JP6747353B2 - 半導体発光素子とその製造方法 - Google Patents
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Description
1.2 ≦ Ssub/Sdm ≦ 2.0
を満たす。
0.6 ≦ tanθ ≦ 1.0
を満たす。
0.6 ≦ tanθ ≦ 1.0
を満たす。
1.2 ≦ Ssub/Sdm ≦ 2.0
を満たす。
1.半導体発光素子
図1は、本実施形態の発光素子100を示す概略構成図である。発光素子100は、基板からみて半導体層の反対側に光取り出し面を有するフリップチップ型の半導体発光素子である。図1に示すように、発光素子100は、誘電体多層膜DM1と、基板110と、バッファ層120と、n型コンタクト層130と、n側クラッド層140と、発光層150と、p側クラッド層160と、p型コンタクト層170と、透明電極TE1と、分布ブラッグ反射膜DBR1と、p電極P1と、n電極N1と、を有している。
図3は、発光素子100を光取り出し面LE1の側から視た図である。図3に示すように、発光素子100は、光取り出し面LE1から視ると正方形形状をしている。
0.6 ≦ tanθ ≦ 1.0 ………(1)
0.7 ≦ tanθ ≦ 0.9
誘電体多層膜DM1における光取り出し面LE1の側の面積を表面積Sdmとする。発光素子100の側面であって第2面110bから中心面J1までの面の面積を側面積Ssubとする。表面積Sdmおよび側面積Ssubは次式を満たす。
1.2 ≦ Ssub/Sdm ≦ 2.0 ………(2)
1.4 ≦ Ssub/Sdm ≦ 1.8
図5は、発光層150から発せられる光の光路を説明するための図である。図5では、発光素子100において中心面J1から誘電体多層膜DM1までが抜き出されて描かれている。図5では、半導体層同士の境界と、バッファ層120と基板110との間の境界と、を省略している。
5−1.半導体層形成工程
まず、図6に示すように、成長基板S1の第1面110aの上にバッファ層120と、n型コンタクト層130と、n側クラッド層140と、発光層150と、p側クラッド層160と、p型コンタクト層170とを、この順序で形成する。そのためにMOCVD法を用いればよい。なお、成長基板S1は、後に基板110になる。また、成長基板S1は、第2面を有する。しかしこの段階では、成長基板S1の第2面は、基板110の第2面110bではない。
次に、図7に示すように、p型コンタクト層170の上に透明電極TE1を形成する。そのために、スパッタリングを用いればよい。
次に、図8に示すように、n型コンタクト層130が露出する凹部を形成する。この凹部は、n電極N1を形成するためのものである。そのために、レーザーもしくはエッチングを用いればよい。
次に、図9に示すように、凹部を形成することにより半導体層を区画する。この凹部は、発光素子100のサイズに半導体層を区画するためのものである。この凹部は、半導体層の側から半導体層の厚みの全部および成長基板S1の厚みの一部を除去することにより形成されたものである。この凹部を形成するためにレーザーを照射し、そのレーザーを照射した箇所をエッチングにより除去すればよい。
次に、図10に示すように、透明電極TE1の上に分布ブラッグ反射膜DBR1を形成する。つまり、p型半導体層の側に分布ブラッグ反射膜DBR1を形成する。成膜方法については、スパッタリングやその他の成膜方法を用いることができる。これにより、透明電極TE1および半導体層の側面および露出している成長基板S1の表面の上に分布ブラッグ反射膜DBR1が形成される。
次に、図11に示すように、p電極P1およびn電極N1を形成する。そのためにまず、分布ブラッグ反射膜DBR1の一部を開口してn型コンタクト層130およびp型コンタクト層170を露出させる。例えば、エッチングにより分布ブラッグ反射膜DBR1の一部を開口すればよい。その後、p電極P1およびn電極N1を形成する。その際に、p電極P1およびn電極N1は、分布ブラッグ反射膜DBR1を介して半導体層の側面および成長基板S1の側面の一部にも形成される。
次に、図12に示すように、成長基板S1における第1面110aの反対側の面を研磨する。これにより、基板110の第2面110bに相当する面が露出する。そして、成長基板S1の膜厚は、基板110の膜厚になる。
次に、図13に示すように、研磨済みの成長基板S1(基板110)の第2面110bの上に誘電体多層膜DM1を形成する。成膜方法については、スパッタリングやその他の成膜方法を用いることができる。
そして、レーザーやブレーキング装置を用いて、成長基板S1を分割する。これにより、発光素子100が製造される。
上記の他に、熱処理工程や保護膜形成工程を実施してもよい。
本実施形態の発光素子100は、一辺の長さが短い小型の半導体発光素子である。そして、発光素子100は、発光層150からみて光取り出し面LE1の側に誘電体多層膜DM1を有し、発光層150からみて光取り出し面LE1の反対側に分布ブラッグ反射膜DBR1を有する。
7−1.発光面が長方形である場合
図14は、発光面が長方形である場合について説明するための図である。この場合には、発光素子100を光取り出し面LE1の側から視た場合に、発光素子100の形状が長方形である。光取り出し面LE1の側から視ると、発光素子100は、2つの長辺K2aと2つの短辺K2bとを有している。この場合には、長辺K2aに平行な断面が図4のようであればよい。この場合の断面は、発光層150における中心点O1を通るとともに長辺方向に平行な断面である。この場合の端部Q1は、基板110の第2面110b上であって基板110の長辺方向の端部である。そして、発光層150における中心点O1と端部Q1とを結ぶ線M1と、中心面J1とがなす角の角度θは、次(1)を満たせばよい。また、基板110における厚み方向に垂直な長辺方向の長さ、すなわち、第1面110aにおける長辺方向の長さは、50μm以上250μm以下である。
図15は、第1の実施形態の変形例におけるパッド電極の形状を示す図(その1)である。図16は、第1の実施形態の変形例におけるパッド電極の形状を示す図(その2)である。図15および図16に示すように、p電極P1およびn電極N1の形状は、五角形または三角形であってもよい。また、その他の多角形形状であってもよい。ただし、p電極P1およびn電極N1は、発光素子100の光取り出し面LE1の反対側の面の一部を覆うとともに発光素子100の側面の一部を覆っている。
素子区画工程の前後に、半導体層にメサを形成するメサ形成工程を実施してもよい。そのために、エッチング等を用いればよい。
図17に示すように、基板110の第1面110aと第2面110bとの少なくとも一方に凹凸形状が形成されていてもよい。また、図18に示すような凹凸形状が形成されていてもよい。図18における平坦面と傾斜面との間のなす角の角度θbは、図17における平坦面と傾斜面との間のなす角の角度θaよりも大きい。図18のように平坦面と傾斜面との間のなす角の角度が大きいほうが、発光素子の配向は広い。
分布ブラッグ反射膜DBR1の上に別の絶縁層を設けてもよい。電極と半導体層との間の絶縁性を高めるためである。また、分布ブラッグ反射膜DBR1を透明電極TE1の上にのみ設けることとしてもよい。その場合には、電極と半導体層との間に別途絶縁層を設けることが好ましい。
分布ブラッグ反射膜DBR1における透明電極TE1の反対側の面に反射膜を形成してもよい。反射膜の材質は、Ag、Al、またはこれらを含む合金である。これにより、分布ブラッグ反射膜DBR1を透過した光を反射することができる。
上記の変形例を自由に組み合わせてもよい。
本実施形態の発光素子100は、一辺の長さが短い小型の半導体発光素子である。そして、発光素子100は、発光層150からみて光取り出し面LE1の側に誘電体多層膜DM1を有し、発光層150からみて光取り出し面LE1の反対側に分布ブラッグ反射膜DBR1を有する。
1−1.サンプルの作製
一辺の長さが180μmの正方形形状の基板を用いて発光素子を製造した。発光素子の光取り出し面の側には誘電体多層膜を形成した。誘電体多層膜は、SiO2 とTiO2 とを交互に積層したものである。発光層からみて基板の反対側には分布ブラッグ反射膜を形成した。分布ブラッグ反射膜は、SiO2 とTiO2 とを交互に積層したものである。ここで、サファイア基板の厚みの異なる4種類の発光素子を作製した。これらの4種類の発光素子において、誘電体多層膜を形成した基板の面(第2面110bに相当)と発光層の中心面(中心面J1に相当)との間の距離Dxは、40μm、60μm、80μm、100μmの4種類である。これらの発光素子(サンプル)について表1にまとめる。
サンプル名 一辺の長さ 膜厚 tanθ Ssub/Sdm
サンプルA1 180μm 40μm 0.44 0.89
サンプルA2 180μm 60μm 0.67 1.33
サンプルA3 180μm 80μm 0.89 1.78
サンプルA4 180μm 100μm 1.11 2.22
これらの発光素子のうち距離Dxが60μmの発光素子(サンプルA3)においては、法線方向X1から70°にピークをもつ。この場合の配向を図19に示す。70°にピークをもつ場合の配向の例を図19に示す。バックライト用の発光素子としては、70°近傍にピークを持つものが好ましい。さらには、図19に示すように、法線方向X1(0°)における強度は、ピークの最大値における強度の40%以下であることが好ましい。より好ましくは、ピークの最大値における強度の20%以下である。サンプルA2およびサンプルA3は、式(1)および式(2)を満たす。
