JP6718968B2 - 駆動ねじ装置、送液機構、及び送液方法 - Google Patents

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Description

本発明は、キャピラリ電気泳動装置及びその電気泳動装置に適した送液機構に関する。特に、キャピラリ又はキャピラリアレイに分離媒体となる電気泳動媒体であるゲルまたは流動性ポリマ溶液を充填する電気泳動装置及びその電気泳動装置に適したポンプ機構に関する。
特許文献1及び特許文献2においては、16本のキャピラリからなるキャピラリアレイを使用した電気泳動装置を開示している。キャピラリは、内径数十〜数百ミクロンの細管であり、主な材料は石英であり、石英の外側を厚さ数十ミクロン程度のポリイミドでコーティングして機械的強度を付与している。電気泳動の際には、キャピラリに、試料分離媒体となる成分を充填して使用する。
電気泳動分離媒体としては、非流動性の架橋型ポリマが使用されたこともあったが、近年は、生産性や性能安定性の点で優れた、非架橋型の流動性ポリマ溶液が主流になっている。特許文献1においては、試料分離媒体であるゲル又はポリマをキャピラリに充填するためのポンプ機構を開示している。ポンプ機構としては、ガラスシリンジを開示しているが、ガラスシリンジ以外にも、プランジャを駆動するポンプ機構を備えた電気泳動装置も存在する。
電気泳動装置では、内径数十〜数百ミクロンのキャピラリに一般的に高い粘性を有する流動性ポリマを充填するために高圧力で充填を行っている。圧力が低いと、ポリマ充填に時間がかかってしまい、装置の処理能力が劣化するからである。また、性能のばらつき、劣化を防止するために、ポリマ充填は測定毎に行っている。分析時間を短縮し、装置の処理能力を向上するためには、安定して高圧力を発生できるポンプ機構が必要になる。
特許文献3においてはポリマ充填のための圧力を発生させる手段として、ばねを利用する手法が開示されている。ばねを圧縮したときの伸びる力で送液するという、ばねの特性を利用したものである。
特許文献2においては、ポリマ充填のための圧力を発生させる手段として、モータの停動トルクを利用する手法が開示されている。負荷トルクが大きくなるにつれて回転数が下がり、やがて停止するというDCモータの特性を利用した方法である。
具体的には、以下のステップを繰り返して圧力をコントロールしている。(1)シリンジ内の圧力が所望の圧力まで上昇したら、負荷トルクが大きくなり、DCモータが停止する。(2)ポリマがキャピラリ内に進行し、シリンジ内の圧力が下がったらモータが回転を始める。この場合、所望の圧力でモータが停止するように、モータに流す電流値を調整して、トルク特性をコントロールしている。所望の圧力は、通常、流路系に漏れや損傷が発生しない程度に設定される。また、上記と同様な方式をステッピングモータで実現している電気泳動装置も存在する。
特開2001−281221号公報 特開2001−324473号公報 特開2008−298670号公報
本発明の課題は、キャピラリアレイに泳動媒体を充填するときの圧力を安定させ、送液量のばらつきを低減した装置及び方法を提供することである。
本発明の駆動ねじ装置は、駆動ねじと、前記駆動ねじを回転させる駆動部と、前記駆動ねじの回転により、前記駆動ねじにそって移動するスライダと、前記駆動ねじに設けられ、前記駆動ねじに回転負荷を加える外部負荷と、を備えている。
キャピラリアレイに泳動媒体を充填するときの圧力を安定させ、送液量のばらつきを低減することができる。
泳動媒体注入機構を備えた電気泳動装置の基本的構成を示す斜視図 泳動媒体注入機構を備えた電気泳動装置の基本的構成を示す上面図 泳動媒体注入機構を備えた電気泳動装置の基本的構成を示す断面図 キャピラリアレイの基本的構成図 泳動媒体容器詳細図 プランジャ駆動機構の実施例1を示す構成図 泳動媒体送液動作詳細図(初期状態) 泳動媒体送液動作詳細図(泳動媒体注入開始) 泳動媒体送液動作詳細図(泳動媒体注入終了) 実施例1での圧力およびプランジャ位置の時間変化を示す概略図
電気泳動装置では内径数十〜数百ミクロンのキャピラリに一般的に高い粘性を有する流動性の泳動媒体を充填するために高圧力で充填を行っている。圧力が低いと、泳動媒体の充填に時間がかかってしまい、装置の処理能力が劣化するからである。また、性能のばらつき、劣化を防止するために、泳動媒体の充填は測定毎に行っている。分析時間を短縮し、装置の処理能力を向上するためには、安定して高圧力を発生できるポンプ機構が必要になる。
また一般的に高価な流動性ポリマを充填するので、ランニングコストを抑えるために泳動媒体送液量を安定化させ、消費量を抑えたい。そのため送液圧力の安定化が必要である。
これまでの電気泳動装置のプランジャアクチュエータにおいては、駆動ねじによりモータの発生トルクを推力に変換し、推力により泳動媒体容器に圧力を発生させ送液を行う。発生トルクを推力に変換する過程において、駆動ねじ固有の摩擦力が大きいほど、摩擦力の変動が発生推力に与える影響が大きいが、その摩擦力によって送液反力を保持できた。
数μLの泳動媒体を注入する装置では、シリンジ型泳動媒体容器のシール径が小さくなるため、発生推力の変動による発生圧力に与える影響が大きい。発生圧力の変動は、泳動媒体の送液量ばらつきにつながるため、送液量安定化の面でも摩擦力の管理は重要である。
また駆動ねじの摩擦力は使用を続けると変動する。摩擦力は表面状態に影響されるため、表面状態の管理のために工作機械を変更しない等の対策を行っており、生産コスト増や、代替の生産方法が無い、定期的な圧力調整メンテナンスが必要という問題があった。
したがって本発明の課題は、キャピラリアレイに泳動媒体を充填するときに安定した圧力を得、送液量ばらつきを低減しランニングコストを抑えた電気泳動装置を提供すること、並びに高い吐出圧力を安定して発生することができる送液機構を提供することである。
図1に、本発明を適用したキャピラリ電気泳動装置の装置構成図を示す。本装置は、装置下部にあるオートサンプラーユニット117と、装置上部にある照射検出/恒温槽ユニット118の、二つのユニットに大きく分けることが出来る。
オートサンプラーユニット117には、サンプラーベース108の上にY軸駆動体109が搭載され、Y軸に駆動を行うことが出来る。Y軸駆動体109にはZ軸駆動体110が搭載され、Z軸に駆動を行うことが出来る。Z軸駆動体110の上にはサンプルトレイ112が搭載され、サンプルトレイ112の上に、泳動媒体容器102、陽極側緩衝液容器103、陰極側緩衝液容器104、サンプル容器105をユーザがセットする。サンプル容器105は、サンプルトレイ112上に搭載されたX軸駆動体111の上にセットされ、サンプルトレイ112上でサンプル容器105のみがX軸に駆動することが出来る。Z軸駆動体110には送液機構106も搭載される。この送液機構106は泳動媒体容器102の下方に配置される。
照射検出/恒温槽ユニット118には、恒温槽ユニット113、恒温槽ドア115があり、中を一定の温度に保つことが出来る。恒温槽ユニット113の後方には照射検出ユニット116が搭載され、電気泳動時の検出を行うことが出来る。恒温槽ユニット113の中に、キャピラリアレイ101をユーザがセットし、恒温槽ユニット113にてキャピラリアレイ101を恒温に保ちながら電気泳動を行い、照射検出ユニット113にて検出を行う。また、恒温槽ユニット113には、電気泳動のための高電圧印加時にGNDに落とすための電極114も搭載されてある。
上記のように、キャピラリアレイ101は恒温槽ユニット113に固定される。泳動媒体容器102、陽極側緩衝液容器103、陰極側緩衝液容器104、サンプル容器105は、オートサンプラーユニット117にてYZ軸に駆動することができ、サンプル容器105のみ、さらにX軸に駆動することが出来る。固定されたキャピラリアレイ101に、泳動媒体容器102、陽極側緩衝液容器103、陰極側緩衝液容器104、サンプル容器105が、オートサンプラーユニット118の動きで任意の位置に自動で接続することが出来る。
図2に、キャピラリ電気泳動装置を上面から見た図を示す。サンプルトレイ112上にセットされた陽極側緩衝液容器103には、陽極側洗浄層201、陽極側電気泳動用緩衝液層202、サンプル導入用緩衝液層203がある。また、陰極側緩衝液容器104には、廃液層204、陰極側洗浄層205、陰極側電気泳動用緩衝液層206がある。
泳動媒体容器102、陽極側緩衝液容器103、陰極側緩衝液容器104、サンプル容器105は図示のような位置関係に配置される。これにより、キャピラリアレイ101との接続の際の陽極側-陰極側の位置関係は、「泳動媒体容器102−廃液層204」、「陽極側洗浄層201−陽極側洗浄層205」、「陽極側電気泳動用緩衝液層202−陰極側電気泳動用緩衝液層206」、「サンプル導入用緩衝液層203−サンプル容器105」となる。
図3に、図2におけるA−A断面図を示す。泳動媒体容器102はサンプルトレイ112に埋め込まれたガイド301の中に挿入してセットされる。また、送液機構106は、送液機構106に内蔵されたプランジャ601が、泳動媒体容器102の下方になるように配置される。
電気泳動の際、キャピラリアレイ101の図3における右側が陰極側となり、左側が陽極側となる。オートサンプラーユニット117が「陽極側電気泳動用緩衝液層202-陰極側電気泳動用緩衝液層206」の位置に移動し、陰極側のキャピラリアレイ101に高電圧がかかり、陰極側緩衝液容器104、陽極側緩衝液容器103を介し、電極114にてGNDに流すことで電気泳動を行う。
図4に、キャピラリアレイ101の詳細図を示す。キャピラリアレイ101は、内径約φ50μm程度のガラス管であるキャピラリ401があり、キャピラリ401に検出部402が付いている。この検出部402を照射検出ユニット116にて検出する。キャピラリ401の陰極側端部には、ロードヘッタ406、SUSパイプ407が付いている。ロードヘッタ406の材質は、例えば絶縁特性が高く、比較トラッキング指数の高い樹脂であるPBT樹脂等が望ましい。ロードヘッタ406内部に、SUSパイプ407全ての導通を取る部品が内蔵されており、そこに高電圧をかけることで全てのSUSパイプ407に高電圧がかかる。このSUSパイプ407にキャピラリ401をそれぞれ通して固定する。陽極側は、複数本のキャピラリ401をキャピラリヘッド403にて一本に纏める。キャピラリヘッド403は、鋭角にして針状になったキャピラリヘッド先端405、キャピラリヘッド先端405より外径が太い部分であるキャピラリヘッドボス404を有する。キャピラリヘッド403の材質は、欠けにくく剛性もあり、薬品や分析に対して安定性の高い樹脂であるPEEK樹脂等が望ましい。
図は省略するが、キャピラリアレイ101を恒温槽ユニット113に固定の際、検出部402、ロードヘッタ406、キャピラリヘッド403をそれぞれ固定する。検出部402は照射検出ユニットで検出できる位置になるように、高精度で位置決めを行う。ロードヘッタ406は、固定の際に高電圧を印加する箇所と導通が取れるように固定する。キャピラリヘッド403は、キャピラリヘッド先端405が真下を向き、荷重に耐えられるよう強固に固定する。固定の際の陰極側、陽極側の位置関係は、装置にセットした時に複数本のキャピラリ401同士が重ならないような配置とする。
図5に、泳導媒体容器102の詳細図を示す。泳動媒体容器102は、シリンジ501の中に凹形状のシール502が内蔵され、上からゴム栓503を乗せてからキャップ504で封止する。キャップ504の上にはさらにフィルム505にて封止されている。シリンジ501の材質は、薄肉成型が可能な樹脂であるPP樹脂等が望ましい。シール502の材質は、摺動部の流体のシール等で良く使われる、摺動特性に優れる超高分子PE樹脂等が望ましい。ゴム栓503の材質は、分析に対して安定しているシリコンゴム等が望ましい。キャップ504の材質は、各容器のフィルム505と統一するため、PC樹脂等が望ましい。泳動媒体容器102には泳動媒体506が封入され、封入の際に入ってしまう空気507は上部に溜まるように封入する。泳動媒体506は複数回の分析が出来る容量が封入される。シール502は、外部から荷重をかけることでシリンジ501の内部を可動できるようになっている。
図6に、本実施例における送液機構106の概略図を示す。ステッピングモータ613は入力されたパルス数に応じて回転し、駆動ねじ602を回転させ、リードスクリュー604を直進運動させる。ステッピングモータ613の駆動方法は、例えば1―2相励磁とする。前記リードスクリュー604はスライダ603と結合し、スライダ603はプランジャ601と結合される。プランジャ601の位置制御はステッピングモータ613と一体になっているロータリーエンコーダ614で行う。スライダ603はリニアガイド609と接続され、駆動ねじ602軸方向に可動する。スライダ603には検知板610が結合され、送液機構ベース612に固定されたセンサ611に検出される。前記センサ611の検出位置は、プランジャ601の原点位置とする。
駆動ねじ602には回転負荷を与える外部負荷が取り付けられている。本実施例ではトルクリミッタ615を使用する。トルクリミッタ615は、内輪607と外輪606が同軸で嵌合された構造となっている。トルクリミッタ615の内輪607は中空構造となっている。また内輪607と外輪606は独立して回転可能である。内輪607と外輪6060の間には一定の回転抵抗がある。回転抵抗を与える方法としては、磨耗による影響を受けにくいマグネット式が好ましい。内輪607の中空部分に駆動ねじ602を貫通させ、駆動ねじ602を垂直に貫通する平行ピン608によって内輪607と勘合することで、駆動ねじ602と内輪607は同期して回転する。外輪60は、送液機構ベース612に固定されたトルクリミッタ外輪押さえ605によって、回転しないように固定される。この構造により駆動ねじ602に抵抗を与えることが可能となる。例えば外輪606を固定し、内輪607を回転させたときに45mN・mのトルクが必要なトルクリミッタ615を使用する。
続いて、泳動媒体506注入時の手順について説明する。また、各ポイントでのプランジャ601と泳動媒体容器102、及びキャピラリヘッド103の位置関係を図7〜10に示す。なお、プランジャ601を泳動媒体容器506に押し込む方向をステッピングモータ613の正転、プランジャ601を引き抜く方向をステッピングモータ613の反転として説明を行う。
図7に、泳動媒体506注入動作一連の動きである、初期状態の図を示す。前記した通り、泳動媒体容器102は、サンプルトレイ112に埋め込まれたガイド301内に挿入してセットされる。このとき、泳動媒体容器102の真下には、送液機構106のプランジャ601が配置され、プランジャ601の動きにて泳動媒体容器102内のシール502が可動できるようになっている。
図8に、泳動媒体506注入動作一連の動きである、泳動媒体506注入開始状態の図を示す。キャピラリヘッド403の接続後、送液機構106にてプランジャ601を駆動させることで、シール502を稼動させ、泳動媒体容器102内の体積を変化させて送液する。このとき、泳動媒体容器102内が高圧になり、泳動媒体容器102の各部品が膨張する。今回泳動媒体容器102は剛性が低いため、膨張量は大きく、不安定となる。そのため、泳動媒体容器102の膨張により、泳動媒体506の密閉性に対して大きな影響が出てくる。
そこで、ガイド301にてシリンジ501の膨張を押さえ込む。また、キャピラリヘッド403にてゴム栓503の膨張を押さえ込む。さらに、シール502の形状が凹形状となっているため、シール502が内圧で膨張したとき、より密閉される形状となっている。シリンジ501よりもシール502の方が膨張しやすい形状や強度にしておくことで、シリンジ501の膨張による影響も軽減することが出来る。具体的には、シリンジ501の肉厚を1mm、シール502の肉厚を0.6mm程度とし、膨張係数に差を設ける。これより、膨張による密閉性への影響を軽減させる。しかし、いくら膨張量を減らしても、膨張量を無くすことは出来ない。膨張量がばらつくことで、送液量管理に影響が出てくる。
そこで、送液に必要な圧力となるような駆動電流でステッピングモータ613を駆動させ、プランジャ601を駆動させる。今回送液に必要な圧力は3MPaとし、その圧力を発生させるため、プランジャ601の推力が75Nとなるよう、ステッピングモータ613の駆動電流を調整する。これにより泳動媒体容器102内が膨張するが、内圧が必要な圧力分高まった時点でステッピングモータ613が脱調する。
ここでステッピングモータ613の脱調について定義する。泳動媒体注入中、ステッピングモータ613は規定の電流、パルスレートで駆動された状態にある。プランジャ601には泳動媒体容器102の内圧を高めるため75Nの推力が発生している。送液中は泳動媒体容器102には3MPaの内圧が発生しているため、シール502はプランジャ601を押し戻す方向に送液反力が発生している。ここでプランジャ601を駆動する推力と送液反力がつりあったとき、駆動ねじ602の回転が止まる。駆動ねじ602の回転が止まると、ステッピングモータ613には一定パルスレートが与えられているが、パルスレートに追随して回転しない。そのときの状態を脱調と呼ぶこととする。前記ステッピングモータ613の脱調状態は、ロータリーエンコーダ614によって検出する。
ステッピングモータ613が脱調したとき、泳動媒体容器102は膨張し、内圧が設定値まで上昇したことになる。脱調を検知してからも、ステッピングモータ613は脱調をしながら駆動し続ける。泳動媒体506は徐々にキャピラリ401内を送液されていくため、徐々にプランジャ601が駆動していく。そして、泳動媒体容器102が膨張しきったことを検知した後に、プランジャ601が駆動した量をロータリーエンコーダ614で検知し、必要な泳動媒体506分の量をキャピラリ401に送液する。このような送液方法とすることで、泳動媒体容器102の膨張による影響を受けずに送液量を管理することが出来る。
ステッピングモータ613は、脱調させながら使用するとするとき、駆動力がない瞬間が発生する。加えて本実施例では、装置寿命までの経時的な圧力変動を減らすため、摩擦力が変動しても圧力変動すなわち推力の変動が少ない駆動ねじ602とする。これは駆動ねじ602の表面は経時的に変化し、摩擦力すなわち推力や保持力が変動するためである。経時的な圧力変動を減らすことができる駆動ねじ602として、例えばリード長の長いすべりねじや、ボールねじを使用する方法がある。前記駆動ねじ602は直動−回転変換作用をもつことがあり、送液反力により駆動ねじ602を反転させようとする力が発生する。直動―回転作用によって発生する力以上に軸に外部負荷を与えると、駆動ねじ602が反転しないので、圧力変動を抑えたで送液可能となる。したがって、駆動ねじ602の経時的な推力変動が少なく、かつ送液中は一定の圧力が得られる送液機構が実現可能となる。
図10は、本方式で泳動媒体506充填を行ったときの圧力の時間変化を模式的に示した図である。(a)は注入開始から注入終了までの圧力、(b)はプランジャ601位置を示す。送液圧力は開始から終了まで一定圧力である。プランジャ601位置は泳動媒体注入量に連動して動作し、送液圧力はほぼ一定のため、一定の速度で移動する。注入開始位置から設定量だけプランジャ601が移動するのをロータリーエンコーダ614で検知し、送液を終了する。泳動媒体容器102に、複数回分の泳動媒体506をあらかじめ入れておき、キャピラリ401の充填に必要な回数だけ繰り返す。
前記駆動ねじ602にトルクリミッタ615で外部負荷を与える方法としては、マグネット式だけでなく摩擦式でもよい。トルクリミッタ615でなくても、駆動ねじ602をボールねじとして与圧をかけて抵抗を与える、リニアガイド609に与圧を与えて抵抗を与える、電磁ブレーキつきステッピングモータ613で抵抗を与える、駆動ねじ602の表面状態を粗くする、駆動ねじ602とステッピングモータ613をギヤで接続しギヤ比を上げる方法で外部負荷を与えてもよい。
前記ステッピングモータ613の駆動方法は、1−2相励磁ではなく、1相励磁、2相励磁やマイクロステップでもよい。
ステッピングモータ613と駆動ねじ602は別体としカップリングで接続してもよい。もしくはステッピングモータ613と駆動ねじ602両方にギヤを接続し、ステッピングモータ613を折りたたむように接続してもよい。
泳動媒体容器102に水や洗浄液等の溶媒を封入し、前記送液機構106でキャピラリ401に送液することで、キャピラリ401を洗浄することもできる。
101:キャピラリアレイ
102:泳動媒体容器
103:陽極側緩衝液容器
104:陰極側緩衝液容器
105:サンプル容器
106:送液機構
108:サンプラーベース
109:Y駆動体
110:Z駆動体
111:X駆動体
112:サンプルトレイ
113:恒温槽ユニット
114:電極
115:恒温槽ドア
116:照射検出ユニット
117:オートサンプラーユニット
118:照射検出/恒温槽ユニット
201:陽極側洗浄層
202:陽極側電気泳動用緩衝液層
203:陽極側サンプル導入用緩衝液層
204:廃液層
205:陰極側洗浄層
206:陰極側電気泳動用緩衝液層
301:ガイド
401:キャピラリ
402:検出部
403:キャピラリヘッド
404:キャピラリヘッドボス
405:キャピラリヘッド先端
406:ロードヘッタ
407:SUSパイプ
501:シリンジ
502:シール
503:ゴム栓
504:キャップ
506:泳動媒体
507:空気
505:フィルム
601:プランジャ
602:ボールねじ
603:スライダ
604:ナット
605:トルクリミッタ外輪固定装置
606:トルクリミッタ外輪
607:トルクリミッタ内輪
608:平行ピン
609:リニアガイド
610:検知板
611:原点センサ
612:送液機構ベース
613:ステッピングモータ
614:ロータリーエンコーダ

Claims (16)

  1. 容器内の泳動媒体または洗浄液をキャピラリに送液する送液機構において、
    駆動ねじと、
    前記駆動ねじを回転させる駆動部と、
    前記駆動ねじの回転により、前記駆動ねじにそって移動するスライダと、
    前記駆動ねじに設けられ、前記駆動ねじの摩擦力とは独立に回転抵抗を前記駆動ねじに加える外部負荷と、を備え、
    前記スライダには、前記容器を前記キャピラリに向け押圧するプランジャが設けられ、
    前記外部負荷による回転抵抗は、送液反力が駆動ねじを反転させようとする力よりも大きいことを特徴とする送液機構。
  2. 請求項1に記載の送液機構において、
    前記外部負荷は、内輪部と外輪部が同軸ではめ合わされて成る、トルクリミッタである送液機構。
  3. 請求項1に記載の送液機構において、
    前記駆動部はステッピングモータである送液機構。
  4. 請求項1に記載の送液機構において、
    前記スライダに備えられた検知板と、検知板を検知するセンサとを有する送液機構。
  5. 請求項1に記載の送液機構において、
    前記駆動部はステッピングモータであり、
    前記駆動部の駆動を制御する制御部を備え、
    前記制御部は、前記ステッピングモータを脱調させながら駆動させる送液機構。
  6. 請求項5に記載の送液機構において、
    前記制御部は、前記プランジャの推力と送液反力がつりあった状態と、前記外部負荷と送液反力がつり合った状態と、前記プランジャの推力より送液反力が大きい状態とが繰り返すように前記駆動部を駆動させる送液機構。
  7. 請求項2に記載の送液機構において、
    前記内輪部と外輪部の間には回転抵抗を有する送液機構。
  8. 請求項7に記載の送液機構において、
    前記回転抵抗は磁力による送液機構。
  9. 請求項1に記載の送液機構において、
    前記駆動ねじは、すべりねじまたはボールねじである送液機構。
  10. 請求項2に記載の送液機構において、
    前記駆動ねじと前記内輪部は同期して回転し、前記外輪部は回転しないように固定されている送液機構。
  11. 請求項5に記載の送液機構において、
    前記ステッピングモータの脱調状態を検出する検出部を備えている送液機構。
  12. 請求項1〜11に記載のいずれかの送液機構において、
    前記プランジャは、サンプルトレイ上に保持された前記容器を下方から押すことにより前記泳動媒体または洗浄液をキャピラリに送液する送液機構。
  13. 駆動ねじの回転により、前記駆動ねじに沿って移動するスライダに取りつけられたプランジャによって、容器内の泳動媒体または洗浄液をキャピラリに送液する送液方法において、
    前記駆動ねじに対して、前記駆動ねじの摩擦力とは独立に回転抵抗を外部負荷として加え、前記外部負荷による回転抵抗は、送液反力が駆動ねじを反転させようとする力よりも大きいことを特徴とする送液方法。
  14. 請求項13に記載の送液方法において、
    前記外部負荷は、内輪部と外輪部が同軸ではめ合わされて成る、トルクリミッタである送液方法。
  15. 請求項13に記載の送液方法において、
    前記駆動ねじの回転制御は、ステッピングモータを脱調させながら駆動させる送液方法。
  16. 請求項13に記載の送液方法において、
    前記プランジャの推力と送液反力がつりあった状態と、前記外部負荷と送液反力がつり合った状態と、前記プランジャの推力より送液反力が大きい状態とが繰り返すように前記駆動ねじを駆動させる送液方法。
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