JP6747276B2 - マグネトロンスパッタ装置および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
第2の発明に係るマグネトロンスパッタ装置では、複数の電磁石の各々が発生させる磁場は、制御部によって制御される。このため、ターゲットの消耗が大きい部分に小さい磁場を発生させることができる。従って、ターゲットの寿命を延ばすことができる。
第3の発明に係る半導体装置の製造方法では、ターゲットをマグネット部の往復運動の方向に対して回転させる。このため、ターゲットの消耗が大きい部分と、ターゲットの消耗の少ない部分の位置を置き換えることができる。従って、ターゲットの寿命を延ばすことができる。
図1は、実施の形態1に係るマグネトロンスパッタ装置の断面図である。本実施の形態に係るマグネトロンスパッタ装置100は、真空槽1を備える。真空槽1の内部には、ステージ3が設けられる。ステージ3の上面63には、処理対象である基板2が搭載される。基板2は矩形である。基板2は円形であっても良い。基板2は半導体基板またはガラス基板である。真空槽1の内部には、ターゲット6が設けられる。ターゲット6は、ステージ3の上面63と対向する第1面61と、第1面61の反対側の面である第2面62とを有する。
図7は、実施の形態2に係るマグネット部の断面図である。本実施の形態では、マグネット部207の構造が実施の形態1と異なる。その他の構造は実施の形態1と同様である。本実施の形態に係るマグネット部207は、複数のマグネット212を備える。マグネット部207はマグネット212を3組備える。マグネット212の数はこれに限らない。複数のマグネット212の各々は、矢印223に示される方向に回転する。複数のマグネット212の各々は、第2面62と平行な面内で回転する。
図8は、実施の形態3に係るマグネット部の斜視図である。本実施の形態に係るマグネトロンスパッタ装置300には、マグネット部7の代わりに、複数の電磁石313が設けられる。複数の電磁石313は、ターゲット6の第2面62側に設けられる。複数の電磁石313は、ターゲット6の第1面61側に磁場を発生させる。
Claims (3)
- 真空槽と、
前記真空槽の内部に設けられ、上面に処理対象を搭載するステージと、
前記真空槽の内部に設けられ、前記ステージの前記上面と対向する第1面と、前記第1面の反対側の面である第2面と、を有するターゲットと、
前記ターゲットの前記第2面側に設けられ、前記第1面側に磁場を発生させる複数の電磁石と、
前記複数の電磁石の各々が発生させる磁場を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記複数の電磁石のうち複数の第1電磁石が発生させる磁場が前記複数の電磁石のうち複数の第2電磁石が発生させる磁場よりも強い状態から、前記複数の第1電磁石が発生させる磁場が前記複数の第2電磁石が発生させる磁場よりも弱い状態に切り替え、
前記複数の第1電磁石は、前記ターゲットの第1方向の両端部の直上に設けられ、
前記複数の第2電磁石は、前記ターゲットの前記第1方向と直交する第2方向の両端部の直上に設けられ、
前記複数の電磁石の位置は、前記ターゲットに対して固定されていることを特徴とするマグネトロンスパッタ装置。 - 前記制御部は、前記ターゲットに供給された積算電力量が閾値以下の場合に、前記複数の第1電磁石が発生させる磁場が、前記複数の第2電磁石が発生させる磁場よりも強くなるように制御し、前記積算電力量が前記閾値よりも大きい場合に、前記複数の第1電磁石が発生させる磁場が、前記複数の第2電磁石が発生させる磁場よりも弱くなるように制御することを特徴とする請求項1に記載のマグネトロンスパッタ装置。
- 前記複数の電磁石は、前記第1方向および前記第2方向に並び、
前記複数の第1電磁石は、前記第1方向の両端に配置され、
前記複数の第2電磁石は、前記第2方向の両端に配置されることを特徴とする請求項1または2に記載のマグネトロンスパッタ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2016243519A JP6747276B2 (ja) | 2016-12-15 | 2016-12-15 | マグネトロンスパッタ装置および半導体装置の製造方法 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2016243519A Active JP6747276B2 (ja) | 2016-12-15 | 2016-12-15 | マグネトロンスパッタ装置および半導体装置の製造方法 |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6747276B2 (ja) |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH051373A (ja) * | 1991-03-25 | 1993-01-08 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | スパツタリング装置 |
JPH1025572A (ja) * | 1996-07-11 | 1998-01-27 | Hitachi Ltd | マグネトロンスパッタ装置 |
US5873989A (en) * | 1997-02-06 | 1999-02-23 | Intevac, Inc. | Methods and apparatus for linear scan magnetron sputtering |
JPH116062A (ja) * | 1997-06-17 | 1999-01-12 | Sony Corp | マグネトロンスパッタリング方法及び装置 |
JP4137198B2 (ja) * | 1997-09-06 | 2008-08-20 | キヤノンアネルバ株式会社 | スパッタリング装置 |
JP2006002220A (ja) * | 2004-06-17 | 2006-01-05 | Pioneer Electronic Corp | スパッタリング装置、プラズマディスプレイパネルの製造方法、プラズマ表示装置及びその製造方法 |
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Publication number | Publication date |
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JP2018095939A (ja) | 2018-06-21 |
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