JP6721937B2 - 霧化装置 - Google Patents
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Description
処理室34にはエッチング対象物10が設置され、処理室34は支持台11上に載置されてエッチング処理が施される。
Claims (6)
- 反応種ないしは反応前駆体を溶解した原料液体を霧化する霧化装置であって、
前記原料液体を収容した原料容器と、
前記原料容器に対し超音波を照射する超音波発生部と、
前記原料容器と当接して配置され、前記超音波を伝達する伝達液体を保持する伝達液体容器と、
前記原料液体を前記原料容器に供給しながら、前記原料容器内の前記原料液体の液面高さを一定に保つ液面調整手段と、
前記原料液体を収容する前段容器と、
前記原料容器を一部として含み、前記原料液体を循環させる循環経路を有し、
前記原料容器に収容した前記原料液体に、前記伝達液体容器に収容された前記伝達液体を介して、前記超音波発生部から前記超音波を印加することにより前記原料液体を霧化し、
前記原料液体が前記前段容器内から前記原料容器に供給され、
前記前段容器は前記循環経路内に設けられ、前記前段容器内で前記原料液体に所定の気体を溶解させて前記原料容器に供給することを特徴とする霧化装置。 - 前記原料液体が一度脱気されていることを特徴とする請求項1に記載の霧化装置。
- 前記所定の気体は、霧化した前記原料液体を含む気体を供給先の装置に送気するためのキャリアガスの少なくとも1つであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の霧化装置。
- 前記前段容器内で原料液体に溶解させた後に余剰となった前記所定の気体を、前記前段容器から前記原料液体とは別経路で前記原料容器内に送気することを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の霧化装置。
- 前記キャリアガスと別の1つ以上の気体を、前記原料容器から供給先への経路で、霧化した前記原料液体に混合することを特徴とする請求項3に記載の霧化装置。
- 前記原料液体の温度を所定の温度に調整する温度調整手段を有することを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の霧化装置。
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