JP6753667B2 - 超音波接合装置 - Google Patents

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Description

本発明は、超音波接合装置に関する。
アンビルと超音波ホーンとの間に配置した被接合物に、超音波ホーンを介して超音波振動を印加し該被接合物中のシート間を融着させる超音波接合装置が知られている(特許文献1)。また、特許文献2には、超音波接合装置に、アンビルの振動を非接触で検出する変位センサーを設けること記載され、特許文献3には、超音波ホーンの温度を検知し、該温度に基づき溶着の条件を設定する超音波接着方法が記載されている。
特開2004−330622号公報 特開2014−136227号公報 特許第3827273号公報
超音波接合装置としては、例えば、超音波発振器、コンバーター、ブースター及び超音波ホーンを備えたものが広く知られており、その超音波接合装置においては、超音波発振器により発生させた高い周波数の高い電圧の電気信号が、コンバーター内の圧電素子により機械的振動に変換され、その機械的振動が、ブースターにより振幅を調整されて超音波ホーンに伝達され、超音波ホーンの超音波振動が、超音波ホーンとアンビル等との間で加圧した被接合物に印加され、被接合物中のシートが加熱溶融してシート材間に融着が生じる。
このような超音波接合装置においては、超音波ホーンとアンビル等との間のクリアランス(隙間)の僅かな差が、被接合物中のシート間の融着に大きく影響する。そのため、例えば、帯状の被接合物に対して間欠的に接合部を形成する場合には、超音波接合装置に圧力計測手段を設け、被接合物を超音波ホーンとアンビルとの間に挟む度に、被接合物に加わる圧力を計測し、その圧力が一定になるように、超音波ホーンとアンビルとの間のクリアランスをフィードバック制御することが考えられる。
しかし、圧力計測手段に異常や故障が生じたときには、超音波ホーンとアンビルとの間のクリアランスの適切な制御ができなくなる上に、圧力計測手段に異常や故障が生じたことが判りにくいことも多い。
本発明の課題は、上述した従来技術の課題を解決し得る超音波接合装置に関する。
本発明は、超音波ホーンを備えた超音波印加装置とアンビルとを備え、超音波ホーンとアンビルとの間に被接合物を挟んで超音波振動を印加し、該被接合物中のシート間を接合する超音波接合装置であって、前記超音波ホーンを前記アンビルに向かって進退させ、該超音波ホーンをその進退方向の特定の位置に固定可能な位置制御機構と、該超音波ホーンの位置を検知する変位センサーとを備え、前記変位センサーは、該超音波ホーンと連動する部材に設けられたセンサー第1部材と、前記超音波ホーンと連動しない支持体に支持されたセンサー第2部材とを有し、前記センサー第1部材と前記センサー第2部材との間の相対距離を計測して前記超音波ホーンの進退方向における位置を検出する、超音波接合装置を提供するものである。
本発明の超音波接合装置によれば、圧力計測手段等に異常や故障が生じたときに、その異常や故障を容易に認識することができる。
図1は、本発明の超音波接合装置の一実施形態を示す模式図である。 図1は、本発明の超音波接合装置の一実施形態を用いて製造されるパンツ型吸収性物品の一例であるパンツ型使い捨ておむつを示す斜視図である。 図3は、図2に示すパンツ型使い捨ておむつの展開且つ伸長状態を示す模式的平面図である。 図4は、本発明の超音波接合装置の一実施形態を用いてパンツ型使い捨ておむつを製造する際の製造工程の概略図である。
以下、本発明をその好ましい実施形態に基づき図面を参照しながら説明する。
本発明の一実施形態である超音波接合装置10は、図1に示すように、超音波ホーンを備えた超音波印加装置11とアンビル20とを備えている。
超音波印加装置11は、超音波発振器(図示せず)、コンバーター12、ブースター13及び超音波ホーン14を備えている。超音波発振器(図示せず)は、被接合物1Aの搬送経路における所定位置に配置された超音波印加装置11の支持台25上又は支持台25外に設置されており、コンバーター12と電気的に接続されており、超音波発振器により発生された周波数10kHz〜100kHz程度の波長の高電圧の電気信号がコンバーター12に入力されるようになっている。コンバーター12は、ピエゾ圧電素子等の圧電素子を内蔵し、超音波発振器から入力された電気信号を、圧電素子により機械的振動に変換する。ブースター13は、コンバーター12から発せられた機械的振動の振幅を調整、好ましくは増幅して超音波ホーン14に伝達する。超音波ホーン14は、アルミ合金やチタン合金などの金属の塊でできており、使用する周波数で正しく共振するように設計されている。ブースター13から超音波ホーン14に伝達された超音波振動は、超音波ホーン14の内部においても増幅、又は減衰されて、被接合物1Aの接合部形成予定部位40に印加される。
超音波ホーン14による超音波振動の印加は、超音波ホーン14の先端面14tとアンビル20との間に挟まれて加圧された状態の被接合物1Aに対して行われる。超音波ホーン14とアンビル20との間に被接合物1Aを挟んで超音波振動を印加することで、被接合物1A中の少なくとも一枚のシートが溶融し、被接合物1A中のシート間が溶着される。この溶着により、連続搬送される被接合物1Aに順次且つ間欠的に接合部が形成される。
図1に示すアンビル20は、矢印a方向に回転するアンビルロールであり、周方向の対向する2箇所にシールブロック21,21が形成されている。好ましい一例において、超音波ホーン14の先端面14tは平坦面であるのに対して、シールブロック21には、凹凸が規則的に形成されており、例えば、接合部として、後述するパンツ型吸収性物品の連続体にサイドシール部4を形成する場合に、該サイドシール部4内に所定のパターンで強接合部が形成される。なお、超音波印加装置11としては、市販の超音波ホーン、コンバーター、ブースター、超音波発振器を組み合わせて用いることができる。
また超音波接合装置10は、コンバーター12、ブースター13及び超音波ホーン14を一体として、被接合物1Aの厚み方向に沿う方向Tに進退させることによって、超音波ホーン14をアンビル20に向かって進退させるとともに、その超音波ホーン14の先端面14tの位置を、その進退方向Tの特定の位置に固定可能な位置制御機構を備えている。位置制御機構は、図1に示すように、スライドシャフトやスライドレール等のスライドガイド15aに沿ってスライド移動可能な可動台15と、可動台15を進退させ、所定の位置に停止させることのできる駆動機構16と、駆動機構16による可動台15の駆動を制御する制御部26を備えている。制御部26は、パーソナルコンピュータやプログラマブルロジックコントローラ(PLC)からなり、中央演算部、表示部、入力部、駆動機構16や後述する各種センサー27,28と電気的に接続されたインタフェース部等を備えている。駆動機構16は、制御部26からの指令に基づき可動台15を、被接合物1Aの厚み方向に沿う進退方向Tに進退させる。超音波ホーン14を、進退方向Tに移動させる駆動機構16は、モータによって駆動されることが好ましく、ステッピングモータ又はサーボモータ、特にステッピングモータによって駆動されることが高精度の位置決めの点から好ましい。
ステッピングモータは、例えば、超音波ホーン14が最も後退した位置から最も前進した位置までの範囲に相当するステップ数が7000から10000程度であり、超音波ホーン14の進退方向Tの位置を1μm以下の精度で制御可能である。駆動機構16としては、例えば、リードスクリューとステッピングモータとを組み合させたリニアアクチュエータや、エアシリンダ又は油圧シリンダ駆動式アクチュエーター等を用いることができる。
また超音波接合装置10は、駆動機構16と可動台15との間に、圧力センサー27を備えている。圧力センサー27は、制御部26と電気的に接続されており、超音波ホーン14の先端面14tに、アンビル20に支持された被接合物1Aが当たることで、超音波ホーン14が被接合物1Aから受ける圧力が計測される。この計測は、被接合物1Aを超音波ホーン14とアンビル20との間に挟む度に行う。そして、被接合物1Aに加わる圧力が、所定値又は所定範囲未満である場合には、超音波ホーン14を前進させるように駆動機構16を駆動し、所定値又は所定範囲超である場合には、超音波ホーン14を後退させるように駆動機構16を駆動し、被接合物1Aに加わる圧力が所定値又は所定範囲内である場合には、駆動機構16を駆動させずに、超音波ホーン14の位置を維持する。
本実施形態の超音波接合装置10によれば、例えば、このような制御を行うことで、被接合物1Aの全ての接合部形成予定部位40に、同様のクリアランスで超音波振動を印加させることができ、被接合物1Aの流れ方向に間欠的に形成される複数の接合部間に接合強度のムラが生じることを抑制することができる。
また超音波接合装置10は、超音波ホーン14の位置を検出する変位センサー28を備えている。変位センサー28は、図1に示すように、超音波ホーン14と連動する部材に設けられたセンサー第1部材としての受け部材28aと、超音波ホーン14と連動しない支持体(図示せず)に支持され、受け部材28aと相対して、超音波ホーン14の位置を検知するセンサー第2部材としてのセンサー本体28bとを有している。ここで、超音波ホーン14と連動するとは、前述した駆動機構16によって、超音波ホーン14やそれを載せた可動台15が進退方向Tに移動したときに、それらとともに移動することを意味し、超音波ホーン14と連動しないとは、前述した駆動機構16によって、超音波ホーン14やそれを載せた可動台15が進退方向Tに移動したときに、移動しないことを意味する。
図1に示す例においては、受け部材28aは、板状をなし、可動台15上に固定されたホルダー29の上壁(図示せず)にボルト等の任意の固定手段により固定されている。ホルダー29は、超音波ホーン14を挟んでその両側に位置する一対の側壁29a、一対の側壁の前端間を連結する前壁(図示せず)、並びに一対の前記側壁及び前記前壁の上縁が周縁部に固定された上壁(図示せず)を有している。前記前壁には、一方の側壁から前壁を経て他方の側壁に亘る開口部29bが形成されており、一対の側壁間の距離よりも被接合物1Aの搬送方向に直交する方向に沿う方向の幅が広い超音波ホーン14が、開口部29bに後部を挿入した状態で、前壁における開口部29bの上下に固定された一対のL字金具35,35に上下を挟まれて固定されている。一対のL字金具35,35は、超音波ホーン14を挟むだけで超音波ホーン14を固定するものであっても良いし、L字金具を貫通させたビス等が超音波ホーン14に設けたネジ孔に螺入されていても良い。なお、超音波ホーン14はノーダルポイントを有しており、一対のL金具35,35は、ノーダルポイントで超音波ホーン14を固定している。そのため、一対のL金具35,35及び一対のL金具35,35が固定されたホルダー29には、超音波振動が伝達されない。また、コンバーター12の周囲には、環状の保持部材36が嵌められており、保持部材36の下面が、可動台15に接合されている。超音波ホーン14として、ノーダルポイントの上下に爪部を有し、上下の爪部それぞれを、ホルダー本体と、ビス等でホルダー本体に緊結される部材との間に挟んで固定するものを用いることも、変位センサー28に超音波振動が加わることを抑制する観点から好ましい。
他方、センサー本体28bは、受け部材28aと相対させて設けられている。センサー本体28bは、例えば床面に垂直に立たせた支柱に角度を付けて固定した傾斜又は水平アームに固定する。センサー本体28bとしては、超音波距離センサー、レーザー距離センサー、赤外線距離センサー等の距離センサー、等を用いることができるが、渦電流変位センサーを用いることが好ましい。渦電流変位センサーを使用する場合の受け部材28aとしては金属製の板等を用いることができる。受け部材28aは、使用する距離センサーの種類に応じて選択すればよく、好ましくは、距離センサーとして、超音波距離センサー、レーザー距離センサー又は赤外線距離センサーを用いる場合、それぞれから照射される超音波、レーザー又は赤外線を反射し得るものを用いる。
距離センサーとして、渦電流変位センサーを用いると、周囲に紙粉等が飛散していても、その影響を受けにくく、センサー本体28bと受け部材28aとの距離を正確に計測可能である。そして、その距離と、受け部材28aと超音波ホーン14の先端面14tとの距離とから、超音波ホーン14の先端面14tを検出可能である。
センサー本体28bとして渦電流変位センサーを用いる場合、受け部材28aの、センサー本体28b側を向けられた面の面積は、受け部材28a側の底面の面積の3倍以上であることが好ましく、より好ましくは底面の面積の3倍以上5倍以下である。
本実施形態の超音波接合装置10によれば、前述したように、前述した圧力センサー27を用いて検知した圧力に基づき、超音波ホーン14の位置、あるいはアンビル20と超音波ホーン14との間のクリアランスを制御しながら、帯状の被接合物1Aの接合部形成予定部位40に順次、超音波振動を印加し、接合部4を形成することができる。それを定常運転とし、その定常運転中に、圧力センサー27に異常や故障が生じ、圧力に基づくクリアランスの制御ができなくなると、例えば、アンビル20と超音波ホーン14との間のクリアランスが適正範囲を外れて適切な超音波融着ができなくなる。
その場合に、センサー本体28bと受け部材28aとの間の距離又は該距離から求められる超音波ホーン14の進退方向Tの位置の適正範囲を、アンビル20と超音波ホーン14との間のクリアランスの適正範囲に対応させて予め設定しておくことにより、センサー本体28bと受け部材28aとの間の距離又は該距離から求められる超音波ホーン14の進退方向Tにおける位置に基づき、アンビル20と超音波ホーン14との間のクリアランスが適正範囲を外れたか否かを判定することができる。このような適正範囲の設定やそれに基づく訂正範囲を外れたか否かの判断は、制御部26に、パーソナルコンピュータやプログラマブルロジックコントローラ等に、所定のプログラムを組み込んでおくことで自動で行うことができる。変位センサー28は、センサー本体28bと受け部材28aとの間の距離に基づき、超音波ホーン14の位置を間接的に求め得るものであっても良い。
本実施形態の超音波接合装置10には、変位センサー28により検出した超音波ホーンの位置が、アンビル20と超音波ホーン14との間のクリアランスの適正範囲に基づき設定した適正範囲を外れているときに、そのことを知らせる手段を備えることが好ましい。適正範囲を外れたことを知らせる手段としては、制御部26に接続されたスピーカーから警告音を発する方法、制御部26に接続された警告ランプを発光させる方法、被接合物1Aを超音波接合装置を用いて接合する工程を含む各種製品の製造ラインを停止する方法、適正範囲外から外れた製品を排出する方法等が挙げられる。これらは1種を単独で行わせても良いし2以上を組み合わせても良い。
なお、受け部材28aは、超音波ホーン14と連動するホルダー29の他の部位に固定されていても良いし、超音波ホーン14と連動するホルダー29以外の部品に固定されていても良い。受け部材28aは、コンバーター12により生じさせた超音波振動が伝達されない部位に固定することが、振動による悪影響を排除する観点から好ましい。すなわち、ノーダルポイントで超音波ホーン14を固定する一対のL金具35,35を介して、超音波ホーン14がホルダー29に固定されるので、ホルダー29に設けられた受け部材28aは超音波振動が伝達されない。
前述した超音波接合装置10は、例えば、サイドシール部を有するパンツ型吸収性物品を製造する際に、そのサイドシール部を形成するのに好ましく用いることができる。
図2は、超音波接合装置10を用いて形成したサイドシール部を有するパンツ型吸収性物品の一例である。図2に示すパンツ型使い捨ておむつ1(以下、単に「おむつ1」ともいう)は、図2及び図3に示すように、吸収性本体2と、該吸収性本体2を固定している外装体3とを備え、腹側部Aにおける外装体3の両側部A1,A1と背側部Bにおける外装体3の両側部B1,B1とが接合されて形成された一対のサイドシール部4,4、ウエスト開口部8及び一対のレッグ開口部9,9が形成されている。外装体3は、非肌当接面側が、おむつ1の外面を形成している。
おむつ1は、図2に示す如き展開且つ伸長状態の平面視において、着用者の前後方向に相当する縦方向Xとこれに直交する横方向Yとを有している。おむつ1は、着用時に股下部に配される股下部C並びにその縦方向Xの前後に位置する腹側部A及び背側部Bに区分することができる。本明細書において、肌当接面は、パンツ型吸収性物品又はその構成部材(例えば外装体、吸収性本体等)における、着用時に着用者の肌側に向けられる面であり、非肌当接面は、パンツ型吸収性物品又はその構成部材における、着用時に着用者の肌側とは反対側(着衣側)に向けられる面である。おむつ1において、おむつ1の縦方向Xは、その構成部材である吸収性本体2及び外装体3の長手方向に一致し、横方向Yは、吸収性本体2及び外装体3の幅方向に一致している。
吸収性本体2は、図3に示すように、縦方向Xの長さが幅方向Yの長さよりも長い縦長の形状を有し、肌当接面を形成する表面シート(図示せず)と、非肌当接面を形成する裏面シート(図示せず)と、これら両シート間に介在配置された液保持性の吸収体(図示せず)とを具備している。吸収性本体2は、その長手方向を、展開且つ伸長状態におけるおむつ1の縦方向Xに一致させて、外装体3の中央部に固定されている。ここで、展開且つ伸長状態とは、サイドシール部を引き剥がして、おむつを展開状態とし、その展開状態のおむつを、各部の弾性部材を伸長させて、設計寸法(弾性部材の影響を一切排除した状態で平面状に広げたときの寸法と同じ)となるまで拡げた状態をいう。
外装体3は、図2及び図3に示すように、おむつ1の外面(外装体3の非肌当接面)を形成する外層シート31と、該外層シート31の内面側に配され、おむつ1の内面(外装体3の肌当接面)を形成する内層シート32と、両シート31,32間に接着剤により固定された複数本の糸状又は帯状の弾性部材5,6,7とを含んで構成されている。図2以外の図においては、胴回り部弾性部材6の図示を省略してある。両シート31,32間は、所定部位において接着剤又はヒートシール等(図示せず)によって接合されている。
おむつ1の腹側部A及び背側部Bには、それぞれおむつ幅方向に全域に亘る帯状の端部固定シート33が配されている。端部固定シート33は、おむつ1の幅方向Yの中央部が、吸収性本体2の縦方向Xの端部における肌当接面上に接着剤等の公知の接合手段により固定されており、吸収性本体2の該端部以外の部分の全体又は所定の部位が内層シート32の肌当接面上に接着剤等の公知の接合手段により固定されている。吸収性本体2は、非肌当接面の全体又は所定の部位が、接着剤等の公知の接合手段により内層シート32上に固定されているとともに、両端部が、端部固定シート33によって外装体3に固定されている。
外層シート31、内層シート32及び端部固定シート33としては、使い捨ておむつ等の製造に従来使用されている各種公知のシート材を用いることができるが、肌触りや柔軟性の観点から不織布を用いることが好ましい。不織布としては、各種製法のものを用いることができ、例えば、エアースルー不織布、ヒートロール不織布、スパンレース不織布、スパンボンド不織布、メルトブローン不織布等が挙げられる。不織布を構成する繊維は、合成繊維、特に熱可塑性繊維であることが好ましいが、パルプ繊維等のセルロース系繊維を含んでいても良い。
図2及び図3に示すパンツ型使い捨ておむつの製造方法は、図4に示すように、複数の使い捨ておむつが一方向に連なった構成のおむつ連続体1Aを製造する連続体製造工程S1と、連続体製造工程で得られたおむつ連続体1Aのサイドシール部の形成予定部位40に、前述した超音波接合装置10により超音波振動を印加してサイドシール部4を形成するシール工程S2と、サイドシール部4を形成したおむつ連続体1A’を、公知の切断手段により切断する分割工程S3とを有しており、これにより、一対のサイドシール部4,4を有する前記構成のおむつ1が得られる。
連続体製造工程S1においては、公知の方法により、帯状の外層シート31と帯状の内層シート32とを、両シート31,32間に弾性部材5〜7を伸長状態に介在させた状態に貼り合わせ、帯状シート31,32間に複数本の弾性部材5,6,7が伸長状態で配された帯状の外装体3を形成する。ウエスト開口部8の周縁部にウエストギャザーを形成するウエスト部弾性部材5及び胴回り部に胴回りギャザーを形成する胴回り部弾性部材6は、両シート31,32の流れ方向と平行に導入し、レッグ部弾性部材7は、両シート31,32の流れ方向とは直交して往復運動する公知の揺動ガイド(図示せず)を介して、揺動させながら配置する。図4においては、胴回り部弾性部材6の図示を省略してある。帯状の外層シート31及び帯状の内層シート32には、それらを重ね合わせる前に、両シート31,32の何れか一方又は双方の対向する面の所定部位に、ホットメルト型接着剤を塗工しておく。また、必要に応じて、弾性部材プレカット手段(図示せず)を用いて、後述する吸収性本体2を配する位置に対応させて、複数本の胴回り部弾性部材6及び複数本のレッグ部弾性部材7を押圧して、収縮機能が発現されないように個々複数個に分断する。前記弾性部材プレカット手段としては、例えば、特開2002−253605号公報に記載の複合伸縮部材の製造方法に用いる弾性部材分断部等が挙げられる。
次いで、別工程で製造された吸収性本体2を、帯状の外装体3を構成する内層シート32上に間欠的に供給して固定する。また、端部固定シート33を、帯状の外装体3を構成する内層シート32上に連続的に供給し、吸収性本体2の両端部が覆されるように固定する。吸収性本体2及び端部固定シート33の固定は、それぞれの非肌当接面側に塗布したホットメルト接着剤等の接着剤を介して行うことが好ましい。また、図4に示すように、帯状の外装体3の搬送方向に沿う両側部を折り返して、腹側部側の4層構造部分A2及び背側部側の4層構造部分B2を形成する。また、吸収性本体2の配置の前又は後に、帯状の外装体3におけるレッグ部弾性部材7で環状に囲まれた環状部の内側にレッグホール91を形成する。このレッグホール形成工程は、ロータリーカッター、レーザーカッター等の従来からこの種の物品の製造方法における手法と同様の手法を用いて実施することができる。
次いで、帯状の外装体3を、図4に示すように、吸収性本体2と共に帯状の外装体3の幅方向に2つ折りすることにより、おむつ連続体1Aが得られる。
シール工程S2においては、こうして製造されたおむつ連続体を前述した被接合物1Aとして、そのサイドシール部の形成予定部位40に、超音波ホーン14を有する超音波接合装置10により超音波振動を印加してサイドシール部4を形成する。
分割工程S3においては、以上のようにしてサイドシール部4を形成したおむつ連続体1A’を、公知の切断手段により切断して、一対のサイドシール部4,4を有するおむつ1を得る。なお、サイドシール部の形成予定部位40には、分割工程後に、異なるおむつのサイドシール部となる2本のサイドシール部4a,4bを同時に形成しても良いし、分割工程後に、異なるおむつのサイドシール部となる2本のサイドシール部4a,4bを、前述した超音波接合装置10を複数用いて順次形成しても良い。
以上、本発明をその実施態様に基づいて説明したが、本発明は、上述した実施態様に制限されることなく適宜変更が可能である。
例えば、本発明の超音波接合装置で接合する被接合物は、少なくとも2枚の不織布を含むものであることが好ましく、被接合物は互いに接合される2枚の不織布のみを含むものであっても良いし、互いに接合される3枚、4枚又は5枚以上の不織布であっても良い。また、パンツ型吸収性物品のサイドシール部4を形成する場合、サイドシール部の形成予定部位40の全長に亘る幅の超音波ホーンを有する一つの超音波接合装置を用いても良いし、超音波ホーンを有する複数の超音波接合装置を、おむつ連続体の幅方向に並べて一つのサイドシール部4を形成しても良い。また受け部材28aは、板状のものに代えてブロック状であっても良い。
例えば、本発明の超音波接合装置10の変位センサー28は、受け部材28aをホルダー29に設け、センサー本体28bを超音波ホーン14と連動しない支持体(図示せず)に支持させたが、それとは逆に、センサー本体28bをホルダー29に設け、受け部材28aを、超音波ホーン14と連動しない支持体(図示せず)に支持させる構成であっても良い。
1 パンツ型使い捨ておむつ(パンツ型吸収性物品)
1A おむつ連続体(被接合物 パンツ型吸収性物品の連続体)
2 吸収性本体
3 外装体
4,4a,4b サイドシール部(接合部)
5 ウエスト部弾性部材
6 胴回り部弾性部材
7 レッグ部弾性部材
8 ウエスト開口部
9 レッグ開口部
10 超音波接合装置
11 超音波印加装置
12 コンバーター
13 ブースター
14 超音波ホーン
14t 超音波ホーンの先端面
15 可動台
16 駆動機構
20 アンビル
21 シールブロック
22 回転軸
25 支持台
26 制御部
27 圧力センサー
28 変位センサー
28a 受け部材
28b センサー本体
40 サイドシール部(接合部)形成予定部位
S1 連続体製造工程
S2 シール工程
S3 分割工程

Claims (4)

  1. 超音波ホーンを備えた超音波印加装置とアンビルとを備え、超音波ホーンとアンビルとの間に被接合物を挟んで超音波振動を印加し、該被接合物中のシート間を接合する超音波接合装置であって、
    前記超音波ホーンを前記アンビルに向かって進退させ、該超音波ホーンをその進退方向の特定の位置に固定可能な位置制御機構と、
    前記超音波ホーンの位置を検知する変位センサーと
    前記超音波ホーンが前記被接合物から受ける圧力を計測する圧力センサーとを備え、
    前記変位センサーは、前記超音波ホーンと連動する部材に設けられたセンサー第1部材と、前記超音波ホーンと連動しない支持体に支持されたセンサー第2部材とを有し、
    前記センサー第1部材は、前記超音波ホーンと共に進退する超音波ホーンのホルダーに固定され、該ホルダーは、前記超音波ホーンをノーダルポイントで支持しており、
    前記センサー第1部材と前記センサー第2部材との間の相対距離を計測して前記超音波ホーンの進退方向における位置を検出し、
    前記位置制御機構は、前記圧力センサーで計測した圧力に基づき前記超音波ホーンの進退方向の位置の制御を行うとともに、
    前記圧力センサーからの圧力に基づく制御が不能な場合、前記センサー第1部材と前記センサー第2部材との間の相対距離に基づき前記超音波ホーンの進退方向の位置が適正範囲か否かを判定する、超音波接合装置。
  2. 前記変位センサーが、渦電流変位センサーである、請求項1に記載の超音波接合装置。
  3. 前記超音波ホーンを前記アンビルに向かって進退させる機構が、ステッピングモータ又はサーボモータによって駆動される、請求項1又は2に記載の超音波接合装置。
  4. 前記変位センサーにより検出した前記超音波ホーンの位置が適正範囲を外れていることを知らせる手段を備える、請求項1〜3の何れか1項に記載の超音波接合装置
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