JP6761554B1 - 研磨用組成物 - Google Patents
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Abstract
Description
研磨用組成物としては、水溶性高分子を含有するものが知られており、例えば、特許文献1には、ヒドロキシエチルセルロース及び/又はポリビニルアルコールとブロック型ポリエーテルとを含む研磨用組成物が記載されている。
また、特許文献2には、0.3重量%水溶液の粘度が25℃で10mPa・s未満である水溶性高分子(ヒドロキシエチルセルロース、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドンなど)を含有する半導体濡れ剤が開示されている。
[1]
水溶性高分子を含む研磨用組成物であって、水溶性高分子が、20℃における4%水溶液粘度が15mPa・s以上のビニルアルコール系樹脂を少なくとも含む研磨用組成物。
[2]
水溶性高分子のけん化度が80〜99.9モル%である[1]に記載の研磨用組成物。
[3]
さらに、砥粒を含む、[1]又は[2]に記載の研磨用組成物。
[4]
砥粒がシリカを含む[3]に記載の研磨用組成物。
[5]
水溶性高分子の単量体全体に対して、酸基を有する単量体の割合が、0.1モル%未満である[1]〜[4]のいずれかに記載の組成物。
[6]
さらに、pH調整剤を含む、[1]〜[5]のいずれかに記載の研磨用組成物。
[7]
さらに、砥粒及びpH調整剤を含む研磨用組成物であって、砥粒がシリカを含み、pH調整剤が塩基性化合物を含む、[1]〜[6]のいずれかに記載の研磨用組成物。
[8]
さらに、界面活性剤を含む、[1]〜[7]のいずれかに記載の研磨用組成物。
[9]
さらに、界面活性剤を含む研磨組成物であって、界面活性剤が、オキシエチレン−オキプロピレン構造を有する共重合体及びポリオキシエチレンアルキルエーテルから選択された少なくとも1種を含む、[1]〜[8]のいずれかに記載の研磨用組成物。
[10]
さらに、界面活性剤を含む研磨用組成物であって、水溶性高分子と界面活性剤の割合が、質量比で、1:0.01〜1:200である、[1]〜[9]のいずれかに記載の研磨用組成物。
[11]
さらに、少なくとも水を含む溶媒を含み、水溶性高分子の濃度が1ppm以上である、[1]〜[10]のいずれかに記載の研磨用組成物。
[12]
さらに、少なくとも水を含む溶媒を含み、固形分濃度が0.01質量%以上である、[1]〜[11]のいずれかに記載の研磨用組成物。
[13]
研磨対象物の表面を、[1]〜[12]のいずれかに記載の研磨用組成物で研磨する工程を含む、研磨物の製造方法。
[14]
研磨用組成物を少なくとも水を含む溶媒で希釈する希釈工程を含み、研磨工程において、希釈工程で得られた希釈液で研磨する、[13]記載の研磨物の製造方法。
このような組成物によれば、研磨(特に、シリコンウエハなどの半導体基板の研磨)後の表面において、AFM粗さ(特に、長波長の粗さ)を低減し得るため、高品位の表面を有する研磨物を得ることができる。また、半導体デバイス作製の露光時にフォーカスを効率よく合わせうる。
本発明の組成物は、通常、後述する特定の水溶性高分子を含む。本発明の組成物は、特に、研磨用に使用することができる。
水溶性高分子は、20℃における4%水溶液粘度が15mPa・s以上のビニルアルコール系樹脂(以下、ビニルアルコール系樹脂(A)ということがある)を含んでいてもよい。
ビニルアルコール系樹脂は、通常、ポリビニルアルコール系樹脂(PVA系樹脂、PVAなどということがある)であり、ビニルエステル系重合体(少なくともビニルエステルを重合成分とする重合体)の鹸化物である。
ビニルアルコール系樹脂とジケテンを反応させる方法としては、特に限定されず、例えば、ビニルアルコール系樹脂とガス状又は液状のジケテンを直接反応させる方法、有機酸をビニルアルコール系樹脂に予め吸着させた後、不活性ガス雰囲気下でガス状又は液状のジケテンを噴霧して反応させる方法、ビニルアルコール系樹脂に有機酸と液状ジケテンの混合物を噴霧して反応させる方法などが挙げられる。
ビニルエステル系重合体の重合方法としては、特に限定されず、例えば、従来公知の塊状重合、溶液重合、懸濁重合、乳化重合などが挙げられるが、溶液重合(例えば、溶剤としてメタノールを用いた溶液重合など)が工業的に好ましい。
該溶液重合には、過酸化物系、アゾ系などの公知の開始剤を用いることができ、ビニルエステル系単量体と溶剤の配合比、重合収率を変えることにより、得られるビニルエステル系重合体の重合度を調整することができる。
その後、得られた塊状物、ゲル状物あるいは粒状物を粉砕し、必要に応じて添加したアルカリを中和した後、固形物と液体成分を分離し、固形物を乾燥することによりPVA系樹脂を得てもよい。
なお、変性を行う場合、変性のタイミングは、特に限定されず、ビニルエステル系重合体のけん化前であってもよいし、けん化後であってもよい。
本発明では、研磨(特に、シリコンウエハなどの半導体基板の研磨)後の表面において、AFM粗さやヘイズを低減しやすいなどの観点から、ビニルアルコール系樹脂(A)の20℃における4%水溶液粘度は比較的高くてもよい。
組成物は、界面活性剤をさらに含んでいてもよい。
界面活性剤の使用により、組成物の分散安定性を向上し得る。また、研磨面のAFM粗さやヘイズを低減しやすい。
また、界面活性剤の分子量の下限は、界面活性剤の種類などによって適宜選択できるが、例えば、200以上であり、ヘイズ低減等の観点から、250以上が好ましく、300以上(例えば、500以上)がより好ましく、2000以上がさらに好ましく、5000以上が特に好ましい。
HO−(EO)a−(PO)b−(EO)c−H・・・(2)
一般式(2)中のEOはオキシエチレン単位(−CH2CH2O−)を示し、POはオキシプロピレン単位(−CH2CH(CH3)O−)基を示し、a、bおよびcはそれぞれ1以上(典型的には2以上)の整数を示す。
一般式(2)において、aとcとの合計は、2〜1000の範囲であることが好ましく、より好ましくは5〜500の範囲であり、さらに好ましくは10〜200の範囲である。
一般式(2)中のbは、2〜200の範囲であることが好ましく、より好ましくは5〜100の範囲であり、さらに好ましくは10〜50の範囲である。
組成物は、砥粒を含んでいてもよい。
砥粒としては、特に限定されないが、例えば、無機粒子[例えば、無機酸化物{例えば、金属酸化物(例えば、アルミナ、酸化セリウム、酸化クロム、二酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、二酸化マンガン、酸化亜鉛、ベンガラ)、半金属酸化物(例えば、シリカ)}、無機窒化物(例えば、窒化ケイ素、窒化ホウ素)、無機炭化物(例えば、炭化ケイ素、炭化ホウ素)、無機炭酸塩{例えば、アルカリ金属炭酸塩(例えば、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム)、アルカリ土類金属炭酸塩(例えば、炭酸カルシウム、炭酸バリウム)などの金属炭酸塩}、ダイヤモンドなど]、有機粒子[例えば、不飽和酸類の重合体(例えば、ポリ(メタ)アクリル酸)、(メタ)アクリル酸エステル類の重合体{例えば、ポリ(メタ)アクリル酸アルキルエステル(例えば、ポリメタクリル酸メチル)}、ポリアクリロニトリルなど]、有機無機複合粒子などが挙げられる。
シリカの中でも、研磨対象物の表面にスクラッチを生じにくい、よりヘイズの低い表面を実現し得るなどの観点から、コロイダルシリカ、フュームドシリカなどが好ましく、スクラッチを抑制できるなどの観点から、コロイダルシリカがより好ましく、金属汚染防止の観点から、高純度コロイダルシリカが特に好ましい。
また、ヘイズ低減などの観点から、砥粒の平均一次粒子径DP1は、好ましくは100nm未満、より好ましくは50nm以下、さらに好ましくは40nm以下であってもよい。
比表面積の測定方法は、特に限定されず、例えば、マイクロメリテックス社製の表面積測定装置、商品名「Flow Sorb II 2300」を用いて測定することができる。
また、砥粒の平均二次粒子径DP2は、より高い研磨効果を得られるなどの観点から、より好ましくは30nm以上、さらに好ましくは35nm以上、特に好ましくは40nm以上(例えば40nm超)であってもよい。
砥粒のDP2/DP1は、研磨効果および研磨後の表面平滑性のなどの観点から、1〜3の範囲にあることが好ましい。
また、砥粒の平均アスペクト比は、スクラッチ低減などの観点から、好ましくは3.0以下であり、より好ましくは2.0以下、さらに好ましくは1.5以下である。
組成物は、pH調整剤を含んでいてもよい。
pH調整剤としては、研磨対象物の表面の化学的研磨、研磨速度の向上、組成物の分散安定性向上などの観点から、塩基性化合物が好ましい。
塩基性化合物を使用することによって、組成物のpHを上昇させることができる。
組成物は、溶媒を含んでいてもよい。
溶媒としては、特に限定されないが、例えば、水、有機溶剤(例えば、低級アルコール、低級ケトンなど)が挙げられる。
溶媒は、少なくとも水を含むことが好ましい。
溶媒全体における水の含有量は、90体積%以上が好ましく、95体積%以上(例えば、99〜100体積%)がより好ましい。
水は、組成物に含有される他の成分の働きが阻害されることを極力回避するなどの観点から、遷移金属イオンの合計含有量が100ppb以下であることが好ましい。
水は、例えば、イオン交換樹脂による不純物イオンの除去、フィルタによる異物の除去、蒸留等の操作によって、純度を高めたものであってもよい。
組成物は、上記成分(水溶性高分子、砥粒、pH調整剤、界面活性剤及び溶媒)の他に、他の成分を含んでいてもよい。
他の成分としては、特に限定されないが、例えば、キレート剤、有機酸、有機酸塩、無機酸、無機酸塩、防腐剤、防カビ剤などの添加剤が挙げられる。
有機酸塩としては、例えば、有機酸のアルカリ金属塩(例えば、ナトリウム塩、カリウム塩など)、有機酸のアンモニウム塩などが挙げられる。
無機酸塩としては、例えば、無機酸のアルカリ金属塩(例えば、ナトリウム塩、カリウム塩など)、無機酸のアンモニウム塩等が挙げられる。
組成物は、後述するように、そのまま研磨液として使用してもよいし、溶媒で希釈(例えば、後述する希釈倍率で希釈)した液を研磨液として使用してもよい。
すなわち、組成物は、低濃度のもの(研磨液)であってもよく、高濃度のもの(研磨濃縮液)であってもよい。
なお、高濃度の組成物は、低濃度の組成物の濃縮物であってもよい。
また、組成物において、水溶性高分子の割合は、研磨速度などの観点から、質量基準で、好ましくは1000ppm以下、より好ましくは500ppm以下(例えば、300ppm以下)であってもよい。
なお、これらの上限値と下限値とを適宜組み合わせて適当な範囲を設定してもよく、組成物において、水溶性高分子の割合は、具体的には、例えば、1ppm〜1000ppm、好ましくは3ppm〜500ppm、より好ましくは5ppm〜300ppmであってもよい。
また、高濃度の組成物において、水溶性高分子の割合は、質量基準で、好ましくは20000ppm以下、より好ましくは10000ppm以下であってもよい。
なお、これらの上限値と下限値とを適宜組み合わせて適当な範囲を設定してもよく、高濃度の組成物において、水溶性高分子の割合は、具体的には、例えば、1000ppm〜20000ppm、好ましくは1500ppm〜10000ppm、より好ましくは2000ppm〜5000ppmであってもよい。
また、組成物において、砥粒の割合は、よりヘイズの低い表面を実現するなどの観点から、例えば、10質量%以下であり、好ましくは7質量%以下、より好ましくは5質量%以下であってもよい。
なお、これらの上限値と下限値とを適宜組み合わせて適当な範囲を設定してもよく、組成物において、砥粒の割合は、具体的には、例えば、0.01質量%〜10質量%、好ましくは0.05質量%〜7質量%、より好ましくは0.1質量%〜5質量%であってもよい。
また、高濃度の組成物において、砥粒の割合は、例えば、50質量%以下であり、好ましくは20質量%以下、より好ましくは10質量%以下であってもよい。
なお、これらの上限値と下限値とを適宜組み合わせて適当な範囲を設定してもよく、高濃度の組成物において、砥粒の割合は、具体的には、例えば、0.2質量%〜50質量%、1質量%〜20質量%、2質量%〜10質量%であってもよい。
また、組成物において、pH調整剤の割合は、ヘイズ低減などの観点から、例えば、1000ppm未満、好ましくは500ppm未満であってもよい。
なお、これらの上限値と下限値とを適宜組み合わせて適当な範囲を設定してもよく、組成物において、pH調整剤の割合は、具体的には、例えば、1ppm以上1000ppm未満、5ppm以上500ppm未満であってもよい。
また、高濃度の組成物において、pH調整剤の割合は、例えば、20000ppm未満、好ましくは10000ppm未満であってもよい。
なお、これらの上限値と下限値とを適宜組み合わせて適当な範囲を設定してもよく、高濃度の組成物において、pH調整剤の割合は、具体的には、例えば、20ppm以上20000ppm未満、好ましくは100ppm以上10000ppm未満であってもよい。
また、組成物において、界面活性剤の割合は、研磨速度などの観点から、例えば、1000ppm以下であり、好ましくは500ppm以下(例えば、300ppm以下)、より好ましくは100ppm以下であってもよい。
なお、これらの上限値と下限値とを適宜組み合わせて適当な範囲を設定してもよく、組成物において、界面活性剤の割合は、具体的には、例えば0.1ppm〜1000ppm、好ましくは0.5ppm〜500ppm、より好ましくは1ppm〜100ppmであってもよい。
また、高濃度の組成物において、界面活性剤の割合は、例えば、20000ppm以下であり、好ましくは10000ppm以下、より好ましくは2000ppm以下であってもよい。
なお、これらの上限値と下限値とを適宜組み合わせて適当な範囲を設定してもよく、高濃度の組成物において、界面活性剤の割合は、具体的には、例えば2ppm〜20000ppm、好ましくは10ppm〜10000ppm、より好ましくは20ppm〜2000ppmであってもよい。
なお、組成物のゼータ電位は、例えば、Dispersion Technology社製の超音波式ゼータ電位測定器DT−1202を用いて測定できる。
組成物の製造方法は、特に限定されず、例えば、組成物に含まれる各成分を混合してもよい。混合は、常温で行ってもよいし、加熱しながら行ってもよい。
また、混合は、撹拌しながら行ってもよく、混合装置(例えば、翼式攪拌機、超音波分散機、ホモミキサーなど)を用いて混合してもよい。
組成物中の各成分の混合順序は、特に限定されず、例えば、全成分を一度に混合してもよいし、適宜設定した順序で混合してもよい。
濾過は、組成物に含まれる各成分を濾過してもよいし、各成分の混合液を濾過してもよい。
濾過方法としては、特に限定されず、例えば、フィルターを用いて濾過してもよい。
なお、濾過は、循環濾過などあってもよい。
研磨対象物の表面を、組成物で研磨することにより、研磨物を製造することができる。
研磨対象面は、研磨対象物の両面、片面のいずれであってもよい。
また、研磨対象物の両面を研磨する際、両面を同時に研磨してもよいし、片面ずつを研磨してもよい。
以下、組成物を用いて研磨対象物を研磨する方法(研磨物の製造方法)の好適な一態様につき説明する。
これらの研磨対象物の中でも、シリコンを含むこと(例えば、単結晶シリコン基板など)が好ましい。
研磨対象物は、複数の材質により構成されたものであってもよい。
また、研磨対象面は、基板の一部が酸化されたもの(例えば、厚みが100nm以下の自然酸化膜を有するもの)であってもよい。
希釈溶媒としては、上記例示の溶媒などを使用することができ、少なくとも水を含む溶媒(水系溶媒)であることが好ましい。また、希釈溶媒は、組成物中に含まれる溶媒と同一(溶媒の種類や、混合溶媒である場合は各成分の混合比が同一)であってもよいし、異なっていてもよい。
希釈倍率は、例えば、体積換算で、2倍〜100倍程度(例えば、5倍〜50倍、20倍〜50倍程度)であってよく、好ましくは10倍〜30倍、より好ましくは15倍〜25倍であってもよい。
研磨液のpHは、ビニルアルコール系樹脂のケン化度や砥粒の種類などによって適宜調整でき、特に制限されないが、例えば、8.0〜12.0(例えば、9.0〜11.0)であってもよく、5.0〜9.0(例えば、6.0〜8.0)であってもよい。上記pHは、例えば、シリコンウエハの研磨に用いられる研磨液(例えば、ファイナルポリシング用の研磨液など)に特に好ましく適用され得る。
組成物は、半導体基板(特に、シリコンウェハ)の研磨に特に好ましく使用され得る。
組成物が使用される研磨工程は、特に限定されないが、例えば、シリコンウェハのファイナルポリシング又はそれよりも上流のポリシング工程に特に好適である。
