JP6792219B2 - 温度補正方法、温度補正プログラム、温度補正装置、及び座標測定機 - Google Patents
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Description
E=(Lw−Lc)/Lc・・・(100)
dks=(Ec2−Ec1)/as(Lw2−Lw1)(ts−20)・・・(1)
dts0=(Ec1Lw2−Ec2Lw1)/as(Lw2−Lw1)・・・(2)
(1)全体構成
座標測定機としての三次元測定機は、図1に示す測定機本体10と、後述する制御装置とを備える。測定機本体10は、基台12、Y軸レール14、Y軸移動体16、X軸移動体18、及びZ軸移動体19を備える。Y軸レール14は、基台12上のY軸に沿って設けられている。Y軸移動体16は、一対の脚部15と、脚部15の上端間に掛け渡された梁部17とを有し、脚部15がY軸レール14に沿って走行することにより、基台12上をY軸方向に移動することができる。X軸移動体18は、Y軸に対し直交するX軸方向に移動可能に、Y軸移動体16の梁部17に支持されている。Z軸移動体19は、X軸及びY軸に対し直交するZ軸方向に移動可能に、X軸移動体18に支持されている。Z軸移動体19は、先端にプローブ20を保持している。
tw *=(1+dkw)tw+dtw0・・・(13)
=asdts0+asdks(ts−20)Lw−awdtw0−awdkw(tw−20)Lw・・・(14)
=asdts0+asdks(ts−20)Lw・・・(15)
Ec2=asdts0+asdks(ts−20)Lw2・・・(17)
dts0=(Ec1Lw2−Ec2Lw1)/as(Lw2−Lw1)・・・(19)
=−awdtw0+awdkw(tw−20)Lw・・・(20)
dtw0=(EM1Lw2−EM2Lw1)/aw(Lw2−Lw1)・・・(22)
上記のように構成された三次元測定機1を用いて、温度センサー28x、28y、28zを補正し、校正された温度センサーを用いて温度センサー28wを補正し、これら補正された各温度センサー28を用いて測定した温度で、スケールの読みLsに対し温度補正をする手順を説明する。
Ls *=Ls+(dts0×as)・・・(24)
(例1)
実際に、ワークWとして低熱膨張係数のブロックゲージを用いて、等価スケール温度係数誤差dksとスケールオフセット誤差dts0を算出した。ブロックゲージは、呼び寸法が、200mm、400mm、600mmの3種類を用意した。また測定日を変えて測定温度が異なる4条件で、X軸方向の長さを測定し、目盛誤差を算出した。スケール温度tsは、温度センサー28xで測定した温度とした。その結果を図4に示す。図4は、横軸がブロックゲージの呼び寸法(mm)であり、縦軸が目盛誤差(μm)である。目盛誤差は、ブロックゲージの校正値をLc、ワークWの測定値をLw、目盛誤差をEcすると、Ec=Lw−Lcで表すことができる。
次に、図9に示すように、ワークWとして低熱膨張係数のステップゲージを用いて、等価スケール温度係数誤差dksとスケールオフセット誤差dts0を算出した。また測定日を変えて測定温度が異なる2条件で、X軸方向の長さを測定し、目盛誤差を算出した。スケール温度tsは、温度センサー28xで測定した温度とした結果を図10に示す。図10は、横軸がステップゲージの呼び寸法(mm)であり、縦軸が目盛誤差(μm)である。目盛誤差は、ステップゲージの校正値をLc、ワークWの測定値をLw、目盛誤差をEcすると、Ec=Lw−Lcで表すことができる。本図では、スケール温度tsが15.88℃と26.50℃で、直線の傾きの絶対値が大きく異なっている。これは、温度センサー28xで測定したスケール温度tsが大きな誤差を含んでいることに起因すると考えられる。
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲内で適宜変更することが可能である。
30 制御装置
32 温度算出部
34 温度補正部
36 変位算出部
38 温度補正装置
W ワーク
Claims (16)
- 呼び寸法Lが異なる複数のワークの目盛誤差Ecを得るステップと、
asをスケールの熱膨張係数、Lwを前記ワークの長さを測定した値、tsを長さLwを測定したときの前記スケールの温度とした場合、下記式(1)及び(2)から、等価スケール温度係数誤差dksとスケールオフセット誤差dts0を算出するステップと
を備えることを特徴とする座標測定機の温度補正方法。
dks=(Ec2−Ec1)/as(Lw2−Lw1)(ts−20)・・・(1)
