JP6740143B2 - 照明装置 - Google Patents
照明装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6740143B2 JP6740143B2 JP2017011685A JP2017011685A JP6740143B2 JP 6740143 B2 JP6740143 B2 JP 6740143B2 JP 2017011685 A JP2017011685 A JP 2017011685A JP 2017011685 A JP2017011685 A JP 2017011685A JP 6740143 B2 JP6740143 B2 JP 6740143B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- output
- arm
- light
- input
- phase difference
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 30
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 26
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 35
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 30
- 238000000034 method Methods 0.000 description 17
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 14
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 9
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 description 8
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 7
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 6
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 6
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 102100022002 CD59 glycoprotein Human genes 0.000 description 3
- 101000897400 Homo sapiens CD59 glycoprotein Proteins 0.000 description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 101100129496 Arabidopsis thaliana CYP711A1 gene Proteins 0.000 description 2
- 101100129499 Arabidopsis thaliana MAX2 gene Proteins 0.000 description 2
- 101100083446 Danio rerio plekhh1 gene Proteins 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000005315 distribution function Methods 0.000 description 1
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J9/00—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
- G01J9/02—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength by interferometric methods
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/2441—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures using interferometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
- G01B11/2518—Projection by scanning of the object
- G01B11/2527—Projection by scanning of the object with phase change by in-plane movement of the patern
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02001—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties
- G01B9/02007—Two or more frequencies or sources used for interferometric measurement
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02001—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties
- G01B9/0201—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties using temporal phase variation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02015—Interferometers characterised by the beam path configuration
- G01B9/02027—Two or more interferometric channels or interferometers
- G01B9/02028—Two or more reference or object arms in one interferometer
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Description
図1は、干渉縞を生成する照明装置2の原理を示す図である。照明装置2は、干渉縞3を形成する。照明装置2は、入力アーム10、第1出力アーム20、第2出力アーム30、分波器40、位相変調器50、位相検出器60、コントローラ70、光源80を備える。
I=I0・cos2(Δφ)
=I0/2×(1+cos(2Δφ)) …(1)
図2は、位相差Δφと戻り光L5の強度Iの関係を示す図である。したがって戻り光L5の強度Iを測定することにより、位相差Δφを測定することができる。
ΔφACTUAL=arccos(√(IMEAS/I0)) …(2A)
ΔφACTUAL={arccos(2IMEAS/I0−1)}/2 …(2B)
(i)たとえばΔφを連続的あるいは離散的にスイープしながら、戻り光L5の強度Iを測定し、強度Iの平均値から、ピーク強度I0を算出してもよい。
(ii)Δφをスイープして得られる強度Iの最大値を検出してもよい。
(iii)Δφを少なくとも既知の3点で変化させ、各点で測定された強度Iを、式(1)にフィッティングすることによりピーク強度I0を計算してもよい。
測定された位相差ΔφACTUALは、たとえば以下のように使用することができる。コントローラ70は、測定された位相差ΔφACTUALが目標位相ΔφREFと一致するように、制御信号S1をフィードバック制御してもよい。フィードバック制御にはPI(比例・積分)制御や、PID制御(比例・積分・微分)制御を用いることができる。あるいはアナログ回路でエラーアンプを用いてフィードバック系を構成してもよい。これにより、出射端24と34における位相差を、目標位相ΔφREFに設定することができる。
図2では、戻り光L2の強度にオフセットがないものとしたが、実際にはオフセット成分が含まれる場合もあり得る。オフセット成分は、分岐部や戻り光分波部の設計、製造誤差や、戻り光L2の強度を測定する光検出器の暗電流などに起因しうる。オフセット成分を含む戻り光L2の強度は、式(1a)で与えられる。
I=I0・cos2(Δφ)+IDC
=I0/2×(1+cos(2Δφ))+IDC …(1a)
図3は、ウォブリング処理を説明する図である。図2から明らかなように、同一の測定値IMEASを与える位相差ΔφACTUALは複数存在する。目標値ΔφREFと測定値ΔφACTUALの誤差がそれほど大きくない場合において、目標位相ΔφREFがπ/4,3π/4,5π/4,7π/4・・・の近傍である場合には、位相差ΔφACTUALの複数の候補から、目標位相ΔφREFに近いひとつを選択すればよい。
図4は、第1実施例に係る照明装置2Aを示す図である。内視鏡スコープは、機能的には、観察対象物に光を照射する照明装置と、対象物が反射した光を測定する撮像装置と、を備える。三次元形状計測では、照明装置は、干渉縞を対象物に照射し、干渉縞をシフトさせながら複数の画像を撮影し、演算処理によって対象物の三次元形状を復元する。この用途において、照明装置は干渉縞投影器などとも称される。内視鏡スコープは、医療用途や工業用途に用いられるが、その限りではない。
図8(a)、(b)は、第2実施例に係る照明装置2Bを示す図である。第1実施例では、戻り光L5を、入力光L2と共通の光ファイバ82を使用して、第1光検出器PD1に戻していた。これに対して、第2実施例では、戻り光L5は、入力光L2とは別の光ファイバ84を介して戻される。光ファイバ84は、光ファイバ82とともに挿入部6に収容される。
図9(a)、(b)は、第3実施例に係る照明装置2Cを示す図である。第3実施例では、第2光検出器PD2が先端部4Cに設けられている。挿入部6の内部には、図8(a)の光ファイバ84に代えて、第2光検出器PD2の出力信号S2を伝送する配線85が挿通される。
図10は、第4実施例に係る照明装置2Dを示す図である。第4実施例は、第1実施例と第2実施例の組み合わせと把握することができる。先端部4Dの構成は、図8(a)の先端部4Cと同様である。分波器40Cの第1入力路から光ファイバ82に対して第1の戻り光L51が入力され、分波器40Cの第2入力路から光ファイバ84に対して第2の戻り光L52が入力される。
A1=I1/(I1+I2)=cos2(Δφ) …(3a)
A2=I2/(I1+I2)=1−cos2(Δφ)…(3b)
コントローラ70は、A1,A2のうち値が大きい方を選択し、式(3a)、(3b)のうち対応する一方から、Δφを求めることができる。正規化された値を用いることにより、光ファイバの曲げに起因するピーク強度I0の変動の影響を取り除くことができる。
I1=I01・cos2(Δφ)+IDC1
I2=I02・cos2(Δφ)+IDC2
そして以下の関係式によって、正規化された値A1,A2を求めてもよい。
A1=I01/(I01+I02)=cos2(Δφ) …(3a’)
A2=I02/(I01+I02)=1−cos2(Δφ)…(3b’)
図12(a)、(b)は、第5実施例に係る照明装置2Eを示す図である。図12(a)に示すように、第5実施例においても、第4実施例と同様に、2つの戻り光L51,L52を検出する2つの光検出器PD1,PD2が利用される。第5実施例において、2つの光検出器PD1,PD2は先端部4Eに設けられている。
図13(a)、(b)は、第6実施例に係る照明装置2Fを示す図である。この照明装置2Fは、図4の照明装置2Aを多波長化したものと把握される。
図16は、第6実施例に係る照明装置2Gを示す図である。この照明装置2Gは、第5実施例の変形と把握できる。光源80Gは、3波長の光λ1〜λ3を生成する。λ1は、干渉縞の生成に使用される光であり、λ2およびλ3は、位相検出用の光である。つまり位相検出に関して、第6実施例の2つの光λ2およびλ3は、第5実施例における光λ1,λ2に対応付けられる。マルチプレクサ88は、3波長の光λ1〜λ3を合波する。3つの波長を含む入力光L2は、光ファイバ82を伝搬して先端部4Gに入力される。
図17は、第7実施例に係る照明装置2Hを示す図である。これまでの実施例では、先端部4Gにおいて光が2分岐されていたが、第7実施例では3分岐される。照明装置2Hは、先端部4Gを除く部分については、図16の照明装置2Gと同様の構成を有する。
図18は、第8実施例に係る照明装置2Iを示す図である。この照明装置2Iは、図10の照明装置2D(第4実施例)の変形と把握でき、照明装置2Dに加えて、光ファイバ90,92を備える。光ファイバ90は、先端部4Dの導波路(WG2)の出射端24とカップリングされており、先端部4Dの導波路(WG2)とともに第1出力アーム20をなしている。同様に光ファイバ92は、先端部4Dの導波路(WG3)の出射端34とカップリングされており、先端部4Dの導波路(WG3)とともに第2出力アーム30をなしている。なお、光ファイバ90,92は、マルチコアファイバを用いてもよい。
Claims (6)
- 干渉縞を生成する照明装置であって、
光源からの入力光を受ける入力アームと、
第1出力アームと、
第2出力アームと、
前記入力アームを通過した前記入力光を、前記第1出力アームおよび前記第2出力アームに分岐させる分波器と、
前記第1出力アームと前記第2出力アームそれぞれの出射光の位相差を変化させる位相変調器と、
前記第1出力アームの先端での第1反射光と前記第2出力アームの先端での第2反射光が合成された戻り光にもとづいて、前記第1出力アームと前記第2出力アームそれぞれの出射光の位相差を検出する位相検出器と、
を備える照明装置。 - 前記位相検出器は、
前記光源と接続される第1ポートと、前記入力アームと接続される第2ポートと、前記入力アームから前記第2ポートへの入力光を出力する第3ポートと、を有する戻り光分波部と、
前記第3ポートからの出力光の強度を測定する第1光検出器と、
を含むことを特徴とする請求項1に記載の照明装置。 - 前記分波器は、前記入力アームと接続される第1入力路と、第2入力路と、前記第1出力アームと接続される第1出力路と、前記第2出力アームと接続される第2出力路と、を有する2×2結合器を含み、
前記位相検出器は、前記第2入力路からの戻り光の強度を測定する第2光検出器を含むことを特徴とする請求項1に記載の照明装置。 - 前記分波器は、前記入力アームと接続される第1入力路と、第2入力路と、前記第1出力アームと接続される第1出力路と、前記第2出力アームと接続される第2出力路と、を有する2×2結合器を含み、
前記位相検出器は、前記第2入力路からの戻り光の強度を測定する第2光検出器をさらに含み、前記第1光検出器の出力と前記第2光検出器の出力とにもとづいて、前記位相差を検出することを特徴とする請求項2に記載の照明装置。 - 前記位相検出器は、
前記2×2結合器の前記第1入力路に対する戻り光を、前記光源側のアームと検出用アームに分配するサブ分波器と、
前記検出用アームに分配された光の強度を測定する第1光検出器と、
をさらに含み、前記第1光検出器の出力と前記第2光検出器の出力とにもとづいて、前記位相差を検出することを特徴とする請求項3に記載の照明装置。 - 前記光源は、波長の異なる複数の入力光を生成可能であり、
前記位相検出器は、
前記戻り光を、複数の波長に対応する複数の経路に分岐するデマルチプレクサと、
前記デマルチプレクサにより分岐された波長ごとの光の強度を測定する複数の光検出器と、
を備え、前記複数の光検出器の出力にもとづいて、前記位相差を検出することを特徴とする請求項1に記載の照明装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017011685A JP6740143B2 (ja) | 2017-01-25 | 2017-01-25 | 照明装置 |
CN201880007755.0A CN110214260B (zh) | 2017-01-25 | 2018-01-25 | 照明装置 |
PCT/JP2018/002211 WO2018139511A1 (ja) | 2017-01-25 | 2018-01-25 | 照明装置 |
DE112018000523.2T DE112018000523T5 (de) | 2017-01-25 | 2018-01-25 | Beleuchtungsgerät |
US16/517,721 US10969281B2 (en) | 2017-01-25 | 2019-07-22 | Illumination apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017011685A JP6740143B2 (ja) | 2017-01-25 | 2017-01-25 | 照明装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018119864A JP2018119864A (ja) | 2018-08-02 |
JP6740143B2 true JP6740143B2 (ja) | 2020-08-12 |
Family
ID=62978580
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017011685A Active JP6740143B2 (ja) | 2017-01-25 | 2017-01-25 | 照明装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10969281B2 (ja) |
JP (1) | JP6740143B2 (ja) |
CN (1) | CN110214260B (ja) |
DE (1) | DE112018000523T5 (ja) |
WO (1) | WO2018139511A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111121617B (zh) * | 2018-10-31 | 2022-03-22 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种基于相移差动的光学瞄准与定点装置及方法 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3009521B2 (ja) * | 1990-10-23 | 2000-02-14 | オリンパス光学工業株式会社 | 計測内視鏡 |
US6760113B2 (en) * | 2001-03-20 | 2004-07-06 | Ford Global Technologies, Llc | Crystal based fringe generator system |
JP2007071817A (ja) * | 2005-09-09 | 2007-03-22 | Tottori Univ | 二光束干渉計及び同干渉計を用いた被測定物の形状測定方法 |
EP3482681A1 (en) * | 2007-11-01 | 2019-05-15 | Dental Imaging Technologies Corporation | Intra-oral three-dimensional imaging system |
JP4946833B2 (ja) * | 2007-11-30 | 2012-06-06 | 富士通オプティカルコンポーネンツ株式会社 | 光変調装置 |
US7894046B2 (en) * | 2008-01-07 | 2011-02-22 | Darren Ross Morofke | Two-dimensional estimation technique for doppler optical coherence tomography (OCT) |
EP2330390B1 (en) * | 2008-08-20 | 2017-05-17 | Kabusikikaisha Watanabeseisakusyo | Optical fiber sensing system |
EP3495768A1 (en) * | 2009-02-23 | 2019-06-12 | Dental Imaging Technologies Corporation | Apparatus for high-speed phase shifting for interferometric measurement systems |
WO2010132802A2 (en) * | 2009-05-14 | 2010-11-18 | Andover Photonics, Inc. | Shape measurement using microchip based fringe projection |
KR101092422B1 (ko) * | 2010-01-14 | 2011-12-09 | 경북대학교 산학협력단 | 광학식 표면 형상 측정 장치 |
JP2013246325A (ja) * | 2012-05-25 | 2013-12-09 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 光変調器 |
CN104180831A (zh) * | 2013-05-24 | 2014-12-03 | 无锡万润光子技术有限公司 | 基于双芯光纤灵敏度增强型光时域反射分布式Michelson干涉仪 |
CN103512512B (zh) * | 2013-10-08 | 2016-08-17 | 天津大学 | 一种外调制光纤干涉条纹投射实时三维形貌测量系统 |
CN103528542B (zh) * | 2013-10-08 | 2016-05-25 | 天津大学 | 一种内调制光纤干涉条纹投射实时三维形貌测量系统 |
JP6484485B2 (ja) * | 2015-03-30 | 2019-03-13 | オリンパス株式会社 | 縞走査位置の補償構造及びそれを備えた内視鏡装置 |
JP6618704B2 (ja) * | 2015-04-10 | 2019-12-11 | オリンパス株式会社 | 内視鏡システム |
JP2016198403A (ja) | 2015-04-14 | 2016-12-01 | 京楽産業.株式会社 | 遊技機 |
-
2017
- 2017-01-25 JP JP2017011685A patent/JP6740143B2/ja active Active
-
2018
- 2018-01-25 CN CN201880007755.0A patent/CN110214260B/zh active Active
- 2018-01-25 WO PCT/JP2018/002211 patent/WO2018139511A1/ja active Application Filing
- 2018-01-25 DE DE112018000523.2T patent/DE112018000523T5/de not_active Withdrawn
-
2019
- 2019-07-22 US US16/517,721 patent/US10969281B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20190339055A1 (en) | 2019-11-07 |
DE112018000523T5 (de) | 2019-10-17 |
WO2018139511A1 (ja) | 2018-08-02 |
CN110214260A (zh) | 2019-09-06 |
US10969281B2 (en) | 2021-04-06 |
CN110214260B (zh) | 2021-11-05 |
JP2018119864A (ja) | 2018-08-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101322025B (zh) | 光图像测量装置 | |
JP2004037165A (ja) | 干渉計装置 | |
US20050190374A1 (en) | Optical image measuring apparatus | |
CA2272033A1 (en) | Arrangement for determining the temperature and strain of an optical fiber | |
JP2005512047A (ja) | 光ファイバの欠陥を検出するセンサおよび方法 | |
JP7359195B2 (ja) | 光測定装置 | |
JPWO2018124285A1 (ja) | イメージング装置及び方法 | |
US9182272B2 (en) | Laser module | |
JP2006201087A (ja) | オプティカル・コヒーレント・トモグラフィ装置 | |
CN102932069B (zh) | 光纤Fabry‑Perot位移传感系统 | |
JP2023031312A (ja) | カップリングデバイス及び方法、波長ロックシステム及び方法、並びに位相アンラップシステム及び方法 | |
JP6740143B2 (ja) | 照明装置 | |
JP2006300801A (ja) | オプティカル・コヒーレント・トモグラフィー装置 | |
WO2012170275A1 (en) | Coupled multi-wavelength confocal systems for distance measurements | |
JP2007132727A (ja) | 干渉測定装置 | |
KR20120004578A (ko) | 광섬유형 피조 간섭계를 이용한 나노 변위 및 표면 형상 측정 장치 | |
JP5282929B2 (ja) | 多波長干渉計 | |
US9952067B2 (en) | Systems and methods for optical measurements using multiple beam interferometric sensors | |
JP6204272B2 (ja) | 距離計測装置 | |
JP2014149190A (ja) | 計測装置、計測方法、光源装置および物品の製造方法 | |
JP2020519893A (ja) | 物体からの距離を判定する距離測定配置 | |
JP2016171908A (ja) | 成分濃度測定装置 | |
KR102059502B1 (ko) | 온도 및 변형률 동시 측정용 레일레이-브릴루앙 하이브리드 분포형 광섬유 센서 장치 | |
KR20120080669A (ko) | 광섬유 소자와 자유공간 광학계를 병용하는 광간섭계측장치 | |
JP5590523B2 (ja) | オプティカル・コヒーレンス・トモグラフィー装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170203 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191111 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200623 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200722 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6740143 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |