JP6784127B2 - 半導体デバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
以下、添付の図面を参照して本発明の第1実施形態について説明する。
図1は、本発明の一実施形態に係る半導体デバイス製造方法を実施する製造システム1の構成図の一例を示す図である。本実施形態に係る製造システム1は、制御装置10と、処理装置20とを備えている。処理装置20は、例えば成膜装置やエッチング装置、露光装置等を含む。本実施形態においては、処理装置20は、制御装置10によって処理条件が制御される。処理条件は、例えば処理レシピ(材料、配合、温度、処理時間等)である。なお、制御装置10と処理装置20とは同一筐体によって実装される構成でもよい。
まず、モニタ測定部101は、処理装置20や、ベアウエハに成膜された膜の種類、処理条件等のカテゴリ毎に複数のモニタウエハの膜の特性(モニタ膜特性)の測定を行う。具体的には、モニタ測定部101は、モニタウエハの面内において、複数の代表点(望ましくは49点以上である。)を、当該代表点が面内に均一に分布するように選択する。選択した複数の代表点について、モニタ測定部101は、適切なメトロロジー技術を用いてスペクトルデータを取得する。モニタ測定部101は、メトロロジー技術として、近紫外〜紫外光によるエリプソメーターや干渉計、赤外分光計、X線干渉計等を用いることができる。メトロロジー技術は、デバイスウエハを非破壊で、かつインプロセスで適用することができ、またその検査に必要なタクトタイムが他の解析技術に比べて短いため、多数のサンプリングをより容易に行うことができる。
まずデバイス測定部103は、モニタポイントDB132を参照して、デバイスウエハのカテゴリに応じたモニタポイントを抽出し、当該モニタポイントにおいて、デバイスウエハの膜の特性の測定を行う。このときデバイス測定部103は、モニタ測定部101と同様のメトロロジー技術を用いて膜の特性の測定を行うことが好ましい。なお、以下の説明では、デバイスウエハにおけるモニタポイントの測定結果をモニタリング結果とも呼ぶ。
補正部104による補正処理は、チップ単位だけでなくショット単位で行うことも可能である。
10 制御装置
20 処理装置
131 テンプレートDB
132 モニタポイントDB
101 モニタ測定部
102 特徴点抽出部
103 デバイス測定部
104 補正部
Claims (10)
- デバイスウエハにデバイス膜を形成して複数のデバイスを形成する工程と、
モニタウエハに前記デバイス膜と同一のモニタ膜を形成する工程と、
前記モニタウエハにおける複数の代表点において、前記モニタ膜の特性であるモニタ膜特性を測定する工程と、
前記複数の代表点における前記モニタ膜特性の測定結果に基づいて、前記モニタウエハにおける前記モニタ膜特性の面内分布を示すテンプレートデータを作成する工程と、
前記テンプレートデータを記憶部に保存する工程と、
前記記憶部に保存された複数の前記テンプレートデータに基づいて、前記デバイスウエハにおいて前記デバイス膜の特性であるデバイス膜特性を測定するポイントであるモニタポイントを設定する工程と、
設定された前記モニタポイントにおいて、前記デバイス膜特性を測定する工程と、
前記モニタポイントにおける前記デバイス膜特性の測定結果であるモニタリング結果と、前記記憶部に保存されたテンプレートデータとを照合する工程と、
前記モニタリング結果に対応するテンプレートデータが、前記記憶部に保存されていた場合に、対応する前記テンプレートデータを用いて前記モニタリング結果を補間し、前記デバイス膜特性の面内分布を示す仮想データを作成する工程と、
前記仮想データに基づいて、前記デバイスウエハ面内における前記複数のデバイスの特性のばらつきを補正する工程と、
を含む半導体デバイス製造方法。 - 前記デバイス膜特性及び前記モニタ膜特性は、
前記デバイス膜又は前記モニタ膜の膜厚、屈折率、消衰係数、及びメトロロジー技術で用いられるモデルパラメータを含む、請求項1に記載の半導体デバイス製造方法。 - 前記モニタ膜特性を測定する工程は、
前記モニタ膜特性を、前記複数の代表点において、メトロロジー技術を用いて測定する工程を含む、
請求項1又は2に記載の半導体デバイス製造方法。 - 前記テンプレートデータは、
前記モニタウエハの面内分布を可視化したデータであり、
前記面内分布は、
前記複数の代表点における前記測定結果を示す代表データと、当該代表データを補間する補間データを含む、
請求項1乃至3の何れか一項に記載の半導体デバイス製造方法。 - 前記保存する工程は、
前記テンプレートデータと、前記モニタウエハに対して前記モニタ膜を形成した時期又は条件を含むカテゴリとを対応付けて前記記憶部に保存する工程を含む、
請求項1乃至4の何れか一項に記載の半導体デバイス製造方法。 - 前記モニタポイントを設定する工程は、
前記カテゴリ毎に複数の前記テンプレートデータを解析して当該複数のテンプレートデータにおいて特徴的なポイントを抽出し、前記特徴的なポイントに基づいて、前記モニタポイントを設定する工程を含む、
請求項5に記載の半導体デバイス製造方法。 - 前記デバイスウエハに形成されたデバイス膜特性を測定する工程は、
前記モニタ膜特性を測定する工程と同様のメトロロジー技術を用いて前記デバイス膜特性を測定する工程を含む、請求項3に記載の半導体デバイス製造方法。 - 前記テンプレートデータを記憶部に保存する工程は、
前記モニタ膜の複数の特性のそれぞれについて前記テンプレートデータを保存し、
前記照合する工程は、
前記デバイスウエハに対して前記デバイス膜を形成した時期又は条件に基づいて、前記記憶部に保存されたテンプレートデータから、照合に用いるテンプレートデータを選択する工程を含む、
請求項5に記載の半導体デバイス製造方法。 - 前記モニタリング結果に対応するテンプレートデータが前記記憶部に保存されていない場合に、前記デバイスウエハにおける前記モニタポイント以外のポイントにおいて前記デバイス膜特性を再測定する工程と、
前記再測定する工程において測定された再測定結果に基づいて、前記デバイスウエハにおける前記デバイス膜特性の面内分布を評価を示すテンプレートデータを作成し、当該テンプレートデータを前記記憶部に追加登録する工程と、
をさらに含む、請求項1乃至8の何れか一項に記載の半導体デバイス製造方法。 - 前記デバイスを形成する工程は、前記デバイスウエハに前記デバイス膜を形成した後に、前記デバイスウエハを処理する工程を含み、
前記補正する工程は、
前記仮想データに基づいて、前記デバイスウエハを処理する処理条件を補正して、前記特性のばらつきを補正する、
請求項1乃至9の何れか一項に記載の半導体デバイス製造方法。
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