JP6734234B2 - 化学増幅型感光性樹脂組成物及びそれから製造された絶縁膜 - Google Patents
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Description
本発明の実施例は、(a−1)フェノール性水酸基またはカルボキシ基の少なくとも一部が酸分解性基で保護された樹脂、(a−2)エポキシ基を含むアクリル樹脂及び(a−3)シロキサン樹脂を含む(A)バインダー樹脂と、(B)光酸発生剤と、(C)溶媒とを含むことにより、パターンの密着性及び均一性に優れた絶縁膜を得ることができる化学増幅型感光性樹脂組成物を提供する。
本発明に係るバインダー樹脂は、(a−1)フェノール性水酸基またはカルボキシ基の少なくとも一部が酸分解性基で保護された樹脂、(a−2)エポキシ基を含むアクリル樹脂及び(a−3)シロキサン樹脂の3種の樹脂を含む。
(a−1)樹脂は、露光の際に、光酸発生剤により硬化パターンに溶解性を付与する機能を果たすものである。
本発明に係るアクリル樹脂(a−2)は、エポキシ基を含む樹脂であり、熱硬化を可能にすることで、より耐久性の高いパターンの形成が可能である。熱硬化は、例えばポストベーク工程で行うことができる。
本発明に係るシロキサン樹脂(a−3)は、基板との密着性を向上させる機能を果たすものである。
〔式中、R1は、互いに独立に水素原子または炭素数1〜5の直鎖又は分岐鎖のアルキル基である。〕
光酸発生剤は、活性光線または放射線を照射することで酸を発生する化合物である。
〔式中、R1及びR2は、互いに独立に炭素数1〜6のアルキル基である。〕
溶媒の種類は特に限定されず、前述した成分を溶解させることができ、適合な乾燥速度を有し、溶媒の蒸発後に均一で滑らかなコーティング膜を形成できるものであれば、いずれの溶媒でも使用できる。
本発明の感光性樹脂組成物は、その他に一般に用いられる塩基性化合物、界面活性剤、密着性改良剤、熱架橋剤、光安定剤、光硬化促進剤、ハレーション防止剤(レベリング剤)、消泡剤などの添加剤を、本発明の目的を逸脱しない範囲内でさらに含んでいてもよい。
本発明は、前記組成物で製造された絶縁膜を提供する。
さらに、本発明は、前記絶縁膜を備えた画像表示装置を提供する。
下記の表1に記載された組成及び含量を有する感光性樹脂組成物を製造した。
4.溶媒
D1:プロピレングリコールメチルエチルアセテート
D2:ジエチレングリコールメチルエチルエステル
5.塩基性化合物:ジシクロヘキシルメチルアミン
6.カップリング剤:γ−グリシドキシプロピルトリアルコキシシラン
7.界面活性剤:
G1:SH−8400(ダウコーニング社製)
G2:F−475(DIC社製)
実施例及び比較例に基づいて製造された樹脂組成物に対して、下記のような評価を行い、その結果を下記表2に示す。
0.7mm厚さのガラス基板(コーニング1737、コーニング社製)上に、スピナーにより実施例及び比較例の感光性樹脂組成物をそれぞれ塗布し、100℃のホットプレート上で125秒間加熱することで溶剤を揮発させた。これにより、厚さ4.0μmの感光性樹脂組成物層を形成した。
実験例(1)で得られたパターンを垂直に切削し、基板との角度を光学写真から算出した。
実験例(1)で得られた膜の400nmにおける透過率を分光光度計で測定した。
SiNxが蒸着されたガラス基板上に、HMDS(Hexamethyldisilazane)溶液を塗布していない状態で、スピナーにより実施例及び比較例の感光性樹脂組成物をそれぞれ塗布し、100℃のホットプレート上で125秒間加熱して溶剤を揮発させた。これにより、厚さ4.0μmの感光性樹脂組成物層を形成した。
○:パターンが一部の領域において微細に剥離される
△:かなりの部分のパターンが剥離される
X:パターンが全領域において剥離される
Claims (14)
- (a−1)フェノール性水酸基またはカルボキシ基の少なくとも一部が酸分解性基で保護された樹脂、(a−2)エポキシ基を含むアクリル樹脂及び(a−3)シロキサン樹脂を含む(A)バインダー樹脂と、
(B)光酸発生剤と、
(C)溶媒とを含み、
前記(a−3)樹脂は、下記の化学式7、化学式8及び化学式9で表される単量体を含んで重合される樹脂であることを特徴とする化学増幅型感光性樹脂組成物。
- 前記(a−1)樹脂は、下記の化学式1、化学式2、化学式3及び化学式4で表される単量体の少なくとも1つを含んで重合される、請求項1に記載の化学増幅型感光性樹脂組成物。
- 前記化学式1〜4の前記単量体が形成する繰り返し単位は、前記(a−1)樹脂全体に対して20〜60モル%で含まれる、請求項2に記載の化学増幅型感光性樹脂組成物。
- 前記(a−1)樹脂は、重量平均分子量が5,000〜35,000である、請求項1ないし3のいずれか一項に記載の化学増幅型感光性樹脂組成物。
