JP6803204B2 - 光学素子の汚れ検出方法及び装置 - Google Patents
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Description
5 保護ガラス
7 光検出センサ
7A,7B 第1,第2の光検出センサ
9 汚れ検出装置
11 レーザ加工ヘッド
13 ガラスホルダ
15 交換指示装置
27 第1設定値メモリ
29 第2設定値メモリ
31 比較手段
33 判別手段
35 表示手段
Claims (6)
- レーザ加工ヘッドに備えた光学素子の汚れ検出方法であって、
前記光学素子の外周面に沿って配置された少なくとも1つの光検出センサを用い、
前記光検出センサにおける検出値が設定値以下の低レベルの状態にあるときに、位相差が160°〜200°の範囲以外において前記光検出センサの検出値が前記設定値以上である場合には、前記光学素子の交換は不要であると検出する
光学素子の汚れ検出方法。 - レーザ加工ヘッドに備えた光学素子の汚れ検出方法であって、
前記光学素子の外周面に沿って配置された複数の光検出センサを用い、
前記複数の光検出センサのうちのいずれかの光検出センサの検出値が設定値以下の低レベルの状態にあるときに、位相差が160°〜200°の範囲以外の他の光検出センサにおける検出値が前記設定値以上である場合には、光学素子の交換は不要であると検出する
光学素子の汚れ検出方法。 - レーザ加工ヘッドに備えた光学素子の汚れ検出装置であって、
前記光学素子の外周面に沿って、160°〜200°の位相差以外に配置された第1,第2の光検出センサと、
前記第1,第2の光検出センサの検出値と予め設定した設定値とを比較する比較手段と、
前記比較手段の比較の結果、前記第1,第2の光検出センサのうちの一方の光検出センサの検出値が前記設定値以下であり、前記第1,第2の光検出センサのうちの他方の光検出センサの検出値が前記設定値以上である場合には、前記光学素子の交換は不要であると判別する判別手段と、
を備える光学素子の汚れ検出装置。 - レーザ加工ヘッドに備えた光学素子の汚れ検出装置であって、
前記光学素子の外周面に沿って配置された光検出センサを備え、
前記光検出センサは前記光学素子の外周面に沿って相対的に移動自在に構成されている
光学素子の汚れ検出装置。 - 前記光学素子の外周面に沿って配置された1つの光検出センサを用い、前記光学素子は回転自在とされており、
前記光学素子が第1の回転位置であるときに前記光検出センサにおける検出値が設定値以下の低レベルの状態であり、前記光学素子が第2の回転位置であるときに前記光検出センサにおける検出値が前記設定値以上であるとき、前記第1の回転位置と前記第2の回転位置との位相差が160°〜200°の範囲以外であれば、前記光学素子の交換は不要であると検出する
請求項1に記載の光学素子の汚れ検出方法。 - 前記光学素子の外周面に沿って配置された1つの光検出センサを用い、前記光検出センサは前記光学素子の外周面に沿って回転自在とされており、
前記光検出センサが第1の回転位置であるときに前記光検出センサにおける検出値が設定値以下の低レベルの状態であり、前記光検出センサが第2の回転位置であるときに前記光検出センサにおける検出値が前記設定値以上であるとき、前記第1の回転位置と前記第2の回転位置との位相差が160°〜200°の範囲以外であれば、前記光学素子の交換は不要であると検出する
請求項1に記載の光学素子の汚れ検出方法。
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JP2016219361A JP6803204B2 (ja) | 2016-11-10 | 2016-11-10 | 光学素子の汚れ検出方法及び装置 |
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JP2016219361A JP6803204B2 (ja) | 2016-11-10 | 2016-11-10 | 光学素子の汚れ検出方法及び装置 |
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Family Applications (1)
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