JP6728668B2 - 被搬送物搬送装置、被搬送物分離装置及び検査システム - Google Patents

Description

本発明は、樹脂製シート等のシートを被搬送物として搬送する被搬送物搬送装置、被搬送物搬送装置を有する被搬送物分離装置及び被搬送物を検査する検査システムに関する。

従来より、樹脂製シート等のシートを被搬送物として搬送する被搬送物搬送装置が知られている（たとえば、〔特許文献１〕参照）。被搬送物搬送装置は、被搬送物の搬送が行われているか否かを検知するためのセンサ等の検知部を有することがある。検知部が被搬送物に付着している異物等によって汚れると、被搬送物の検知精度が低下する。よって、検知部の汚れは抑制されることが望ましい。

本発明は、被搬送物の搬送が行われているか否かを検知する検知部の汚れを抑制可能とすることを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明は、被搬送物を搬送する搬送部材と、前記被搬送物が前記搬送部材に吸着されたことの検知を行う第１の検知部と、前記第１の検知部の下流側に配置され、前記被搬送物が前記搬送部材に吸着搬送されたことの検知を行う第２の検知部とを有し、前記第２の検知部は、前記搬送部材に前記被搬送物を吸着させる空気流の流路中に配置されている被搬送物搬送装置であって、前記第２の検知部よりも上流側に、前記空気流を形成している空気中の異物をろ過するためのろ過部を有する。

本発明によれば、被搬送物の搬送が行われているか否かを検知する検知部の汚れが抑制可能とされる。

本発明に係る検査システムの一例の概略正面図である。 図１に示した、本発明に係る被搬送物搬送装置の一例である本発明に係る被搬送物分離装置の一例の概略正面図である。 図２に示した被搬送物分離装置の一例の概略平面図である。 図１に示した検査システムの機能の一例の一部を概略的に示す機能ブロック図である。 図２に示した被搬送物分離装置の一例の制御の一例を概略的に示すフローチャートである。

図１に本発明に係る検査システムの一例の概略を示す。検査システム１００は、被搬送物として、プリプレグなどと言われるプラスチック等の樹脂製のシートＳの搬送を行うとともに検査を行うシステムである。シートＳの検査項目は、シートＳの表裏に異物が付着しているか否か、シートＳを構成している素材中に異物が混入しているか否か等に関する。シートＳの表裏に付着する異物は、たとえばシートＳを所定の大きさに切り出す際などに生じる粉末屑などである。
検査システム１００は、シートＳの検査を連続的に行うことを可能としている。検査システム１００は、シートＳの検査項目において異常が検知された場合には、異常が検知されたシートＳを、異常が検知されなかった正常なシートＳと分けて積載することが可能である。

そのため、検査システム１００は、多数枚のシートＳを積載可能であり積載したシートＳを１枚ずつ分離して搬送しＸ方向に送り出す被搬送物搬送装置である被搬送物分離装置としての分離装置１を有している。
検査システム１００は、分離装置１から送り出されたシートＳの搬送を引き継ぎシートＳの搬送を行いながらシートＳの検査を行いシートＳを送り出す検査部としての検査装置２を有している。
検査システム１００は、検査装置２から送り出されたシートＳの搬送を引き継ぎシートＳをさらに搬送して送り出す中継搬送部としての中継搬送装置３を有している。
検査システム１００は、中継搬送装置３から搬送され送り出されたシートＳの搬送を引き継ぎシートＳの搬送を行いながら検査装置２におけるシートＳの検査の結果に応じてシートＳを仕分ける仕分部として機能するリジェクト部４を有している。
検査システム１００は、リジェクト部４から送り出されたシートＳをスタックし積載するスタック部としてのスタック装置５を有している。

検査システム１００は、図４に示すように、分離装置１、検査装置２、中継搬送装置３、リジェクト部４、スタック装置５を連動させて制御するなど、検査システム１００の全体を統括して制御するシステム制御部としてのシステムコントローラ６を有している。

分離装置１は、シートＳを１枚ずつ検査装置２に供給する。この点、分離装置１は被搬送物供給装置として機能する。
検査装置２は、シートＳの異常を検出するために、シートＳを表裏両面側から検査する。なお、図１におけるシートＳの上面、下面をそれぞれ表面、裏面とする。検査装置２によって異常が検出されたシートＳは不良品と判断され、異常が検出されなかったシートＳは正常品と判断される。この判断により、シートＳは、合否を判定されることとなる。合否の判定は、検査装置２を経たシートＳが中継搬送装置３によって搬送されている搬送中に行われる。不良品、正常品の判断及び合否の判定は、実際には、システムコントローラ６において行われる。

リジェクト部４は、不良品と判断された破線で示すシートＳを積載する被搬送物積載部４ａと、シートＳを被搬送物積載部４ａに向けて案内するかスタック装置５に向けて案内するかを切換える切換え部４ｂとを有している。切換え部４ｂの制御はシステムコントローラ６によって行われる。
スタック装置５は、リジェクト部４から搬送されてきた正常品であるシートＳを積載する。
システムコントローラ６は検査装置２に備えられているが、検査システム１００の他の部位に備えられていても良い。

図２または図３に示すように、分離装置１は、シートＳを多数枚積載可能な積載部１０と、積載部１０に積載されたシートＳを検査装置２に向けて搬送する搬送部２０と、積載部１０に積載されたシートＳを搬送部２０に向けて上昇させる上昇部３０とを有している。
分離装置１は、図４に示すように、システムコントローラ６との通信を行うとともに、積載部１０の制御全般を担う制御部としてのコントローラ４０を有している。
図２に示すように、分離装置１は、搬送部２０によって搬送されてきたシートＳを検査装置２に向けて案内する案内部５０を有している。
分離装置１はその他、何枚のシートＳを搬送するかの設定を行ったり、シートＳの搬送開始の指示を行ったりするなど、分離装置１に各種の入力を行うための入力部を有している。

積載部１０は、シートＳを載置される載置部としての載置台１１と、載置台１１を上下方向に昇降させる昇降駆動部１２と、これらを覆った筐体１３とを有している。
積載部１０は、筐体１３のＸ方向下流側の側板１３ａに設けられ載置台１１上に積載されたシートＳのうち最上位にあるシートＳを検知する側上面センサとしての上面センサ１４を有している。上面センサ１４は、シートＳを検知するとコントローラ４０に信号を出力する。

載置台１１には様々な種類の大量のシートＳを積載可能である。よって、分離装置１は、大容量被搬送物供給装置として機能する。
昇降駆動部１２は、コントローラ４０によって制御される、駆動源としてのモータである昇降モータ１２ａを有している。
昇降モータ１２ａは、コントローラ４０が上面センサ１４からの信号を受けるまで載置台１１を上昇させるようにコントローラ４０によって制御される。

上昇部３０は、側板１３ａの外側に配置されシートＳが上面センサ１４によって検知される位置を占めた状態でコントローラ４０によって駆動を開始される分離ファン３１を有している。上昇部３０は、側板１３ａの外側に固定され分離ファン３１の駆動によって形成された空気流を、載置台１１上の、少なくとも最上位のシートＳに吹き付ける送風部としてのダクト３２を有している。分離ファン３１が作動すると、載置台１１上のシートＳの側板１３ａ側の端部にエアが吹き付けられる。エアが、Ｘ方向下流側すなわちシートＳの先端方向からＸ方向上流側すなわちシートＳの後端部へ流れることで、少なくとも最上位のシートＳが捌き動作を受けて浮き上がり、浮上したシートＳが搬送部２０付近まで到達する。

このように、上昇部３０は、載置台１１上のシートＳに送風を行う送風機構として機能する。
なお、シートＳに異物が付着していると、上昇部３０による捌き動作の際に、異物の飛び散りが生じやすい。
分離ファン３１の出力言い換えると分離ファン３１の駆動によって生じる風量は可変である。

上昇部３０は、空気流言い換えるとエアによるシートＳの浮上機能、分離機能、捌き機能を有する。従って、上昇部３０は、浮上機構、分離エア供給機構として機能する。また、上面センサ１４が検知するシートＳが占める位置は、シートＳがエアによる作用を受けて搬送部２０へ搬送されることが可能な搬送可能位置である。上面センサ１４は、シートＳが搬送可能位置に到達したことを検知する。

搬送部２０は、上昇部３０によって載置台１１から上昇してきたシートＳを吸着してＸ方向に給送する搬送部材としての搬送ベルト２１を有する搬送機構２２と、シートＳを搬送ベルト２１に吸着させる吸着機構２３とを有している。
搬送部２０は、吸着機構２３によりシートＳが搬送ベルト２１に吸着されたことの検知を行う検知部２４を有している。

搬送機構２２は、搬送ベルト２１の他に、搬送ベルト２１を巻き掛け搬送ベルト２１の下面２１ａをＸ方向に移動させるＡ方向に回転駆動する駆動ローラ２５と、駆動ローラ２５の回転に伴って生じる搬送ベルト２１の回転に従動する従動ローラ２６とを有している。
搬送機構２２は、図４に示すように、コントローラ４０によって制御され駆動ローラ２５を駆動する駆動源としてのモータである搬送モータ２７を有している。
搬送ベルト２１は、図３に示すように、Ａ方向に沿って形成された多数の孔２１ｂを有している。搬送ベルト２１は、Ａ方向に直角なＹ方向に３つ平行に設けられている。

吸着機構２３は、コントローラ４０によって制御され搬送ベルト２１にシートＳを吸着させるための空気流を形成する空気流形成部材としてのファンである吸着ファン２８を有している。吸着機構２３は、吸着ファン２８によって形成された空気流の経路を形成するダクト機構としての流路形成部材２９を有している。

流路形成部材２９は、載置台１１の上方に位置し、３つの搬送ベルト２１の内部空間を貫くようにＹ方向に沿って形成され、吸着ファン２８を内部に有し、下方が開放された吸着チャンバ５１を有している。吸着チャンバ５１と吸着ファン２８とは、シートＳを搬送ベルト２１に吸着させるための吸着用エアを供給するエア供給機構としての吸着ユニット５２を構成している。

流路形成部材２９は、吸着チャンバ５１に連結されたＬ字状の排気ユニット５３を有している。
排気ユニット５３は、吸着チャンバ５１に直角に連結されＸ方向に長い連結ダクト５４と、連結ダクト５４に直角に連結され吸着チャンバ５１に平行に設けられＹ方向に長い排気ダクト５５とを有している。
排気ユニット５３は、連結ダクト５４の中間位置に設けられ連結ダクト５４内を流れる空気流を形成している空気中の異物をろ過するためのろ過部としてのフィルタ５６を有している。排気ダクト５５は連結ダクト５４から流れてきた空気流を排出する排気口５５ａを有している。フィルタ５６は、分離ファン３１の作動によって飛び散ったり吸着ファン２８の動作によって舞い上がったりした異物が空気流に乗ってフィルタ５６を通過するときに異物を空気流から分離して除去する。

吸着ファン２８が作動すると、吸着チャンバ５１内に負圧が発生し、搬送ベルト２１の下側の部分に位置する孔２１ｂから空気を吸引するため、分離ファン３１の作動によって載置台１１から上昇してきた最上位のシートＳが搬送ベルト２１の下面に吸着される。搬送ベルト２１の下面２１ａはシートＳを吸着する吸着面となっている。
よって、積載部１０は、搬送ベルト２１に吸着されるシートＳを積載し、搬送ベルト２１によって最上位のシートＳが吸着されると、最上位のシートＳがその下方すなわち上から２番目のシートまたは載置台１１から分離されることとなる。

吸着ファン２８の作動によって吸着チャンバ５１内に発生した空気流は、連結ダクト５４を経てフィルタ５６によって異物をろ過された上で排気ダクト５５から排出される。吸着ファン２８の作動時に発生する空気流は、流路形成部材２９を常に一定方向Ｙに流れる。Ｙ方向は、搬送ベルト２１にシートＳを吸着させる吸着方向でもある。

図２に示すように、案内部５０は、排気ダクト５５の下方において排気ダクト５５に対向した底板５０ａと、Ｘ方向において排気ダクト５５の下流側に固定された上面板５０ｂとを有している。上面板５０ｂは排気ダクト５５の底板と面一となっている。案内部５０は、排気ダクト５５とともに、搬送ベルト２１によって搬送され搬送ベルト２１から分離されたシートＳが検査装置２に向けて通過する通路５０ｃを形成している。
排気ダクト５５の底板は、底板５０ａに対向する位置に、通路５０ｃに臨んで形成された開口５５ｂを有している。

検知部２４は、搬送ベルト２１の吸着面２１ａと逆側の面２１ｃに対向して配置された第１の検知部材としての第１シート搬送センサであるセンサ２４ａを有している。検知部２４は、搬送ベルト２１によるシートＳの搬送位置、すなわち、吸着面２１ａを備えた搬送ベルト２１の下側の部分よりも、Ｘ方向において下流側に配置された第２の検知部材としての第２シート搬送センサであるセンサ２４ｂを有している。
センサ２４ａ、センサ２４ｂは何れも、反射型の光学センサであり、前面側に、発光素子及び受光素子を内蔵し、光を出射するとともに受光する部分である送受光面として機能する検知面２４ｃを有している。

センサ２４ａは、吸着チャンバ５１内に配置されており、検知面２４ｃが面２１ｃに対向し、孔２１ｂを介してシートＳを検知する。センサ２４ａによってシートＳが検知されることは搬送ベルト２１によってシートＳが吸着されたことを意味する。センサ２４ａがシートＳを検知したことすなわちオンとなったことは、オンのタイミングでシートＳが搬送ベルト２１に吸着されたこととなる。センサ２４ａがシートＳを検知しなくなったことすなわちオフとなったことは、オフのタイミングでシートＳの後端が検知されたこととなる。

センサ２４ａがシートＳを検知したか否かはコントローラ４０によって監視される。コントローラ４０は、センサ２４ａがシートＳを検知したと判断すると、搬送モータ２７を駆動して搬送ベルト２１の回転を開始させる。コントローラ４０が、センサ２４ａがシートＳを検知したと判断したことは、分離ファン３１が正常に動作していることを意味する。

センサ２４ｂは、排気ダクト５５内の開口５５ｂに対応する位置に配置されており、検知面２４ｃが開口５５ｂを介して底板５０ａに対向し、通路５０ｃ内のシートＳを検知する。センサ２４ｂによってシートＳが検知されることは搬送ベルト２１によってシートＳが吸着された上で搬送され搬送ベルト２１から分離されて通路５０ｃに至ったことを意味する。センサ２４ｂがシートＳを検知したことすなわちオンとなったことは、オンのタイミングでシートＳの先端が検知されたこととなる。センサ２４ｂがシートＳを検知しなくなったことすなわちオフとなったことは、オフのタイミングでシートＳの後端が検知されたこととなる。

センサ２４ｂがシートＳを検知したか否かはコントローラ４０によって監視される。コントローラ４０は、センサ２４ｂがシートＳを検知したと判断すると、システムコントローラ６と通信し、シートＳが検査装置２に進入することを通知する。コントローラ４０が、センサ２４ｂがシートＳを検知したと判断したことは、搬送ベルト２１の回転動作が正常に動作していること、シートＳのジャムが生じていないことを意味する。

センサ２４ｂは、排気ダクト５５内に配置されていることから、流路形成部材２９内の空気流の流れるＢ方向においてフィルタ５６の下流側に位置している。言い換えると、Ｂ方向においてセンサ２４ｂよりも上流側にフィルタ５６が設けられている。よって、センサ２４ｂは、フィルタ５６を経ることで異物をろ過された空気流の流路中に設けられている。

センサ２４ａ、センサ２４ｂは何れも、流路形成部材２９の内部に位置しており、流路形成部材２９を通る空気流すなわちエアフローの流路に位置している。
かりに、検知部２４が流路形成部材２９の外部に位置している、たとえば、センサ２４ａが面２１ｃに対向しているものの吸着チャンバ５１の外に位置しているとすると、検知面２４ｃには、シートＳにもともと付着していた異物が付着しやすい。これは、検知面２４ｃは、シートＳを検知することの必要上、シートＳの通過位置に対向するように配置されることから、シートＳから分離された異物を含む空気に晒されるためである。

しかしながら、分離装置１においては、検知部２４は、流路形成部材２９の内部に位置しており、流路形成部材２９を通る空気流が検知面２４ｃを経由して流れる。空気流が検知面２４ｃに吹き付けられるため、この空気流を形成する空気中に異物が含まれているとしても、異物の堆積等による付着が生じにくい。また、異物が付着したとしても、空気流によって異物が検知面２４ｃから剥がされる作用、つまり清掃作用を受けるため、経時的に検知面２４ｃの汚れが抑制され、汚れによるシートＳの検知の妨げが抑制される。そのため、経時的に、シートＳの検知精度の低下が抑制される。

また、センサ２４ａの検知面２４ｃは面２１ｃに対向するように下を向いている。同様に、センサ２４ｂの検知面２４ｃは通路５０ｃに臨むように下を向いている。したがって、センサ２４ａ、センサ２４ｂは何れも、シートＳの検知を行う側が下向きに設けられていることから、空気流の吹き付けに加えて重力の影響によっても、汚れが抑制される。

とくに、センサ２４ａの検知面２４ｃは、空気流を下側から吹き付けられるので、汚れの抑制が高度になされる。
センサ２４ｂは、フィルタ５６を経て異物をろ過されたクリーンな空気流の流路中に設けられているため、センサ２４ｂの検知面２４ｃの汚れは高度に抑制される。通路５０ｃを通過するシートＳをセンサ２４ｂによって検知するべくセンサ２４ｂに対向する位置に形成されている開口５５ｂからも排気ダクト５５内の空気流が排出されることによっても、センサ２４ｂの汚れは高度に抑制される。センサ２４ｂの検知面２４ｃが、開口５５ｂから排出される空気流に面するためである。ただし、開口５５ｂからの排気が通路５０ｃ内のシートＳの搬送に影響を与える場合には、開口５５ｂを、センサ２４ｂから出射される光に対して透明な素材で塞いで排気口５５ａのみから空気流を排出するようにしても良い。

以上のように、搬送ベルト２１にシートＳを吸着させるために発生させる空気流を、検知面２４ｃを流れるように通過させ、検知面２４ｃの清掃に用いることで、かかる空気流を利用した検知面２４ｃの清掃機能が実現される。従って、経時的に検知部２４によるシートＳの検知精度が良好に維持され、検知部２４の感度の低下、誤検知が防止ないし抑制される。検知部２４の検知精度が良好に維持されるため、分離装置１は、経時的に大量のシートＳを高速に供給することが可能となっているとともに、シートＳの重送やジャムが経時的に抑制又は防止される。人の手による定期的あるいは不定期の検知部２４のメンテナンスが省略可能となるか、少なくともメンテナンスの頻度の低減が可能となる。

なお、フィルタ５６の配置位置は、検知面２４ｃの汚れを抑制するために、Ｂ方向においてセンサ２４ａよりも上流側であっても良い。ただし、フィルタ５６を、Ｂ方向においてセンサ２４ａよりも上流側に設置するには、設置空間の確保に難がある場合や、吸着面２１ａにシートＳを吸着するだけの負圧の確保に難がある場合がありうる。

コントローラ４０は、以上述べた分離装置１の動作を制御するためのプログラム等の各種情報を記憶した記憶部としてのメモリ４１を有している。メモリ４１に記憶されている各種情報によって、次のような分離装置１の動作が可能となる。

図５に示すように、入力部においてシートＳの搬送枚数を設定し（ステップＳ１）、シートＳの搬送開始指示を行うと（ステップＳ２）、上面センサ１４がシートＳを検知するまで昇降モータ１２が駆動されて載置台１１が上昇する（ステップＳ３）。ステップＳ３において上面センサ１４がシートＳを検知すると、分離ファン３１及び吸着ファン２８が駆動される（ステップＳ４）。

分離ファン３１及び吸着ファン２８の駆動開始後、センサ２４ａがシートＳを検知すると（ステップＳ５）、搬送モータ２７の駆動が開始される（ステップＳ６）。すなわち搬送ベルト２１がシートＳを吸着することをきっかけとして、搬送ベルト２１が回転してＸ方向へのシートＳの吸着搬送が開始されて、被搬送物搬送動作が開始される。

分離ファン３１の出力は、センサ２４ａがシートＳを検知するまで漸増するように制御される。シートＳの重量等によって、シートＳを浮き上がらせるのに必要な出力が異なるためである。コントローラ４０は、分離ファン３１の出力が最大になるように制御してもセンサ２４ａがシートＳを検知しない場合には、分離ファン３１に不具合があると判断して、分離装置１の制御を停止する。コントローラ４０は、分離装置１の制御を停止するにあたって、分離ファン３１、吸着ファン２８及び搬送モータ２７などの駆動制御を停止する。

搬送モータ２７の駆動開始後、センサ２４ｂによってシートＳが検知されると（ステップＳ７）、シートＳの搬送が正常に行われているとして、分離ファン３１、吸着ファン２８及び搬送ベルト２１の駆動が継続される。

センサ２４ａ、センサ２４ｂのオン・オフすなわちシートＳの検知、非検知に基づいて、シートＳの搬送枚数がカウントアップされる。具体的には、センサ２４ａ、センサ２４ｂそれぞれのオン・オフが１回ずつこの順で検知されると、１枚のシートＳの搬送が行われたものとして、それまでのシートＳの搬送枚数すなわち搬送済み枚数に１が加算される。この加算の結果として算出された搬送済み枚数と、入力部において設定されたシートＳの搬送枚数すなわち設定枚数とを比較することで、搬送済み枚数が設定枚数に達したかが判断される（ステップＳ８）。

ステップＳ８において搬送済み枚数が設定枚数に達すると、センサ２４ａのオフが確認され（ステップＳ９）、センサ２４ｂのオフが確認され（ステップＳ１０）てから、搬送モータ２７の駆動が停止され、分離ファン３１及び吸着ファン２８の駆動が停止される。その後、昇降モータ１２が駆動されて載置台１１が下降し、載置台１１にシートＳを積載することが可能とされる。

以上本発明の好ましい実施の形態について説明したが、本発明はかかる特定の実施形態に限定されるものではなく、上述の説明で特に限定していない限り、特許請求の範囲に記載された本発明の趣旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。

たとえば、被搬送物搬送装置は、積載部、上昇部を備えていない、すなわち分離装置でない、単なる被搬送物の搬送装置であっても良い。被搬送物は、樹脂製に限らず紙製であっても良い。
検知部は反射型でなく透過型の光学センサであっても良いし、光学センサでなく他のタイプのセンサであっても良い。
検知部は、第２の検知部材を複数有するなど、３つ以上の検知部材を有していても良く、何れの検知部材も空気流の流路中に配置することが望ましい。ただし、複数の検知部材のうち、搬送部材による被搬送物の搬送方向において第１の検知部材よりも下流側で検知を行う第２の検知部材は少なくとも空気流の流路中に配置されることが望ましい。

本発明の実施の形態に記載された効果は、本発明から生じる最も好適な効果を列挙したに過ぎず、本発明による効果は、本発明の実施の形態に記載されたものに限定されるものではない。

１ 被搬送物搬送装置、被搬送物分離装置
２ 検査部
４ 仕分部
１０ 積載部
２１ 搬送部材
２１ａ 被搬送物を吸着する面、搬送部材による被搬送物の搬送位置
２１ｃ 被搬送物を吸着する面と逆側の面
２４ 検知部
２４ａ 第１の検知部材
２４ｂ 第２の検知部材
２４ｃ 検知部における被搬送物の検知を行う側
２８ 空気流形成部材、ファン
２９ 流路形成部材
５６ ろ過部
１００ 検査システム
Ｓ 被搬送物
Ｂ 空気流の流れる方向
Ｘ 被搬送物の搬送方向

特開２０１１−１０５４１９号公報

Claims (9)

1. 被搬送物を搬送する搬送部材と、
   前記被搬送物が前記搬送部材に吸着されたことの検知を行う第１の検知部と、
   前記第１の検知部の下流側に配置され、前記被搬送物が前記搬送部材に吸着搬送されたことの検知を行う第２の検知部とを有し、
   前記第２の検知部は、前記搬送部材に前記被搬送物を吸着させる空気流の流路中に配置されている被搬送物搬送装置であって、
   前記第２の検知部よりも上流側に、前記空気流を形成している空気中の異物をろ過するためのろ過部を有する被搬送物搬送装置。
2. 請求項１記載の被搬送物搬送装置において、
   前記空気流の流路を形成する流路形成部材を有することを特徴とする被搬送物搬送装置。
3. 請求項２記載の被搬送物搬送装置において、
   前記流路形成部材内に配置され前記空気流を形成する空気流形成部材を有することを特徴とする被搬送物搬送装置。
4. 請求項３記載の被搬送物搬送装置において、
   前記空気流形成部材がファンであることを特徴とする被搬送物搬送装置。
5. 請求項１ないし４の何れか１つに記載の被搬送物搬送装置において、
   前記第１の検知部が、前記搬送部材の、前記被搬送物を吸着する面と逆側の面に対向して配置された第１の検知部材を有することを特徴とする被搬送物搬送装置。
6. 請求項１ないし５の何れか１つに記載の被搬送物搬送装置において、
   前記第１の検知部及び第２の検知部は、前記検知を行う側が下向きに設けられていることを特徴とする被搬送物搬送装置。
7. 請求項１ないし６の何れか１つに記載の被搬送物搬送装置と、
   前記搬送部材に吸着される前記被搬送物を積載する積載部と、を有し、
   前記搬送部材が前記積載部に積載された前記被搬送物のうちの最上位の被搬送物を吸着すると、当該被搬送物がその下方から分離される被搬送物分離装置。
8. 請求項１ないし６の何れか１つに記載の被搬送物搬送装置、または、請求項７記載の被搬送物分離装置と、
   前記搬送部材によって搬送されてきた前記被搬送物の検査を行う検査部とを有する検査システム。
9. 請求項８記載の検査システムにおいて、
   前記検査部による前記検査の結果に応じて前記被搬送物を仕分ける仕分部を有する検査システム。

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