- 前記(a−2)樹脂は、下記の化学式5又は化学式6で表される単量体を含んで重合される、請求項1ないし4のいずれか一項に記載の化学増幅型感光性樹脂組成物。
- 前記化学式5または前記化学式6の前記単量体が形成する繰り返し単位は、前記(a−2)樹脂全体に対して5〜60モル%で含まれる、請求項5に記載の化学増幅型感光性樹脂組成物。
- 前記(a−2)樹脂は、重量平均分子量が5,000〜40,000である、請求項1ないし6のいずれか一項に記載の化学増幅型感光性樹脂組成物。
- 前記(a−3)樹脂全体に対し、前記化学式7の前記単量体が形成する繰り返し単位を10〜60mol%、前記化学式8の前記単量体が形成する繰り返し単位を10〜60mol%、前記化学式9の前記単量体が形成する繰り返し単位を10〜60mol%含む、請求項1に記載の化学増幅型感光性樹脂組成物。
- 前記(a−3)樹脂は、重量平均分子量が500〜20,000である、請求項1ないし8のいずれか一項に記載の化学増幅型感光性樹脂組成物。
- 前記バインダー樹脂は、全バインダー樹脂100重量部に対して、前記(a−1)樹脂30〜55重量部、前記(a−2)樹脂30〜60重量部、及び前記(a−3)樹脂1〜25重量部を含む、請求項1ないし9のいずれか一項に記載の化学増幅型感光性樹脂組成物。
- 前記光酸発生剤は、ジアゾニウム塩系、ホスホニウム塩系、スルホニウム塩系、ヨードニウム塩系、イミドスルホネート系、オキシムスルホネート系、ジアゾジスルホン系、ジスルホン系、オルト−ニトロベンジルスルホネート系、トリアジン系化合物からなる群より選択される1種以上である、請求項1ないし10のいずれか一項に記載の化学増幅型感光性樹脂組成物。
- 前記溶媒は、エーテル類、アセテート類、エステル類、ケトン類、アミド類及びラクトン類からなる群より選択される1種以上である、請求項1ないし11のいずれか一項に記載の化学増幅型感光性樹脂組成物。
- 請求項1〜12のいずれか一項に記載の化学増幅型感光性樹脂組成物が硬化された絶縁膜。
- 請求項13に記載の絶縁膜を備えた画像表示装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2016-0102289 | 2016-08-11 | ||
KR1020160102289A KR102539889B1 (ko) | 2016-08-11 | 2016-08-11 | 화학증폭형 감광성 수지 조성물 및 이로부터 제조된 절연막 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018025799A JP2018025799A (ja) | 2018-02-15 |
JP6734234B2 true JP6734234B2 (ja) | 2020-08-05 |
Family
ID=61193741
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017152762A Active JP6734234B2 (ja) | 2016-08-11 | 2017-08-07 | 化学増幅型感光性樹脂組成物及びそれから製造された絶縁膜 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6734234B2 (ja) |
KR (1) | KR102539889B1 (ja) |
CN (1) | CN107728428B (ja) |
TW (1) | TWI710856B (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110412829A (zh) * | 2018-04-26 | 2019-11-05 | 东友精细化工有限公司 | 负型感光性树脂组合物、光固化图案及图像显示装置 |
JP7103852B2 (ja) * | 2018-05-31 | 2022-07-20 | 大阪ガスケミカル株式会社 | 硬化性組成物及びその硬化物 |
KR102564141B1 (ko) * | 2018-08-20 | 2023-08-04 | 동우 화인켐 주식회사 | 포지티브형 감광성 수지 조성물 및 이로부터 형성된 절연막 |
ES2917898T3 (es) * | 2019-03-11 | 2022-07-12 | Samsung Electronics Co Ltd | Dispositivo electrónico que incluye una placa conductora plegable |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101855596B (zh) | 2007-11-12 | 2013-05-22 | 日立化成株式会社 | 正型感光性树脂组合物、抗蚀图形的制法、半导体装置及电子设备 |
JP5451570B2 (ja) | 2009-10-16 | 2014-03-26 | 富士フイルム株式会社 | 感光性樹脂組成物、硬化膜の形成方法、硬化膜、有機el表示装置、及び、液晶表示装置 |
JP5504823B2 (ja) * | 2009-10-28 | 2014-05-28 | Jsr株式会社 | 感放射線性組成物、保護膜、層間絶縁膜、及びそれらの形成方法 |
CN102870047B (zh) * | 2010-04-28 | 2016-03-02 | Jsr株式会社 | 正型感射线性组合物、显示元件用层间绝缘膜及其形成方法 |
TW201310166A (zh) * | 2011-08-31 | 2013-03-01 | Everlight Chem Ind Corp | 層間絕緣膜暨保護膜用之樹脂及感光樹脂組成物 |
JP5555732B2 (ja) * | 2012-02-29 | 2014-07-23 | 富士フイルム株式会社 | 感光性樹脂組成物、これを用いた硬化膜の製造方法、硬化膜、液晶表示装置および有機el表示装置 |
CN104756010B (zh) * | 2012-10-26 | 2019-07-30 | 富士胶片株式会社 | 感光性树脂组合物、硬化物及其制造方法、树脂图案制造方法、硬化膜及其应用 |
KR101364229B1 (ko) * | 2012-12-20 | 2014-02-17 | 동우 화인켐 주식회사 | 감광성 수지 조성물 및 이로부터 제조되는 절연막 |
JP5962546B2 (ja) | 2013-03-06 | 2016-08-03 | Jsr株式会社 | 感放射線性樹脂組成物、硬化膜、その形成方法、及び表示素子 |
JP6438645B2 (ja) * | 2013-09-26 | 2018-12-19 | 富士フイルム株式会社 | 感活性光線性又は感放射線性組成物、並びに、これを用いた、レジスト膜、パターン形成方法、レジスト塗布マスクブランクス、フォトマスクの製造方法、及び電子デバイスの製造方法 |
KR101682006B1 (ko) * | 2014-08-13 | 2016-12-02 | 주식회사 엘지화학 | 감광성 수지 조성물 |
TW201612249A (en) * | 2014-09-29 | 2016-04-01 | Fujifilm Corp | Photosensitive resin composition, manufacturing method for cured film, cured film, liquid crystal display device, organic electroluminescence display device and touch panel |
JP6822758B2 (ja) * | 2014-09-30 | 2021-01-27 | 日鉄ケミカル&マテリアル株式会社 | タッチパネル用感光性樹脂組成物およびその硬化膜、ならびに当該硬化膜を有するタッチパネル |
KR20160092774A (ko) * | 2015-01-28 | 2016-08-05 | 롬엔드하스전자재료코리아유한회사 | 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 유기 절연막 |
-
2016
- 2016-08-11 KR KR1020160102289A patent/KR102539889B1/ko active IP Right Grant
-
2017
- 2017-08-07 TW TW106126571A patent/TWI710856B/zh active
- 2017-08-07 JP JP2017152762A patent/JP6734234B2/ja active Active
- 2017-08-09 CN CN201710675703.8A patent/CN107728428B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN107728428B (zh) | 2022-02-08 |
JP2018025799A (ja) | 2018-02-15 |
TWI710856B (zh) | 2020-11-21 |
KR102539889B1 (ko) | 2023-06-05 |
CN107728428A (zh) | 2018-02-23 |
KR20180017843A (ko) | 2018-02-21 |
TW201823867A (zh) | 2018-07-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |