JP4438467B2 - 3次元測定機におけるワーク温度補正方法 - Google Patents
3次元測定機におけるワーク温度補正方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4438467B2 JP4438467B2 JP2004080687A JP2004080687A JP4438467B2 JP 4438467 B2 JP4438467 B2 JP 4438467B2 JP 2004080687 A JP2004080687 A JP 2004080687A JP 2004080687 A JP2004080687 A JP 2004080687A JP 4438467 B2 JP4438467 B2 JP 4438467B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- temperature
- tolerance
- measurement
- coordinate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)
- Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)
Description
前記プローブの検出信号に基づいて精公差箇所のX,Y,Z軸の座標値を読取り、前記放射温度計によりワーク表面温度を測定し、該座標値に基づいて精公差箇所の精公差用ワーク座標系における測定長さを演算するとともに、前記ワーク表面温度と基準温度との差に基づいて精公差箇所の精公差用ワーク座標系における測定長さをワーク温度補正することである。
これにより、粗公差箇所については、温度ならしを行うことなく測定しても、粗公差に対して必要な測定精度で粗公差箇所の測定長さを測定することができて測定時間を短縮することができる。精公差箇所については、ワーク温度が基準温度から所定範囲以内に入った後に、精公差用ワーク座標系を設定し直し、該精公差用ワーク座標系において演算した精公差箇所の測定長さを温度補正するので、精公差に対して必要な高測定精度で精公差箇所の測定長さを測定することができる。具体的に粗公差箇所は位置度公差が0.1〜0.5を満たす箇所とすることができる。精公差箇所は位置度公差が0.06〜0.1を満たすことができる。
Claims (2)
- 室内温度を所定値に保持する測定室内に設置され、冶具に取付けられたワークに対してX,Y,Z軸方向に相対移動可能なプローブがワーク表面位置を検出して検出信号を送出したときのX,Y,Z軸の各座標値を読取ることによりワークの測定箇所の測定長さを測定する3次元測定装置において、
前記ワークを前記冶具に線形膨張を許容して1点部分で固定し、
圧縮エアの噴出により前記冶具は浮上しながら所定位置まで移動し、前記圧縮エアの噴出を止めて前記冶具を所定位置に位置決めし、
前記プローブの検出信号に基づいて測定されたワークの少なくとも2個の基準箇所のX,Y,Z軸の座標値に基づいて初期ワーク座標系を設定し、
公差が所定値以上の粗公差箇所について、前記プローブの検出信号に基づいて粗公差箇所のX,Y,Z軸の座標値を読取り、放射温度計によりワーク表面温度を測定し、
該座標値に基づいて粗公差箇所の初期ワーク座標系における測定長さを演算するとともに、前記ワーク表面温度と基準温度との差に基づいて粗公差箇所の初期ワーク座標系における測定長さをワーク温度補正し、
公差が所定値未満の精公差箇所については、ワーク表面温度が基準温度から所定範囲以内に入った後に、前記少なくとも2個の基準箇所のX,Y,Z軸の座標値を測定し直して該座標値に基づいて精公差用ワーク座標系を設定し、
前記プローブの検出信号に基づいて精公差箇所のX,Y,Z軸の座標値を読取り、前記放射温度計によりワーク表面温度を測定し、該座標値に基づいて精公差箇所の精公差用ワーク座標系における測定長さを演算するとともに、前記ワーク表面温度と基準温度との差に基づいて精公差箇所の精公差用ワーク座標系における測定長さをワーク温度補正することを特徴とする3次元測定機のワーク温度補正方法。 - 請求項1において、前記放射温度計により温度測定されるワークの表面温度測定部分に放射率が既知の黒体物質を付着することを特徴とする3次元測定機のワーク温度補正方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004080687A JP4438467B2 (ja) | 2004-03-19 | 2004-03-19 | 3次元測定機におけるワーク温度補正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004080687A JP4438467B2 (ja) | 2004-03-19 | 2004-03-19 | 3次元測定機におけるワーク温度補正方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005265700A JP2005265700A (ja) | 2005-09-29 |
JP4438467B2 true JP4438467B2 (ja) | 2010-03-24 |
Family
ID=35090405
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004080687A Expired - Fee Related JP4438467B2 (ja) | 2004-03-19 | 2004-03-19 | 3次元測定機におけるワーク温度補正方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4438467B2 (ja) |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2064027B1 (en) | 2006-08-31 | 2013-08-28 | Faro Technologies Inc. | Smart probe |
US9482755B2 (en) | 2008-11-17 | 2016-11-01 | Faro Technologies, Inc. | Measurement system having air temperature compensation between a target and a laser tracker |
WO2012141810A1 (en) | 2011-03-03 | 2012-10-18 | Faro Technologies, Inc. | Target apparatus and method |
US8619265B2 (en) | 2011-03-14 | 2013-12-31 | Faro Technologies, Inc. | Automatic measurement of dimensional data with a laser tracker |
US9377885B2 (en) | 2010-04-21 | 2016-06-28 | Faro Technologies, Inc. | Method and apparatus for locking onto a retroreflector with a laser tracker |
US9400170B2 (en) | 2010-04-21 | 2016-07-26 | Faro Technologies, Inc. | Automatic measurement of dimensional data within an acceptance region by a laser tracker |
US9772394B2 (en) | 2010-04-21 | 2017-09-26 | Faro Technologies, Inc. | Method and apparatus for following an operator and locking onto a retroreflector with a laser tracker |
GB2510510B (en) * | 2011-03-14 | 2015-10-07 | Faro Tech Inc | Automatic measurement of dimensional data with a laser tracker |
US9482529B2 (en) | 2011-04-15 | 2016-11-01 | Faro Technologies, Inc. | Three-dimensional coordinate scanner and method of operation |
WO2012141868A1 (en) | 2011-04-15 | 2012-10-18 | Faro Technologies, Inc. | Enhanced position detector in laser tracker |
US9686532B2 (en) | 2011-04-15 | 2017-06-20 | Faro Technologies, Inc. | System and method of acquiring three-dimensional coordinates using multiple coordinate measurement devices |
US9164173B2 (en) | 2011-04-15 | 2015-10-20 | Faro Technologies, Inc. | Laser tracker that uses a fiber-optic coupler and an achromatic launch to align and collimate two wavelengths of light |
GB201113715D0 (en) | 2011-08-09 | 2011-09-21 | Renishaw Plc | Method and apparatus for inspecting workpieces |
JP6099675B2 (ja) | 2012-01-27 | 2017-03-22 | ファロ テクノロジーズ インコーポレーテッド | バーコード識別による検査方法 |
US9041914B2 (en) | 2013-03-15 | 2015-05-26 | Faro Technologies, Inc. | Three-dimensional coordinate scanner and method of operation |
GB201308467D0 (en) * | 2013-05-10 | 2013-06-19 | Renishaw Plc | Method and Apparatus for Inspecting Workpieces |
US9395174B2 (en) | 2014-06-27 | 2016-07-19 | Faro Technologies, Inc. | Determining retroreflector orientation by optimizing spatial fit |
JP6792219B2 (ja) * | 2015-08-10 | 2020-11-25 | 地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター | 温度補正方法、温度補正プログラム、温度補正装置、及び座標測定機 |
JP6686063B2 (ja) * | 2018-04-23 | 2020-04-22 | Dmg森精機株式会社 | 工作機械 |
WO2020020564A1 (en) * | 2018-07-24 | 2020-01-30 | Asml Netherlands B.V. | Substrate positioning device with remote temperature sensor |
CN113405453A (zh) * | 2021-05-10 | 2021-09-17 | 中航西安飞机工业集团股份有限公司 | 一种基于温度补偿的数字化工装飞机坐标系恢复方法 |
-
2004
- 2004-03-19 JP JP2004080687A patent/JP4438467B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005265700A (ja) | 2005-09-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4438467B2 (ja) | 3次元測定機におけるワーク温度補正方法 | |
US5501096A (en) | Calibration method for determining and compensating differences of measuring forces in different coordinate directions in a multi-coordinate scanning system | |
EP2040027B1 (en) | Apparatus for measuring wall thicknesses of objects | |
CN100529650C (zh) | 利用测量探针在机床上测量工件的方法和装置 | |
US11156446B2 (en) | Position measurement method and position measurement system for object in machine tool | |
US8676527B2 (en) | Industrial machine | |
US11175130B2 (en) | Device for use in a numerically controlled machine tool for application in a method for measuring the numerically controlled machine tool | |
US10359266B2 (en) | Position measurement method of object in machine tool and position measurement system of the same | |
US10801825B2 (en) | Adapter element for assembling a rotational apparatus in the measurement space of a coordinate measuring machine | |
JP2017096920A (ja) | 光学式測定プローブ較正 | |
CN103264318B (zh) | 一种立体型面的在线检测方法 | |
CN107900781B (zh) | 用于车床的接触式在线检测系统的标定装置和标定方法 | |
CN112902898B (zh) | 三维测量装置及所适用的机械手臂的校正方法 | |
JP6559274B2 (ja) | 工具測定装置およびワーク測定装置の校正方法、校正装置ならびに標準器 | |
US11243062B2 (en) | Position measurement method and position measurement system of object in machine tool, and computer-readable recording medium | |
US20170252885A1 (en) | Position measuring device for use on a machine tool | |
JP5297749B2 (ja) | 自動寸法測定装置 | |
TWI633522B (zh) | Measuring and correcting compensation system and method for machine tool | |
US20180202803A1 (en) | Measuring device and method for operating a measuring device | |
JP2023084538A (ja) | 工作機械における誤差推定方法、工作機械の制御装置 | |
JP6556393B2 (ja) | 工具測定装置およびワーク測定装置の標準器 | |
KR101823052B1 (ko) | 자동 선반 가공 후 자동 보정을 위한 가공물 측정 방법 | |
TW202140194A (zh) | 校正裝置及方法 | |
JP4545501B2 (ja) | 工具芯出し方法および工具測定方法 | |
Liu et al. | The application of the double-readheads planar encoder system for error calibration of computer numerical control machine tools |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070222 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090904 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090918 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091022 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20091215 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20091228 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130115 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4438467 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130115 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130115 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140115 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |