JP6740799B2 - 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 26
- 238000003860 storage Methods 0.000 title claims description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 362
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 149
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 110
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 73
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 58
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 26
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 24
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 17
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 14
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 claims description 13
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 claims description 12
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 9
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 claims description 8
- 238000004590 computer program Methods 0.000 claims description 4
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 153
- MROCJMGDEKINLD-UHFFFAOYSA-N dichlorosilane Chemical compound Cl[SiH2]Cl MROCJMGDEKINLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 114
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 32
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 23
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 9
- VZSRBBMJRBPUNF-UHFFFAOYSA-N 2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)-N-[3-oxo-3-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)propyl]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)C(=O)NCCC(N1CC2=C(CC1)NN=N2)=O VZSRBBMJRBPUNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000002407 reforming Methods 0.000 description 7
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 6
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 6
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 5
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 5
- NIPNSKYNPDTRPC-UHFFFAOYSA-N N-[2-oxo-2-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)ethyl]-2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound O=C(CNC(=O)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F)N1CC2=C(CC1)NN=N2 NIPNSKYNPDTRPC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 4
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 4
- HMUNWXXNJPVALC-UHFFFAOYSA-N 1-[4-[2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)pyrimidin-5-yl]piperazin-1-yl]-2-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)ethanone Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)N1CCN(CC1)C(CN1CC2=C(CC1)NN=N2)=O HMUNWXXNJPVALC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AFCARXCZXQIEQB-UHFFFAOYSA-N N-[3-oxo-3-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)propyl]-2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound O=C(CCNC(=O)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F)N1CC2=C(CC1)NN=N2 AFCARXCZXQIEQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- CGRVKSPUKAFTBN-UHFFFAOYSA-N N-silylbutan-1-amine Chemical compound CCCCN[SiH3] CGRVKSPUKAFTBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000002052 molecular layer Substances 0.000 description 1
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
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- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
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- C23C16/45544—Atomic layer deposition [ALD] characterized by the apparatus
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- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02225—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer
- H01L21/0226—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process
- H01L21/02263—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase
- H01L21/02271—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase deposition by decomposition or reaction of gaseous or vapour phase compounds, i.e. chemical vapour deposition
- H01L21/0228—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase deposition by decomposition or reaction of gaseous or vapour phase compounds, i.e. chemical vapour deposition deposition by cyclic CVD, e.g. ALD, ALE, pulsed CVD
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- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
- C23C16/45523—Pulsed gas flow or change of composition over time
- C23C16/45525—Atomic layer deposition [ALD]
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- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
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- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
- C23C16/45523—Pulsed gas flow or change of composition over time
- C23C16/45525—Atomic layer deposition [ALD]
- C23C16/45544—Atomic layer deposition [ALD] characterized by the apparatus
- C23C16/45548—Atomic layer deposition [ALD] characterized by the apparatus having arrangements for gas injection at different locations of the reactor for each ALD half-reaction
- C23C16/45551—Atomic layer deposition [ALD] characterized by the apparatus having arrangements for gas injection at different locations of the reactor for each ALD half-reaction for relative movement of the substrate and the gas injectors or half-reaction reactor compartments
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- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
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- C23C16/45563—Gas nozzles
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- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
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- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
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Description
前記真空容器内に設けられ、基板を載置する基板載置領域がその一面側に形成されると共に、この基板載置領域を公転させるための回転テーブルと、
前記回転テーブルに載置された基板を加熱するための加熱部と、
前記回転テーブルにおける前記基板載置領域に向けて、原料ガスを供給して処理を行うための第1の処理領域と、
前記回転テーブルの周方向に第1の処理領域と分離部を介して離間して設けられ、前記反応ガスを供給して処理を行うための第2の処理領域と、
前記第1の処理領域にて、各々前記回転テーブルの移動路と交差する方向に伸びるようにかつ互いに回転テーブルの回転方向に沿って設けられ、各々下方側に向けて原料ガスを吐出するためのガス吐出孔が長さ方向に沿って形成された主ガスノズル、中心側補助ノズル及び周縁側補助ノズルと、を備え、
前記真空容器の中心部側、周壁側を夫々内側及び外側と定義すると、
前記主ガスノズルのガス吐出孔は、内外方向で見たときに基板の通過領域の全域及び回転テーブル上における基板の通過領域の内側領域及び外側領域の各領域に対向して設けられ、
前記中心側補助ノズルのガス吐出孔は、回転テーブル上における基板の通過領域から外れ、基板の通過領域よりも内側の内側領域に対向する領域に設けられ、前記基板の通過領域に対向する領域には設けられておらず、
前記周縁側補助ノズルのガス吐出孔は、回転テーブル上における基板の通過領域から外れ、基板の通過領域よりも外側の外側領域に対向する領域設けられ、前記基板の通過領域に対向する領域には設けられておらず、
前記中心側補助ノズル及び前記周縁側補助ノズルは、夫々主ノズルによる基板の内側周縁部及び外側周縁部に吸着するガスの不足分を補償するために設けられていることを特徴とする。
前記真空容器内に設けられた回転テーブルの一面側に基板を載置する工程と、
前記基板を加熱する工程と、
前記回転テーブルの回転により基板を公転させることにより、第1の処理領域にて、下方に向けてガスを吐出するガス吐出孔が長さ方向に配列されたガスノズルを用いて基板に原料ガスを供給して吸着させる工程と、前記第1の処理領域に対して分離部により分離された第2の処理領域にて基板に反応ガスを供給する工程と、を複数回繰り返す工程と、を含み、
前記真空容器の中心部側、周壁側を夫々内側及び外側と定義すると、前記第1の処理領域において、内外方向で見たときに基板の通過領域の全域及び回転テーブル上における基板の通過領域の内側領域及び外側領域の各領域に主ガスノズルにより原料ガスを供給する工程と、中心側補助ノズルにより回転テーブル上における基板の通過領域には、原料ガスを供給せず、基板の通過領域から外れ、基板の通過領域よりも内側の内側領域に原料ガスを供給する工程と、周縁側補助ノズルにより回転テーブル上における基板の通過領域には、原料ガスを供給せず、基板の通過領域から外れ、基板の通過領域よりも外側の外側領域に原料ガスを供給する工程と、を行うことを特徴とする。
前記コンピュータプログラムは、上述の成膜方法を実行するようにステップ群が組まれていることを特徴とする。
そのため中心側補助ノズル43によるDCSガスの吸着量のY軸方向の分布を、回転テーブル2の中心側におけるウエハWの周縁においてDCSガスの吸着量が最大となるように調整することが好ましい。
後述の検証試験3に示すように、ウエハWの通過領域における外周縁から、回転テーブル2の外縁側に離れた位置にガス吐出孔44を設けDCSガスを供給することで、DCSガスの吸着量のY軸方向の分布において、ウエハWにおける回転テーブル2の中心側の周縁に近い位置にDCSガスの吸着量の最大値を位置させることができる。このガス吐出孔44を設ける範囲としては、ウエハWの通過領域の外周縁から、回転テーブル2の外縁側に9mm〜28mm程度の範囲であることが好ましい。
例えば図8、図9に示すように周縁側補助ノズル42は、矩形扁平なガス室46を備え、ガス室46は、回転テーブル2と対向するように配置されている。ガス室46における回転テーブル2の回転方向の上流側周縁部の上面には、DCSガスを供給するガス供給管47が接続され、前記回転方向の下流側周縁部の下面には、回転テーブル2の径方向に沿って、複数のガス吐出孔48が設けられている。ガス室46におけるガス供給管47の近傍には、区画壁49が設けられ、区画壁49には長さ方向に伸びるスリット50が設けられている。
本発明の効果を検証するために以下の試験を行った。上述の実施の形態に係る成膜装置を用い、DCSガスの供給を主ノズル41のみにより行い、ウエハWに成膜処理を行った。図10に示すように主ノズル41には、ガス吐出孔44をウエハWの通過領域における回転テーブル2の中心側の周縁よりも回転テーブル2の中心側に24mmの位置から、ウエハWの通過領域における真空容器1の周壁側の周縁よりも真空容器1の周壁側に26mmの位置までの範囲d0に設けた。主ノズル41から1000sccmの流量のDCSガスと、500sccmの流量のN2ガスとの混合ガスを供給した例を実験例1−1とした。またDCSガスと、N2ガスと、の流量を夫々600sccm、900sccmとした例を実験例1−2とし、夫々300sccm、1200sccmとした例を実験例1−3とした。
図11、図12に示すようにX軸方向、Y軸方向のいずれにおいても、実験例1−1が最も膜厚が厚くなっており、次いで実験例1−2、実験例1−3の順で膜厚が厚くなっていた。
この結果によれば、DCSガスの濃度に従い膜厚が厚くなると言える。このことからNH3ガスは十分に供給されており、NH3ガスの不足による律速により、SiN膜の膜厚が制限されているわけではない。そのためDCSガスのウエハWの吸着量の差により膜厚が決定され、DCSの分圧により吸着量が変わると考えられる。
中心側補助ノズル43におけるガス吐出孔44の位置及び吐出されるDCSガスの流量による、ウエハWに形成される膜の膜厚分布を調べるため以下の試験を行った。図13に示すように中心側補助ノズル43における回転テーブル2の中心側に近いウエハWの周縁の位置から、回転テーブル2の中心側に24mmの範囲と回転テーブル2の外周側に20mmの範囲に合わせて44mmの範囲d1に92個のガス吐出孔44を設けた例を実験例2−1とした。また中心側補助ノズル43における回転テーブル2の中心側に近いウエハWの周縁の位置から、回転テーブル2の中心側に24mmの範囲d2に52個のガス吐出孔44を設けた例を実験例2−2とした。さらに中心側補助ノズル43における回転テーブル2の中心側に近いウエハWの周縁から、回転テーブル2の中心側に10mmの位置から24mm位置までの14mmの範囲d3に24個のガス吐出孔44を設けた例を実験例2−3とした。
周縁側補助ノズル42におけるガス吐出孔44の最適な位置及び吐出されるDCSガスの流量によるウエハWに形成される膜の膜厚分布を調べるため以下の試験を行った。図16に示すように周縁側補助ノズル42における回転テーブル2の外周に近い側のウエハWの周縁の位置から、回転テーブル2の外周側に26mmの範囲と回転テーブル2の中心側に34mmの範囲に合わせて60mmの範囲d4に110個のガス吐出孔44を設けた例を実験例3−1とした。周縁側補助ノズル42における回転テーブル2の外周に近いウエハWの周縁の位置から、回転テーブル2の外周側に26mmの範囲d5に60個のガス吐出孔44を設けた例を実験例3−2とした。周縁側補助ノズル42における回転テーブル2の外周に近いウエハWの周縁の位置から、回転テーブル2の外周側に11mmの位置から26mm位置までの15mmの範囲d6に28個のガス吐出孔44を設けた例を実験例3−3とした。
2 回転テーブル
7 ヒータユニット
41 主ノズル
42 周縁側補助ノズル
43 中心側補助ノズル
44 ガス吐出孔
45 DCSガス供給源
C 中心側領域
C 分離領域
P1 第1の処理領域
P2 第2の処理領域
P3 改質領域
W ウエハ
Claims (8)
- 真空容器内にて、加熱により活性化されて吸着する原料ガス及び原料ガスと反応して反応生成物を生成する反応ガスを順番に供給するサイクルを複数回行って、基板に薄膜を成膜する成膜装置において、
前記真空容器内に設けられ、基板を載置する基板載置領域がその一面側に形成されると共に、この基板載置領域を公転させるための回転テーブルと、
前記回転テーブルに載置された基板を加熱するための加熱部と、
前記回転テーブルにおける前記基板載置領域に向けて、原料ガスを供給して処理を行うための第1の処理領域と、
前記回転テーブルの周方向に第1の処理領域と分離部を介して離間して設けられ、前記反応ガスを供給して処理を行うための第2の処理領域と、
前記第1の処理領域にて、各々前記回転テーブルの移動路と交差する方向に伸びるようにかつ互いに回転テーブルの回転方向に沿って設けられ、各々下方側に向けて原料ガスを吐出するためのガス吐出孔が長さ方向に沿って形成された主ガスノズル、中心側補助ノズル及び周縁側補助ノズルと、を備え、
前記真空容器の中心部側、周壁側を夫々内側及び外側と定義すると、
前記主ガスノズルのガス吐出孔は、内外方向で見たときに基板の通過領域の全域及び回転テーブル上における基板の通過領域の内側領域及び外側領域の各領域に対向して設けられ、
前記中心側補助ノズルのガス吐出孔は、回転テーブル上における基板の通過領域から外れ、基板の通過領域よりも内側の内側領域に対向する領域に設けられ、前記基板の通過領域に対向する領域には設けられておらず、
前記周縁側補助ノズルのガス吐出孔は、回転テーブル上における基板の通過領域から外れ、基板の通過領域よりも外側の外側領域に対向する領域設けられ、前記基板の通過領域に対向する領域には設けられておらず、
前記中心側補助ノズル及び前記周縁側補助ノズルは、夫々主ノズルによる基板の内側周縁部及び外側周縁部に吸着するガスの不足分を補償するために設けられていることを特徴とする成膜装置。 - 前記中心側補助ノズル及び周縁側補助ノズルから供給される処理ガスの流速は、40sccm以下であることを特徴とする請求項1に記載の成膜装置。
- 前記中心側補助ノズル及び周縁側補助ノズルから吐出されるガスにおけるキャリアガスの流量に対する原料ガスの流量比を変更する流量調整部を備えたことを特徴とする請求項1または2記載の成膜装置。
- 前記中心側補助ノズルは、平面的に見て前記吐出孔が、前記基板の通過領域の内周縁から、回転テーブルの中心方向に8〜26mm離れた領域に設けられたことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一項に記載の成膜装置。
- 前記周縁側補助ノズルは、平面的に見て前記吐出孔が、前記基板の通過領域の外周縁から、回転テーブルの外縁方向に9〜28mm離れた領域に設けられたことを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一項に記載の成膜装置。
- 前記周縁側補助ノズルは、原料ガスを回転テーブルの回転方向に沿って助走させて回転テーブルからの熱により昇温させるための流路を備えたことを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一項に記載の成膜装置。
- 真空容器内にて、加熱により活性化されて吸着する原料ガス及び原料ガスと反応して反応生成物を生成する反応ガスを順番に供給するサイクルを複数回行って、基板に薄膜を成膜する成膜方法において、
前記真空容器内に設けられた回転テーブルの一面側に基板を載置する工程と、
前記基板を加熱する工程と、
前記回転テーブルの回転により基板を公転させることにより、第1の処理領域にて、下方に向けてガスを吐出するガス吐出孔が長さ方向に配列されたガスノズルを用いて基板に原料ガスを供給して吸着させる工程と、前記第1の処理領域に対して分離部により分離された第2の処理領域にて基板に反応ガスを供給する工程と、を複数回繰り返す工程と、を含み、
前記真空容器の中心部側、周壁側を夫々内側及び外側と定義すると、前記第1の処理領域において、内外方向で見たときに基板の通過領域の全域及び回転テーブル上における基板の通過領域の内側領域及び外側領域の各領域に主ガスノズルにより原料ガスを供給する工程と、中心側補助ノズルにより回転テーブル上における基板の通過領域には、原料ガスを供給せず、基板の通過領域から外れ、基板の通過領域よりも内側の内側領域に原料ガスを供給する工程と、周縁側補助ノズルにより回転テーブル上における基板の通過領域には、原料ガスを供給せず、基板の通過領域から外れ、基板の通過領域よりも外側の外側領域に原料ガスを供給する工程と、を行うことを特徴とする成膜方法。 - 真空容器内にて、加熱により活性化されて吸着する原料ガス及び原料ガスと反応して反応生成物を生成する反応ガスを順番に供給するサイクルを複数回行って、基板に薄膜を成膜する成膜装置に用いられるコンピュータプログラムを記憶した記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項7に記載された成膜方法を実行するようにステップ群が組まれていることを特徴とする記憶媒体。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016160147A JP6740799B2 (ja) | 2016-08-17 | 2016-08-17 | 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 |
US15/671,395 US20180051374A1 (en) | 2016-08-17 | 2017-08-08 | Film-forming apparatus, film-forming method, and storage medium |
KR1020170100070A KR102161875B1 (ko) | 2016-08-17 | 2017-08-08 | 성막 장치, 성막 방법 및 기억 매체 |
TW106127559A TWI698548B (zh) | 2016-08-17 | 2017-08-15 | 成膜裝置、成膜方法及記憶媒體 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016160147A JP6740799B2 (ja) | 2016-08-17 | 2016-08-17 | 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018029120A JP2018029120A (ja) | 2018-02-22 |
JP6740799B2 true JP6740799B2 (ja) | 2020-08-19 |
Family
ID=61191363
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016160147A Active JP6740799B2 (ja) | 2016-08-17 | 2016-08-17 | 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20180051374A1 (ja) |
JP (1) | JP6740799B2 (ja) |
KR (1) | KR102161875B1 (ja) |
TW (1) | TWI698548B (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6608332B2 (ja) * | 2016-05-23 | 2019-11-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置 |
JP7238350B2 (ja) * | 2018-11-12 | 2023-03-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置及び成膜方法 |
JP7195241B2 (ja) * | 2019-01-09 | 2022-12-23 | 東京エレクトロン株式会社 | 窒化膜の成膜方法、および窒化膜の成膜装置 |
JP7016833B2 (ja) | 2019-05-17 | 2022-02-07 | 株式会社Kokusai Electric | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置、およびプログラム |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ATE554196T1 (de) * | 2003-08-20 | 2012-05-15 | Veeco Instr Inc | Vertikal durchströmte drehscheibenreaktoren und behandlungsverfahren damit |
JP5423205B2 (ja) | 2008-08-29 | 2014-02-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置 |
JP4868002B2 (ja) * | 2009-02-04 | 2012-02-01 | 住友電気工業株式会社 | 窒化ガリウム系半導体膜を成長する方法、及びiii族窒化物半導体電子デバイスを作製する方法 |
JP5141607B2 (ja) * | 2009-03-13 | 2013-02-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置 |
JP2014017296A (ja) * | 2012-07-06 | 2014-01-30 | Tokyo Electron Ltd | 成膜方法 |
-
2016
- 2016-08-17 JP JP2016160147A patent/JP6740799B2/ja active Active
-
2017
- 2017-08-08 KR KR1020170100070A patent/KR102161875B1/ko active IP Right Grant
- 2017-08-08 US US15/671,395 patent/US20180051374A1/en not_active Abandoned
- 2017-08-15 TW TW106127559A patent/TWI698548B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102161875B1 (ko) | 2020-10-05 |
TWI698548B (zh) | 2020-07-11 |
KR20180020093A (ko) | 2018-02-27 |
US20180051374A1 (en) | 2018-02-22 |
TW201816175A (zh) | 2018-05-01 |
JP2018029120A (ja) | 2018-02-22 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20180117 |
|
A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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