JP6756166B2 - 力覚センサーユニットおよびロボット - Google Patents

Description

本発明は、力覚センサーユニットおよびロボットに関するものである。

従来から、対象物を把持および搬送等の所定の作業を行う産業用のロボットが知られている。

このロボットの一例として、特許文献１には、ベースと、ベースに対して垂直軸まわりに旋回自在に接続された第１アームと、第１アームに垂直軸まわりに接続された第２アームと、第２アームの端部に回転かつ上下動自在に設けられた回転直動リンクとを有するロボットが開示されている。また、特許文献１に係るロボットは、回転直動リンクに取り付けられた力覚センサーと、力覚センサーに取り付けられた手先交換器とを有する。このロボットでは、力覚センサーによって手先交換器に加わる力を検出して、検出した結果に基づいてインピーダンス制御を行っている。

特開昭６４−４４５１０号公報

しかし、特許文献１に係るロボットでは、回転直動リンクに対する具体的な力覚センサーの取り付け方が開示されておらず、力覚センサーの精度を保証するような安定した取り付けがなされていなかった。

本発明の目的は、ロボットアームに対する取り付け方に起因する力覚センサーの精度の低下を低減することができる力覚センサーユニットを提供すること、また、この力覚センサーユニットを備えるロボットを提供することにある。

本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、以下により実現することが可能である。

本発明の力覚センサーユニットは、力覚センサーと、
一端部と、他端部と、前記一端部と前記他端部との間に位置する側部とを有し、前記一端部と前記他端部と前記側部とによって囲まれた空間内に前記力覚センサーを収納している筐体と、
ロボットが有するロボットアームに対して取り付け可能である第１取付部と、前記第１取付部と異なる位置で、前記筐体の前記一端部に対して着脱可能に取り付けられている第２取付部と、を有する取付部材と、
前記力覚センサーに接続され、前記筐体内から前記筐体外に引き出された配線と、を有し、
前記第１取付部には、前記ロボットアームに対する位置決めをする位置決め部が設けられており、
前記配線の一部は、前記側部の周方向に沿わされていることを特徴とする。
このような本発明の力覚センサーユニットによれば、位置決め部を有することで、取付部材をロボットアームに対して精度よく取り付けることができ、よって、筐体をロボットアームに対して精度よく取り付けることができる。また、本発明の力覚センサーユニットによれば、配線の一部が力覚センサーを収納している筐体の側部に沿った状態で配置されているため、配線の変形または変位（特に、一端部と他端部とを結ぶ線分としての中心線Ｘ１に沿った方向の変位）により力覚センサーの測定（検出）に与える影響を低減することができる。このようなことから、ロボットアームに対する取り付け方に起因する力覚センサーの精度の低下を低減することができ、また、個体差のばらつきを低減することができる。

本発明の力覚センサーユニットでは、前記位置決め部は、前記第１取付部から突出した凸状をなす第１位置決め部材および第２位置決め部材を有し、
前記第１位置決め部材は、前記第１取付部の中心部に設けられており、
前記第２位置決め部材は、前記第１位置決め部材よりも前記第１取付部の外側に設けられていることが好ましい。
これにより、ロボットアームに対する取付部材および筐体の周方向における位置決めを的確に行うことができる。

本発明の力覚センサーユニットでは、前記筐体および前記取付部材は、それぞれ、互いの相対的な位置関係を定めるために用いられる位置合わせ部を有することが好ましい。
これにより、筐体と取付部材との位置合わせを容易かつ的確に行うことができ、よって、ロボットアームに対する取付部材を介した筐体の位置決めを容易かつ的確に行うことができる。

本発明の力覚センサーユニットでは、前記側部には、前記配線の一部が挿通している挿通孔を有し、前記配線の一部を前記側部に対して支持する支持部材が設けられていることが好ましい。
これにより、側部に対する配線の位置を規制しつつ、配線の一部を側部に固定することができる。よって、配線の変位によって生じる力覚センサーの測定（検出）に与える影響をより低減することができる。

本発明の力覚センサーユニットでは、前記側部には、前記筐体の外部に向かって解放した凹部が形成されており、
前記配線の一部は、前記凹部に沿って配置されていることが好ましい。
これにより、筐体の一端部と他端部とを結ぶ線分としての中心線Ｘ１に沿った方向における変位を低減でき、配線の変位により力覚センサーの測定（検出）に与える影響をより低減することができる。

本発明の力覚センサーユニットでは、前記配線の一部は、前記側部の周方向に９０°以上の範囲で前記側部に沿わされていることが好ましい。
これにより、筐体の一端部と他端部とを結ぶ線分としての中心線Ｘ１に沿った方向における変位を低減でき、配線の変位により力覚センサーの測定（検出）に与える影響をより低減することができる。

本発明の力覚センサーユニットでは、前記第１取付部は、第１部位と、前記第１部位から突出した第２部位とを有し、
前記第２部位には、前記配線の一部が挿通可能な孔が形成されていることが好ましい。
これにより、第２部位によって配線の一部の位置を規制することができ、配線の変位を低減できる。このため、配線の変位により力覚センサーの測定（検出）に与える影響をより低減することができる。特に、このような構成の第１取付部を有する取付部材は、水平多関節ロボットに適用する場合に有効である。

本発明のロボットは、本発明の力覚センサーユニットと、当該力覚センサーユニットが取り付けられた前記ロボットアームとを有することを特徴とする。
このような本発明のロボットによれば、本発明の力覚センサーユニットを有しているため、力覚センサーユニットのロボットアームに対する取り付け方に起因する力覚センサーの精度の低下が低減され、また、個体差のばらつきが低減されたロボットを提供することができる。

本発明の第１実施形態に係るロボットを示す斜視図である。 図１に示すロボットおよび制御装置のシステム構成図である。 図１に示すロボットの模式図である。 図１に示すロボットアームに力覚センサーユニットが取り付けられた状態を示す図である。 図４に示す力覚センサーユニットをハンド側取付部材から見た斜視図である。 図４に示す力覚センサーユニットをロボットアーム側に設けられた取付部材から見た斜視図である。 図４に示す力覚センサーユニットの側面図である。 ロボットアームに対する力覚センサーユニットの取り付け方を説明するための図である。 図６に示す力覚センサーの変形例を示す図である。 本発明の第２実施形態に係るロボットを示す斜視図である。 図１０に示す力覚センサーユニットをロボットアーム側に設けられた取付部材から見た斜視図である。 図１０に示す力覚センサーユニットの側面図である。 本発明の第３実施形態に係るロボットを示す斜視図である。 図１３に示す力覚センサーユニットをロボットアーム側に設けられた取付部材から見た斜視図である。 図１３に示す力覚センサーユニットの側面図である。 配線の取り付け方を説明するための図である。 図１３に示すロボットが有するスプラインシャフトの先端部を示す図である。

以下、本発明の力覚センサーユニットおよびロボットを添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。

＜第１実施形態＞
１．ロボットシステム
図１は、本発明の第１実施形態に係るロボットを示す斜視図である。図２は、図１に示すロボットおよび制御装置のシステム構成図である。図３は、図１に示すロボットの模式図である。なお、以下では、図１中の下側（基台１１０側）を「基端側」、その反対側（ロボットアーム１０の先端側）を「先端側」と言う。また、図１の上下方向を「鉛直方向」とし、左右方向を「水平方向」とする。

図１に示すロボットシステム１００は、本発明のロボットの一例であるロボット１と、ロボット１の作動を制御する制御装置２とを有する。このロボットシステム１００は、例えば、電子部品および電子機器等の対象物（図示せず）の把持、搬送および組立て等の作業で用いられる。なお、本実施形態では、ロボット１と制御装置２とは別体のものとして説明するが、ロボット１が制御装置２を有するものとして捉えてもよい。

［ロボット］
ロボット１は、いわゆる６軸の垂直多関節ロボットであり、対象物の把持、搬送および組立て等の作業を行うことができる。

図１に示すように、ロボット１は、基台１１０と、基台１１０に接続されたロボットアーム１０（マニピュレーター）と、ロボットアーム１０の先端部に着脱可能に取り付けられた力覚センサーユニット３とを有する。また、図２に示すように、ロボット１は、図１に示すロボットアーム１０を駆動させる動力を発生させる複数の駆動部１２０および複数のモータードライバー１３０を備えている。

また、図１に示すように、力覚センサーユニット３の先端部（ロボットアーム１０とは反対側の部分）には、ハンド９１（エンドエフェクター）が着脱可能に取り付けられている。

以下、ロボット１が有する各部について順次説明する。
〈基台〉
図１に示す基台１１０は、ロボット１が作業する作業領域内の所定の箇所に取り付ける部分であり、ロボットアーム１０を支持している。また、本実施形態では、基台１１０内には、制御装置２が内蔵されている。なお、制御装置２は、ロボット１にその一部または全部が内蔵されていてもよく、また、ロボット１とは、別体で設けられていてもよい。

〈ロボットアーム〉
ロボットアーム１０は、第１アーム１１（アーム）と、第２アーム１２（アーム）と、第３アーム１３（アーム）と、第４アーム１４（アーム）と、第５アーム１５（アーム）と、第６アーム１６（アーム）とを有する。第１アーム１１は、基台１１０の上端部に接続されている。第１アーム１１と第２アーム１２と第３アーム１３と第４アーム１４と第５アーム１５と第６アーム１６とは、基端側から先端側に向かってこの順に連結されている。

第１アーム１１は、互いに対向する１対の長手形状をなす支持部１１１、１１２で構成されている。支持部１１１、１１２は、第２アーム１２との接続に用いられる。

第２アーム１２は、長手形状をなす。この第２アーム１２の基端部は、支持部１１１、１１２の間に配置され、支持部１１１、１１２に取り付けられることで第１アーム１１に接続されている。また、第２アーム１２は、その先端部に互いに対向する１対の支持部１２１、１２２を有している。支持部１２１、１２２は、第３アーム１３との接続に用いられる。

第３アーム１３は、長手形状をなす。この第３アーム１３は、支持部１２１、１２２の間に配置され、支持部１２１、１２２に取り付けられることで第２アーム１２に接続されている。

第４アーム１４は、第３アーム１３の第２アーム１２が接続されている端部とは反対の端部に接続されている。第４アーム１４は、長手形状をなし、その先端部に互いに対向する１対の支持部１４１、１４２を有している。支持部１４１、１４２は、第５アーム１５との接続に用いられる。

第５アーム１５は、支持部１４１、１４２の間に位置し、支持部１４１、１４２に取り付けられることで第４アーム１４に接続されている。

第６アーム１６は、平面視形状が円形である板状をなし、第５アーム１５の先端部に接続されている。また、第６アーム１６の先端部（先端面）には、力覚センサーユニット３が着脱可能に取り付けられている。そして、力覚センサーユニット３の第６アーム１６が接続されている端部とは反対の端部にハンド９１が着脱可能に取り付けられている。

なお、本実施形態では、エンドエフェクターとしてハンド９１を例に挙げているが、エンドエフェクターとしてはハンド９１に限定されない。エンドエフェクターとしては、例えば対象物を吸着する吸着機構を有する構成のものや、対象物を加工等する加工機構を有する構成のもの等であってもよい。

また、図３に示すように、基台１１０と第１アーム１１とは、回動軸部材１７１を介して連結されている。この回動軸部材１７１により、第１アーム１１は、基台１１０に対して鉛直方向に沿う第１回動軸Ａ１まわりに回動可能となっている。また、第１アーム１１と第２アーム１２とは、回動軸部材１７２を介して連結されている。この回動軸部材１７２により、第２アーム１２は、第１アーム１１に対して水平方向に沿う第２回動軸Ａ２まわりに回動可能となっている。また、第２アーム１２と第３アーム１３とは、回動軸部材１７３を介して連結されている。この回動軸部材１７３により、第３アーム１３は、第２アーム１２に対して水平方向に沿う第３回動軸Ａ３まわりに回動可能となっている。また、第３アーム１３と第４アーム１４とは、回動軸部材１７４を介して連結されている。この回動軸部材１７４により、第４アーム１４は、第３アーム１３に対して第３回動軸Ａ３と直交する第４回動軸Ａ４まわりに回動可能となっている。また、第４アーム１４と第５アーム１５とは、回動軸部材１７５を介して連結されている。この回動軸部材１７５により、第５アーム１５は、第４アーム１４に対して第４回動軸Ａ４と直交する第５回動軸Ａ５まわりに回動可能となっている。また、第５アーム１５と第６アーム１６とは、回動軸部材１７６を介して連結されている。この回動軸部材１７６により、第６アーム１６は、第５アーム１５に対して第５回動軸Ａ５と直交する第６回動軸Ａ６まわりに回動可能となっている。

ロボット１は、各アーム１１〜１６に対応した数（本実施形態では６つ）の図２に示す駆動部１２０を有している。複数の駆動部１２０は、それぞれ、図示はしないが、各アーム１１〜１６を回動させる駆動力を発生させるモーターと、そのモーターの駆動力を減速する減速機を有する。これにより、モーターの駆動力が減速機を介してアーム１１〜１６に伝達されることにより、アーム１１〜１６がそれぞれ回動する。なお、各アーム１１〜１６は、それぞれ、対応する駆動部に電気的に接続された複数（本実施形態では６つ）のモータードライバー１３０を介して制御装置２により制御されている。

また、各駆動部１２０には、図示はしないが、例えば、エンコーダー、ロータリーエンコーダー等の角度センサーが設けられている。これにより、各駆動部１２０が有するモーターまたは減速機の回転軸の回転角度を検出することができる。

〈力覚センサーユニット〉
図１に示す力覚センサーユニット３は、力覚センサー３０を有する。力覚センサー３０としては、並進３軸方向の力成分と、回転３軸回りのモーメント成分の６成分を同時に検出することができる６軸力覚センサーを用いることができる。そのため、力覚センサーユニット３によれば、ハンド９１を介して受ける力やモーメントを検出することができる。なお、力覚センサーユニット３については後に詳述する。

［ハンド］
図１に示すハンド９１は、力覚センサーユニット３に接続されている角柱状をなす接続部と、接続部の力覚センサーユニット３に接続されている面と反対の面に設けられた２つ（一対）のフィンガーとを有する。このハンド９１は、制御装置２の制御によって、フィンガーを開閉することにより対象物の把持およびその開放を行う。

［制御装置］
制御装置２は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＡＭ（Random Access Memory）およびＲＯＭ（Read Only Memory）等を備えるパーソナルコンピューター（ＰＣ）等で構成されている。また、制御装置２は、駆動制御部２１と、処理部２２と、記憶部２３とを有する。駆動制御部２１は、例えば、力覚センサー３０から入力された検出結果（信号）に基づいて、複数の駆動部１２０の駆動（例えば、角速度や回転角度等）をそれぞれ独立して制御する機能を有する。処理部２２は、各種信号（検出結果を含む）を基に各種演算等を行う機能を有する。記憶部２３は、駆動部１２０の駆動（ロボット１の作動）を制御するプログラムや、各種信号等を記録する機能を有する。

このような制御装置２は、力覚センサー３０の検出結果を用いて複数の駆動部１２０の駆動を制御する。例えば、制御装置２は、インピーダンス制御（力制御）、位置制御等の所定の制御を行う。本実施形態における制御装置２は、力覚センサー３０の検出結果を用いて複数の駆動部１２０の駆動を制御しているため、ロボット１の高精度な動作制御を行うことができる。

２．力覚センサーユニット
次に、力覚センサーユニットについて詳述する。

図４は、図１に示すロボットアームに力覚センサーユニットが取り付けられた状態を示す図である。図５は、図４に示す力覚センサーユニットをハンド側取付部材から見た斜視図である。図６は、図４に示す力覚センサーユニットをロボットアーム側に設けられた取付部材から見た斜視図である。図７は、図４に示す力覚センサーユニットの側面図である。図８は、ロボットアームに対する力覚センサーユニットの取り付け方を説明するための図である。図９は、図６に示す力覚センサーの変形例を示す図である。なお、以下では、図７中の下側を「先端側」、その反対側を「基端側」と言う。

図４に示すように、力覚センサーユニット３は、ロボットアーム１０の先端部とハンド９１との間に設けられ、これらに対して着脱可能に取り付けられている。

図４に示すように、力覚センサーユニット３は、力覚センサー３０と、筐体３１と、取付部材３５（第１取付部材）と、ハンド側取付部材３４（第２取付部材）と、支持部材３６と、配線３７と、を有する。取付部材３５と、筐体３１と、ハンド側取付部材３４とは、基端側から先端側に向かってこの順に連結されている。

以下、力覚センサーユニット３が有する各部について順次説明する。
［力覚センサー］
前述したように、本実施形態では、力覚センサー３０として、外力（モーメントを含む）を検出する機能を有する６軸力覚センサーを用いている。なお、力覚センサー３０は、６軸力覚センサーに限らず、３軸力覚センサーであってもよい。また、力覚センサー３０は、ひずみゲージ方式、静電容量方式、水晶圧電素子方式等のいかなる方式のものを用いてもよい。

［筐体］
図５〜図７に示す筐体３１は、内部空間を有する本体部３２と、本体部３２に接続された付属部（アタッチメント）３３とを有する。

図７に示すように、本体部３２と付属部３３とを有する筐体３１は、互いに対向して離間配置された一端部３１１（一端面）および他端部３１２（他端面）と、一端部３１１と他端部３１２との間に位置し、これらを繋ぐ側部３１３（側面）とで構成されている。一端部３１１および他端部３１２は平面視形状が円形の板状をなし、側部３１３は筒状（ほぼ円筒状）をなす。これら一端部３１１と他端部３１２と側部３１３とで囲まれた空間内に、力覚センサー３０が収納されている。なお、一端部３１１と側部３１３の上部とで、付属部３３が構成され、他端部３１２と側部３１３の中央部および下部とで、本体部３２が構成されている。また、一端部３１１、他端部３１２および側部３１３の形状は、図示のものに限定されず、例えば、一端部３１１および他端部３１２が四角形状であり、側部３１３が角柱状であってもよい。

また、図８に示すように、側部３１３の上部（付属部３３の側面）には、筐体３１の外部に向かって解放し、筐体３１の高さ方向における中心線Ｘ１（線分）を中心とした周方向に沿って形成された溝である凹部３１４が設けられている。凹部３１４は、側部３１３の全周にわたって設けられている。この凹部３１４は、後述する配線３７の一部を沿わせ、配線３７の一部の筐体３１の中心線Ｘ１方向（高さ方向）における変位を規制する機能を有する。なお、凹部３１４は、側部３１３の外周の一部に形成されていてもよい。凹部３１４は、後述する配線３７が沿わされる範囲に少なくとも形成されていることが好ましい。

また、凹部３１４の途中には、筐体３１の内部（空間）と外部とを連通する貫通孔３１５が形成されている。この貫通孔３１５には配線３７の一部が挿通される。

図６に示すように、側部３１３の上部（付属部３３の側面）には、その一部を中心線Ｘ１に沿って切り欠いた切り欠き部３１６が設けられている。この切り欠き部３１６は、筐体３１と後述する取付部材３５との相対的な位置関係を定める位置合わせ部として機能する。また、切り欠き部３１６は、平坦面をなし、後述する支持部材３６を筐体３１に対して接続（固定）する接続面としての機能を有する。

図８に示すように、筐体３１の上部には、筐体３１と取付部材３５とを接続するために用いられる上方（一端部３１１）に開口した複数の雌ネジ３１７が形成されている。複数の雌ネジ３１７は、筐体３１の一端部３１１の縁部側で、筐体３１の周方向に沿って等間隔で設けられている。

［ハンド側取付部材］
図５に示すように、ハンド側取付部材３４は、板状をなし、その平面視形状が筐体３１の他端部３１２の平面視形状に対応している。

図７に示すように、ハンド側取付部材３４は、表裏関係にあるハンド側取付部３４１（ハンド側取付面）および筐体側取付部３４２（筐体側取付面）を有する。ハンド側取付部３４１は、ハンド９１の基端部に着脱可能に装着され、筐体側取付部３４２は、筐体３１の他端部３１２に固定される。なお、筐体側取付部３４２は、他端部３１２に対して着脱可能に接続されていてもよい。

ハンド側取付部３４１は、外縁部と、外縁部よりも厚さが厚く、外縁部よりも基端側に突出した中央部とを有する。図５に示すように、中央部には、ハンド９１に取り付けるために用いられる複数の雌ネジ４３が形成されている。これら雌ネジ４３に対応した雄ネジ（図示せず）を用いて、ハンド９１をハンド側取付部３４１に接続することができる。

［取付部材］
図６に示すように、取付部材３５は、板状をなし、その平面視形状が筐体３１の一端部３１１の平面視形状に対応している。

図７に示すように、取付部材３５は、表裏関係にある第１取付部３５１（第１取付面）および第２取付部３５２（第２取付面）を有する。第１取付部３５１は、ロボットアーム１０の先端部に着脱可能に装着され、第２取付部３５２は、筐体３１の一端部３１１に着脱可能に装着されている。

図８に示すように、取付部材３５の中央部には、取付部材３５の厚さ方向に貫通した複数の貫通孔３５３が形成されている。複数の貫通孔３５３は、取付部材３５の周方向に沿ってほぼ等間隔に設けられている。これら複数の貫通孔３５３は、ロボットアーム１０の先端部（第６アーム１６の先端部）に形成された複数の雌ネジ１６１に対応するように形成されている。そして、各貫通孔３５３および各雌ネジ１６１には雄ネジ４２（ボルト）が挿通されており、貫通孔３５３を介して雌ネジ１６１に雄ネジ４２が螺合している。これにより、取付部材３５は、ロボットアーム１０の先端部に接続される。このような雄ネジ４２によるネジ留めという簡単な構成で取付部材３５をロボットアーム１０に対して安定して取り付けることができる。

また、取付部材３５の縁部には、取付部材３５の厚さ方向に貫通した複数の貫通孔３５４が形成されている。複数の貫通孔３５４は、取付部材３５の周方向に沿ってほぼ等間隔に設けられている。これら複数の貫通孔３５４は、前述した筐体３１の一端部３１１に形成された複数の雌ネジ３１７に対応するように形成されている。そして、各貫通孔３５４および各雌ネジ３１７には雄ネジ４１（ボルト）が挿通されており、貫通孔３５４を介して雌ネジ３１７に雄ネジ４１が螺合している。これにより、取付部材３５は、筐体３１に接続されている。このような雄ネジ４１によるネジ留めという簡単な構成で取付部材３５を筐体３１に安定して取り付けることができる。

また、図６に示すように、取付部材３５の第１取付部３５１には、ロボットアーム１０の先端部に対する取付部材３５の位置決めをする位置決め部３５０が設けられている。この位置決め部３５０は、第１取付部３５１から上側（先端側）に突出した凸状をなす第１位置決め部材３５５および第２位置決め部材３５６を有する。

第１位置決め部材３５５は、第１取付部３５１の中心（中央部）に設けられている。一方、第２位置決め部材３５６は、第１位置決め部材３５５よりも第１取付部３５１の外側に設けられている。また、図８に示すように、第１位置決め部材３５５は、ロボットアーム１０の先端部に形成された凹部１６２に対応するように形成されている。一方、第２位置決め部材３５６は、ロボットアーム１０の先端部に形成された凹部１６３に対応するように形成されている。

このような構成の第１位置決め部材３５５が凹部１６２に配置され、第２位置決め部材３５６が凹部１６３に配置されるように、取付部材３５をロボットアーム１０の先端部に取り付ける。これにより、取付部材３５とロボットアーム１０との相対的な位置合わせを行うことができる。

なお、本実施形態では、位置決め部３５０は２つの位置決め部材である第１位置決め部材３５５および第２位置決め部材３５６を有する構成であったが、位置決め部材の数は、２つに限定されない。位置決め部３５０が有する位置決め部材の数は、少なくとも２つ以上有すればよく、３つ以上であってもよい。また、複数の位置決め部材の位置は図示に示す位置に限定されず、任意である。

また、図６に示すように、取付部材３５の一部（側方の一部分）には、その厚さ方向に沿って切り欠いた切り欠き部３５７が設けられている。この切り欠き部３５７は、平坦面をなす。切り欠き部３５７は、取付部材３５と筐体３１との相対的な位置関係を合わせる位置合わせ部として機能する。具体的には、切り欠き部３５７と切り欠き部３１６が同一平面上に位置するように、取付部材３５に対して筐体３１を取り付ける。これにより、取付部材３５に対する筐体３１の位置、特に周方向（回転方向）の位置を容易かつ的確に合わせることができる。

［支持部材］
図５および図６に示すように、支持部材３６は、配線３７の一部が挿通される挿通孔３６１を有する円筒状をなす部材である。この支持部材３６の側方の一部は、前述した筐体３１の切り欠き部３５７に固定（接続）されている。これにより、挿通孔３６１の長手方向が筐体３１の周方向に沿うようにして支持部材３６が筐体３１に取り付けられる。そのため、この支持部材３６によれば、配線３７の一部が側部３１３に沿った状態を維持することができる。

このような支持部材３６は、例えば、シリコンゴム等の柔軟な材料を用いて構成されたシート状のものを巻回し、その巻回されたものをプラスチック材料等の比較的軟質な材料で構成されたもので巻回することにより形成された部材を用いることができる。これにより、挿通された配線３７の欠損等を防止することができる。

［配線］
配線３７は、力覚センサー３０に電気的に接続され、筐体３１内から貫通孔３１５を通って筐体３１外に引き出され、筐体３１の側部３１３に引き回されている。より具体的には、図５に示すように、配線３７の一部が、凹部３１４に沿って筐体３１の側部３１３に巻かれ、支持部材３６の挿通孔３６１に挿通されている。これにより、この貫通孔３１５から支持部材３６までの間の側部３１３に巻かれている配線３７の一部である巻回部３７１は、側部３１３の周方向に沿って配置される。また、配線３７の一端部には、コネクター３７０が設けられている。図４に示すように、コネクター３７０は、ロボットアーム１０が備えるコネクターに接続され、図示しない配線を介して制御装置２に電気的に接続される。これにより、力覚センサー３０は、制御装置２に電気的に接続される。

以上説明したような力覚センサーユニット３は、まず、雄ネジ４２を用いて取付部材３５をロボットアーム１０に取り付けた後、雄ネジ４１を用いてハンド側取付部材３４、支持部材３６および配線３７の一部が装着された状態の筐体３１を取付部材３５に取り付ける。そして、コネクター３７０をロボットアーム１０が備えるコネクターに接続する。これにより、図４に示すように、ロボットアーム１０に力覚センサーユニット３を取り付けることができる。

なお、上述した筐体３１、ハンド側取付部材３４および取付部材３５の構成材料としては、耐久性等の観点から、それぞれ、例えば、鉄、ニッケル、銅、アルミニウム等の各種金属またはこれらのうちの少なくとも１種を含む合金等を用いることができる。

以上説明した本発明の力覚センサーユニットの一例である力覚センサーユニット３は、力覚センサー３０と、筐体３１と、取付部材３５と、配線３７とを有する。筐体３１は、一端部３１１と、他端部３１２と、一端部３１１と他端部３１２との間に位置する側部３１３とを有し、一端部３１１と他端部３１２と側部３１３とによって囲まれた空間内に力覚センサー３０を収納している。取付部材３５は、ロボット１が有するロボットアーム１０に対して取り付け可能である第１取付部３５１と、第１取付部３５１と異なる位置に設けられ、筐体３１の一端部３１１に対して着脱可能に取り付けられている第２取付部３５２と、を有する。配線３７は、力覚センサー３０に接続され、筐体３１内から筐体３１外に引き出されている。そして、第１取付部３５１には、ロボットアーム１０に対する位置決めをする位置決め部３５０が設けられており、配線３７の一部である巻回部３７１は、側部３１３の周方向に沿わされている。

このような力覚センサーユニット３によれば、位置決め部３５０を有することで、位置決め部３５０により、ロボットアーム１０に対する取付部材３５の位置決めを行ってから、取付部材３５をロボットアーム１０に取り付けることができる。このため、取付部材３５をロボットアーム１０に対して精度よく取り付けることができ、よって、取付部材３５に装着する筐体３１をロボットアーム１０に対して精度よく取り付けることができる。特に、ロボットアーム１０に対する力覚センサーユニット３の周方向の位置を精度よく位置決めすることができる。そのため、力覚センサーユニット３によれば、ロボット１のロボット座標系と力覚センサー３０の座標系とを精度よく合わせることができる。また、力覚センサーユニット３によれば、配線３７の一部である巻回部３７１が側部３１３に沿った状態で配置されているため、配線３７の変形または変位、特に、中心線Ｘ１に沿った方向の変位により力覚センサー３０の測定（検出）に与える影響を低減することができる。そのため、配線３７の干渉による力覚センサー３０の検出結果に異常値が発生することを低減することができる。このようなことから、ロボットアーム１０に対する取り付け方に起因する力覚センサー３０の精度の低下を低減することができ、また、個体差のばらつきを低減することができる。

また、本発明のロボットの一例であるロボット１は、力覚センサーユニット３と、力覚センサーユニット３が取り付けられたロボットアーム１０とを有する。このようなロボット１によれば、力覚センサーユニット３を有しているため、力覚センサーユニット３のロボットアーム１０に対する取り付け方に起因する力覚センサー３０の精度の低下が低減され、また、個体差のばらつきが低減されたロボット１を提供することができる。

また、前述したように、位置決め部３５０は、第１取付部３５１から突出した凸状をなす第１位置決め部材３５５および第２位置決め部材３５６を有する。そして、第１位置決め部材３５５は、第１取付部３５１の中心部に設けられており、第２位置決め部材３５６は、第１位置決め部材３５５よりも第１取付部３５１の外側に設けられている。このような位置決め部３５０により、前述したように、第１位置決め部材３５５を凹部１６２に配置し、第２位置決め部材３５６を凹部１６３に配置することで、ロボットアーム１０に対する取付部材３５の位置決めを行うことができる。特に、前述したように、第１位置決め部材３５５が第１取付部３５１の中心（中央部）に設けられ、それとは異なる位置に設けられた第２位置決め部材３５６を有するため、ロボットアーム１０に対する取付部材３５および筐体３１の周方向における位置決めを精度よく行うことができる。

また、前述したように、筐体３１は、切り欠き部３１６を有し、取付部材３５は、切り欠き部３５７を有する。そして、これら切り欠き部３１６、３５７は、それぞれ、筐体３１および取付部材３５の互いの相対的な位置関係を定めるために用いられる位置合わせ部として機能する。具体的には、前述したように、切り欠き部３５７と切り欠き部３１６が同一平面上に位置するように、取付部材３５に対して筐体３１を取り付ける。これにより、筐体３１と取付部材３５との位置合わせを容易かつ精度よく行うことができ、よって、ロボットアーム１０に対する取付部材３５を介した筐体３１の位置決めを容易かつ精度よく行うことができる。

ここで、取付部材３５と筐体３１との位置合わせについて簡単に説明する。まず、取付部材３５に対して筐体３１を重ね合わせて、取付部材３５に対して筐体３１を中心線Ｘ１を中心にして回転させる。この際、切り欠き部３１６、３５７が重なるように大まかな周方向における位置合わせを行う。その後、取付部材３５に対して筐体３１を回転させながら、切り欠き部３１６、３５７が同一面上に位置するように微調整する。これにより、１つの貫通孔３５４と１つの雌ネジ３１７とが一直線上に並ぶ。この並んだ貫通孔３５４と雌ネジ３１７とに雄ネジ４１を挿通して螺合する。これにより、取付部材３５と筐体３１との位置合わせを容易かつ高精度に行うことができ、取付部材３５に対して筐体３１を容易かつ的確に取り付けることができる。

なお、切り欠き部３１６、３５７は、それぞれ、１つに限定されず、その数は、任意である。ここで、図９に、図６に示す力覚センサーの変形例を示す。図９に示すように、筐体３１は、切り欠き部３１６と、これと反対側に形成された切り欠き部３１６ａとを有する。なお、切り欠き部３１６ａの構成は、形成された位置が異なること以外は切り欠き部３１６と同様の構成である。また、取付部材３５は、切り欠き部３５７と、これと反対側に形成された切り欠き部３５７ａとを有する。なお、切り欠き部３５７ａの構成は、形成された位置が異なること以外は切り欠き部３５７と同様の構成である。このように複数の切り欠き部３１６、３１６ａ、３５７、３５７ａを備えることで、筐体３１と取付部材３５との位置合わせをより精度高く行うことができる。なお、このように複数の切り欠き部３１６、３１６ａ、３５７、３５７ａを備える構成とするか否かは、力覚センサーユニット３を取り付けるロボットの種類等によって決定すればよい。

また、本実施形態では、位置合わせ部として、切り欠き部３１６、３５７を用いているが、筐体３１と取付部材３５との位置合わせを行うことができれば、位置合わせ部の構成はこれに限定されない。例えば、位置合わせ部は、位置合わせをする際の基準として利用することができるマークや溝等で構成されていてもよい。

また、前述したように、側部３１３には、配線３７の一部（具体的には、巻回部３７１の一部）が挿通している挿通孔３６１を有し、配線３７の一部である巻回部３７１を側部３１３に対して支持する支持部材３６が設けられている。これにより、側部３１３に対する配線の位置を規制しつつ、配線３７の一部を側部３１３に固定することができる。そのため、配線３７、特に巻回部３７１の変位を低減でき、よって、配線３７の変位によって生じる力覚センサー３０の測定（検出）に与える影響をより低減することができる。

また、側部３１３には、筐体３１の外部に向かって解放した溝である凹部３１４が形成されている。そして、配線３７の一部である巻回部３７１は、凹部３１４に沿って配置されている。これにより、中心線Ｘ１方向における配線３７、特に巻回部３７１の変位を低減でき、配線３７の変位により力覚センサーの測定（検出）に与える影響をより低減することができる。このため、配線３７の干渉による力覚センサー３０の検出結果に異常値が発生することをより効果的に低減することができる。

また、配線３７の一部である巻回部３７１は、側部３１３の周方向に９０°以上の範囲で凹部３１４に沿わされている。なお、本実施形態では、巻回部３７１は、周方向に約９０°の範囲で側部３１３に沿わされているが、配線３７が側部３１３に沿わされている範囲は、９０°に限定されず、任意である。ただし、ロボットアーム１０に力覚センサーユニット３が取り付けられている状態において、配線３７が側部３１３に沿わされている範囲は、９０°以上４５０°以下であることが好ましく、１８０°以上３６０°以下であることがより好ましい。これにより、筐体３１の中心線Ｘ１に沿った方向における配線３７の変位を低減でき、配線３７の干渉による力覚センサー３０の検出結果に異常値が発生することを特に効果的に低減することができる。

＜第２実施形態＞
図１０は、本発明の第２実施形態に係るロボットを示す斜視図である。図１１は、図１０に示す力覚センサーユニットをロボットアーム側に設けられた取付部材から見た斜視図である。図１２は、図１０に示す力覚センサーユニットの側面図である。

以下、第２実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。

１．ロボットシステム
図１０に示すロボットシステム１００Ａは、本発明のロボットの一例であるロボット１Ａと、ロボット１Ａの作動を制御する制御装置２とを有する。

［ロボット］
ロボット１Ａは、いわゆる６軸の垂直多関節ロボットであり、基台１１０Ａと、ロボットアーム１０Ａ（マニピュレーター）と、力覚センサーユニット３Ａとを有する。

〈ロボットアーム〉
ロボットアーム１０Ａは、第１アーム１１Ａ（アーム）と、第２アーム１２Ａ（アーム）と、第３アーム１３Ａ（アーム）と、第４アーム１４Ａ（アーム）と、第５アーム１５Ａ（アーム）と、第６アーム１６Ａ（アーム）とを有する。

第１アーム１１Ａは、屈曲した形状をなし、その基端部が基台１１０Ａに接続されている。この第１アーム１１Ａは、基台１１０Ａに設けられ、水平方向に延びる第１部分１１１Ａと、第２アーム１２Ａに設けられ、垂直方向に延びる第２部分１１２Ａと、第１部分１１１Ａと第２部分１１２Ａとの間に位置し、水平方向および垂直方向に対して傾斜した方向に延びる第３部分１１３Ａと、を有している。なお、第１部分１１１Ａ、第２部分１１２Ａおよび第３部分１１３Ａは、一体で形成されている。

第２アーム１２Ａは、長手形状をなし、第１アーム１１Ａの先端部に接続されている。 第３アーム１３Ａは、長手形状をなし、第２アーム１２Ａの第１アーム１１Ａが接続されている端部とは反対の端部に接続されている。

第４アーム１４Ａは、第３アーム１３Ａの第２アーム１２Ａが接続されている端部とは反対の端部に接続されている。第４アーム１４Ａは、互いに対向する１対の支持部１４１Ａ、１４２Ａを有している。支持部１４１Ａ、１４２Ａは、第５アーム１５Ａとの接続に用いられる。

第５アーム１５Ａは、支持部１４１Ａ、１４２Ａの間に位置し、支持部１４１Ａ、１４２Ａに取り付けられることで第４アーム１４Ａに接続されている。

第６アーム１６Ａは、平面視形状が円形である板状をなし、第５アーム１５Ａの先端部に接続されている。また、第６アーム１６Ａの先端部（先端面）には、力覚センサーユニット３Ａが着脱可能に取り付けられている。そして、力覚センサーユニット３Ａの第６アーム１６Ａが接続されている端部とは反対の端部にハンド９１が着脱可能に取り付けられている。

このような構成のロボット１Ａによれば、ハンド９１によって把持することが可能な対象物の重さ維持しつつ、従来から用いられている構成の６軸の垂直多関節ロボットよりも全体形状を比較的小さくすることができる。

２．力覚センサーユニット
図１１および図１２に示す力覚センサーユニット３Ａは、前述した力覚センサーユニット３が有する雄ネジ４２よりも小さい雄ネジ４２Ａを用いていること以外は同様の構成である。このように、用いるロボットの種類等によって、ロボットアーム１０Ａにネジ留めする雄ネジ４２Ａの種類を変更してもよい。

このような第２実施形態によっても、第１実施形態における効果と同様の効果を発揮することができる。

＜第３実施形態＞
図１３は、本発明の第３実施形態に係るロボットを示す斜視図である。図１４は、図１３に示す力覚センサーユニットをロボットアーム側に設けられた取付部材から見た斜視図である。図１５は、図１３に示す力覚センサーユニットの側面図である。図１６は、配線の取り付け方を説明するための図である。図１７は、図１３に示すロボットが有するスプラインシャフトの先端部を示す図である。

以下、第３実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。

１．ロボットシステム
図１３に示すロボットシステム１００Ｂは、本発明のロボットの一例であるロボット１Ｂと、ロボット１Ｂの作動を制御する制御装置２とを有する。

［ロボット］
ロボット１Ｂは、いわゆる水平多関節ロボット（スカラロボット）である。

図１３に示すように、ロボット１Ｂは、基台１１０Ｂと、ロボットアーム１０Ｂと、力覚センサーユニット３Ｂとを有する。

〈ロボットアーム〉
ロボットアーム１０Ｂは、第１アーム１７と、第２アーム１８と、作業ヘッド１９０に設けられたスプラインシャフト１９（アーム）とを有する。

第１アーム１７は、水平方向に沿って延びた長手形状をなし、その基端部が基台１１０Ｂの上端部に接続されている。この第１アーム１７は、基台１１０Ｂに対して鉛直方向に沿う第１回動軸Ｊ１まわりに回動可能となっている。

第２アーム１８は、水平方向に沿って延びた長手形状をなし、その基端部が第１アーム１７の基台１１０Ｂに接続されている端部（基端部）とは反対の端部（先端部）に接続されている。この第２アーム１８は、第１アーム１７に対して鉛直方向に沿う第２回動軸Ｊ２まわりに回動可能となっている。

作業ヘッド１９０は、第２アーム１８の先端部に配置されている。作業ヘッド１９０は、第２アーム１８の先端部に同軸的に配置されたスプラインナットおよびボールネジナット（ともに図示せず）に挿通されたスプラインシャフト１９を有している。スプラインシャフト１９は、第２アーム１８に対して、その軸Ｊ３（スプラインシャフト１９の長手方向における中心軸）まわりに回転可能であり、かつ、上下方向に移動（昇降）可能となっている。

なお、第２アーム１８上に設けられたカバー部材１８０内には、図示しないが、回転モーターおよび昇降モーターが配置されている。回転モーターの駆動力は、図示しない駆動力伝達機構によってスプラインナットに伝達され、スプラインナットが正逆回転すると、スプラインシャフト１９が鉛直方向に沿う軸Ｊ３まわりに正逆回転する。一方、昇降モーターの駆動力は、図示しない駆動力伝達機構によってボールネジナットに伝達され、ボールネジナットが正逆回転すると、スプラインシャフト１９が上下に移動する。

また、スプラインシャフト１９の先端部（下端部）には、力覚センサーユニット３Ｂが着脱可能に取り付けられている。そして、力覚センサーユニット３Ｂのスプラインシャフト１９が接続されている端部とは反対の端部にハンド９１が着脱可能に取り付けられている。

２．力覚センサーユニット
図１４および図１５に示すように、力覚センサーユニット３Ｂは、第１取付部３９を有する取付部材３５Ｂを備えている。第１取付部３９は、第１部位３９１（上面）と、第１部位３９１から突出した第２部位３８とを有する。

第１部位３９１は、第１実施形態における位置決め部３５０を備えていないこと以外は、第１実施形態における取付部材３５と同様の構成である。すなわち、第１取付部３９は、第１実施形態における取付部材３５と同様の構成である第１部位３９１と、第２部位３８とを有している。

第２部位３８は、第１部位３９１の中央部から上方に向かって突出した凸部である。この第２部位３８には、図１５および図１６に示すように、上面（第１部位３９１とは反対側の面）に開口し、中心線Ｘ１に沿って形成された第１孔３８１と、第２部位３８の外側面に開口し、中心線Ｘ１に直交する軸に沿って形成された第２孔３８２とを有する。これら第１孔３８１と第２孔３８２とは、連通孔３８２１を介して連通している。このような第１孔３８１、第２孔３８２および連通孔３８２１内には、配線３７の一部が挿通される。また、第１孔３８１には、スプラインシャフト１９の下端部が挿通される。

また、図１４および図１５に示すように、第２部位３８には、貫通孔３８４およびそれに対応した雌ネジ３８３が形成されている。この貫通孔３８４を介して雌ネジ３８３に雄ネジ４４（ボルト）を螺合することにより、第１孔３８１に挿通されたスプラインシャフト１９が抱き締めにより第２部位３８に固定される。

また、図１７に示すように、スプラインシャフト１９は、切り欠かれており、いわゆるＤカット加工が施されている。また、第２部位３８の側方には、中心線Ｘ１に直交する方向に沿って形成された貫通孔３８６が形成されている。これにより、図１６に示すように、貫通孔３８６にボルト４５を挿通し、スプラインシャフト１９のＤカット加工が施されて面１９５にボルト４５を押し当てることで、スプラインシャフト１９に対する取付部材３５Ｂの位置決めをすることができる。すなわち、貫通孔３８６は、第１取付部３９に設けられたロボットアーム１０Ｂに対する位置決めをする位置決め部として機能する。

このような構成の力覚センサーユニット３Ｂでは、図１６に示すように、配線３７が、筐体３１内から貫通孔３１５を通って筐体３１外に引き出され、筐体３１の側部３１３に引き回されている。そして、配線３７は、第２孔３８２および連通孔３８２１を通り、第１孔３８１に設けられたスプラインシャフト１９の長手方向に沿って形成された貫通孔１９２に挿通されている。そして、この配線３７は、貫通孔１９２を通り、図示しない配線を介して制御装置２に電気的に接続される。

以上説明したような力覚センサーユニット３Ｂでは、第１取付部３９が、第１部位３９１と、第１部位３９１から突出した第２部位３８とを有する。そして、第２部位３８には、配線３７の一部が挿通可能な孔である第１孔３８１、第２孔３８２および連通孔３８２１を有する挿通部が形成されている。また、第１孔３８１には、スプラインシャフト１９（ロボットアーム１０Ｂの一部）が挿通可能となっている。これにより、第２部位３８によって配線３７の一部の位置を規制することができ、配線３７の変位を低減できる。このため、配線３７の変位により力覚センサー３０の測定（検出）に与える影響をより低減することができる。特に、本実施形態のロボット１Ｂのような、孔１９１が形成されたスプラインシャフト１９を有する水平多関節ロボットに適用する場合に有効である。

このような第３実施形態によっても、第１実施形態における効果と同様の効果を発揮することができる。

以上、本発明の力覚センサーユニットおよびロボットについて、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これらに限定されるものではなく、例えば、前述した実施形態の各部の構成は、同様の機能を発揮する任意の構成のものに置換することができ、また、任意の構成を付加することもできる。

１…ロボット、１Ａ…ロボット、１Ｂ…ロボット、２…制御装置、３…力覚センサーユニット、３Ａ…力覚センサーユニット、３Ｂ…力覚センサーユニット、１０…ロボットアーム、１０Ａ…ロボットアーム、１０Ｂ…ロボットアーム、１１…第１アーム、１１Ａ…第１アーム、１２…第２アーム、１２Ａ…第２アーム、１３…第３アーム、１３Ａ…第３アーム、１４…第４アーム、１４Ａ…第４アーム、１５…第５アーム、１５Ａ…第５アーム、１６…第６アーム、１６Ａ…第６アーム、１７…第１アーム、１８…第２アーム、１９…スプラインシャフト、２１…駆動制御部、２２…処理部、２３…記憶部、３０…力覚センサー、３１…筐体、３２…本体部、３３…付属部、３４…ハンド側取付部材、３５…取付部材、３５Ｂ…取付部材、３６…支持部材、３７…配線、３８…第２部位、３９…第１取付部、４１…雄ネジ、４２…雄ネジ、４２Ａ…雄ネジ、４３…雌ネジ、４４…雄ネジ、４５…ボルト、９１…ハンド、１００…ロボットシステム、１００Ａ…ロボットシステム、１００Ｂ…ロボットシステム、１１０…基台、１１０Ａ…基台、１１０Ｂ…基台、１１１…支持部、１１１Ａ…第１部分、１１２…支持部、１１２Ａ…第２部分、１１３Ａ…第３部分、１２０…駆動部、１２１…支持部、１２２…支持部、１３０…モータードライバー、１４１…支持部、１４１Ａ…支持部、１４２…支持部、１４２Ａ…支持部、１６１…雌ネジ、１６２…凹部、１６３…凹部、１７１…回動軸部材、１７２…回動軸部材、１７３…回動軸部材、１７４…回動軸部材、１７５…回動軸部材、１７６…回動軸部材、１８０…カバー部材、１９０…作業ヘッド、１９１…孔、１９２…貫通孔、３１１…一端部、３１２…他端部、３１３…側部、３１４…凹部、３１５…貫通孔、３１６…切り欠き部、３１６ａ…切り欠き部、３１７…雌ネジ、３４１…ハンド側取付部、３４２…筐体側取付部、３５０…位置決め部、３５１…第１取付部、３５２…第２取付部、３５３…貫通孔、３５４…貫通孔、３５５…第１位置決め部材、３５６…第２位置決め部材、３５７…切り欠き部、３５７ａ…切り欠き部、３６１…挿通孔、３７０…コネクター、３７１…巻回部、３８１…第１孔、３８２…第２孔、３８３…雌ネジ、３８４…貫通孔、３８６…貫通孔、３９１…第１部位、３８２１…連通孔、Ａ１…第１回動軸、Ａ２…第２回動軸、Ａ３…第３回動軸、Ａ４…第４回動軸、Ａ５…第５回動軸、Ａ６…第６回動軸、Ｊ１…第１回動軸、Ｊ２…第２回動軸、Ｊ３…軸、Ｘ１…中心線、１９５…面

Claims (6)

1. 力覚センサーと、
   一端部と、他端部と、前記一端部と前記他端部との間に位置し、筒状をなす側部と、を有し、前記一端部と前記他端部と前記側部とによって囲まれた空間内に前記力覚センサーを収納している筐体と、
   ロボットが有するロボットアームに対して取り付けられる第１取付面と、前記筐体の前記一端部に対して着脱可能に取り付けられている第２取付面と、を有する取付部材と、
   前記第１取付面から突出した凸状をなす第１位置決め部材を有する位置決め部と、
   前記力覚センサーに接続されており、前記筐体内から前記筐体外に引き出され、前記側部の周方向に沿って前記筐体に取り付けられている配線と、を有することを特徴とする力覚センサーユニット。
2. 前記位置決め部は、前記第１取付面から突出した凸状をなす第２位置決め部材を有し、
   前記取付部材の厚さ方向から見た平面視で、前記第１位置決め部材は、前記第１取付部の中心部に設けられており、
   前記取付部材の厚さ方向から見た平面視で、前記第２位置決め部材は、前記第１位置決め部材よりも前記第１取付面の外側に設けられている請求項１に記載の力覚センサーユニット。
3. 前記筐体および前記取付部材は、切欠き部を有する請求項１または２に記載の力覚センサーユニット。
4. 前記配線が挿通している挿通孔を有し、前記側部に設けられ、前記配線を前記側部に対して支持する支持部材を有する請求項１ないし３のいずれか１項に記載の力覚センサーユニット。
5. 前記側部には、前記筐体の外部に向かって解放した凹部が形成されており、
   前記配線は、前記凹部に沿っている請求項１ないし４のいずれか１項に記載の力覚センサーユニット。
6. 請求項１ないし５のいずれか１項に記載の力覚センサーユニットと、当該力覚センサーユニットが取り付けられた前記ロボットアームとを有することを特徴とするロボット。

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