更に、真空ポンプ７４を作動させた状態で、圧力センサ７０により検出された圧力情報に基づいて弁開度を調節することで、処理室５４の圧力を調整することができるように構成されているバルブである。主に、排気管６８、ＡＰＣバルブ７２、圧力センサ７０により、排気系が構成される。真空ポンプ７４を排気系に含めて考えてもよい。 The reaction pipe 50 is provided with an exhaust pipe 68 for exhausting the atmosphere of the processing chamber 54. The exhaust pipe 68 is provided with a pressure sensor 70 as a pressure detector (pressure detector) for detecting the pressure in the processing chamber 54 and an APC (Auto Pressure Controller) valve 72 as a pressure regulator (pressure regulator). A vacuum pump 74 as a vacuum exhaust device is connected. The APC valve 72 can perform vacuum exhaust and vacuum exhaust stop of the processing chamber 54 by opening and closing the valve while the vacuum pump 74 is operated, and further, the pressure is increased while the vacuum pump 74 is operated. The valve is configured so that the pressure in the processing chamber 54 can be adjusted by adjusting the valve opening degree based on the pressure information detected by the sensor 70. The exhaust system is mainly composed of an exhaust pipe 68, an APC valve 72, and a pressure sensor 70. The vacuum pump 74 may be included in the exhaust system.

反応管５０には、温度検出器としての温度検出部７６が設置されている。温度検出部７６により検出された温度情報に基づきヒータ４６への通電具合を調整することで、処理室５４の温度が所望の温度分布となるように構成されている。温度検出部７６は、ノズル６０と同様にＬ字型に構成されており、反応管５０の内壁に沿って設けられている。 A temperature detection unit 76 as a temperature detector is installed in the reaction tube 50. By adjusting the degree of energization of the heater 46 based on the temperature information detected by the temperature detection unit 76, the temperature of the processing chamber 54 is configured to have a desired temperature distribution. The temperature detection unit 76 is formed in an L shape like the nozzle 60, and is provided along the inner wall of the reaction tube 50.

反応管５０の下方には、反応管５０の下端開口を気密に閉塞可能な炉口蓋体としてのシールキャップ７８が設けられている。シールキャップ７８は、例えばＳＵＳやステンレス等の金属で構成され、円盤状の部材である。シールキャップ７８の上面には、反応管５０の下端と当接するシール部材としてのＯリング７８Ａが設けられている。また、シールキャップ７８の上面のうち、Ｏリング７８Ａより内側領域にはシールキャップ７８を保護するシールキャッププレート７８Ｂが設置されている。シールキャッププレート７８Ｂは、例えば、石英またはＳｉＣ等の耐熱性材料で構成され、円盤状の部材である。シールキャップ７８は、反応管５０の下端に垂直方向下側から当接されるように構成されている。 Below the reaction tube 50, a seal cap 78 is provided as a furnace palate body capable of airtightly closing the lower end opening of the reaction tube 50. The seal cap 78 is made of a metal such as SUS or stainless steel, and is a disk-shaped member. An O-ring 78A as a sealing member that comes into contact with the lower end of the reaction tube 50 is provided on the upper surface of the seal cap 78. Further, on the upper surface of the seal cap 78, a seal cap plate 78B for protecting the seal cap 78 is installed in a region inside the O-ring 78A. The seal cap plate 78B is made of a heat-resistant material such as quartz or SiC, and is a disk-shaped member. The seal cap 78 is configured to come into contact with the lower end of the reaction tube 50 from below in the vertical direction.

基板支持具（基板支持装置）としてのボート５８は、複数枚、例えば２５〜２００枚のウエハＷを、水平姿勢で、かつ、互いに中心を揃えた状態で垂直方向に整列させて多段に支持するように、すなわち、間隔を空けて配列させるように構成されている。ボート５８は、例えば石英やＳｉＣ等の耐熱性材料からなる。 The boat 58 as a substrate support (board support device) supports a plurality of wafers W, for example, 25 to 200 wafers, in a horizontal position and vertically aligned with each other in a multi-stage manner. That is, they are configured to be arranged at intervals. The boat 58 is made of a heat resistant material such as quartz or SiC.

シールキャップ７８の処理室５４と反対側には、ボート５８を回転させるボート回転装置としての回転機構８０が設置されている。回転機構８０の回転軸８０Ａは、シールキャップ７８を貫通してボート５８に接続されている。回転機構８０は、ボート５８を回転させることでウエハＷを回転させるように構成されている。 On the side of the seal cap 78 opposite to the processing chamber 54, a rotation mechanism 80 as a boat rotation device for rotating the boat 58 is installed. The rotation shaft 80A of the rotation mechanism 80 penetrates the seal cap 78 and is connected to the boat 58. The rotation mechanism 80 is configured to rotate the wafer W by rotating the boat 58.

図４に示すように、制御部（制御手段）である装置コントローラ（第１制御手段）２１０は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）２１２、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）２１４、記憶装置２１６、Ｉ／Ｏポート２１８を備えたコンピュータとして構成されている。ＲＡＭ２１４、記憶装置２１６、Ｉ／Ｏポート２１８は、内部バス２２０を介して、ＣＰＵ２１２とデータ交換可能なように構成されている。装置コントローラ２１０には、例えばタッチパネル等として構成された入出力装置２２２が接続されている。また、装置コントローラ２１０には、ハブ３０９を介して第２制御手段としての監視コントローラ３１０と、記録手段としての撮像装置（以後、カメラという）９１，９２，９３，９４，９５（以後、９１〜９５と略す。）が接続されている。なお、カメラ９１〜９５に関しての詳細は後述する。 As shown in FIG. 4, the device controller (first control means) 210, which is a control unit (control means), includes a CPU (Central Processing Unit) 212, a RAM (Random Access Memory) 214, a storage device 216, and an I / O port. It is configured as a computer with 218. The RAM 214, the storage device 216, and the I / O port 218 are configured so that data can be exchanged with the CPU 212 via the internal bus 220. An input / output device 222 configured as, for example, a touch panel is connected to the device controller 210. Further, the device controller 210 includes a monitoring controller 310 as a second control means and an imaging device (hereinafter referred to as a camera) 91, 92, 93, 94, 95 (hereinafter referred to as a camera) 91, 92, 93, 94, 95 (hereinafter referred to as a camera) as a recording means via a hub 309. (Abbreviated as 95) is connected. The details of the cameras 91 to 95 will be described later.

記憶装置２１６は、例えばフラッシュメモリ、ＨＤＤ（Ｈａｒｄ Ｄｉｓｋ Ｄｒｉｖｅ）等で構成されている。記憶装置２１６内には、基板処理装置の動作を制御する制御プログラムや、後述する基板処理の手順や条件等が記載されたプロセスレシピ等が、読み出し可能に格納されている。プロセスレシピは、後述する基板処理工程における各手順を装置コントローラ２１０に実行させ、所定の結果を得ることが出来るように組み合わされたものであり、プログラムとして機能する。以下、このプロセスレシピや制御プログラム等を総称して、単に、プログラムともいう。本明細書においてプログラムという言葉を用いた場合は、プロセスレシピ単体のみを含む場合、制御プログラム単体のみを含む場合、または、その両方を含む場合がある。ＲＡＭ２１４は、ＣＰＵ２１２によって読み出されたプログラムやデータ等が一時的に保持されるメモリ領域（ワークエリア）として構成されている。 The storage device 216 is composed of, for example, a flash memory, an HDD (Hard Disk Drive), or the like. In the storage device 216, a control program for controlling the operation of the substrate processing apparatus, a process recipe in which the procedures and conditions for substrate processing described later are described, and the like are readablely stored. The process recipes are combined so that the apparatus controller 210 can execute each procedure in the substrate processing step described later and obtain a predetermined result, and functions as a program. Hereinafter, this process recipe, control program, etc. are collectively referred to as a program. When the term program is used in the present specification, it may include only a process recipe alone, a control program alone, or both. The RAM 214 is configured as a memory area (work area) in which programs, data, and the like read by the CPU 212 are temporarily held.

Ｉ／Ｏポート２１８は、上述のＭＦＣ６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄ、バルブ６６ａ，６６ｂ，６６ｃ，６６ｄ、圧力センサ７０、ＡＰＣバルブ７２、ヒータ４６、温度検出部７６、真空ポンプ７４、回転機構８０、ボート昇降装置としてのボートエレベータ８２、ポッド搬送機構４０、センサ（検出器）２５Ｂ，２８Ａ、水平駆動機構２６等に接続されている。 The I / O port 218 includes the above-mentioned MFC64a, 64b, 64c, 64d, valve 66a, 66b, 66c, 66d, pressure sensor 70, APC valve 72, heater 46, temperature detection unit 76, vacuum pump 74, rotation mechanism 80, It is connected to a boat elevator 82 as a boat elevating device, a pod transfer mechanism 40, sensors (detectors) 25B and 28A, a horizontal drive mechanism 26, and the like.

ＣＰＵ２１２は、記憶装置２１６から制御プログラムを読み出して実行すると共に、入出力装置２２２からの操作コマンドの入力等に応じて記憶装置２１６からプロセスレシピを読み出すように構成されている。ＣＰＵ２１２は、読み出したプロセスレシピの内容に沿うように、ＭＦＣ６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄによる各種ガスの流量調整動作、バルブ６６ａ，６６ｂ，６６ｃ，６６ｄの開閉動作、ＡＰＣバルブ７２の開閉動作および圧力センサ７０に基づくＡＰＣバルブ７２による圧力調整動作、真空ポンプ７４の起動および停止、温度検出部７６に基づくヒータ４６の温度調整動作、回転機構８０によるボート５８の回転および回転速度調節動作、ボートエレベータ８２によるボート５８の昇降動作、ポッド搬送機構４０によるポッド搬送動作、センサ２５Ｂ、２８Ａに基づく水平駆動機構２６の駆動動作、ボート５８に対する基板移載機８６による基板搬送動作等を制御するように構成されている。 The CPU 212 is configured to read and execute a control program from the storage device 216 and read a process recipe from the storage device 216 in response to input of an operation command from the input / output device 222 or the like. The CPU 212 adjusts the flow rate of various gases by the MFC 64a, 64b, 64c, 64d, opens and closes the valves 66a, 66b, 66c, 66d, opens and closes the APC valve 72, and pressure sensor according to the contents of the read process recipe. Pressure adjustment operation by APC valve 72 based on 70, start and stop of vacuum pump 74, temperature adjustment operation of heater 46 based on temperature detection unit 76, rotation and rotation speed adjustment operation of boat 58 by rotation mechanism 80, boat elevator 82 It is configured to control the raising and lowering operation of the boat 58, the pod transfer operation by the pod transfer mechanism 40, the drive operation of the horizontal drive mechanism 26 based on the sensors 25B and 28A, the board transfer operation by the board transfer machine 86 for the boat 58, and the like. There is.

装置コントローラ２１０は、外部記憶装置（例えば、磁気テープ、フレキシブルディスクやハードディスク等の磁気ディスク、ＣＤやＤＶＤ等の光ディスク、ＭＯ等の光磁気ディスク、ＵＳＢメモリやメモリカード等の半導体メモリ）２２４に格納された上述のプログラムを、コンピュータにインストールすることにより構成することができる。記憶装置２１６や外部記憶装置２２４は、コンピュータ読み取り可能な記録媒体として構成されている。以下、これらを総称して、単に、記録媒体ともいう。本明細書において記録媒体という言葉を用いた場合は、記憶装置２１６単体のみを含む場合、外部記憶装置２２４単体のみを含む場合、または、その両方を含む場合がある。なお、コンピュータへのプログラムの提供は、外部記憶装置２２４を用いず、インターネットや専用回線等の通信手段を用いて行ってもよい。 The device controller 210 is stored in an external storage device (for example, magnetic tape, magnetic disk such as flexible disk or hard disk, optical disk such as CD or DVD, magneto-optical disk such as MO, semiconductor memory such as USB memory or memory card) 224. The above-mentioned program described above can be configured by installing it on a computer. The storage device 216 and the external storage device 224 are configured as a computer-readable recording medium. Hereinafter, these are collectively referred to simply as a recording medium. When the term recording medium is used in the present specification, it may include only the storage device 216 alone, it may include only the external storage device 224 alone, or it may include both of them. The program may be provided to the computer by using a communication means such as the Internet or a dedicated line without using the external storage device 224.

次に、上述の基板処理装置４を用いたポッド２０の搬送について説明する。 Next, the transfer of the pod 20 using the above-mentioned substrate processing device 4 will be described.

(キャリアロード工程：Ｓ１０)
ポッド２０がＡＧＶポート２２またはＯＨＴポート３２に供給されると、ＡＧＶポート２２またはＯＨＴポート３２の上のポッド２０は基板処理装置４内部へ搬入される。搬入されたポッド２０は収納棚３０の指定されたステージ２５へポッド搬送機構４０によって自動的に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、収納棚３０から一方の移載ポート４２に搬送されて受け渡されるか、もしくは直接移載ポート４２に搬送される。 (Carrier loading process: S10)
When the pod 20 is supplied to the AGV port 22 or the OHT port 32, the pod 20 on the AGV port 22 or the OHT port 32 is carried into the substrate processing apparatus 4. The carried-in pod 20 is automatically transported to the designated stage 25 of the storage shelf 30 by the pod transfer mechanism 40 and delivered, and after being temporarily stored, the pod 20 is temporarily stored and then transferred from the storage shelf 30 to one of the transfer ports 42. It is transported and delivered, or directly transported to the transfer port 42.

走行部４０Ｂを制御し、ポッド搬送機構４０を搬送対象であるポッド２０が載置されているＡＧＶポート２２のステージ２５の受渡し位置上方に移動させる。ここで、受渡し位置上方とは、ポッド搬送機構４０が昇降部４０Ｄにより保持部４０Ｃを下降してポッド２０を保持できる位置、すなわち、ポッド２０の真上に保持部４０Ｃがある位置である。 The traveling unit 40B is controlled, and the pod transfer mechanism 40 is moved above the delivery position of the stage 25 of the AGV port 22 on which the pod 20 to be transferred is placed. Here, the upper part of the delivery position is a position where the pod transport mechanism 40 can lower the holding portion 40C by the elevating portion 40D to hold the pod 20, that is, a position where the holding portion 40C is directly above the pod 20.

ポッド搬送機構４０が受渡し位置上方に待機していることを確認し、搬出対象であるポッド２０が載置されているＡＧＶポート２２のステージ２５を受渡し位置まで水平移動（スライド）させる。ここで、ＡＧＶポート２２のスライド動作とポッド搬送機構４０との駆動は同時に行っても良い。 After confirming that the pod transfer mechanism 40 is waiting above the delivery position, the stage 25 of the AGV port 22 on which the pod 20 to be carried out is placed is horizontally moved (sliding) to the delivery position. Here, the sliding operation of the AGV port 22 and the driving of the pod transfer mechanism 40 may be performed at the same time.

センサ２８Ａにより、ステージ２５が受渡し位置までスライドされたことを確認した後、昇降部４０Ｄを制御し、ポッド２０を保持できる位置まで保持部４０Ｃを降下させ、保持部４０Ｃを制御しポッド２０を保持する。保持部４０Ｃがポッド２０を保持したことを確認し、昇降部４０Ｄを制御し保持部４０Ｃを上昇させる。 After confirming that the stage 25 has been slid to the delivery position by the sensor 28A, the elevating part 40D is controlled, the holding part 40C is lowered to a position where the pod 20 can be held, and the holding part 40C is controlled to hold the pod 20. To do. After confirming that the holding portion 40C holds the pod 20, the elevating portion 40D is controlled to raise the holding portion 40C.

ステージ２５のセンサ２５Ｂにより、ポッド２０がステージ２５上に載置されていないことを確認した後、ステージ２５を載置位置までスライドさせる。センサ２８Ａにより、ステージ２５が載置位置に戻ったことを確認した後、ポッド搬送機構４０を受渡し対象の移載ポート４２または収納棚３０の受渡し位置上方に移動させる。 After confirming that the pod 20 is not mounted on the stage 25 by the sensor 25B of the stage 25, the stage 25 is slid to the mounting position. After confirming that the stage 25 has returned to the mounting position by the sensor 28A, the pod transfer mechanism 40 is moved above the delivery position of the transfer port 42 or the storage shelf 30 to be delivered.

移載ポート４２に搬送する場合、移載ポート４２の載置部上方にポッド搬送機構４０が移動した後、昇降部４０Ｄを制御し、保持部４０Ｃを降下させ、移載ポート４２の載置部にポッド２０を載置する。移載ポート４２の載置部はポッド搬送機構４０の真下に位置しており、受渡しのために水平移動させる必要はない。 When transporting to the transfer port 42, after the pod transport mechanism 40 moves above the mounting portion of the transfer port 42, the elevating portion 40D is controlled, the holding portion 40C is lowered, and the mounting portion of the transfer port 42 Place the pod 20 on the. The mounting portion of the transfer port 42 is located directly below the pod transfer mechanism 40, and does not need to be moved horizontally for delivery.

収納棚３０に搬送する場合、搬送先の収納棚３０のステージ２５を受渡し位置まで水平移動（スライド）させ、センサ２８Ａにより、ステージ２５が受渡し位置までスライドされたことを確認した後、昇降部４０Ｄを制御し、保持部４０Ｃを降下させ、ステージ２５にポッド２０を載置する。ここで、収納棚３０のステージ２５のスライド動作とポッド搬送機構４０との駆動は同時に行っても良い。 When transporting to the storage shelf 30, the stage 25 of the storage shelf 30 at the transport destination is horizontally moved (sliding) to the delivery position, and after confirming that the stage 25 has been slid to the delivery position by the sensor 28A, the elevating part 40D The holding unit 40C is lowered, and the pod 20 is placed on the stage 25. Here, the sliding operation of the stage 25 of the storage shelf 30 and the driving of the pod transfer mechanism 40 may be performed at the same time.

（蓋展開工程：Ｓ１１）
ポッド２０が、移載ポート４２の載置部に載置されると蓋開閉機構としてのＦＩＭＳオープナによりポッド２０の蓋が開けられる。 (Lid unfolding process: S11)
When the pod 20 is placed on the mounting portion of the transfer port 42, the lid of the pod 20 is opened by the FIMS opener as a lid opening / closing mechanism.

（ウエハチャージ工程：Ｓ１２）
ポッド２０の蓋が開けられると、ポッド２０内の複数枚のウエハＷが基板移載機８６によって、ボート５８に装填（ウエハチャージ）される。 (Wafer charging process: S12)
When the lid of the pod 20 is opened, a plurality of wafers W in the pod 20 are loaded (wafer charged) into the boat 58 by the substrate transfer machine 86.

（ボートロード工程：Ｓ１３）
複数枚のウエハＷがボート５８に装填されると、ボート５８は、ボートエレベータ８２によって処理室５４に搬入（ボートロード）される。このとき、シールキャップ７８は、Ｏリング７８Ａを介して反応管５０の下端を気密に閉塞（シール）した状態となる。 (Boat load process: S13)
When a plurality of wafers W are loaded into the boat 58, the boat 58 is carried into the processing chamber 54 (boat load) by the boat elevator 82. At this time, the seal cap 78 is in a state of airtightly closing (sealing) the lower end of the reaction tube 50 via the O-ring 78A.

次に、上述の基板処理装置４を用い、半導体装置（デバイス）の製造工程の一工程として、基板上に膜を形成する処理（以下、成膜処理ともいう）のシーケンス例について説明する。ここでは、基板としてのウエハＷに対して、第１の処理ガス（原料ガス）と第２の処理ガス（反応ガス）とを交互に供給することで、ウエハＷ上に膜を形成する例について説明する。 Next, a sequence example of a process of forming a film on a substrate (hereinafter, also referred to as a film forming process) as one step of a manufacturing process of a semiconductor device (device) using the above-mentioned substrate processing device 4 will be described. Here, an example of forming a film on the wafer W by alternately supplying a first processing gas (raw material gas) and a second processing gas (reaction gas) to the wafer W as a substrate. explain.

以下、原料ガスとしてヘキサクロロジシラン（Ｓｉ2Ｃｌ6、略称：ＨＣＤＳ）ガスを用い、反応ガスとしてアンモニア（ＮＨ3）ガスを用い、ウエハＷ上にシリコン窒化膜（Ｓｉ3Ｎ4膜、以下、ＳｉＮ膜ともいう）を形成する例について説明する。なお、以下の説明において、基板処理装置４を構成する各部の動作は装置コントローラ２１０により制御される。 Hereinafter, hexachlorodisilane (Si 2 Cl 6 , abbreviated as HCDS) gas is used as the raw material gas, ammonia (NH 3 ) gas is used as the reaction gas, and a silicon nitride film (Si 3 N 4 film, hereinafter Si N) is used on the wafer W. An example of forming a film) will be described. In the following description, the operation of each part constituting the substrate processing device 4 is controlled by the device controller 210.

本実施形態における成膜処理では、処理室５４のウエハＷに対してＨＣＤＳガスを供給する工程と、処理室５４からＨＣＤＳガス（残留ガス）を除去する工程と、処理室５４のウエハＷに対してＮＨ3ガスを供給する工程と、処理室５４からＮＨ3ガス（残留ガス）を除去する工程と、を非同時に行うサイクルを所定回数（１回以上）行うことで、ウエハＷ上にＳｉＮ膜を形成する。 In the film forming process in the present embodiment, a step of supplying HCDS gas to the wafer W of the processing chamber 54, a step of removing HCDS gas (residual gas) from the processing chamber 54, and a step of removing the HCDS gas (residual gas) from the processing chamber 54 and the wafer W of the processing chamber 54 a step of supplying NH 3 gas Te, the processing chamber and removing the NH 3 gas (residual gas) from 54, the (one or more times) cycle a predetermined number of times of non-simultaneously be in performing, SiN film on the wafer W To form.

また、本明細書において「基板」という言葉を用いた場合も、「ウエハ」という言葉を用いた場合と同義である。 Further, the use of the word "wafer" in the present specification is synonymous with the case of using the word "wafer".

（成膜工程：Ｓ１４）
処理室５４、すなわち、ウエハＷが存在する空間が所定の圧力（真空度）となるように、真空ポンプ７４によって真空排気（減圧排気）される。この際、処理室５４の圧力は、圧力センサ７０で測定され、この測定された圧力情報に基づきＡＰＣバルブ７２が、フィードバック制御される。真空ポンプ７４は、少なくともウエハＷに対する処理が終了するまでの間は常時作動させた状態を維持する。 (Film formation process: S14)
Vacuum exhaust (decompression exhaust) is performed by the vacuum pump 74 so that the processing chamber 54, that is, the space where the wafer W exists has a predetermined pressure (vacuum degree). At this time, the pressure in the processing chamber 54 is measured by the pressure sensor 70, and the APC valve 72 is feedback-controlled based on the measured pressure information. The vacuum pump 74 is always kept in operation until at least the processing on the wafer W is completed.

また、処理室５４のウエハＷが所定の温度となるように、ヒータ４６によって加熱される。この際、処理室５４が所定の温度分布となるように、温度検出部７６が検出した温度情報に基づきヒータ４６への通電具合がフィードバック制御される。ヒータ４６による処理室５４内の加熱は、少なくともウエハＷに対する処理が終了するまでの間は継続して行われる。 Further, the wafer W in the processing chamber 54 is heated by the heater 46 so as to have a predetermined temperature. At this time, the state of energization of the heater 46 is feedback-controlled based on the temperature information detected by the temperature detection unit 76 so that the processing chamber 54 has a predetermined temperature distribution. The heating in the processing chamber 54 by the heater 46 is continuously performed at least until the processing on the wafer W is completed.

また、回転機構８０によるボート５８およびウエハＷの回転を開始する。回転機構８０により、ボート５８が回転されることで、ウエハＷが回転される。回転機構８０によるボート５８およびウエハＷの回転は、少なくとも、ウエハＷに対する処理が終了するまでの間は継続して行われる。 Further, the rotation mechanism 80 starts the rotation of the boat 58 and the wafer W. The wafer W is rotated by rotating the boat 58 by the rotation mechanism 80. The rotation of the boat 58 and the wafer W by the rotation mechanism 80 is continuously performed at least until the processing on the wafer W is completed.

処理室５４の温度が予め設定された処理温度に安定すると、次の２つのステップ、すなわち、ステップ１〜２を順次実行する。 When the temperature of the processing chamber 54 stabilizes at the preset processing temperature, the following two steps, that is, steps 1 and 2, are sequentially executed.

［ステップ１］
バルブ６６ａを開き、ガス供給管６２ａ内へＨＣＤＳガスを流す。ＨＣＤＳガスは、ＭＦＣ６４ａにより流量調整され、ノズル６０を介して処理室５４へ供給され、排気管６８から排気される。このとき、ウエハＷに対してＨＣＤＳガスが供給されることとなる。このとき、同時にバルブ６６ｂを開き、ガス供給管６２ｂ内へＮ2ガスを流す。Ｎ2ガスは、ＭＦＣ６４ｂにより流量調整され、ＨＣＤＳガスと一緒に処理室５４へ供給され、排気管６８から排気される。ウエハＷに対してＨＣＤＳガスを供給することにより、ウエハＷの最表面上に、第１の層として、例えば１原子層未満から数原子層の厚さのシリコン（Ｓｉ）含有層が形成される。 [Step 1]
The valve 66a is opened to allow HCDS gas to flow into the gas supply pipe 62a. The flow rate of the HCDS gas is adjusted by the MFC 64a, is supplied to the processing chamber 54 via the nozzle 60, and is exhausted from the exhaust pipe 68. At this time, HCDS gas is supplied to the wafer W. At this time, the valve 66b is opened at the same time to allow N 2 gas to flow into the gas supply pipe 62b. The flow rate of the N 2 gas is adjusted by the MFC 64b, supplied to the processing chamber 54 together with the HCDS gas, and exhausted from the exhaust pipe 68. By supplying HCDS gas to the wafer W, a silicon (Si) -containing layer having a thickness of less than one atomic layer to several atomic layers is formed as a first layer on the outermost surface of the wafer W. ..

第１の層が形成された後、バルブ６６ａを閉じ、ＨＣＤＳガスの供給を停止する。このとき、ＡＰＣバルブ７２は開いたままとして、真空ポンプ７４により処理室５４を真空排気し、処理室５４に残留する未反応もしくは第１の層の形成に寄与した後のＨＣＤＳガスを処理室５４から排出する。このとき、バルブ６６ｂを開いたままとして、Ｎ2ガスの処理室５４への供給を維持する。Ｎ2ガスはパージガスとして作用し、これにより、処理室５４に残留するガスを処理室５４から排出する効果を高めることができる。 After the first layer is formed, the valve 66a is closed and the supply of HCDS gas is stopped. At this time, with the APC valve 72 kept open, the processing chamber 54 is evacuated by the vacuum pump 74, and the unreacted HCDS gas remaining in the processing chamber 54 or after contributing to the formation of the first layer is discharged into the processing chamber 54. Eject from. At this time, the valve 66b is kept open to maintain the supply of the N 2 gas to the processing chamber 54. The N 2 gas acts as a purge gas, which can enhance the effect of discharging the gas remaining in the treatment chamber 54 from the treatment chamber 54.

［ステップ２］
ステップ１が終了した後、処理室５４のウエハＷ、すなわち、ウエハＷ上に形成された第１の層に対してＮＨ3ガスを供給する。ＮＨ3ガスは熱で活性化されてウエハＷに対して供給されることとなる。 [Step 2]
After the step 1 is completed, NH 3 gas is supplied to the wafer W of the processing chamber 54, that is, the first layer formed on the wafer W. The NH 3 gas is activated by heat and supplied to the wafer W.

このステップでは、バルブ６６ｃ，６６ｄの開閉制御を、ステップ１におけるバルブ６６ａ，６６ｂの開閉制御と同様の手順で行う。ＮＨ3ガスは、ＭＦＣ６４ｃにより流量調整され、ノズル６０を介して処理室５４へ供給され、排気管６８から排気される。このとき、ウエハＷに対してＮＨ3ガスが供給されることとなる。ウエハＷに対して供給されたＮＨ3ガスは、ステップ１でウエハＷ上に形成された第１の層、すなわちＳｉ含有層の少なくとも一部と反応する。これにより第１の層は、ノンプラズマで熱的に窒化され、ＳｉおよびＮを含む第２の層、すなわち、シリコン窒化層（ＳｉＮ層）へと変化させられる（改質される）。なお、このとき、プラズマ励起させたＮＨ3ガスをウエハＷに対して供給し、第１の層をプラズマ窒化することで、第１の層を第２の層（ＳｉＮ層）へ変化させるようにしてもよい。 In this step, the opening / closing control of the valves 66c and 66d is performed in the same procedure as the opening / closing control of the valves 66a and 66b in step 1. The flow rate of the NH 3 gas is adjusted by the MFC 64c, is supplied to the processing chamber 54 via the nozzle 60, and is exhausted from the exhaust pipe 68. At this time, NH 3 gas is supplied to the wafer W. The NH 3 gas supplied to the wafer W reacts with at least a part of the first layer formed on the wafer W in step 1, that is, the Si-containing layer. As a result, the first layer is thermally nitrided by non-plasma and changed (modified) into a second layer containing Si and N, that is, a silicon nitride layer (SiN layer). At this time, plasma-excited NH 3 gas is supplied to the wafer W, and the first layer is plasma-nitrided so that the first layer is changed to the second layer (SiN layer). May be.

第２の層が形成された後、バルブ６６ｃを閉じ、ＮＨ3ガスの供給を停止する。そして、ステップ１と同様の処理手順により、処理室５４に残留する未反応もしくは第２の層の形成に寄与した後のＮＨ3ガスや反応副生成物を処理室５４から排出する。このとき、処理室５４に残留するガス等を完全に排出しなくてもよい点は、ステップ１と同様である。 After the second layer is formed, the valve 66c is closed and the supply of NH 3 gas is stopped. Then, by the same treatment procedure as in step 1, NH 3 gas and reaction by-products remaining in the treatment chamber 54 after contributing to the formation of the unreacted or second layer are discharged from the treatment chamber 54. At this time, the point that the gas or the like remaining in the processing chamber 54 does not have to be completely discharged is the same as in step 1.

上述した２つのステップを非同時に、すなわち、同期させることなく行うサイクルを所定回数（ｎ回）行うことにより、ウエハＷ上に、所定組成および所定膜厚のＳｉＮ膜を形成することができる。なお、上述のサイクルは複数回繰り返すのが好ましい。すなわち、上述のサイクルを１回行う際に形成される第２の層（ＳｉＮ層）の厚さを所定の膜厚よりも小さくし、第２の層（ＳｉＮ層）を積層することで形成されるＳｉＮ膜の膜厚が所定の膜厚になるまで、上述のサイクルを複数回繰り返すのが好ましい。 A SiN film having a predetermined composition and a predetermined film thickness can be formed on the wafer W by performing the above-mentioned two steps non-simultaneously, that is, by performing a predetermined number of cycles (n times) without synchronizing them. The above cycle is preferably repeated a plurality of times. That is, it is formed by making the thickness of the second layer (SiN layer) formed when the above-mentioned cycle is performed once smaller than a predetermined film thickness and laminating the second layer (SiN layer). It is preferable to repeat the above cycle a plurality of times until the film thickness of the SiN film reaches a predetermined film thickness.

成膜処理が完了した後、バルブ６６ｂ，６６ｄを開き、ガス供給管６２ｂ，６２ｄからＮ2ガスを処理室５４へ供給し、排気管６８から排気する。Ｎ2ガスはパージガスとして作用する。これにより、処理室５４がパージされ、処理室５４に残留するガスや反応副生成物が処理室５４から除去される（パージ）。その後、処理室５４の雰囲気が不活性ガスに置換され（不活性ガス置換）、処理室５４の圧力が常圧に復帰される（大気圧復帰）。 After the film forming process is completed, the valves 66b and 66d are opened, N 2 gas is supplied from the gas supply pipes 62b and 62d to the processing chamber 54, and the gas is exhausted from the exhaust pipe 68. The N 2 gas acts as a purge gas. As a result, the treatment chamber 54 is purged, and the gas and reaction by-products remaining in the treatment chamber 54 are removed from the treatment chamber 54 (purge). After that, the atmosphere of the treatment chamber 54 is replaced with the inert gas (replacement of the inert gas), and the pressure in the treatment chamber 54 is restored to normal pressure (return to atmospheric pressure).

（ボートアンロード工程：Ｓ１５）
大気圧復帰した後、ボートエレベータ８２によりシールキャップ７８が下降され、反応管５０の下端が開口される。そして、処理済のウエハＷが、ボート５８に支持された状態で、反応管５０の下端から反応管５０の外部に搬出される（ボートアンロード）。 (Boat unloading process: S15)
After returning to atmospheric pressure, the seal cap 78 is lowered by the boat elevator 82, and the lower end of the reaction tube 50 is opened. Then, the processed wafer W is carried out from the lower end of the reaction tube 50 to the outside of the reaction tube 50 while being supported by the boat 58 (boat unloading).

（ウエハディスチャージ工程：Ｓ１６）
処理済のウエハＷは、基板移載機８６によって、ボート５８より取出される（ウエハディスチャージ）。 (Wafer discharge process: S16)
The processed wafer W is taken out from the boat 58 by the substrate transfer machine 86 (wafer discharge).

（キャリアアンロード工程：Ｓ１７）
次処理済のウエハＷは、基板移載機８６によって、ポッド２０に収納され、処理済のウエハＷが収納されたポッド２０は、キャリアロードと反対の動作により、ロードポート(ＡＧＶポート２２、ＯＨＴポート３２)に戻され、外部搬送装置により回収される。 (Carrier unloading process: S17)
The next-processed wafer W is housed in the pod 20 by the substrate transfer machine 86, and the pod 20 in which the processed wafer W is housed is subjected to a load port (AGV port 22, OHT) by an operation opposite to the carrier load. It is returned to the port 32) and collected by an external carrier.

次に、本実施形態における基板処理システムとしての装置モニタ制御システムについて図５を用いて説明する。 Next, the device monitor control system as the substrate processing system in the present embodiment will be described with reference to FIG.

本実施形態における装置モニタシステムは、カメラ９１〜９５と、該カメラ９１〜９５が記録した画像データを保存する監視コントローラ３１０と、装置コントローラ２１０と、装置コントローラ２１０と監視コントローラとカメラ９１〜９５とを接続するハブ３０９と、装置コントローラ２１０や監視コントローラ３１０に接続される操作部コントローラとしての操作部ＰＣ(Ｐｅｒｓｏｎａｌ Ｃｏｍｐｕｔｅｒ)４００と、を含む構成である。また、操作部として装置コントローラ２１０内にある操作部を用いてもよい。なお、図５では、これら装置コントローラ２１０、監視コントローラ３１０、操作部ＰＣ４００はそれぞれ別体として示されているが、監視コントローラ３１０、操作部ＰＣ４００を基板処理装置４の構成部品の一つに含めてもよいのはいうまでもない。ここで、監視コントローラ３１０や操作部ＰＣ４００は装置コントローラ２１０と同じ構成であってもよい。なお、監視コントローラ３１０は、監視コントローラ３１０とカメラ９１〜９５のクロックがｍｓｅｃ精度で同期しているため、カメラ９１〜９５が記録する画像データを正確に保持することができる。 The device monitoring system according to the present embodiment includes cameras 91 to 95, a monitoring controller 310 for storing image data recorded by the cameras 91 to 95, a device controller 210, a device controller 210, a monitoring controller, and cameras 91 to 95. The configuration includes a hub 309 for connecting the above, and an operation unit PC (Personal Computer) 400 as an operation unit controller connected to the device controller 210 and the monitoring controller 310. Further, the operation unit in the device controller 210 may be used as the operation unit. Although the device controller 210, the monitoring controller 310, and the operation unit PC 400 are shown as separate bodies in FIG. 5, the monitoring controller 310 and the operation unit PC 400 are included in one of the components of the board processing device 4. Needless to say, it is good. Here, the monitoring controller 310 and the operation unit PC 400 may have the same configuration as the device controller 210. Since the clocks of the monitoring controller 310 and the cameras 91 to 95 are synchronized with each other with msec accuracy, the monitoring controller 310 can accurately hold the image data recorded by the cameras 91 to 95.

また、装置コントローラ２１０、監視コントローラ３１０は、基板処理装置４が設置されるクリーンルームに設置され、操作部ＰＣ４００は、クリーンルームとは別室のオフィスルーム等に設置されている。すなわち、装置コントローラ２１０及び監視コントローラ３１０は、クリーンルームから離れた操作部ＰＣ４００を入出力装置２２２として遠隔制御される。装置コントローラ２１０は、ウエハＷの搬送時等に発生するイベントデータと、搬送エラーが生じたときに発生するアラームデータを取得する。そして、装置コントローラ２１０は、イベントデータを取得すると、イベントデータに基づくイベント通知を監視コントローラ３１０と操作部ＰＣ４００に送信する。また、装置コントローラ２１０は、搬送エラーが発生するとアラームデータに基づくエラー情報を含むアラーム通知を監視コントローラ３１０と操作部ＰＣ４００に送信するよう構成されている。また、管理装置４０２及び顧客等のホストＰＣ４０４等にエラー情報を含むアラーム通知をメールで送信するよう構成され、管理装置４０２やホストＰＣ４０４等の表示部に、操作部ＰＣ４００の表示部と同様の画面がリモート表示できるように構成されている。ここで、イベントデータとは、搬送ロボット等の各搬送機構に設けられたセンサから取得するデータであって、キャリアロード工程、蓋展開工程、ウエハチャージ工程、ボートロード工程、成膜工程、ボートアンロード工程、ウエハディスチャージ工程、キャリアアンロード工程等のそれぞれの工程（イベント）におけるウエハ搬送開始及び終了のタイミングを示す情報（イベント情報）であって、イベント発生日時等を含む。また、アラームデータとは、ウエハＷの搬送時に発生する位置ずれ、落下、破損、搬送残り等の搬送手段による搬送エラーの発生等を示す情報（エラー情報）であって、搬送エラー発生日時等を含んでいる。具体的には、エラー情報として、搬送エラーが発生した装置名、搬送エラーに対して設定されているアラームＩＤ、搬送エラーの発生時刻等に関する情報が含まれる。なお、カメラ９１〜９５に関しての詳細は後述する。 Further, the device controller 210 and the monitoring controller 310 are installed in a clean room where the board processing device 4 is installed, and the operation unit PC 400 is installed in an office room or the like which is a room separate from the clean room. That is, the device controller 210 and the monitoring controller 310 are remotely controlled by using the operation unit PC400 away from the clean room as the input / output device 222. The device controller 210 acquires event data that occurs when the wafer W is transferred and alarm data that occurs when a transfer error occurs. Then, when the device controller 210 acquires the event data, the device controller 210 transmits an event notification based on the event data to the monitoring controller 310 and the operation unit PC 400. Further, the device controller 210 is configured to transmit an alarm notification including error information based on the alarm data to the monitoring controller 310 and the operation unit PC 400 when a transport error occurs. Further, it is configured to send an alarm notification including error information by e-mail to the management device 402 and the host PC 404 of the customer or the like, and the display unit of the management device 402 or the host PC 404 or the like has a screen similar to the display unit of the operation unit PC 400. Is configured for remote display. Here, the event data is data acquired from sensors provided in each transfer mechanism such as a transfer robot, and is a carrier loading process, a lid unfolding process, a wafer charging process, a boat loading process, a film forming process, and a boat anne. Information (event information) indicating the timing of wafer transfer start and end in each process (event) such as the loading process, the wafer discharging process, and the carrier unloading process, and includes the event occurrence date and time. Further, the alarm data is information (error information) indicating the occurrence of a transfer error due to the transfer means such as misalignment, drop, breakage, transfer residue, etc. that occurs during the transfer of the wafer W, and indicates the date and time when the transfer error occurred. Includes. Specifically, the error information includes information on the name of the device in which the transport error has occurred, the alarm ID set for the transport error, the time when the transport error has occurred, and the like. The details of the cameras 91 to 95 will be described later.

図６に示すように、監視コントローラ３１０は、監視コントローラ３１０で実行される画像録画プログラムにより、後述する第１画像データとしてのイベント画像データであるＨ.２６４形式の動画（高圧縮・低画質動画）と、後述する第２画像データとしてのアラーム画像データであるＭｏｔｉｏｎ ＪＰＥＧ（Ｊｏｉｎｔ Ｐｈｏｔｏｇｒａｐｈｉｃ Ｅｘｐｅｒｔｓ Ｇｒｏｕｐ）またはＭ−ＪＰＥＧ（以後、ＭＪＰＥＧと称する）形式の動画（低圧縮・高精細動画）を同時に取得するように構成されている。アラーム画像データは、搬送エラー等の障害が発生したときの画像データであるのに対して、イベント画像データは、搬送エラー等の障害が発生するまでの基板の搬送時の状態や、障害が発生していない正常な基板の搬送時の状態を示す画像データである。監視コントローラ３１０は、イベント画像データ及びアラーム画像データのリストを保存する蓄積部としてのデータベース３１１ａと、イベント画像データ及びアラーム画像データの動画をそれぞれ一時的に格納するバッファ部としてのメモリ３１２ａ，３１２ｂと、イベント画像データ及びアラーム画像データをそれぞれ保存（記憶）するハードディスクドライブとしての記憶部３１３ａ，３１３ｂと、を有する。以下、イベント画像データを格納する記憶部を第１記憶部３１３ａ、イベント画像データを一時的に格納するメモリを第１メモリ３１２ａと称する。そして、アラーム画像データをそれぞれ記録したカメラ９１〜９５毎に格納する記憶部を第２記憶部３１３ｂ、アラーム画像データをそれぞれ記録したカメラ９１〜９５毎に一時的に格納するメモリを第２メモリ３１２ｂと称する。 As shown in FIG. 6, the monitoring controller 310 uses an image recording program executed by the monitoring controller 310 to generate H.264 format moving images (highly compressed, low image quality moving images) which are event image data as first image data to be described later. ) And motion JPEG (Joint Photographic Experts Group) or M-JPEG (hereinafter referred to as MJPEG) format video (low-compression / high-definition video), which is alarm image data as the second image data described later. It is configured as follows. The alarm image data is image data when a failure such as a transport error occurs, whereas the event image data is the state during transport of the board until a failure such as a transport error occurs, or a failure occurs. It is the image data which shows the state at the time of transporting the normal substrate which is not done. The monitoring controller 310 includes a database 311a as a storage unit for storing a list of event image data and an alarm image data, and memories 312a and 312b as buffer units for temporarily storing a moving image of the event image data and the alarm image data, respectively. , And storage units 313a and 313b as hard disk drives for storing (storing) event image data and alarm image data, respectively. Hereinafter, the storage unit for storing the event image data is referred to as a first storage unit 313a, and the memory for temporarily storing the event image data is referred to as a first memory 312a. Then, the storage unit for storing the alarm image data for each of the cameras 91 to 95 is stored in the second storage unit 313b, and the memory for temporarily storing the alarm image data for each of the cameras 91 to 95 is stored in the second memory 312b. It is called.

監視コントローラ３１０は、例えば、装置コントローラ２１０からウエハＷ（またはポッド２０）の搬送の開始を示すイベント通知を受けると、カメラ９１〜９５がそれぞれ記録する第１画像データ（イベント画像データ）のメモリ（第１メモリ３１２ａ）への格納を開始する。イベント画像データは、カメラ９１〜９５が記録する画像データを一時格納する一つの第１メモリ３１２ａに集約され、周期的に第１記憶部３１３ａに格納される。この場合、監視コントローラ３１０は、装置コントローラ２１０からウエハＷ（またはポッド２０）の搬送の終了を示すイベント通知を受けると、カメラ９１〜９５がそれぞれ記録する第１画像データの第１メモリ３１２ａへの格納を終了し、第１メモリ３１２ａ内の第１画像データを第１記憶部３１３ａに格納する。例えば、第１メモリ３１２ａが一杯になるとまとめて第１記憶部３１３ａに転送したり、また、設定値で予め第１記憶部３１３ａへの転送時間を決めたりしてもよい。そして、イベント画像データ（第１画像データ）は、イベント画像データのイベント録画ファイルの保存先ディレクトリとイベント情報を含む後述する「イベント録画情報リスト」としてデータベースＤＢ化される。例えば、開始を示すイベント通知のタイミングでデータベース３１１ａへイベント情報が登録されつつ、イベント画像データのファイル化が第１記憶部３１３ａへ開始される。終了を示すイベント通知のタイミングでデータベース３１１ａが更新されつつ、第１記憶部３１３ａへのファイル化の終了処理（ファイルクローズ処理）が行われる。 When the monitoring controller 310 receives an event notification indicating the start of transfer of the wafer W (or pod 20) from the device controller 210, for example, the monitoring controller 310 has a memory (event image data) of the first image data (event image data) recorded by the cameras 91 to 95, respectively. Storage in the first memory 312a) is started. The event image data is aggregated in one first memory 312a that temporarily stores the image data recorded by the cameras 91 to 95, and is periodically stored in the first storage unit 313a. In this case, when the monitoring controller 310 receives the event notification indicating the end of the transfer of the wafer W (or the pod 20) from the device controller 210, the monitoring controller 310 sends the first image data recorded by the cameras 91 to 95 to the first memory 312a. The storage is completed, and the first image data in the first memory 312a is stored in the first storage unit 313a. For example, when the first memory 312a is full, it may be collectively transferred to the first storage unit 313a, or the transfer time to the first storage unit 313a may be determined in advance by a set value. Then, the event image data (first image data) is stored in a database DB as an "event recording information list" to be described later, which includes a storage destination directory of the event recording file of the event image data and event information. For example, while the event information is registered in the database 311a at the timing of the event notification indicating the start, the file conversion of the event image data is started in the first storage unit 313a. While the database 311a is updated at the timing of the event notification indicating the end, the end processing (file close processing) of file conversion to the first storage unit 313a is performed.

監視コントローラ３１０は、起動してカメラ９１~９５と接続した後、数十秒間分の第２画像データ（アラーム画像データ）を各メモリ（第２メモリ３１２ｂ）へ格納を開始する。数十秒間分をリングバッファとして、最も古い画像データを最新の画像データで上書きし、常に一定の過去数十秒間分のデータを蓄えるような構造となっている。アラーム画像データは、カメラ９１〜９５ごとに設けられる第２メモリ３１２ｂに一旦格納される。そして、監視コントローラ３１０は、装置コントローラ２１０からウエハＷの搬送時に発生する位置ずれ、落下、破損、搬送残り等の搬送手段による搬送エラーの発生を示すアラーム通知を受けると、このカメラ９１〜９５ごとに設けられる第２メモリ３１２ｂに格納されたアラーム画像データの搬送エラー発生前後のあらかじめ決められている範囲であって、搬送エラー発生前後数十秒間の、例えば搬送エラー発生前後２０秒間分のデータがファイル化され、カメラ９１〜９５ごとに設けられる第２記憶部３１３ｂに格納される。また、図示されていないが、アラーム画像データは、録画ファイルの保存先ディレクトリとエラー情報を含む後述する「アラーム録画情報リスト」としてデータベースＤＢ化される。 After starting and connecting to the cameras 91 to 95, the monitoring controller 310 starts storing the second image data (alarm image data) for several tens of seconds in each memory (second memory 312b). The structure is such that the oldest image data is overwritten with the latest image data by using several tens of seconds as a ring buffer, and a certain amount of past several tens of seconds of data is always stored. The alarm image data is temporarily stored in the second memory 312b provided for each of the cameras 91 to 95. Then, when the monitoring controller 310 receives an alarm notification from the device controller 210 indicating the occurrence of a transfer error due to the transfer means such as misalignment, drop, damage, transfer residue, etc. that occurs when the wafer W is transferred, each of the cameras 91 to 95 The data for several tens of seconds before and after the occurrence of the transfer error, for example, 20 seconds before and after the occurrence of the transfer error, is a predetermined range before and after the occurrence of the transfer error of the alarm image data stored in the second memory 312b provided in. It is converted into a file and stored in a second storage unit 313b provided for each camera 91-95. Further, although not shown, the alarm image data is stored in a database DB as an "alarm recording information list" to be described later, which includes a storage destination directory for recording files and error information.

監視コントローラ３１０が、録画監視プログラムに組み込まれたイベント録画タスク、アラーム録画タスクを実行することにより、イベント画像データの第１記憶部３１３ａへの保存、イベント録画ファイルの作成、アラーム画像データの第２記憶部３１３ｂへの保存、アラーム録画ファイルの作成が行われる。なお、第１記憶部３１３ａのＨＤＤ容量が十分にある場合、または動作していない場合も録画したい箇所を映しているカメラの場合、イベント画像データは、装置コントローラ２１０から搬送機構の搬送の開始及び終了を示すイベント通知によらず、周期的にイベント画像データの第１記憶部３１３ａへの保存する常時録画された画像データであってもよい。例えば、２４時間Ｎ（自然数）日間録画し続けた画像データであってもよい。一方、ＨＤＤ容量に制限がある場合、または、できるだけ長時間にわたって搬送動作中の画像データを保持したい場合、イベント画像データは、イベント通知に従って、搬送している間だけ第１記憶部３１３ａに録画される。このようなイベント画像データ（第１画像データ）の録画方式に関しては、カメラ９１〜９５毎に設定される。 By executing the event recording task and the alarm recording task incorporated in the recording monitoring program, the monitoring controller 310 saves the event image data in the first storage unit 313a, creates the event recording file, and the second alarm image data. Saving to the storage unit 313b and creation of an alarm recording file are performed. If the HDD capacity of the first storage unit 313a is sufficient, or if the camera shows the part to be recorded even when it is not operating, the event image data is transferred from the device controller 210 to the transfer mechanism. Regardless of the event notification indicating the end, the constantly recorded image data that periodically stores the event image data in the first storage unit 313a may be used. For example, the image data may be continuously recorded for 24 hours N (natural number) days. On the other hand, when the HDD capacity is limited, or when it is desired to retain the image data during the transport operation for as long as possible, the event image data is recorded in the first storage unit 313a only during the transport according to the event notification. To. The recording method of such event image data (first image data) is set for each camera 91 to 95.

図７にカメラ９１〜９５から取得する動画形式について示す。本開示では一つのカメラからＨ.２６４形式の動画(イベント画像データ)と、ＭＪＰＥＧ形式の動画(アラーム画像データ)の二つの形式の動画(画像データ)を同時に監視コントローラ３１０で取得できるように構成されている。つまり、カメラ９１〜９５は、それぞれウエハＷの搬送動作をイベント画像データとして記録しつつ、ウエハＷの搬送動作をイベント画像データよりも高精細なアラーム画像データとして記録する。 FIG. 7 shows a moving image format acquired from cameras 91 to 95. In the present disclosure, the monitoring controller 310 can simultaneously acquire two types of moving images (image data), an H.264 format moving image (event image data) and an MJPEG format moving image (alarm image data), from one camera. Has been done. That is, the cameras 91 to 95 record the transfer operation of the wafer W as event image data, and record the transfer operation of the wafer W as alarm image data having higher definition than the event image data.

ここで、ＭＪＰＥＧ形式の画像(第２画像データ)は、例えば図８に示すように、１枚のＪＰＥＧ形式の画像（以後、フレームとも言う）の連続で動画を構成する。図８は、ＭＪＰＥＧ形式でボート５８が反応管５０へ上昇する動画が左側から右側へ１フレーム毎に表示されている。ＭＪＰＥＧではフレーム間の依存関係がなく、ＭＪＰＥＧの画像は、データの伝送中にフレームが1つ欠落しても、残りのフレームに一切影響を与えないため、非常に安定している。ＭＪＰＥＧ形式の利点は、ＪＰＥＧ圧縮以外の圧縮がなく、画質が劣化しない。したがって、例えば、搬送機構の動作中に障害が発生した際にＭＪＰＥＧ形式で録画されていれば、ＪＰＥＧ圧縮以外の圧縮がない画像（動画）、画質で障害発生状況を確認することが可能となる。欠点は、完全な画像の連続であるため、ビデオ圧縮技術を利用してデータを圧縮できない。なお、本実施例では、１秒間に３０フレームの画像が記録され、監視コントローラ３１０の第２記憶部３１３ｂに格納される。つまり、アラーム発生時に、約３３ｍｓｅｃ毎の高精細な画像データが記憶される。 Here, the MJPEG format image (second image data) constitutes a moving image in succession of one JPEG format image (hereinafter, also referred to as a frame) as shown in FIG. 8, for example. In FIG. 8, a moving image of the boat 58 rising to the reaction tube 50 in MJPEG format is displayed frame by frame from the left side to the right side. In MJPEG, there is no dependency between frames, and an image of MJPEG is very stable because even if one frame is lost during data transmission, the remaining frames are not affected at all. The advantage of the MJPEG format is that there is no compression other than JPEG compression, and the image quality does not deteriorate. Therefore, for example, if a failure occurs during the operation of the transport mechanism and is recorded in the MJPEG format, it is possible to check the failure occurrence status with images (moving images) and image quality that have no compression other than JPEG compression. .. The disadvantage is that the data cannot be compressed using video compression technology because it is a complete sequence of images. In this embodiment, 30 frames of images are recorded per second and stored in the second storage unit 313b of the monitoring controller 310. That is, when an alarm occurs, high-definition image data is stored every 33 msec.

第２画像データとして、ＢＭＰ形式やＰＮＧ形式を用いてもよい。ＭＪＰＥＧ形式のＪＰＥＧ画像は、図９のように動きのないところは録画しないＨ．２６４形式と比較すると、ＪＰＥＧ圧縮以外の圧縮がなく、画質劣化が少ない。しかし、ＪＰＥＧ圧縮技術は、主に下記の処理が実施されているため、拡大表示すると、ブロック単位のノイズが見られることがある（非可逆圧縮方式）。
１．色情報をＲＧＢからＹＣｂＣｒに変換する。
２．画素全体を８×８のブロック単位に分解する。
３．各ブロックにＤＣＴ（周波数解析）を行い、結果の値を量子化する。
４．量子化した値をジグザグスキャンし、ランレングスコーディングを行う。
５．直流成分はＤＰＣＭ（差分パルス符号変調）で圧縮する。
６．これをハフマンコードで符号化し、ブロックの順に出力する。 BMP format or PNG format may be used as the second image data. JPEG images in MJPEG format are not recorded where there is no movement as shown in FIG. Compared with the 264 format, there is no compression other than JPEG compression, and there is less deterioration in image quality. However, since the JPEG compression technology mainly performs the following processing, noise in block units may be seen when the image is enlarged (lossy compression method).
1. 1. Converts color information from RGB to YCbCr.
2. 2. The entire pixel is decomposed into 8 × 8 block units.
3. 3. DCT (frequency analysis) is performed on each block, and the resulting value is quantized.
4. Zigzag scan the quantized value and perform run-length coding.
5. The direct current component is compressed by DPCM (differential pulse code modulation).
6. This is encoded with Huffman code and output in the order of blocks.

ＢＭＰ形式は、特殊な圧縮を掛けていない、ファイルサイズは大きくなるが、構造が単純で汎用性が高い、画像情報をそのまま維持している（可逆圧縮方式）。ＰＮＧ形式は、可逆圧縮方式の画像形式のため、圧縮による画像劣化がない。したがって、ＢＮＰ形式やＰＮＧ形式で第２画像データを録画すると、拡大表示した際によりブロック単位のノイズがなく、鮮明に状況を確認することが期待できる。

Figure 0006804069
The BMP format does not apply special compression, the file size is large, but the structure is simple and versatile, and the image information is maintained as it is (lossless compression method). Since the PNG format is a lossless compression type image format, there is no image deterioration due to compression. Therefore, when the second image data is recorded in the BNP format or the PNG format, it can be expected that the situation can be clearly confirmed without noise in block units when the enlarged display is performed.
Figure 0006804069

ここで、第１画像データは、ＭＰＥＧ-４ Ｐａｒｔ １０ ＡＶＣ（Ａｄｖａｎｃｅｄ Ｖｉｄｅｏ Ｃｏｄｉｎｇ）とも呼ばれるビデオエンコーディングのための最新のＭＰＥＧ規格である。Ｈ.２６４は次世代の動画圧縮の標準規格として期待されている。図７に示すように、Ｈ.２６４のデータサイズはＭＪＰＥＧと比較して８０％以上、ＭＰＥＧ-４と比較して５０％以上削減され、例えば、第１記憶部３１３ａのストレージ容量を大幅に抑えられる。画像フレーム内では、不要な情報を削除することでデータ量を削減することができる。例えば図９に示すように、前後フレームで変化のないところは削除される。ここで図９は、Ｈ．２６４形式で図８と同様にボート５８が反応管５０へ上昇する動画が左側から右側へ１フレーム毎に表示されている。この１フレームは、ＭＪＰＥＧ形式の画像（第２画像データ）と同様に０．０３３ｍｓｅｃである。Ｈ．２６４形式では画像データを圧縮する際に、フレーム間で動いている部分と静止している部分を切り分けて、動いている部分は時間軸の変化に合わせて画像データを随時書き換えるが、静止している部分は時間が変化しても画像データとしては変化していないとみなして、元の画像データを流用する。しかし、大幅に圧縮率が高まるが、動きのある部分と静止部分の切り分けがうまくいかないと、ノイズが発生し不鮮明な映像になる場合がある。 Here, the first image data is the latest MPEG standard for video encoding, also called MPEG-4 Part 10 AVC (Advanced Video Coding). H.264 is expected as a standard for next-generation video compression. As shown in FIG. 7, the data size of H.264 is reduced by 80% or more as compared with MJPEG and 50% or more as compared with MPEG-4. For example, the storage capacity of the first storage unit 313a is significantly suppressed. Be done. In the image frame, the amount of data can be reduced by deleting unnecessary information. For example, as shown in FIG. 9, the parts that do not change in the front and rear frames are deleted. Here, FIG. 9 shows H. A moving image of the boat 58 rising to the reaction tube 50 in the 264 format is displayed frame by frame from the left side to the right side as in FIG. This one frame is 0.033 msec like the MJPEG format image (second image data). H. In the 264 format, when compressing image data, the moving part and the stationary part are separated between frames, and the moving part rewrites the image data at any time according to the change of the time axis, but it is stationary. The original image data is diverted by assuming that the existing part has not changed as image data even if the time changes. However, although the compression ratio increases significantly, noise may occur and the image may become unclear if the moving part and the stationary part are not separated well.

Ｈ．２６４形式は、基本的な方式はＭＰＥＧ−２と同じ、動き補償（ＭＣ）フレーム間予測符号化方式に離散コサイン変換（ＤＣＴ）を使用したもので、いわゆるＭＣ＋ＤＣＴと呼ばれている方式である。Ｈ．２６４形式は、ＭＰＥＧ−２やＭＰＥＧ−４による映像圧縮符号化方式よりも、２倍以上の超高圧縮の実現を目指して標準化されている。 H. The 264 format uses the discrete cosine transform (DCT) as the motion compensation (MC) interframe prediction coding method, which is the same as the MPEG-2 basic method, and is a so-called MC + DCT method. H. The 264 format is standardized with the aim of achieving ultra-high compression that is more than twice that of the video compression coding method using MPEG-2 or MPEG-4.

また、画像データをより高圧縮にするために、例えば図１０（Ｂ）に示すように、Ｈ．２６５形式を用いてもよい。Ｈ．２６４形式は、図１０（Ａ）に示すように、画面全体を細かくブロック化し変化した部分のみを監視コントローラに送信する。つまり、大きく変化したブロックも比較的変化の小さいブロックも、同じ細かいブロックで送信することになる。Ｈ．２６５形式は、細かいブロックとして固定しないで、大きく変化したブロックは細かく、比較的変化の少ないブロックは大きいブロックとすることで、圧縮率の適正化を行い全体の情報量を削減することを可能としている。このようなＨ．２６４形式やＨ．２６５形式の画像データを半導体製造装置に適用する場合、オペレータの画面操作により流量計をモニタする目的など、一般的にはそれほど画質を必要としない用途に対しては、有効な手段である。 Further, in order to make the image data more highly compressed, for example, as shown in FIG. 10 (B), H.I. The 265 format may be used. H. In the 264 format, as shown in FIG. 10A, the entire screen is finely blocked and only the changed portion is transmitted to the monitoring controller. In other words, a block that has changed significantly and a block that has changed relatively little will be transmitted in the same fine block. H. The 265 format is not fixed as a fine block, but a block that has changed significantly is fine, and a block that has relatively little change is a large block, which makes it possible to optimize the compression rate and reduce the total amount of information. There is. Such H. 264 format and H. When applying image data in 265 format to a semiconductor manufacturing apparatus, it is an effective means for applications that generally do not require so much image quality, such as the purpose of monitoring a flow meter by operating the screen of an operator.

また、ＭＪＰＥＧ形式のファイル保存について、図１１（Ａ）に示すように、通常は「 ．ａｖｉ」や「 ．ｍｏｖ」のような１つのファイルに動画を保存する。つまり、この形式では、１つのファイルをプレイヤーで再生する際、コマ送り再生ができず、スロー再生のみとなる。 Further, regarding the file saving in the MJPEG format, as shown in FIG. 11A, usually, the moving image is saved in one file such as ".avi" or ".mov". That is, in this format, when one file is played back by the player, frame-by-frame playback cannot be performed, and only slow playback is possible.

本開示のアラーム録画では、図１１（Ｂ）に示すように、１秒間に３０フレームの静止画をＪＰＥＧファイルとして、障害発生前の２０秒間と障害発生後の２０秒間の合わせて４０秒間分を出力する。つまり、３０フレーム×４０秒＝１２００ファイルのＪＰＥＧファイルを保存していることになる。この技術的な解決方法を用いることで、０．０３３秒間隔の映像をコマ送り再生することで、超スロー再生する方式を実現している。図１２は、０．０３３秒間隔の映像をコマ送り再生するイメージを示す。ウエハＷを搬送する搬送機構は、約９〜１０分の間にポッド２０を３セット（最大ウエハＷ７５枚）分、ボート５８へ搬送している。そのため、障害発生時の調査には、より間隔の短い映像を取得して再生できることが求められている。 In the alarm recording of the present disclosure, as shown in FIG. 11 (B), a still image of 30 frames per second is used as a JPEG file, and 20 seconds before the failure and 20 seconds after the failure are combined for 40 seconds. Output. That is, 30 frames x 40 seconds = 1200 files of JPEG files are stored. By using this technical solution, a method of ultra-slow playback is realized by frame-by-frame playback of video at 0.033 second intervals. FIG. 12 shows an image of frame-by-frame reproduction of video at 0.033 second intervals. The transport mechanism for transporting the wafer W transports three sets of pods 20 (maximum wafer W 75 sheets) to the boat 58 in about 9 to 10 minutes. Therefore, in the investigation when a failure occurs, it is required to be able to acquire and reproduce a video having a shorter interval.

顧客によっては、数か月（３カ月以上）の動画保存を要求されており、要求を満たすためには、より高圧縮した画像データ（Ｈ．２６４形式または次世代Ｈ．２６５形式）で記録することになる。ただし、高圧縮した画像データは、時間軸での映像比較により、データ圧縮するため、障害発生時の重要な場面を出力した場合に、不鮮明な映像となる場合がある。また、Ｈ．２６４形式やＨ．２６５形式は、前後のフレームの情報を参照して映像を作り出しているため、コマ送り再生ができない。そのため、エラー発生時前後をＭＪＰＥＧ形式で同時に記録して、障害発生時の映像を高精細な映像で記憶することで、コマ送り再生して確認することができる。 Some customers require video storage for several months (3 months or more), and in order to meet the demand, record with higher compressed image data (H.264 format or next-generation H.265 format). It will be. However, since the highly compressed image data is compressed by comparing the images on the time axis, the image may be unclear when an important scene at the time of failure is output. In addition, H. 264 format and H. In the 265 format, since the image is created by referring to the information of the previous and next frames, frame-by-frame playback cannot be performed. Therefore, by simultaneously recording before and after the occurrence of an error in the MJPEG format and storing the image at the time of failure as a high-definition image, frame-by-frame playback can be performed and confirmed.

ここで、ウエハＷ等の半導体基板が搬送される様子を常時録画して保存しておき、搬送エラー等が発生した場合には、録画されている画像データを参照して搬送エラーが発生した要因を調べるようなことが行われる。 Here, the state in which the semiconductor substrate such as the wafer W is conveyed is constantly recorded and saved, and when a transfer error or the like occurs, the cause of the transfer error by referring to the recorded image data. Something like looking up is done.

しかし、搬送エラー等の障害が発生しない場合でも常時録画されるイベント画像データを低圧縮・高精細のＭＪＰＥＧ形式で録画したのでは、画像データを記憶するための記憶容量が膨大となってしまう。 However, if the event image data that is constantly recorded is recorded in the low-compression, high-definition MJPEG format even if a failure such as a transport error does not occur, the storage capacity for storing the image data becomes enormous.

そのため、本実施形態においては、搬送エラー等の障害が発生しない場合でも常時録画されるイベント画像データについては、高圧縮・低画質のＨ．２６４形式で記憶し、搬送エラー等の障害が発生した場合にのみ録画されるアラーム画像データについては、低圧縮・高精細のＭＪＰＥＧ形式で記憶するようにしている。 Therefore, in the present embodiment, the event image data that is constantly recorded even when a failure such as a transport error does not occur is described in the high compression and low image quality H.D. The alarm image data, which is stored in the 264 format and recorded only when a failure such as a transport error occurs, is stored in the low-compression, high-definition MJPEG format.

次に、カメラ９１〜９５の撮像ポイントについて図１３を用いて説明する。カメラの撮影対象は、主にウエハＷを搬送する搬送機構であって、例えば、移載ポート４２、ポッド搬送機構４０、基板移載機８６、ボート５８等である。それぞれ、移載ポート４２でのポッド２０の受渡し確認、ポッド搬送動作確認、ポッド２０からのウエハ取出し、ボート５８へのチャージ、ディスチャージの確認、基板移載機８６で移動中のウエハ状態の確認、ボート５８及びボート５８に装填されたウエハＷの昇降確認等を目的としている。また、画像データとして動画及び静止画が取得され、これらの画像データは、監視コントローラ３１０の第１記憶部３１３ａ又は第２記憶部３１３ｂに記憶される。なお、カメラ９１〜９５は、上述の移載ポート４２、ポッド搬送機構４０、基板移載機８６、ボート５８等の搬送機構（撮影対象）の動作や周囲の環境に応じた露出（照明）制御を自動的に行うように構成されている。 Next, the imaging points of the cameras 91 to 95 will be described with reference to FIG. The shooting target of the camera is mainly a transfer mechanism for transporting the wafer W, for example, a transfer port 42, a pod transfer mechanism 40, a substrate transfer machine 86, a boat 58, and the like. Confirmation of delivery of pod 20 at transfer port 42, confirmation of pod transfer operation, removal of wafer from pod 20, confirmation of charge to boat 58, confirmation of discharge, confirmation of wafer state in motion by board transfer machine 86, respectively. The purpose is to confirm the elevating and lowering of the boat 58 and the wafer W loaded on the boat 58. Further, moving images and still images are acquired as image data, and these image data are stored in the first storage unit 313a or the second storage unit 313b of the monitoring controller 310. The cameras 91 to 95 control the exposure (lighting) according to the operation of the transfer mechanism (photographing target) such as the transfer port 42, the pod transfer mechanism 40, the board transfer machine 86, and the boat 58, and the surrounding environment. Is configured to do automatically.

ポッド搬送機構４０によるキャリアロード／アンロード中、基板移載機８６によるウエハＷのチャージ／ディスチャージ中、ボート５８のロード／アンロード中にカメラ９１~９５により取得される動画（イベント画像データ）が第１記憶部３１３ａに保存される。つまり、第１記憶部３１３ａには、所定時間(所定イベント)毎にイベント画像データがファイル化されて蓄積される。例えば、ウエハＷのチャージ／ディスチャージのような基板の搬送工程毎に、イベント画像データがファイル化されて蓄積されるよう構成されている。また、ファイル化の周期（上記所定時間）は、イベント毎に限らず適宜設定可能に構成されている。 Video (event image data) acquired by cameras 91 to 95 during carrier loading / unloading by the pod transfer mechanism 40, charging / discharging of the wafer W by the substrate transfer machine 86, and loading / unloading of the boat 58. It is stored in the first storage unit 313a. That is, the event image data is stored as a file in the first storage unit 313a at each predetermined time (predetermined event). For example, the event image data is stored as a file for each transfer process of the substrate such as charging / discharging the wafer W. Further, the file creation cycle (the above-mentioned predetermined time) is configured to be appropriately set not only for each event.

また、ＦＩＭＳオープン後、ウエハチャージ終了後、ボートアンロード後に、監視コントローラ３１０は、静止画を取得するように構成されている。これは、ＦＩＭＳオープン後、搬送工程終了後のウエハＷ確認は、静止画を確認するだけで少なくとも異常の発生を把握できるためである。本実施形態ではアラーム画像データと同様な形式の低圧縮で高精細の静止画を取得し、搬送エラーの詳細状況を把握するようにしている。なお、ＦＩＭＳオープナによるポッド２０の蓋展開工程も他の搬送イベントと同様に動画を取得するようにしてもよい。 Further, the monitoring controller 310 is configured to acquire a still image after the FIMS is opened, the wafer charge is completed, and the boat is unloaded. This is because the wafer W confirmation after the FIMS is opened and after the transfer process is completed can at least grasp the occurrence of an abnormality only by confirming the still image. In the present embodiment, a high-definition still image with low compression in the same format as the alarm image data is acquired, and the detailed status of the transport error is grasped. The lid unfolding process of the pod 20 by the FIMS opener may also acquire a moving image in the same manner as other transport events.

次に、カメラ９１〜９５のそれぞれの撮影対象とアラームＩＤとの関連について図１４を用いて説明する。図１４は、撮影対象とアラームＩＤから搬送エラー発生時(障害発生時)の録画を限定する場合に利用するテーブルを示す。 Next, the relationship between each imaging target of the cameras 91 to 95 and the alarm ID will be described with reference to FIG. FIG. 14 shows a table used when limiting recording when a transport error occurs (when a failure occurs) from the shooting target and the alarm ID.

図１４に示すように、設置するカメラの数を５個とした場合に、各撮影対象に起因して発生する搬送エラーに対してアラームＩＤは設定される。つまり、アラームＩＤは、撮影対象とカメラ９１〜９５に対してそれぞれ紐付けられ、アラームＩＤから撮影対象とカメラ９１〜９５とを特定することができるようにされている。 As shown in FIG. 14, when the number of cameras to be installed is 5, the alarm ID is set for the transport error caused by each shooting target. That is, the alarm ID is associated with the shooting target and the cameras 91 to 95, respectively, and the shooting target and the cameras 91 to 95 can be identified from the alarm ID.

カメラ９１（カメラ番号１）は、外部搬送装置とＡＧＶポート２２及びＯＨＴポート３２との間で、キャリアとしてのポッド２０を受渡しする様子を撮影する。なお、ポッド２０の受渡し中に搬送エラーが発生しても、アラームＩＤからカメラ番号及び撮影対象が特定できるようになっている。実際に搬送エラーが発生したことを検出する検出手段（例えば、センサ）は、ＡＧＶポート２２及びＯＨＴポート３２もしくはこれらの近傍にそれぞれ設けられる。 The camera 91 (camera number 1) photographs a state in which the pod 20 as a carrier is delivered between the external transfer device and the AGV port 22 and the OHT port 32. Even if a transport error occurs during delivery of the pod 20, the camera number and the shooting target can be specified from the alarm ID. Detection means (for example, a sensor) for detecting the actual occurrence of a transport error are provided at or near the AGV port 22 and the OHT port 32, respectively.

カメラ９２（カメラ番号２）は、ポッド搬送機構４０と移載ポート４２との間で、ポッド２０を受渡しする様子を撮影する。また、カメラ９２は、上述したキャリアロード工程及びキャリアアンロード工程の間、つまり、ＡＧＶポート２２及びＯＨＴポート３２と移載ポート４２の間のポッド搬送機構４０の様子を撮影する。キャリアロード工程及びキャリアアンロード工程の間に搬送エラーが発生しても、アラームＩＤからカメラ番号及び撮影対象が特定できるようになっている。また、実際に搬送エラーが発生したことを検出するセンサは、ポッド搬送機構４０に設けられる。 The camera 92 (camera number 2) photographs the state in which the pod 20 is delivered between the pod transfer mechanism 40 and the transfer port 42. Further, the camera 92 photographs the state of the pod transfer mechanism 40 between the carrier loading process and the carrier unloading process described above, that is, between the AGV port 22 and the OHT port 32 and the transfer port 42. Even if a transport error occurs between the carrier loading process and the carrier unloading process, the camera number and the imaging target can be specified from the alarm ID. Further, a sensor for detecting that a transport error has actually occurred is provided in the pod transport mechanism 40.

カメラ９３（カメラ番号３）は、移載ポート４２の載置部に載置されたポッド２０がＦＩＭＳオープナにより蓋が展開される様子を撮影する。ＦＩＭＳオープナオープン後にウエハ飛び出し等のエラーが発生しても、アラームＩＤからカメラ番号及び撮影対象が特定できるようになっている。また、実際に搬送エラーが発生したことを検出するセンサは、移載ポート４２にあるＦＩＭＳオープナ（蓋開閉機構）に設けられる。 The camera 93 (camera number 3) photographs a state in which the pod 20 mounted on the mounting portion of the transfer port 42 is opened by the FIMS opener. Even if an error such as wafer popping out occurs after the FIMS opener is opened, the camera number and the shooting target can be specified from the alarm ID. Further, a sensor for detecting that a transport error has actually occurred is provided in the FIMS opener (lid opening / closing mechanism) at the transfer port 42.

カメラ９４（カメラ番号４）及びカメラ９５（カメラ番号５）は、移載ポート４２の載置部のポッド２０とボート５８との間で、基板移載機８６によりウエハＷが搬送される様子を撮影すると共に、搬送室１６と処理炉８との間で、ボート５８が昇降される様子を撮影する。つまり、カメラ９４及びカメラ９５は、上述したウエハチャージ工程及びウエハディスチャージ工程の間、および、上述したボートロード工程及びボートアンロード工程の間で、ウエハＷが搬送される様子やボート５８が昇降される様子を撮影する。ウエハチャージ工程及びウエハディスチャージ工程の間、若しくは、ボートロード工程及びボートアンロード工程の間に搬送エラーが発生しても、アラームＩＤからカメラ番号及び撮影対象が特定できるようになっている。また、実際に搬送エラーが発生したことを検出するセンサは、基板移載機８６に設けられる。 The camera 94 (camera number 4) and the camera 95 (camera number 5) show that the wafer W is transported by the substrate transfer machine 86 between the pod 20 of the mounting portion of the transfer port 42 and the boat 58. Along with taking a picture, a picture of the boat 58 being raised and lowered between the transport chamber 16 and the processing furnace 8 is taken. That is, in the camera 94 and the camera 95, the wafer W is conveyed and the boat 58 is raised and lowered between the above-mentioned wafer charging process and the wafer discharging process, and between the above-mentioned boat loading process and boat unloading process. Take a picture of the boat. Even if a transport error occurs between the wafer charging process and the wafer discharging process, or between the boat loading process and the boat unloading process, the camera number and the imaging target can be specified from the alarm ID. Further, a sensor for detecting that a transfer error has actually occurred is provided in the substrate transfer machine 86.

監視コントローラ３１０は、図１４に示すテーブルを持つことで、装置コントローラ２１０からアラームＩＤを含む搬送エラー発生のアラーム通知を受信すると、通知されたアラームＩＤから対象となるカメラ番号を特定することができる。そして、監視コントローラ３１０は、特定したカメラ番号に限定してアラーム画像データを取得してアラーム録画を行う(アラーム画像データを各カメラ番号の第２記憶部３１３ｂに保存する)。 By having the table shown in FIG. 14, the monitoring controller 310 can identify the target camera number from the notified alarm ID when it receives the alarm notification of the occurrence of the transport error including the alarm ID from the device controller 210. .. Then, the monitoring controller 310 acquires the alarm image data only for the specified camera number and performs alarm recording (the alarm image data is stored in the second storage unit 313b of each camera number).

監視コントローラ３１０のアラーム録画機能は、高精細な動画(アラーム画像データ)を取得できるが、低圧縮のためファイル容量が大きくなり記憶部を占有してしまう。よって、搬送エラーが発生した箇所に応じてアラームＩＤやカメラ番号を定義した図１４に示すテーブルを適用することにより、監視コントローラ３１０の記憶部のデータ量を削減する効果が高くなる。 The alarm recording function of the monitoring controller 310 can acquire a high-definition moving image (alarm image data), but the file capacity becomes large due to low compression and occupies the storage unit. Therefore, by applying the table shown in FIG. 14 in which the alarm ID and the camera number are defined according to the location where the transport error occurs, the effect of reducing the amount of data in the storage unit of the monitoring controller 310 is enhanced.

次に、本実施形態における監視コントローラ３１０による基板処理装置４の搬送動作監視フローについて図１５を主に用いて説明する。ここでは、ステップＳ１６のウエハディスチャージ工程で搬送エラー（障害）が発生した場合を例に説明する。なお、操作部ＰＣ４００を用いた場合を例に以下説明する。 Next, the transfer operation monitoring flow of the substrate processing device 4 by the monitoring controller 310 in the present embodiment will be described mainly with reference to FIG. Here, a case where a transfer error (failure) occurs in the wafer discharge step of step S16 will be described as an example. The case where the operation unit PC400 is used will be described below as an example.

（キャリアロード工程：Ｓ１０）
操作部ＰＣ４００等の外部コンピュータ等からポッド２０の搬送要求を受付けると、装置コントローラ２１０は、監視コントローラ３１０にキャリアロード開始イベントを示すイベント通知を送信する。監視コントローラ３１０は、このイベント通知を受けると、カメラ９１(カメラ番号１)による撮影を開始させる。 (Carrier loading process: S10)
When the transport request for the pod 20 is received from an external computer such as the operation unit PC400, the device controller 210 transmits an event notification indicating a carrier load start event to the monitoring controller 310. Upon receiving this event notification, the monitoring controller 310 starts shooting with the camera 91 (camera number 1).

尚、外部搬送装置からポッド２０がＡＧＶポート２２またはＯＨＴポート３２に載置されると、装置コントローラ２１０が、監視コントローラ３１０にキャリアロード開始イベントを示すイベント通知を送信するようにしてもよい。 When the pod 20 is mounted on the AGV port 22 or the OHT port 32 from the external transport device, the device controller 210 may send an event notification indicating a carrier load start event to the monitoring controller 310.

カメラ９１は、外部搬送装置とＡＧＶポート２２及びＯＨＴポート３２との間で、キャリアとしてのポッド２０を受渡しする様子を撮影する。監視コントローラ３１０は、カメラ９１が撮影したイベント画像データを、ＡＧＶポート２２またはＯＨＴポート３２にポッド２０が載置されると、第１記憶部３１３ａに保存（イベント録画）させるように構成されている。 The camera 91 photographs a state in which the pod 20 as a carrier is delivered between the external transfer device and the AGV port 22 and the OHT port 32. The monitoring controller 310 is configured to store the event image data captured by the camera 91 in the first storage unit 313a (event recording) when the pod 20 is placed on the AGV port 22 or the OHT port 32. ..

また、監視コントローラ３１０は、ＡＧＶポート２２またはＯＨＴポート３２にポッド２０が載置されると、カメラ９１からカメラ９２(カメラ番号２)に切替え、カメラ９２にＡＧＶポート２２及びＯＨＴポート３２と移載ポート４２の間のポッド搬送機構４０の様子を撮影させるよう構成されている。 Further, when the pod 20 is mounted on the AGV port 22 or the OHT port 32, the monitoring controller 310 switches from the camera 91 to the camera 92 (camera number 2) and transfers the AGV port 22 and the OHT port 32 to the camera 92. It is configured to photograph the state of the pod transport mechanism 40 between the ports 42.

ポッド２０が移載ポート４２の載置部に載置されると、装置コントローラ２１０は、監視コントローラ３１０にキャリアロード終了イベントを示すイベント通知を送信する。監視コントローラ３１０は、このイベント通知を受けると、カメラ９２による撮影を終了させる。そして、カメラ９２が撮影したイベント画像データは、第１記憶部３１３ａに保存（イベント録画）されるように構成される。 When the pod 20 is mounted on the mounting portion of the transfer port 42, the device controller 210 transmits an event notification indicating a carrier load end event to the monitoring controller 310. Upon receiving this event notification, the monitoring controller 310 ends the shooting by the camera 92. Then, the event image data captured by the camera 92 is configured to be stored (event recording) in the first storage unit 313a.

（蓋展開工程：Ｓ１１）
次に、ＦＩＭＳオープナによるポッド２０の蓋を展開する工程が実施される。装置コントローラ２１０は、監視コントローラ３１０にＦＩＭＳオープナによるポッド２０の蓋開動作終了イベントを示すイベント通知を送信する。監視コントローラ３１０は、この終了イベント通知を受けると、カメラ９３により撮影させる。なお、装置コントローラ２１０が、監視コントローラ３１０にＦＩＭＳオープンイベントを示すイベント通知を送信し、他のカメラのように動画を撮影させるようにしてもよい。 (Lid unfolding process: S11)
Next, a step of unfolding the lid of the pod 20 by the FIMS opener is carried out. The device controller 210 transmits an event notification indicating the lid opening operation end event of the pod 20 by the FIMS opener to the monitoring controller 310. Upon receiving the end event notification, the monitoring controller 310 causes the camera 93 to take a picture. The device controller 210 may send an event notification indicating a FIMS open event to the monitoring controller 310 so as to shoot a moving image like other cameras.

(ウエハチャージ工程：Ｓ１２)
図示しない外部コンピュータ等からウエハＷの移載要求を受付けると、装置コントローラ２１０は、監視コントローラ３１０にウエハチャージ開始イベントを示すイベント通知を送信する。監視コントローラ３１０は、このイベント通知を受けると、カメラ９４(カメラ番号４)またはカメラ９５(カメラ番号５)による撮影を開始させるとともにイベント録画情報リストが作成される。 (Wafer charging process: S12)
When a wafer W transfer request is received from an external computer or the like (not shown), the device controller 210 transmits an event notification indicating a wafer charge start event to the monitoring controller 310. Upon receiving this event notification, the monitoring controller 310 starts shooting with the camera 94 (camera number 4) or the camera 95 (camera number 5) and creates an event recording information list.

カメラ９４またはカメラ９５は、移載ポート４２の載置部のポッド２０とボート５８との間で、ウエハＷが搬送される様子を撮影する。 The camera 94 or the camera 95 photographs a state in which the wafer W is conveyed between the pod 20 of the mounting portion of the transfer port 42 and the boat 58.

ウエハＷがボート５８に装填されると、装置コントローラ２１０は、監視コントローラ３１０にウエハチャージ終了イベントを示すイベント通知を送信する。監視コントローラ３１０は、このイベント通知を受けると、カメラ９４またはカメラ９５による撮影を終了させる。 When the wafer W is loaded into the boat 58, the device controller 210 transmits an event notification indicating a wafer charge end event to the monitoring controller 310. Upon receiving this event notification, the monitoring controller 310 ends the shooting by the camera 94 or the camera 95.

そして、カメラ９４またはカメラ９５が撮影したイベント画像データは、第１記憶部３１３ａに保存（イベント録画）されるように構成される。 Then, the event image data captured by the camera 94 or the camera 95 is configured to be stored (event recording) in the first storage unit 313a.

(ボートロード工程：Ｓ１３)
図示しない操作部等からプロセスレシピを実行する指示要求を受付けると、装置コントローラ２１０は、監視コントローラ３１０にボートロード開始イベントを示すイベント通知を送信する。監視コントローラ３１０は、このイベント通知を受けると、カメラ９４またはカメラ９５による撮影を開始させる。 (Boat load process: S13)
Upon receiving an instruction request for executing a process recipe from an operation unit (not shown) or the like, the device controller 210 transmits an event notification indicating a boat load start event to the monitoring controller 310. Upon receiving this event notification, the surveillance controller 310 starts shooting with the camera 94 or the camera 95.

カメラ９４またはカメラ９５は、搬送室１６と処理炉８との間で、ボート５８が昇降される様子を撮影する。なお、ボート５８が昇降される様子を撮影するカメラとポッド２０とボート５８との間のウエハＷの移載を撮影するカメラを個別に設けるようにしてもよい。 The camera 94 or the camera 95 photographs a state in which the boat 58 is moved up and down between the transport chamber 16 and the processing furnace 8. A camera for photographing the ascending / descending state of the boat 58 and a camera for photographing the transfer of the wafer W between the pod 20 and the boat 58 may be provided individually.

ボート５８が処理炉８に搬入されると、装置コントローラ２１０は、監視コントローラ３１０にボートロード終了イベントを示すイベント通知を送信する。監視コントローラ３１０は、このイベント通知を受けると、カメラ９４またはカメラ９５による撮影を終了させる。そして、カメラ９４またはカメラ９５が撮影したイベント画像データは、第１記憶部３１３ａに保存（イベント録画）されるように構成される。 When the boat 58 is carried into the processing furnace 8, the device controller 210 transmits an event notification indicating a boat load end event to the monitoring controller 310. Upon receiving this event notification, the monitoring controller 310 ends the shooting by the camera 94 or the camera 95. Then, the event image data captured by the camera 94 or the camera 95 is configured to be stored (event recording) in the first storage unit 313a.

(成膜工程：Ｓ１４)
次に、プロセスレシピが実行されてウエハＷに成膜処理が行われる。この工程では、監視コントローラ３１０は、全てのカメラ９１〜９５の動作を停止させている。なお、操作部ＰＣ４００で、これまでに終了した搬送イベント(キャリアロード工程、蓋展開工程、ウエハチャージ工程、ボートロード工程)で取得した画像データ(動画または静止画)を操作部ＰＣ４００等の操作画面に表示させて動作確認を行うことができる。 (Film formation process: S14)
Next, the process recipe is executed and the film forming process is performed on the wafer W. In this step, the monitoring controller 310 stops the operation of all the cameras 91 to 95. In the operation unit PC400, the image data (video or still image) acquired in the transfer events (carrier loading process, lid unfolding process, wafer charging process, boat loading process) that have been completed so far can be displayed on the operation screen of the operation unit PC400 or the like. You can check the operation by displaying it on.

具体的には、図１６に示すように、操作部ＰＣ４００の操作画面にはイベント録画情報リスト４０５が表示される。イベント録画情報リスト４０５には、イベント発生日時、イベント内容等のイベント情報が表示される。そして、イベント録画情報リスト４０５に記載されているイベント情報を選択すると各イベントが頭出しされ、各イベントの開始から終了までの動画を再生することができる。また、複数のバッチが記憶されている場合には、操作画面で所定のボタンを押下し、同じイベントで異なるバッチ間の比較表示をすることができる。 Specifically, as shown in FIG. 16, the event recording information list 405 is displayed on the operation screen of the operation unit PC400. Event information such as an event occurrence date and time and event contents is displayed in the event recording information list 405. Then, when the event information described in the event recording information list 405 is selected, each event is cueed, and the moving image from the start to the end of each event can be played. Further, when a plurality of batches are stored, a predetermined button can be pressed on the operation screen to compare and display different batches at the same event.

これにより、正常動作を確認し、搬送エラーは発生しないが、同じ搬送イベントでイベントの開始から終了するまでの時間の差異を突き止めることができ、搬送エラーが発生しないように予め対策を施すことができる。なお、正常動作確認は、基板処理工程が終了後に行っても構わない。 As a result, normal operation can be confirmed and no transport error occurs, but the difference in time from the start to the end of the event can be found in the same transport event, and measures can be taken in advance to prevent a transport error from occurring. it can. The normal operation check may be performed after the substrate processing step is completed.

(ボートアンロード工程：Ｓ１５)
プロセスレシピのボートアンロード工程に移行するタイミングで、装置コントローラ２１０は、監視コントローラ３１０にボートアンロード開始イベントを示すイベント通知を送信する。監視コントローラ３１０は、このイベント通知を受けると、カメラ９４またはカメラ９５による撮影を開始させる。 (Boat unloading process: S15)
At the timing of shifting to the boat unloading process of the process recipe, the device controller 210 transmits an event notification indicating a boat unload start event to the monitoring controller 310. Upon receiving this event notification, the surveillance controller 310 starts shooting with the camera 94 or the camera 95.

カメラ９４またはカメラ９５は、搬送室１６と処理炉８との間で、ボート５８が下降される様子を撮影する。 The camera 94 or the camera 95 photographs a state in which the boat 58 is lowered between the transport chamber 16 and the processing furnace 8.

ボート５８が搬送室１６へ下降されると、装置コントローラ２１０は、監視コントローラ３１０にボートアンロード終了イベントを示すイベント通知を送信する。監視コントローラ３１０は、このイベント通知を受けると、カメラ９４またはカメラ９５による撮影を終了させる。そして、カメラ９４またはカメラ９５が撮影したイベント画像データは、第１記憶部３１３ａに保存（イベント録画）されるように構成される。 When the boat 58 is lowered into the transport chamber 16, the device controller 210 transmits an event notification indicating a boat unload end event to the monitoring controller 310. Upon receiving this event notification, the monitoring controller 310 ends the shooting by the camera 94 or the camera 95. Then, the event image data captured by the camera 94 or the camera 95 is configured to be stored (event recording) in the first storage unit 313a.

(ウエハディスチャージ工程：Ｓ１６)
装置コントローラ２１０は、監視コントローラ３１０にウエハディスチャージ開始イベントを示すイベント通知を送信する。監視コントローラ３１０は、このイベント通知を受けると、カメラ９４またはカメラ９５による撮影を開始させる。 (Wafer discharge process: S16)
The device controller 210 transmits an event notification indicating a wafer discharge start event to the monitoring controller 310. Upon receiving this event notification, the surveillance controller 310 starts shooting with the camera 94 or the camera 95.

カメラ９４またはカメラ９５は、移載ポート４２の載置部のポッド２０とボート５８との間で、ウエハＷが搬送される様子を撮影する。移載ポート４２上のポッド２０とボート５８との間でウエハＷの搬送中に、搬送エラーが発生すると、搬送エラー発生時の前後の数十秒間、例えば搬送エラー発生時の前後２０秒間のアラーム画像データが、監視コントローラ３１０の第２記憶部３１３ｂに保存（アラーム録画）される。 The camera 94 or the camera 95 photographs a state in which the wafer W is conveyed between the pod 20 of the mounting portion of the transfer port 42 and the boat 58. If a transfer error occurs during transfer of the wafer W between the pod 20 on the transfer port 42 and the boat 58, an alarm for several tens of seconds before and after the occurrence of the transfer error, for example, 20 seconds before and after the occurrence of the transfer error. The image data is stored (error recording) in the second storage unit 313b of the monitoring controller 310.

また、装置コントローラ２１０から搬送エラー発生時に通知されるアラーム通知には、搬送イベントの終了を示す通知も含まれる。但し、この通知は、搬送イベントで異常が発生したことを示すイベント異常終了通知である。なお、このイベント異常終了通知は、本実施形態において、アラーム通知に含まれる情報である。一方、装置コントローラ２１０が、該イベント異常終了通知とアラーム通知を別々に監視コントローラ３１０および操作部ＰＣ４００に通知するように構成してもよく、特に通知方法は限定されない。本実施形態では、ウエハディスチャージ工程（Ｓ１６）において、イベント開始通知からイベント異常終了通知（つまり搬送エラー発生時）までの画像データがイベント画像データとして、監視コントローラ３１０の第１記憶部３１３ａにファイル化して保存される。 Further, the alarm notification notified from the device controller 210 when a transfer error occurs includes a notification indicating the end of the transfer event. However, this notification is an event abnormal end notification indicating that an abnormality has occurred in the transport event. The event abnormal end notification is information included in the alarm notification in the present embodiment. On the other hand, the device controller 210 may be configured to separately notify the monitoring controller 310 and the operation unit PC 400 of the event abnormal end notification and the alarm notification, and the notification method is not particularly limited. In the present embodiment, in the wafer discharge step (S16), the image data from the event start notification to the event abnormal end notification (that is, when a transport error occurs) is filed as event image data in the first storage unit 313a of the monitoring controller 310. Is saved.

なお、監視コントローラ３１０は、蓋展開工程（Ｓ１１）後、ウエハＷ搬送後(上述のウエハチャージ工程（Ｓ１２）後)またはボート５８下降後(上述のボートアンロード工程（Ｓ１５）後)に静止画を取得するように構成されている。このとき、監視コントローラ３１０は、イベント画像データよりも低圧縮で高精細（ＭＪＰＥＧ形式）の静止画をカメラ９１〜９５に撮影させ、ファイル化して第２記憶部３１３ｂに保存するようにしてもよい。 The monitoring controller 310 is used as a still image after the lid unfolding step (S11), the wafer W transfer (after the wafer charging step (S12) described above), or after the boat 58 descends (after the boat unloading step (S15) described above). Is configured to get. At this time, the monitoring controller 310 may have the cameras 91 to 95 take a still image of high definition (MJPEG format) with lower compression than the event image data, convert it into a file, and save it in the second storage unit 313b. ..

ここで、搬送エラーが発生してから異常解析するまでのシーケンスについて図１７を用いて詳細に説明する。なお、ウエハＷを搬送するポッド搬送装置４０、基板移載機８６、ボート５８等の搬送手段には、ウエハＷの搬送時に発生する搬送エラーを検出する検出手段としてのセンサがそれぞれ取り付けられ、装置コントローラ２１０は、イベントデータを取得している。 Here, the sequence from the occurrence of the transport error to the abnormality analysis will be described in detail with reference to FIG. A sensor as a detection means for detecting a transfer error occurring during transfer of the wafer W is attached to each of the transfer means such as the pod transfer device 40, the substrate transfer machine 86, and the boat 58 for transporting the wafer W. The controller 210 has acquired the event data.

監視コントローラ３１０は、搬送エラー発生時に過去に数十秒遡ったアラーム画像データを録画できるように各カメラ９１〜９５から取得したアラーム画像データを第２メモリ３１２ｂに保持している。そして、不図示のセンサにより搬送エラーを検出すると、装置コントローラ２１０は、アラームデータを取得し、これらの搬送手段を停止させるよう構成されている。 The monitoring controller 310 holds alarm image data acquired from each camera 91 to 95 in the second memory 312b so that alarm image data that goes back several tens of seconds in the past can be recorded when a transport error occurs. Then, when a transport error is detected by a sensor (not shown), the device controller 210 is configured to acquire alarm data and stop these transport means.

そして、装置コントローラ２１０は監視コントローラ３１０にエラー情報をアラーム通知する（Ｓ１００）。エラー情報には、搬送エラーが発生した装置名、搬送エラーを示すアラームＩＤ、搬送エラーの発生時刻が少なくとも含まれる。ここで、装置名は、基板処理装置４を特定する情報（装置の名前データ）だけでなく、ロードポート２２、ポッド搬送機構４０、蓋開閉機構、基板移載機８６、ボート５８、回転機構８０、ボートエレベータ８２、カメラ９１〜９５等の基板処理装置４を構成する装置を特定する情報（名前データ）でもある。そして、監視コントローラ３１０は、アラーム通知を取得した後、搬送エラー発生時刻の前後の数十秒間分、例えば搬送エラー発生前後２０秒間の低圧縮で高精細のＭＪＰＥＧ形式のアラーム画像データを第２記憶部３１３ｂに保存する（Ｓ１０１）。つまり、監視コントローラ３１０は、第２メモリ３１２ｂに保持されたアラーム画像データをファイル化して第２記憶部３１３ｂに保存（アラーム録画）するように構成されている。 Then, the device controller 210 notifies the monitoring controller 310 of the error information as an alarm (S100). The error information includes at least the name of the device in which the transport error occurred, the alarm ID indicating the transport error, and the time when the transport error occurred. Here, the device name includes not only the information for identifying the board processing device 4 (device name data), but also the load port 22, the pod transfer mechanism 40, the lid opening / closing mechanism, the board transfer machine 86, the boat 58, and the rotation mechanism 80. , Boat elevator 82, cameras 91-95, and other information (name data) that identifies the devices that make up the board processing device 4. Then, after acquiring the alarm notification, the monitoring controller 310 secondly stores the low-compression, high-definition MJPEG format alarm image data for several tens of seconds before and after the transfer error occurrence time, for example, 20 seconds before and after the transfer error occurrence. It is stored in the part 313b (S101). That is, the monitoring controller 310 is configured to file the alarm image data held in the second memory 312b and store it in the second storage unit 313b (alarm recording).

また、装置コントローラ２１０は監視コントローラ３１０と同じタイミングで例えば操作部ＰＣ４００にエラー情報をアラーム通知する（Ｓ１００）。そして、操作部ＰＣ４００上に障害が発生した基板処理装置と同じ障害発生画面が表示される（Ｓ１０２）。そして、操作画面上でカメラ９１〜９５で記録した画像データを表示させる手段（例えば、図１９で示すＥ−ＣＡＭボタン４１０等）が選択されると、監視コントローラ３１０は、アラームＩＤや搬送エラー発生時刻等のエラー情報からアラーム発生時の画像データ（イベント画像データ）を含むアラーム情報画面を操作部ＰＣ４００に表示させる。ここで、操作部ＰＣ４００は、リモートで監視コントローラ３１０へ接続されているので、該アラーム情報画面を操作部ＰＣ４００の表示部に表示することができる（Ｓ１０３）。本実施形態では、操作部ＰＣ４００の操作画面（アラーム情報画面）には、カメラ９１〜９５で記録したイベント画像データ又は／及びアラーム画像データを表示させるためのボタンが設けられるように構成されている。つまり、監視コントローラ３１０が、操作部ＰＣ４００の操作画面にカメラ９１〜９５で記録したイベント画像データ又は／及びアラーム画像データを表示させることにより、動画解析、比較動画解析、エラー情報分析等の搬送エラー録画解析をすることができる（Ｓ１０４）。そして、操作部ＰＣ４００において、クリーンルームの作業者等に復旧指示（Ｓ１０５）がなされることにより搬送エラーが発生した装置の復旧作業が行われる。 Further, the device controller 210 notifies the operation unit PC400 of error information as an alarm at the same timing as the monitoring controller 310 (S100). Then, the same failure occurrence screen as that of the board processing device in which the failure has occurred is displayed on the operation unit PC400 (S102). Then, when a means for displaying the image data recorded by the cameras 91 to 95 (for example, the E-CAM button 410 shown in FIG. 19) is selected on the operation screen, the monitoring controller 310 causes an alarm ID or a transport error. The operation unit PC 400 displays an alarm information screen including image data (event image data) at the time of alarm occurrence from error information such as time. Here, since the operation unit PC 400 is remotely connected to the monitoring controller 310, the alarm information screen can be displayed on the display unit of the operation unit PC 400 (S103). In the present embodiment, the operation screen (alarm information screen) of the operation unit PC 400 is configured to be provided with a button for displaying the event image data and / or the alarm image data recorded by the cameras 91 to 95. .. That is, the monitoring controller 310 displays the event image data and / and the alarm image data recorded by the cameras 91 to 95 on the operation screen of the operation unit PC 400, so that a transfer error such as video analysis, comparative video analysis, error information analysis, etc. Recording analysis can be performed (S104). Then, in the operation unit PC400, the restoration work of the device in which the transport error has occurred is performed by giving the restoration instruction (S105) to the worker or the like in the clean room.

以下、図１８に操作部ＰＣ４００の操作画面上にリモートで表示させるために監視コントローラ３１０が実行する画面表示フローを示す。 Hereinafter, FIG. 18 shows a screen display flow executed by the monitoring controller 310 for remote display on the operation screen of the operation unit PC 400.

監視コントローラ３１０は、例えば、操作部ＰＣ４００の操作画面上で搬送エラーに関する所定アラームを参照するボタン（例えば、図１９で示すＥ−ＣＡＭボタン４１０等）が押下されてから、アラーム録画参照通知を取得すると、アラーム録画情報リストを検索する（ステップＳ２０）。そして、検索した結果、対象アラーム画像データのアラーム録画ファイルの保存先ディレクトリ、搬送エラー発生時のイベント情報等の対象エラー情報を取得して、検索結果を保存する（ステップＳ２１）。ここで、対象エラー情報におけるイベント情報とは、キャリアロード工程、蓋展開工程、ウエハチャージ工程、ボートロード工程、成膜工程、ボートアンロード工程、ウエハディスチャージ工程、キャリアアンロード工程のいずれかのタイミングであることを示すものである。更に、本実施形態では、監視コントローラ３１０とカメラ９１〜９５のクロックが同期しているため、イベント情報の開始時や搬送エラー発生時にカメラ９１〜９５により録画した画像データの開始再生タイミングを一致させることができる（少なくとも微調整できる）。詳細は後述する。 The monitoring controller 310 acquires an alarm recording reference notification after, for example, a button (for example, the E-CAM button 410 shown in FIG. 19) for referring to a predetermined alarm related to a transport error is pressed on the operation screen of the operation unit PC400. Then, the alarm recording information list is searched (step S20). Then, as a result of the search, the target error information such as the storage destination directory of the alarm recording file of the target alarm image data and the event information when a transport error occurs is acquired, and the search result is saved (step S21). Here, the event information in the target error information is any timing of the carrier loading process, the lid unfolding process, the wafer charging process, the boat loading process, the film forming process, the boat unloading process, the wafer discharging process, and the carrier unloading process. It shows that. Further, in the present embodiment, since the clocks of the monitoring controller 310 and the cameras 91 to 95 are synchronized, the start playback timings of the image data recorded by the cameras 91 to 95 are matched at the start of the event information or when a transport error occurs. Can (at least be fine-tuned). Details will be described later.

そして、操作部ＰＣ４００の操作画面上にて２画面表示ボタンが押下されると、監視コントローラ３１０は、２画面切替処理時（ステップＳ２２）に、対象エラー情報を参照して、第２記憶部３１３ｂに保存されているアラーム画像データを右側画面に表示する（ステップＳ２３）。そして、対象エラー情報の搬送エラー発生時のイベント情報を取得して（ステップＳ２４）、イベント録画情報リストからイベント情報が一致するイベント録画ファイルの保存先ディレクトリとイベント情報の検索結果を取得し、イベント録画候補情報へ保存する（ステップＳ２５）。 Then, when the two-screen display button is pressed on the operation screen of the operation unit PC400, the monitoring controller 310 refers to the target error information during the two-screen switching process (step S22) and refers to the second storage unit 313b. The alarm image data saved in is displayed on the right screen (step S23). Then, the event information when the transfer error of the target error information occurs is acquired (step S24), the save destination directory of the event recording file whose event information matches and the search result of the event information are acquired from the event recording information list, and the event Save to the recording candidate information (step S25).

そして、イベント録画候補情報に、イベント情報が一致する表示候補が無い場合は（ステップＳ２６においてＮＯ）、搬送エラー発生時のタイムスタンプと同じ日付のイベント画像データを保存したイベント録画情報リストを操作部ＰＣ４００の操作画面の左側画面に表示させる（ステップＳ２７）。 Then, if there is no display candidate that matches the event information in the event recording candidate information (NO in step S26), the operation unit operates the event recording information list that stores the event image data having the same date as the time stamp when the transport error occurs. It is displayed on the left screen of the operation screen of the PC 400 (step S27).

そして、イベント録画候補情報に、イベント情報が一致する表示候補がある場合は（ステップＳ２６においてＹＥＳ）、搬送エラー発生時と同一のイベント情報をもつイベント画像データを保存したイベント録画情報リストをイベント録画候補情報から取得して左側画面に表示させる（ステップＳ２８）。 Then, if the event recording candidate information includes display candidates that match the event information (YES in step S26), the event recording information list storing the event image data having the same event information as when the transport error occurs is recorded as an event. It is acquired from the candidate information and displayed on the left screen (step S28).

そして、左側画面のリスト表示から同時再生するイベント録画ファイルが選択されると、選択されたイベント録画ファイルを参照して、第２記憶部３１３ａに保存されているイベント画像データを表示する（ステップＳ２９）。つまり、監視コントローラ３１０は、イベント画像データとアラーム画像データの両方を同じ画面に表示させる。そして、２画面同時再生ボタンが押下されると、左右画面でアラーム画像データとイベント画像データがシンクロ再生（同時再生）される（ステップＳ３０）。 Then, when the event recording file to be simultaneously played back is selected from the list display on the left screen, the event image data stored in the second storage unit 313a is displayed with reference to the selected event recording file (step S29). ). That is, the monitoring controller 310 displays both the event image data and the alarm image data on the same screen. Then, when the two-screen simultaneous playback button is pressed, the alarm image data and the event image data are synchronizedly reproduced (simultaneously reproduced) on the left and right screens (step S30).

なお、上述した２画面表示及び同時再生は、アラーム画像データとイベント画像データに限らず、アラーム画像データ同士やイベント画像データ同士を同じ画面に２画面表示させて同時再生させ、搬送エラーの障害解析に役立てることができる。 The above-mentioned two-screen display and simultaneous playback are not limited to the alarm image data and the event image data, but the alarm image data and the event image data are displayed on the same screen on two screens and simultaneously played back to analyze the failure of the transport error. Can be useful for.

具体的には、監視コントローラ３１０にリモートで接続して操作画面を表示している操作部ＰＣ４００はアラーム通知を取得すると、図１９に示されているように操作画面に、装置コントローラ２１０の操作部と同様の障害情報画面を表示する。図１９の障害情報画面には、装置の概観を示す概観表示部４０７と、搬送エラー等の障害情報を表示する障害情報表示部４０９が含まれている。そして、概観表示部４０７と障害情報表示部４０９の表示内容により、搬送エラーが発生している装置や、搬送エラーの箇所や、搬送エラーの内容等を把握することができるように構成されている。また、図１９に示す障害情報画面には、カメラ９１〜９５が撮影した画像データを表示させる手段（Ｅ−ＣＡＭボタン）４１０が含まれている。そして、操作部ＰＣ４００の操作画面において、例えば図１４のＥ−ＣＡＭボタン４１０が押下されると、図２０に示されているような搬送エラーが発生した箇所を撮影していたカメラによる搬送エラーのライブ映像画面(イベント画像データ)が表示される。このライブ映像画面は、アラーム通知とともに録画終了される際の静止画である。すなわち、例えばウエハディスチャージ工程におけるウエハＷの搬送残りが検出された場合、搬送残りが発生したときの状況を確認することができる。また、図２０に示されている操作画面において録画映像を巻き戻したり、再生ボタンにより録画映像を再生したり、コマ送りボタンによりコマ送り再生することができる。 Specifically, when the operation unit PC400, which is remotely connected to the monitoring controller 310 and displays the operation screen, receives the alarm notification, the operation unit of the device controller 210 is displayed on the operation screen as shown in FIG. Display the same failure information screen as. The failure information screen of FIG. 19 includes an overview display unit 407 showing an overview of the device and a failure information display unit 409 displaying failure information such as a transport error. Then, the display contents of the overview display unit 407 and the failure information display unit 409 are configured so that the device in which the transport error has occurred, the location of the transport error, the content of the transport error, and the like can be grasped. .. Further, the failure information screen shown in FIG. 19 includes a means (E-CAM button) 410 for displaying image data captured by the cameras 91 to 95. Then, on the operation screen of the operation unit PC400, for example, when the E-CAM button 410 of FIG. 14 is pressed, the transfer error caused by the camera that has taken a picture of the location where the transfer error has occurred as shown in FIG. The live video screen (event image data) is displayed. This live video screen is a still image when recording ends with an alarm notification. That is, for example, when the transfer residue of the wafer W in the wafer discharge step is detected, the situation when the transfer residue occurs can be confirmed. Further, on the operation screen shown in FIG. 20, the recorded video can be rewound, the recorded video can be played by the play button, and the frame-by-frame playback can be performed by the frame-by-frame button.

また、図２０には、アラームＩＤを検索するための検索セル４０６とアラームリスト４０８を表示する。アラームリスト４０８には、搬送エラーの発生日時とアラームＩＤが少なくとも含まれている。アラームリスト４０８からアラームＩＤや搬送エラー発生時刻が選択されると、選択されたアラームＩＤ、およびタイムスタンプから対応するカメラの第２記憶部３１３ｂが検索され、ライブ映像画面(イベント画像データ)より高精細な搬送エラー発生時の前後数十秒間の動画(アラーム画像データ)が表示され、高精細なアラーム画像データを参照してアラーム事由発生状況の詳細を確認することができる。 Further, FIG. 20 displays a search cell 406 and an alarm list 408 for searching the alarm ID. The alarm list 408 includes at least the date and time when the transport error occurred and the alarm ID. When an alarm ID or a transport error occurrence time is selected from the alarm list 408, the second storage unit 313b of the corresponding camera is searched from the selected alarm ID and the time stamp, which is higher than the live video screen (event image data). A moving image (alarm image data) of several tens of seconds before and after the occurrence of a fine transport error is displayed, and the details of the alarm event occurrence status can be confirmed by referring to the high-definition alarm image data.

また、図２０に示されているように、搬送エラー発生画面には、比較参照ボタンである２画面表示Ａボタン４１１と２画面表示Ｂボタン４１２が設けられている。そして、２画面表示Ａボタン４１１が押下されることにより、図２１に示されているように比較参照用の２画面が表示されるよう構成される。すなわち、操作画面に低圧縮で高精細なアラーム画像データのファイルを選択可能にリストが表示され、所望のファイルを選択して同日の他の低圧縮で高精細なアラーム画像データと比較表示することができる。なお、同じアラームＩＤであるが異なる日時に発生した搬送エラーのアラーム画像データと比較表示することもできる。これにより、搬送エラーの発生要因が同一の要因であったのか、別の要因であったのか等を分析可能となる。 Further, as shown in FIG. 20, the transport error occurrence screen is provided with a two-screen display A button 411 and a two-screen display B button 412, which are comparison reference buttons. Then, when the two-screen display A button 411 is pressed, two screens for comparison reference are displayed as shown in FIG. That is, a list is displayed on the operation screen so that a file of low-compression and high-definition alarm image data can be selected, and a desired file is selected and displayed in comparison with other low-compression and high-definition alarm image data of the same day. Can be done. It is also possible to compare and display the alarm image data of the transport error that has the same alarm ID but occurs at a different date and time. This makes it possible to analyze whether the cause of the transport error is the same factor or a different factor.

また、図２０に示されているような搬送エラー発生画面において、２画面表示Ｂボタン４１２が押下されることにより、図２２に示されているように、同じ搬送イベントにおける正常動作と、搬送エラーが発生したときの異常動作を２画面で比較表示することができる。 Further, in the transport error occurrence screen as shown in FIG. 20, when the two-screen display B button 412 is pressed, as shown in FIG. 22, normal operation in the same transport event and the transport error occur. It is possible to compare and display the abnormal operation when the above occurs on two screens.

具体的には、右側の搬送エラー発生画面と同時再生したいイベント画像データをイベント録画ファイルのイベントラベル表示を参考に選択する。そして、２画面同時再生ボタン４１４を押下して、左側の正常時の高圧縮のイベント画像データの動画と、右側の低圧縮で高精細のアラーム画像データの動画をシンクロ再生する。同時シンクロ再生させて、映像がそろっていない場合は、図示の動画操作ボタンを利用して調整する。つまり、搬送エラー発生時の異常動作を正常動作と比較表示することで、正常動作とどこが異なっていたのか等を分析可能となる。 Specifically, select the event image data to be played back simultaneously with the transport error occurrence screen on the right side by referring to the event label display of the event recording file. Then, the two-screen simultaneous playback button 414 is pressed to synchronize the video of the event image data with high compression at normal time on the left side and the video of the alarm image data with low compression on the right side. If the images are not aligned after simultaneous synchronized playback, adjust using the video operation buttons shown in the figure. That is, by displaying the abnormal operation when a transport error occurs in comparison with the normal operation, it is possible to analyze what is different from the normal operation.

また、図２０に示す搬送エラー発生画面において、対象のアラーム動画を表示されているアラームリスト４０８から選択し、２画面表示Ｂボタン４１２を押下する。そして、選択したアラーム動画の再生開始タイムスタンプ（アラーム発生時刻のタイムスタンプ−２０秒）と対象のカメラ名からデータベース３１１ａを検索して第１画像データ（イベント画像データ）のファイルを第１記憶部３１３ａから取出す。左側に第１画像データを再生開始タイムスタンプで自動頭出しして表示する。オペレータは左側の第１画像データを操作して搬送エラーが発生するまでの動画を確認することができる。また、イベントラベル表示を参考に搬送エラーが発生するまでの動画を選んで再生することができる。 Further, on the transport error occurrence screen shown in FIG. 20, the target alarm moving image is selected from the displayed alarm list 408, and the two-screen display B button 412 is pressed. Then, the database 311a is searched from the playback start time stamp (time stamp of the alarm occurrence time-20 seconds) of the selected alarm video and the target camera name, and the file of the first image data (event image data) is stored in the first storage unit. Take out from 313a. The first image data is automatically cueed and displayed on the left side with a playback start time stamp. The operator can operate the first image data on the left side to check the moving image until the transfer error occurs. In addition, it is possible to select and play a moving image until a transport error occurs by referring to the event label display.

これにより、イベント画像データとして、搬送エラーが発生するまでの動画とアラーム画像データとして、搬送エラーの発生前後（アラーム発生前２０秒、アラーム発生後２０秒の合計４０秒）の動画を画面上に表示させることが可能である。 As a result, as event image data, a video until a transport error occurs and as alarm image data, a video before and after the occurrence of the transport error (20 seconds before the alarm occurs and 20 seconds after the alarm occurs, for a total of 40 seconds) is displayed on the screen. It is possible to display it.

本実施形態によれば、Ｈ．２６４形式の動画であるイベント画像データにより保存されるので正常動作であればデータ圧縮される。一方、フレーム間で異なる部分、具体的には、正常な搬送動作では動かない部分であっても搬送エラーが発生する直前に動く部分があれば逃さずに録画することができ、搬送エラーまでに至るイベント画像データの推移を確認することができる。 According to this embodiment, H. Since it is saved by the event image data which is a moving image of 264 format, the data is compressed if it operates normally. On the other hand, even if there is a part that differs between frames, specifically, a part that does not move in normal transfer operation, if there is a part that moves immediately before the transfer error occurs, it is possible to record without missing it, and by the transfer error You can check the transition of the event image data up to.

また、カメラによる撮影した動画や静止画を表示する際、撮影対象の搬送手段だけでなく、周囲の環境も一緒に撮影することになる。これにより搬送手段が直接な起因ではなく撮影対象の搬送手段の周囲の部品に起因するエラーであっても、カメラによる撮影の範囲であれば（イベント画像データもしくはアラーム画像データに表示されていれば）画像を解析することにより、エラー要因を突き止めることができる。 Further, when displaying a moving image or a still image taken by a camera, not only the transport means of the object to be photographed but also the surrounding environment is photographed together. As a result, even if the error is caused not by the transport means directly but by the parts around the transport means to be photographed, if it is within the range of shooting by the camera (if it is displayed in the event image data or the alarm image data). ) By analyzing the image, the cause of the error can be identified.

そして、装置担当者は、操作部の表示部に表示される動画や静止画を何度も確認し、アラーム録画解析を行うことにより、搬送エラーが発生した状況を把握して復旧方法を判断し、電話、メール等により復旧指示をすることができる。そのあと、オペレータは装置復旧作業を指示に従い実施する。なお、操作部は、基板処理装置４が配置された工場から離間した位置に配置されてもよい。この場合、装置担当者は、装置復旧に向けた対応をクリーンルームにいるオペレータや装置エンジニアへ指示し、オペレータや装置エンジニアは装置復旧作業を指示に従い実施する。 Then, the person in charge of the device repeatedly checks the moving image or still image displayed on the display unit of the operation unit and performs alarm recording analysis to grasp the situation where the transportation error has occurred and determine the recovery method. , You can give a recovery instruction by phone, email, etc. After that, the operator carries out the device restoration work according to the instructions. The operation unit may be arranged at a position away from the factory where the substrate processing device 4 is arranged. In this case, the person in charge of the device instructs the operator or the device engineer in the clean room to take measures for the device recovery, and the operator or the device engineer performs the device recovery work according to the instruction.

(キャリアアンロード工程：Ｓ１７)
そして、ウエハディスチャージ工程における復旧処理により、エラーが解除されると次のキャリアアンロード工程が通常通りキャリアロードと反対の動作が開始される。監視コントローラ３１０は、開始イベントを受信すると、イベント画像データの録画をカメラ９１に開始させ、終了イベントを受信するとイベント画像データの録画をカメラ９１に終了させる。監視コントローラ３１０は、キャリアアンロード工程の間、カメラ９１で取得したイベント画像データを第１記憶部３１３ａに記憶するとともにイベント録画情報リストを更新するように構成されている。 (Carrier unloading process: S17)
Then, when the error is cleared by the restoration process in the wafer discharge step, the next carrier unload step starts the operation opposite to the carrier load as usual. When the monitoring controller 310 receives the start event, the camera 91 starts recording the event image data, and when it receives the end event, the monitoring controller 310 ends the recording of the event image data on the camera 91. The monitoring controller 310 is configured to store the event image data acquired by the camera 91 in the first storage unit 313a and update the event recording information list during the carrier unloading process.

本実施形態によれば、以下の(ａ)〜(ｄ)のうち、少なくとも一つ以上の効果を奏する。 According to this embodiment, at least one or more of the following effects (a) to (d) is exhibited.

(ａ)本実施形態によれば、基板搬送中の画像データを取得しつつ搬送エラー発生時に高精細な画像データを基板搬送中の画像データとは個別に取得し、該搬送エラーの解析時にそれぞれの画像データを利用することができ、搬送エラーの解析（障害解析）を行うことができる。 (a) According to the present embodiment, while acquiring the image data during the transfer of the substrate, the high-definition image data is acquired separately from the image data during the transfer of the substrate when a transfer error occurs, and each of them is obtained when the transfer error is analyzed. Image data can be used, and transfer error analysis (fault analysis) can be performed.

(ｂ)本実施形態において、搬送ロボット等の各搬送機構に設けられたセンサからウエハ搬送開始タイミング等を示すイベント毎に装置コントローラ２１０だけでなく操作部にイベント信号を通知するように構成される。これにより、操作部は、イベントの終了タイミングでカメラ設置個所に該当するイベント情報であるかを判定し、記憶部内に格納されているイベント録画ファイルのイベント発生時刻で頭出しを行い、正常な動作を確認することができ、また、複数のイベント情報の動画(イベント画像データ)を同時に比較表示することができる。 (b) In the present embodiment, a sensor provided in each transfer mechanism such as a transfer robot notifies not only the device controller 210 but also the operation unit of an event signal for each event indicating the wafer transfer start timing and the like. .. As a result, the operation unit determines whether the event information corresponds to the location where the camera is installed at the end timing of the event, cue at the event occurrence time of the event recording file stored in the storage unit, and operate normally. Can be confirmed, and moving images (event image data) of a plurality of event information can be compared and displayed at the same time.

(ｃ)本実施形態において、監視コントローラ３１０のイベント録画情報リストから該当するイベント情報を選択すると、イベント発生時刻からカメラで取得された動画(イベント画像データ)が再生されるよう構成されている。このように、イベント毎にカメラ９１〜９５を設ける本構成によれば、装置が稼働している（もしくはウエハＷを搬送する各搬送手段が動いている）期間のみ録画することで、常時録画する場合と比較すると、カメラで録画する期間を長くすることができる。 (c) In the present embodiment, when the corresponding event information is selected from the event recording information list of the monitoring controller 310, the moving image (event image data) acquired by the camera from the event occurrence time is reproduced. In this way, according to this configuration in which cameras 91 to 95 are provided for each event, recording is always performed by recording only during the period when the device is operating (or each transport means for transporting the wafer W is operating). Compared to the case, the recording period with the camera can be lengthened.

(ｄ)本実施形態において、イベント録画情報ファイルとアラーム録画ファイルをそれぞれ選択することにより、同じ操作画面に表示することができるので、搬送エラー（障害）が発生した要因を追求することができる。 (d) In the present embodiment, since the event recording information file and the alarm recording file can be selected and displayed on the same operation screen, the cause of the transport error (failure) can be pursued.

なお、本開示は以上の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々に変更が可能であることはいうまでもない。 It goes without saying that the present disclosure is not limited to the above embodiments, and various changes can be made without departing from the gist thereof.

（他の実施形態）
例えば、上述の実施形態によれば、データ取得周期は、１秒間に３０フレームであり、第２画像データはそのまま第２記憶部３１３ｂに保存され、第１画像データは、フレーム前後の画像データを比較してデータの変化の有無により画像データを圧縮して第１記憶部３１３ａに保存していた。しかしながら、この実施形態に限定することはない。 (Other embodiments)
For example, according to the above-described embodiment, the data acquisition cycle is 30 frames per second, the second image data is stored as it is in the second storage unit 313b, and the first image data is the image data before and after the frame. In comparison, the image data was compressed and stored in the first storage unit 313a depending on whether or not the data was changed. However, it is not limited to this embodiment.

（実施例１）
データ取得周期は、上述の実施形態と同様に１秒間３０フレームであるが、第１画像データと第２画像データは解像度を異ならせる。例えば、第１画像データは、１６００×９００ピクセルとし、第２画像データは、３８４０×２１６０（４Ｋ）ピクセルとしても本実施形態と同様の効果を奏することができる。また、第１画像データと第２画像データを同時に送信するマルチストリーム機能を使用することで、一つのカメラで実装することができる。 (Example 1)
The data acquisition cycle is 30 frames per second as in the above-described embodiment, but the resolutions of the first image data and the second image data are different. For example, even if the first image data is 1600 × 900 pixels and the second image data is 3840 × 2160 (4K) pixels, the same effect as that of the present embodiment can be obtained. Further, by using the multi-stream function of transmitting the first image data and the second image data at the same time, it can be implemented by one camera.

（実施例２）
第１画像データと第２画像データでデータ取得周期を変更することができ、例えば、第１画像データは、１秒間に３フレームとし、第２画像データは、本実施形態と同様に１秒間３０フレームとすることができる。これにより、第１画像データは第２画像データの１０分の１のデータ量にすることができる。また、第２画像データの取り扱いは本実施形態と同じであるため、本実施形態と同様な効果を奏することができる。 (Example 2)
The data acquisition cycle can be changed between the first image data and the second image data. For example, the first image data has 3 frames per second, and the second image data has 30 frames per second as in the present embodiment. It can be a frame. As a result, the amount of the first image data can be reduced to one tenth of the amount of the second image data. Further, since the handling of the second image data is the same as that of the present embodiment, the same effect as that of the present embodiment can be obtained.

本開示のおける実施形態においては、ウエハを処理する場合について説明したが、本開示は液晶パネルのガラス基板や磁気ディスクや光ディスク等の基板を処理する基板処理装置全般に適用することができる。 In the embodiment of the present disclosure, the case of processing a wafer has been described, but the present disclosure can be applied to a general substrate processing apparatus for processing a glass substrate of a liquid crystal panel or a substrate such as a magnetic disk or an optical disk.

４ 処理装置（基板処理装置）
９１，９２，９３，９４，９５ カメラ（記録手段）
２１０ 装置コントローラ
３１０ 監視コントローラ 4 Processing equipment (board processing equipment)
91, 92, 93, 94, 95 cameras (recording means)
210 device controller 310 monitoring controller

Claims (15)

基板の搬送時に発生するイベントデータ及び搬送エラーが生じたときに発生するアラームデータを取得する第１制御手段と、
基板の搬送動作を第１画像データとして記録しつつ、該基板の搬送動作を該第１画像データよりも解像度が高い第２画像データとして記録する記録手段と、
前記記録手段で記録した第１画像データを前記イベントデータに基づき第１記憶部に記憶させると共に、前記記録手段で記録した第２画像データを前記アラームデータに基づき第２記憶部に記憶させる第２制御手段と、
前記第１画像データと前記第２画像データを少なくとも表示する操作部と、を備え、
前記第２制御手段は、前記第１画像データと前記搬送エラー発生時に記録した前記第２画像データの両方を同じ画面に表示し、前記第１画像データと前記第２画像データの開始再生タイミングを調整することが可能な基板処理システム。 A first control means for acquiring event data that occurs when the board is transported and alarm data that occurs when a transport error occurs, and
A recording means for recording the transfer operation of the substrate as the first image data and recording the transfer operation of the substrate as the second image data having a resolution higher than that of the first image data.
The first image data recorded by the recording means is stored in the first storage unit based on the event data, and the second image data recorded by the recording means is stored in the second storage unit based on the alarm data. Control means and
It includes the first image data and an operation unit that displays at least the second image data.
The second control means displays both the first image data and the second image data recorded when the transport error occurs on the same screen, and sets the start reproduction timing of the first image data and the second image data. A board processing system that can be adjusted . 基板を搬送する搬送手段と、
前記搬送手段による前記搬送エラーを検出する検出手段と、を更に備え、
前記第１制御手段は、前記検出手段から前記搬送エラーを示す通知を取得し、前記搬送エラーが発生した装置名、前記搬送エラーに対して設定されるアラームＩＤ、前記搬送エラーの発生時刻を少なくとも含むエラー情報を前記第２制御手段と前記操作部に通知するように構成されている請求項１記載の基板処理システム。 A transport means for transporting the substrate and
Further provided with a detecting means for detecting the transport error by the transport means.
The first control means acquires a notification indicating the transport error from the detection means, and at least sets the name of the device in which the transport error has occurred, the alarm ID set for the transport error, and the time when the transport error occurs. The substrate processing system according to claim 1 , wherein the error information including the error information is notified to the second control means and the operation unit . 前記第２制御手段は、前記搬送エラーの発生前後の所定時間分の前記第２画像データをファイル化し、前記第２記憶部に記憶させつつ、前記エラー情報に基づき前記搬送エラーが発生した装置の操作画面と同じ画面を前記操作部に表示させると共に、該同じ画面に前記記録手段が取得した前記第１画像データを表示させる指示を受付ける手段を表示させるように構成されている請求項２記載の基板処理システム。The second control means creates a file of the second image data for a predetermined time before and after the occurrence of the transfer error, stores the second image data in the second storage unit, and causes the transfer error based on the error information. The second aspect of claim 2, wherein the same screen as the operation screen is displayed on the operation unit, and a means for receiving an instruction to display the first image data acquired by the recording means is displayed on the same screen. Board processing system. 前記第２制御手段は、前記記録手段が取得した前記第１画像データを表示させる指示を受け付けると、前記搬送エラーが発生した時点の前記第１画像データと前記エラー情報を含む画面に切替えて前記操作部に表示させるように構成されている請求項３記載の基板処理システム。When the second control means receives an instruction to display the first image data acquired by the recording means, the second control means switches to a screen including the first image data and the error information at the time when the transport error occurs. The substrate processing system according to claim 3, which is configured to be displayed on the operation unit. 前記第２制御手段は、前記アラームＩＤ及び／又は前記発生時刻の選択指示を受け付けると、前記第２記憶部内を選択された前記アラームＩＤ及び／又は前記発生時刻で検索することにより得られた前記第２画像データを前記操作部に表示させるよう構成されている請求項２記載の基板処理システム。When the second control means receives the selection instruction of the alarm ID and / or the occurrence time, the second control means is obtained by searching in the second storage unit with the selected alarm ID and / or the occurrence time. The substrate processing system according to claim 2, wherein the second image data is displayed on the operation unit. 前記検出手段は、前記搬送手段による前記基板の搬送の開始及び終了を示すイベントデータを検出し、
前記第１制御手段は、前記検出手段により前記イベントデータが検出されると前記第２制御手段に前記イベントデータを通知し、
前記第２制御手段は、前記基板の搬送動作が終了したイベントデータを通知されると、前記基板の搬送動作の開始から終了までを記録した第１画像データを前記第１記憶部に記憶させるように構成されている請求項２記載の基板処理システム。 Before Symbol detection means detects the event data indicating the start and end of the transport of the substrate by the transfer means,
When the event data is detected by the detection means, the first control means notifies the second control means of the event data .
When the second control means is notified of the event data that the transfer operation of the substrate is completed, the second control means stores the first image data recording from the start to the end of the transfer operation of the substrate in the first storage unit. 2. The substrate processing system according to claim 2 . 前記第２制御手段は、前記第２記憶部内を前記アラームＩＤ及び/又は前記発生時刻で検索することにより得られた前記第２画像データと、前記第１記憶部内に予め格納されている前記基板の搬送動作の開始から終了までを記録した前記第１画像データを同じ画面に表示するように構成されている請求項２記載の基板処理システム。 Before Stories second control means, said second image data obtained by searching the second storage portion in the alarm ID and / or the occurrence time, the previously stored in said first storage portion The board processing system according to claim 2, wherein the first image data recorded from the start to the end of the transfer operation of the board is displayed on the same screen. 基板を搬送する複数の搬送機構と、Multiple transport mechanisms that transport the board and
前記搬送機構に設けられ、前記搬送機構による前記搬送エラーを検出する検出手段と、を更に備え、The transport mechanism is further provided with a detection means for detecting the transport error by the transport mechanism.
前記記録手段は、記録対象である前記搬送機構による前記基板の搬送動作を撮像するように構成され、The recording means is configured to image the transfer operation of the substrate by the transfer mechanism to be recorded.
前記第２制御手段は、前記搬送機構による前記基板搬送の動画を第１画像データとして前記記録手段に記録させつつ、前記搬送機構による前記基板搬送の動画を該第１画像データよりも解像度が高い第２画像データとして前記記録手段に記録させるように構成されている請求項１記載の基板処理システム。The second control means has the recording means record the moving image of the substrate conveyed by the conveying mechanism as the first image data, and the moving image of the substrate conveyed by the conveying mechanism has a higher resolution than the first image data. The substrate processing system according to claim 1, wherein the recording means is configured to record the second image data. 前記第２制御手段は、記録対象である前記搬送機構が前記基板もしくは前記基板を収納されたキャリアを搬送中のとき、前記記録手段に前記第１画像データ及び前記第２画像データを記録させるよう構成されている請求項８記載の基板処理システム。The second control means causes the recording means to record the first image data and the second image data when the transport mechanism to be recorded is transporting the substrate or the carrier in which the substrate is housed. The substrate processing system according to claim 8, which is configured. 前記第２制御手段は、記録対象である前記搬送機構が停止中のとき、前記記録手段に前記第１画像データ及び前記第２画像データを記録させないように構成されている請求項８記載の基板処理システム。The substrate according to claim 8, wherein the second control means is configured so that the recording means does not record the first image data and the second image data when the transport mechanism to be recorded is stopped. Processing system. 前記第２制御手段は、前記搬送エラー発生時に取得する前記搬送エラーに対して設定されるアラームＩＤの番号に応じて前記搬送エラーを発生させた前記搬送機構を特定可能に構成されている請求項８記載の基板処理システム。The second control means is configured to be able to identify the transport mechanism that caused the transport error according to the number of the alarm ID set for the transport error acquired when the transport error occurs. 8. The substrate processing system according to 8. 前記第２制御手段は、特定した前記搬送機構を記録する前記記録手段の前記第２画像データだけを取得するよう構成されている請求項１１記載の基板処理システム。The substrate processing system according to claim 11, wherein the second control means is configured to acquire only the second image data of the recording means for recording the specified transfer mechanism. 前記搬送機構は、ロードポート、ポッド搬送装置、ボート、移載機よりなる群から選択される少なくとも一つである請求項８記載の基板処理システム。The substrate processing system according to claim 8, wherein the transfer mechanism is at least one selected from the group consisting of a load port, a pod transfer device, a boat, and a transfer machine. 基板の搬送時に発生するイベントデータ及び搬送エラーが生じたときに発生するアラームデータを取得する第１制御手段と、
基板の搬送動作を第１画像データとして記録しつつ、該基板の搬送動作を該第１画像データよりも解像度が高い第２画像データとして記録する記録手段と、
前記記録手段で記録した第１画像データを前記イベントデータに基づき第１記憶部に記憶させると共に、前記記録手段で記録した第２画像データを前記アラームデータに基づき第２記憶部に記憶させる第２制御手段と、
前記第１画像データと前記第２画像データを少なくとも表示する操作部と、を備え、
前記第２制御手段は、前記第１画像データと前記搬送エラー発生時に記録した前記第２画像データの両方を同じ画面に表示し、前記第１画像データと前記第２画像データの開始再生タイミングを調整することが可能な基板処理装置。 A first control means for acquiring event data that occurs when the board is transported and alarm data that occurs when a transport error occurs, and
A recording means for recording the transfer operation of the substrate as the first image data and recording the transfer operation of the substrate as the second image data having a resolution higher than that of the first image data.
The first image data recorded by the recording means is stored in the first storage unit based on the event data, and the second image data recorded by the recording means is stored in the second storage unit based on the alarm data. Control means and
It includes the first image data and an operation unit that displays at least the second image data.
The second control means displays both the first image data and the second image data recorded when the transport error occurs on the same screen, and sets the start reproduction timing of the first image data and the second image data. A substrate processing device that can be adjusted . 基板を搬送する工程と、基板を処理する工程とを有する半導体装置の製造方法であって、
前記基板を搬送する工程は、更に、
前記基板の搬送時に発生するイベントデータ及び搬送エラーが生じたときに発生するアラームデータを取得する工程と、
前記基板の搬送動作を第１画像データとして記録しつつ、前記基板の搬送動作を前記第１画像データよりも解像度が高い第２画像データとして取得し、それぞれ取得した前記第１画像データを前記イベントデータに基づき第１記憶部に記憶させると共に、前記第２画像データを前記アラームデータに基づき第２記憶部に記憶させる記憶工程と、
前記第１画像データまたは前記第２画像データを表示する表示工程と、を有し、
前記表示工程では、
前記第１画像データと前記搬送エラー発生時に記録した前記第２画像データの両方を同じ画面に表示し、前記第１画像データと前記第２画像データの開始再生タイミングを調整する
半導体装置の製造方法。 A method for manufacturing a semiconductor device, which includes a step of transporting a substrate and a step of processing the substrate.
The step of transporting the substrate is further described.
The process of acquiring the event data generated during the transfer of the substrate and the alarm data generated when a transfer error occurs, and
While recording the transfer operation of the substrate as the first image data, the transfer operation of the substrate is acquired as the second image data having a higher resolution than the first image data, and the acquired first image data is used as the event. A storage step of storing the second image data in the first storage unit based on the data and storing the second image data in the second storage unit based on the alarm data.
It has a display step of displaying the first image data or the second image data.
In the display process,
A method for manufacturing a semiconductor device, in which both the first image data and the second image data recorded when a transfer error occurs are displayed on the same screen, and the start / reproduction timing of the first image data and the second image data is adjusted. ..
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