dts0=(Ec1Lw2−Ec2Lw1)/as(Lw2−Lw1)・・・(2) - 前記スケールの温度tsは、校正された温度計で測定された温度であることを特徴とする請求項1記載の座標測定機の温度補正方法。
- さらに下記式(3)から、前記スケールの固有熱膨張係数as *を算出するステップと、
Lsを前記スケールの読みとした場合、下記式(4)から、正しいスケールの読みLs *を算出するステップと
を備えることを特徴とする請求項1又は2記載の座標測定機の温度補正方法。
as *=(dks×as)+as・・・(3)
Ls *=Ls+(dts0×as)・・・(4) - さらに下記式(5)から、補正後温度ts−corrを算出するステップと
を備えることを特徴とする請求項1又は2記載の座標測定機の温度補正方法。
Ec=asdts0+asdks(ts−corr−20)Lw・・・(5) - さらに前記ワークの温度twを、校正された温度計で測定した温度に補正するステップを備えることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項記載の座標測定機の温度補正方法。
- コンピュータに対して、
呼び寸法Lが異なる複数のワークの目盛誤差Ecを得るステップと、
asをスケールの熱膨張係数、Lwを前記ワークの長さを測定した値、tsを長さLwを測定したときの前記スケールの温度とした場合、下記式(1)及び(2)から、等価スケール温度係数誤差dksとスケールオフセット誤差dts0を算出するステップと
を実行させることを特徴とする座標測定機の温度補正プログラム。
dks=(Ec2−Ec1)/as(Lw2−Lw1)(ts−20)・・・(1)
dt s0 =(Ec1Lw2−Ec2Lw1)/as(Lw2−Lw1)・・・(2) - 前記スケールの温度tsは、校正された温度計で測定された温度であることを特徴とする請求項6記載の座標測定機の温度補正プログラム。
- さらに下記式(3)から、前記スケールの固有熱膨張係数as *を算出するステップと、
Lsを前記スケールの読みとした場合、下記式(4)から、正しいスケールの読みLs *を算出するステップと
を実行させることを特徴とする請求項6又は7記載の座標測定機の温度補正プログラム。
as *=(dks×as)+as・・・(3)
Ls *=Ls+(dts0×as)・・・(4) - 下記式(5)から、補正後温度ts−corrを算出するステップと
を実行させることを特徴とする請求項6又は7記載の座標測定機の温度補正プログラム。
Ec=asdts0+asdks(ts−corr−20)Lw・・・(5) - さらに前記ワークの温度twを、校正された温度計で測定した温度に補正するステップを実行させることを特徴とする請求項6〜9のいずれか1項記載の座標測定機の温度補正プログラム。
- 呼び寸法Lが異なる複数のワークの目盛誤差Ecに基づいて、
asをスケールの熱膨張係数、Lwを前記ワークの長さを測定した値、tsを長さLwを測定したときの前記スケールの温度とした場合、下記式(1)及び(2)から、等価スケール温度係数誤差dksとスケールオフセット誤差dts0を算出することを特徴とする座標測定機の温度補正装置。
dks=(Ec2−Ec1)/as(Lw2−Lw1)(ts−20)・・・(1)
dts0=(Ec1Lw2−Ec2Lw1)/as(Lw2−Lw1)・・・(2) - 前記スケールの温度tsは、校正された温度計で測定された温度であることを特徴とする請求項11記載の座標測定機の温度補正装置。
- さらに下記式(3)から、前記スケールの固有熱膨張係数as *を算出し、
Lsを前記スケールの読みとした場合、下記式(4)から、正しいスケールの読みLs *を算出する
ことを特徴とする請求項11又は12記載の座標測定機の温度補正装置。
as *=(dks×as)+as・・・(3)
Ls *=Ls+(dts0×as)・・・(4) - さらに下記式(5)から、補正後温度ts−corrを算出することを特徴とする請求項11又は12記載の座標測定機の温度補正装置。
Ec=asdts0+asdks(ts−corr−20)Lw・・・(5) - さらに前記ワークの温度twを、校正された温度計で測定した温度に補正することを特徴とする請求項11〜14のいずれか1項記載の座標測定機の温度補正装置。
- 請求項11〜14のいずれか1項記載の温度補正装置を備えることを特徴とする座標測定機。
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