JP6717081B2 - 基板の欠陥検査装置、基板欠陥検査用の感度パラメータ値の調整方法及び記憶媒体 - Google Patents
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Description
前記感度パラメータ値の調整時に、調整後に使用する基準画素データを作成する基準画素データ作成部と、
前記感度パラメータ値を調整するための感度パラメータ値の調整部と、
前記感度パラメータ値を調整するために用いられ、前記基準画素データと比較して仮想検査をおこなうための仮想検査用の複数の基板を、前記感度パラメータ値の調整時よりも過去に検査した複数の基板の中から選択する仮想検査用の基板選択部と、を備え、
前記感度パラメータ値の調整部は、
選択された仮想検査用の基板の各画素値に対し、前記調整後に使用する基準画素データを用いて、各画素値がその位置に対応する許容範囲から外れているときには、外れ量と調整前の感度パラメータ値とを比較するステップと、外れ量が当該感度パラメータ値を越えておりかつ前記外れ量と当該感度パラメータ値との差異が閾値以下であるときには、前記外れ量を新たな感度パラメータ値として更新するステップと、この操作を前記過去に検査した複数の基板の画像データに対して順次行うと共に外れ量の比較対象である感度パラメータ値が更新されているときには更新された感度パラメータ値を用い、最後に更新された感度パラメータ値を調整後の感度パラメータとして記憶部に記憶するステップと、を実行するように構成されたことを特徴とする基板の欠陥検査装置。
前記感度パラメータ値の調整時に、調整後に使用する基準画素データを作成する工程と、
前記感度パラメータ値を調整する工程と、
前記感度パラメータ値を調整するために用いられ、前記基準画素データと比較して仮想検査をおこなうための仮想検査用の基板を、前記感度パラメータ値の調整時よりも過去に検査した複数の基板の中から選択する工程と、
選択された仮想検査用の基板の各画素値に対し、前記調整後に使用する基準画素データを用いて、各画素値がその位置に対応する許容範囲から外れているときには、外れ量と調整前の感度パラメータ値とを比較する工程と、
外れ量が当該感度パラメータ値を越えておりかつ前記外れ量と当該感度パラメータ値との差異が閾値以下であるときには、前記外れ量を新たな感度パラメータ値として更新する工程と、
この操作を前記過去に検査した複数の基板の画像データに対して順次行うと共に外れ量の比較対象である感度パラメータ値が更新されているときには更新された感度パラメータ値を用い、最後に更新された感度パラメータ値を調整後の感度パラメータとして記憶部に記憶する工程と、
を含むことを特徴とする。
前記コンピュータプログラムは、上記の基板欠陥検査用の感度パラメータ値の調整方法を実行するようにステップ群が組まれていることを特徴とする。
Z1,n=0,m=0
(1)
Z2,n=1,m=1
(r・cosθ)
Z3,n=0,m=−1
(r・sinθ)
Z4,n=2,m=0
(2r2−1)
Z5,n=2,m=2
(r2・cos2θ)
Z6,n=2,m=−2
(r2・sin2θ)
Z7,n=3,m=1
((3r3−2r)・cosθ)
Z8,n=3,m=−1
((3r3−2r)・sinθ)
Z9,n=4,m=0
(6r4−6r2+1)
しかし、上記の外れ量と最終判定閾値とを用いた比較において、外れ量が最終判定閾値を越えていると判断された場合は、検査対象のウエハWは欠陥ウエハWであるものと判断され、パラメータDの更新及びゼルニケ係数Ziの上限閾値及び下限閾値の更新は行われない。
1 塗布、現像装置
2 撮像モジュール
3 データ蓄積用コンピュータ
4 データ解析用コンピュータ
42〜46 プログラム
Claims (9)
- 検査対象である基板の表面全体を撮像して得られた画像データの各画素値に対し、各位置と画素値の許容範囲とを対応付けた基準画素データを用いて、各画素値がその位置に対応する前記許容範囲から外れているときには、外れ量と外れ許容量である感度パラメータ値とを比較して外れ量が感度パラメータ値を越えているときに当該基板を欠陥基板と判断する基板の欠陥検査装置において、
前記感度パラメータ値の調整時に、調整後に使用する基準画素データを作成する基準画素データ作成部と、
前記感度パラメータ値を調整するための感度パラメータ値の調整部と、
前記感度パラメータ値を調整するために用いられ、前記基準画素データと比較して仮想検査をおこなうための仮想検査用の複数の基板を、前記感度パラメータ値の調整時よりも過去に検査した複数の基板の中から選択する仮想検査用の基板選択部と、を備え、
前記感度パラメータ値の調整部は、
選択された仮想検査用の基板の各画素値に対し、前記調整後に使用する基準画素データを用いて、各画素値がその位置に対応する許容範囲から外れているときには、外れ量と調整前の感度パラメータ値とを比較するステップと、外れ量が当該感度パラメータ値を越えておりかつ前記外れ量と当該感度パラメータ値との差異が閾値以下であるときには、前記外れ量を新たな感度パラメータ値として更新するステップと、この操作を前記過去に検査した複数の基板の画像データに対して順次行うと共に外れ量の比較対象である感度パラメータ値が更新されているときには更新された感度パラメータ値を用い、最後に更新された感度パラメータ値を調整後の感度パラメータとして記憶部に記憶するステップと、を実行するように構成されたことを特徴とする基板の欠陥検査装置。 - 検査対象である基板の表面全体を撮像して得られた画像データの各画素値は、三原色であるR(赤)、G(緑),B(青)の各々の画素値であり、
基準画素データは、R、G、B毎に各位置と画素値の許容範囲とを対応付けたデータであることを特徴とする請求項1記載の基板の欠陥検査装置 - 前記基準画素データ作成部は、前記感度パラメータ値の調整時よりも過去に検査した複数の基板の各々に対して、画素の平面分布をゼルニケ関数で分解してゼルニケ係数を取得し、各基板の同じゼルニケ係数について当該複数の基板の平均値から予め設定した離れ度合よりも小さい基板群を選択し、選択された基板群に基づいて基準画素データを作成するように構成されたことを特徴とする請求項1または2に記載の基板の欠陥検査装置
- 前記仮想検査用の基板選択部は、前記感度パラメータ値の調整時よりも過去に検査した複数の基板の各々に対して、画素の平面分布をゼルニケ関数で分解してゼルニケ係数を取得し、各基板の同じゼルニケ係数である特徴量について当該複数の基板の平均値から予め設定した離れ度合よりも離れた基板群を選択するように構成されたことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一項に記載の基板の欠陥検査装置
- 前記感度パラメータ値の調整後に、実際に検査される検査対象の基板について画素の平面分布をゼルニケ関数で分解してゼルニケ係数である特徴量を取得し、この特徴量が閾値から外れているか否かを監視し、この監視結果に基づいて、前記感度パラメータ値の調整のタイミングを決定する監視部と、
前記監視部で使用される監視用閾値を作成する監視用閾値作成部と、を備え、
前記監視用閾値作成部は、前記感度パラメータ値の調整時に行われる仮想検査時において、前記選択された仮想検査用の基板について、前記許容範囲から外れていないか、外れていても前記外れ量が前記感度パラメータ値を越えていないか、あるいは前記外れ量と当該感度パラメータ値との差異が前記閾値以下である場合には、当該基板の前記特徴量を前記監視用閾値の候補値とし、この操作を前記選択された仮想検査用の基板について順次行って、最終的に得られた候補値を、前記監視用閾値として決定することを特徴とする請求項4記載の基板の欠陥検査装置。 - 前記感度パラメータ値は、基板の領域に応じて決められていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一項に記載の基板の欠陥検査装置。
- 検査対象である基板の表面全体を撮像して得られた画像データの各画素値に対し、各位置と画素値の許容範囲とを対応付けた基準画素データを用いて、各画素値がその位置に対応する前記許容範囲から外れているときには、外れ量と外れ許容量である感度パラメータ値とを比較して外れ量が感度パラメータ値を越えているときに当該基板を欠陥基板と判断する欠陥検査装置に用いられる感度パラメータ値を調整する方法において、
前記感度パラメータ値の調整時に、調整後に使用する基準画素データを作成する工程と、
前記感度パラメータ値を調整する工程と、
前記感度パラメータ値を調整するために用いられ、前記基準画素データと比較して仮想検査をおこなうための仮想検査用の基板を、前記感度パラメータ値の調整時よりも過去に検査した複数の基板の中から選択する工程と、
選択された仮想検査用の基板の各画素値に対し、前記調整後に使用する基準画素データを用いて、各画素値がその位置に対応する許容範囲から外れているときには、外れ量と調整前の感度パラメータ値とを比較する工程と、
外れ量が当該感度パラメータ値を越えておりかつ前記外れ量と当該感度パラメータ値との差異が閾値以下であるときには、前記外れ量を新たな感度パラメータ値として更新する工程と、
この操作を前記過去に検査した複数の基板の画像データに対して順次行うと共に外れ量の比較対象である感度パラメータ値が更新されているときには更新された感度パラメータ値を用い、最後に更新された感度パラメータ値を調整後の感度パラメータとして記憶部に記憶する工程と、
を含むことを特徴とする基板欠陥検査用の感度パラメータ値の調整方法。 - 検査対象である基板の表面全体を撮像して得られた画像データの各画素値は、三原色であるR(赤)、G(緑),B(青)の各々の画素値であり、
基準画素データは、R、G、B毎に各位置と画素値の許容範囲とを対応付けたデータであることを特徴とする請求項7記載の基板欠陥検査用の感度パラメータ値の調整方法。 - 検査対象である基板の表面全体を撮像して得られた画像データの各画素値に対し、各位置と画素値の許容範囲とを対応付けた基準画素データを用いて、各画素値がその位置に対応する前記許容範囲から外れているときには、外れ量と外れ許容量である感度パラメータ値とを比較して外れ量が感度パラメータ値を越えているときに当該基板を欠陥基板と判断する基板の欠陥検査装置に用いられるコンピュータプログラムを記憶する記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項7または8に記載の基板欠陥検査用の感度パラメータ値の調整方法を実行するようにステップ群が組まれていることを特徴とする記憶媒体。
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