なお、ファイナルポリシングとは、通常、目的物の製造プロセスにおける最後のポリシング工程(すなわち、その工程の後にはさらなるポリシングを行わない工程)を指す。例えば、上流の工程によって表面粗さ0.01nm〜100nmの表面状態に調製されたシリコンウェハのポリシング(典型的にはファイナルポリシングまたはその直前のポリシング)への適用が効果的であり、ファイナルポリシングへの適用が特に好ましい。
上記のようにして得られた研磨物は、洗浄してもよい。
洗浄は、例えば、洗浄液を用いて行うことができる。
洗浄液としては、特に限定されず、半導体基板の研磨を行った場合は、例えば、半導体等の分野において一般的なSC−1洗浄液(水酸化アンモニウム(NH4OH)と過酸化水素(H2O2)と水(H2O)との混合液)などを用いることができる。
また、洗浄液の温度は、例えば、常温〜90℃程度とすることができる。
本発明には、以下のような研磨面を形成する研磨物も含まれる。
このような研磨物の研磨面は、原子間力顕微鏡を用い、視野30×30μm2で測定した二乗平均平方根高さ(Sq)が、好ましくは0.030nm未満であり、より好ましくは0.028nm未満であってもよい。
水溶性高分子としては、例えば、比較的粘度の高い(例えば、20℃における4%水溶液粘度が15mPa・s以上の)水溶性高分子などであってもよい。
水溶性高分子としては、例えば、ビニルアルコール系樹脂を好適に使用することができ、前記ビニルアルコール系樹脂(A)を用いることにより、上記のような研磨面を有する研磨物を効率よく得やすい。
なお、以下の実施例において、「部」及び「%」は、特に指定しない限り、「質量部」及び「質量%」を示す。
特開2013−153149号公報の製造例1に記載の方法に準じて、重合条件(重合時の仕込み配合比、温度、圧力、重合時間など)やケン化条件(ケン化時の温度、時間など)を表1記載の4%粘度及びケン化度のPVAが得られるように変更し、表1に記載のPVA―1〜PVA―4を得た。
砥粒として平均一次粒子径35nmのコロイダルシリカを1%の濃度で含む水溶液に、塩基性化合物としてのアンモニア(NH3)を29%の濃度で含むアンモニア水を加えてpH10.0に調整したコロイダルシリカ分散液を用意した。このコロイダルシリカ分散液に、PVAとしてPVA−1を液全量において100ppmとなるよう添加し、組成物(研磨液)を得た。なお、組成物中のシリカの含有量は、1%であった。
コロイダルシリカ分散液に、EO―PO構造を有する共重合体(和光純薬工業製、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコール(160E.O.)(30P.O.))を液全量において10ppmとなるように添加した以外は実施例1と同様にして、組成物を得た。
PVAをPVA−2に変更した以外は実施例1と同様にして、組成物を得た。
PVAをPVA−3に変更した以外は実施例1と同様にして、組成物を得た。
コロイダルシリカ分散液に、EO―PO構造を有する共重合体(和光純薬工業製、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコール(160E.O.)(30P.O.))を液全量において10ppmとなるように添加し、PVAをPVA−3に変更した以外は実施例1と同様にして、組成物を得た。
PVAをPVA−4に変更した以外は実施例1と同様にして、組成物を得た。
コロイダルシリカ分散液に、EO―PO構造を有する共重合体(和光純薬工業製、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコール(160E.O.)(30P.O.))を液全量において10ppmとなるように添加し、PVAをPVA−4に変更した以外は実施例1と同様にして、組成物を得た。
表1に記載のPVA−4とPVA―5を、PVA−4:PVA―5(質量比)=48:52で混合して得られたPVA−6を使用した以外は実施例1と同様にして、組成物を得た。
水溶性高分子としてポリビニルピロリドン(和光純薬工業製、ポリビニルピロリドンK90)を使用した以外は実施例1と同様にして、組成物を得た。
PVAを日本酢ビ・ポバール株式会社製、JMR−10HH(PVA−5)に変更した以外は実施例1と同様にして、組成物を得た。
各例に係る研磨液を用いて、シリコンウエハの表面を下記の条件で研磨した。
シリコンウエハとしては、直径が300mm、伝導型がP型、結晶方位が<100>、抵抗率が0.1Ω・cm以上100Ω・cm未満である単結晶シリコンウェハを用いた。
[予備研磨条件]
研磨布:不織布
研磨液:KOHによりpHを11としたコロイダルシリカ溶液
研磨荷重:30kPa
定盤回転数:50rpm
ヘッド回転数:50rpm
研磨時間:3分
[仕上げ研磨条件]
研磨布:スエード
研磨荷重:15kPa
定盤回転数:30rpm
ヘッド回転数:30rpm
研磨時間:3分
研磨後のシリコンウエハを、NH4OH、H2O2及び超純水の混合液(SC1)(NH4OH:H2O2:超純水の体積比が1:3:30)を用いて洗浄した。
洗浄後のシリコンウエハ表面を原子間力顕微鏡(AFM)により評価した。座標(0mm,0mm)、(75mm,0mm)、(145mm,0mm)の3点の観察を行い、視野は30×30μm2とした。粗さパラメータはX方向とY方向で傾き補正を行った後、二乗平均平方根高さ(Sq)を算出し3点の平均を評価指針とした。その結果を以下の3段階で表1に示した。
A:0.028nm未満
B:0.028nm以上0.030nm未満
C:0.030nm以上
洗浄後のシリコンウエハ表面をKLAテンコール社製のウエハ検査装置、商品名「SP3」を用いて、DWOモードでヘイズ(ppm)を測定した。その測定結果を以下の4段階で評価した。
A:0.10ppm未満
B:0.10ppm以上0.20ppm未満
C:0.20ppm以上0.30ppm未満
D:0.30ppm以上
また、実施例では、研磨面のヘイズが小さかった。
Claims (16)
- 水溶性高分子を含む研磨用組成物であって、水溶性高分子が、20℃における4%水溶液粘度が15mPa・s以上3000mPa・s以下のビニルアルコール系樹脂を少なくとも含む研磨用組成物(ただし、酸化セリウム及びカチオン性ポリビニルアルコールを含む組成物を除く)。
- 水溶性高分子を含む研磨用組成物であって、水溶性高分子が、20℃における4%水溶液粘度が15mPa・s以上3000mPa・s以下のビニルアルコール系樹脂を少なくとも含む、単結晶シリコン基板の研磨用組成物。
- 水溶性高分子を含む研磨用組成物であって、水溶性高分子が、20℃における4%水溶液粘度が60mPa・s以上3000mPa・s以下のビニルアルコール系樹脂を少なくとも含む研磨用組成物。
- 水溶性高分子のけん化度が80〜99.9モル%である請求項1〜3のいずれかに記載の研磨用組成物。
- さらに、砥粒を含む、請求項1〜4のいずれかに記載の研磨用組成物。
- 砥粒がシリカを含む請求項5に記載の研磨用組成物。
- 水溶性高分子の単量体全体に対して、酸基を有する単量体の割合が、0.1モル%未満である請求項1〜6のいずれかに記載の組成物。
- さらに、pH調整剤を含む、請求項1〜7のいずれかに記載の研磨用組成物。
- さらに、砥粒及びpH調整剤を含む研磨用組成物であって、砥粒がシリカを含み、pH調整剤が塩基性化合物を含む、請求項1〜8のいずれかに記載の研磨用組成物。
- さらに、界面活性剤を含む、請求項1〜9のいずれかに記載の研磨用組成物。
- さらに、界面活性剤を含む研磨組成物であって、界面活性剤が、オキシエチレン−オキプロピレン構造を有する共重合体及びポリオキシエチレンアルキルエーテルから選択された少なくとも1種を含む、請求項1〜10のいずれかに記載の研磨用組成物。
- さらに、界面活性剤を含む研磨用組成物であって、水溶性高分子と界面活性剤の割合が、質量比で、1:0.01〜1:200である、請求項1〜11のいずれかに記載の研磨用組成物。
- さらに、少なくとも水を含む溶媒を含み、水溶性高分子の濃度が1ppm以上である、請求項1〜12のいずれかに記載の研磨用組成物。
- さらに、少なくとも水を含む溶媒を含み、固形分濃度が0.01質量%以上である、請求項1〜13のいずれかに記載の研磨用組成物。
- 研磨対象物の表面を、請求項1〜14のいずれかに記載の研磨用組成物で研磨する工程を含む、研磨物の製造方法。
- 研磨用組成物を少なくとも水を含む溶媒で希釈する希釈工程を含み、研磨工程において、希釈工程で得られた希釈液で研磨する、請求項15記載の研磨物の製造方法。
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