2−1.計算方法
次に、計算を行った。簡単のために、誘電体多層膜と分布ブラッグ反射膜との間の材質は、サファイアであると近似した。これらの条件下において、法線方向X1からどの角度にピークをもつかについて計算した。
多数の組み合わせのうち、65°以上75°以下の範囲にピークをもつ組み合わせを抽出したものを表2にまとめる。
サンプル名 一辺の長さ 膜厚 tanθ Ssub/Sdm
サンプルB1 100μm 40μm 0.8 1.6
サンプルB2 150μm 60μm 0.8 1.6
サンプルB3 180μm 70μm 0.78 1.56
サンプルB4 200μm 60μm 0.6 1.2
サンプルB5 200μm 70μm 0.7 1.4
サンプルB6 200μm 100μm 1.0 2.0
サンプルB7 250μm 90μm 0.72 1.44
サンプル名 一辺の長さ 膜厚 tanθ Ssub/Sdm
サンプルC1 200μm 50μm 0.5 1.0
サンプルC2 150μm 90μm 1.2 2.4
サンプルC3 500μm 140μm 0.56 1.12
110…基板
110a…第1面
110b…第2面
120…バッファ層
130…n型コンタクト層
140…n側クラッド層
150…発光層
160…p側クラッド層
170…p型コンタクト層
TE1…透明電極
DBR1…分布ブラッグ反射膜
DM1…誘電体多層膜
P1…p電極
N1…n電極
O1…中心点
J1…中心面
Q1…端部
X1…法線方向
Claims (4)
- 第1面と第2面とを有する基板と、
前記基板の前記第1面の上のn型半導体層と、
前記n型半導体層の上の発光層と、
前記発光層の上のp型半導体層と、
前記n型半導体層と導通するn電極と前記p型半導体層と導通するp電極と、
を有する半導体発光素子において、
前記基板の前記第2面の上に誘電体多層膜を有し、
前記発光層からみて前記誘電体多層膜の反対側の位置に分布ブラッグ反射膜を有し、
前記誘電体多層膜は光取り出し面を有し、
前記n電極および前記p電極は、前記基板の側面の一部を覆っており、
前記基板における厚み方向に垂直な長辺方向の長さが50μm以上250μm以下であり、
前記誘電体多層膜における前記光取り出し面の側の面積を表面積Sdmとし、前記半導体発光素子の側面であって前記第2面から前記発光層における中心を通るとともに前記第2面に平行な面までの面の面積を側面積Ssubとすると、前記表面積Sdmおよび前記側面積Ssubは、次式
1.2 ≦ Ssub/Sdm ≦ 2.0
を満たすこと
を特徴とする半導体発光素子。 - 第1面と第2面とを有する基板と、
前記基板の前記第1面の上のn型半導体層と、
前記n型半導体層の上の発光層と、
前記発光層の上のp型半導体層と、
前記n型半導体層と導通するn電極と前記p型半導体層と導通するp電極と、
を有する半導体発光素子において、
前記基板の前記第2面の上に誘電体多層膜を有し、
前記発光層からみて前記誘電体多層膜の反対側の位置に分布ブラッグ反射膜を有し、
前記誘電体多層膜は光取り出し面を有し、
前記n電極および前記p電極は、前記基板の側面の一部を覆っており、
前記基板における厚み方向に垂直な長辺方向の長さが50μm以上250μm以下であり、
前記発光層における中心を通るとともに前記長辺方向に平行な断面では、
前記発光層の発光面に平行な方向と、前記発光層における前記中心と前記基板における前記第2面上であって前記長辺方向の端部とを結ぶ線と、がなす角の角度θが、次式
0.6 ≦ tanθ ≦ 1.0
を満たすこと
を特徴とする半導体発光素子。 - 請求項1に記載の半導体発光素子において、
前記発光層における前記中心を通るとともに前記長辺方向に平行な断面では、
前記発光層の発光面に平行な方向と、前記発光層における前記中心と前記基板における前記第2面上であって前記長辺方向の端部とを結ぶ線と、がなす角の角度θが、次式
0.6 ≦ tanθ ≦ 1.0
を満たすこと
を特徴とする半導体発光素子。 - 請求項2に記載の半導体発光素子において、
前記誘電体多層膜における前記光取り出し面の側の面積を表面積Sdmとし、前記半導体発光素子の側面であって前記第2面から前記発光層における前記中心を通るとともに前記第2面に平行な面までの面の面積を側面積Ssubとすると、前記表面積Sdmおよび前記側面積Ssubは、次式
1.2 ≦ Ssub/Sdm ≦ 2.0
を満たすこと
を特徴とする半導体発光素子。
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