JP6714609B2 - 部品装着ヘッド - Google Patents

Description

本発明は、部品装着ヘッドに関する。

例えば、特許文献１には、部品を吸着して基板に装着する部品装着ヘッドが記載されている。この部品装着ヘッドは、ヘッド本体に昇降可能に保持される昇降軸と、昇降軸の下端部に昇降可能に保持される吸着ノズルと、昇降軸をヘッド本体に対し昇降させる第一昇降装置と、吸着ノズルのフランジ部の上面をローラの外周面で下方に押圧して吸着ノズルを昇降軸に対し昇降させる第二昇降装置とを備える。

国際公開第２０１４／８０４７２号

上述の部品装着ヘッドでは、ローラの外周面は吸着ノズルのフランジ部の上面と線接触するように配置されている。このため、ローラの外周面がフランジ部の上面の外周縁を押圧する場合があり、この場合は下方のみならず水平方向にも押圧力が掛かり、吸着ノズルが昇降する際の摺動抵抗となって吸着ノズルの昇降動作に悪影響を及ぼすおそれがある。

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、昇降可能な吸着ノズルの昇降動作を良好に行える部品装着ヘッドを提供することにある。

上述した課題を解決するために、本発明の部品装着ヘッドは、ヘッド本体と、ヘッド本体に昇降可能に保持される昇降軸と、昇降軸に昇降可能に保持され、下端部にて部品を吸着するノズル部及びノズル部から径方向外方に延在するフランジ部を有する吸着ノズルと、昇降軸をヘッド本体に対し昇降させる第一昇降装置と、端面が吸着ノズルのフランジ部の中心側を向くように配置されるローラを有し、ローラでフランジ部の上面を下方に押圧して吸着ノズルを昇降軸に対し昇降させる第二昇降装置と、を備え、ローラの外周面のうちフランジ部の中心側の縁部のみが、フランジ部の上面に当接する。

これにより、ローラにおけるフランジ部の中心側の縁部のみが吸着ノズルのフランジ部の上面と当接するので、その当接位置は点接触となる。よって、ローラはフランジ部の上面の外周縁を押圧することはなく、フランジ部には水平方向の押圧力が掛かり難くなるので、吸着ノズルの昇降動作を良好に行うことができる。また、ローラがフランジ部の上面に点接触で押圧するとき、吸着ノズルと昇降軸との摺動部分に掛かるモーメントは、ローラがフランジ部の上面の外周縁を押圧するときの上記モーメントに比べて小さくなるので、吸着ノズルが昇降軸に対し下降するときの摺動抵抗の発生を抑制できる。

また、本発明の部品装着ヘッドは、ヘッド本体と、前記ヘッド本体に昇降可能に保持される昇降軸と、前記昇降軸に昇降可能に保持され、下端部にて前記部品を吸着するノズル部及び前記ノズル部から径方向外方に延在するフランジ部を有する吸着ノズルと、前記昇降軸を前記ヘッド本体に対し昇降させる第一昇降装置と、前記フランジ部の外周縁よりも内側の上面を点接触で下方に押圧して前記吸着ノズルを前記昇降軸に対し昇降させる第二昇降装置と、を備え、前記第二昇降装置が押圧する前記フランジ部の上面の半径位置と押圧力とから求まる前記吸着ノズルに加わる回転モーメントが所定値以下となるように、前記第二昇降装置が前記フランジ部の上面に対して設けられる。これにより、第二昇降装置はフランジ部の上面の外周縁を押圧することはなく、フランジ部には水平方向の押圧力が掛かり難くなり、吸着ノズルが昇降軸に対し降下するときの摺動抵抗の発生を抑制できるので、吸着ノズルの昇降動作を良好に行うことができる。

本発明の実施形態の部品装着ヘッドを備える部品実装機の概略構成を上方から見た図である。 部品装着ヘッドを水平方向に見た図である。 部品装着ヘッドの吸着ノズル周辺を水平方向に見た一部断面図である。 吸着ノズル周辺を図３の矢印Ａ方向から見た一部断面図である。 第二昇降装置のローラ及び吸着ノズルのフランジ部の配置を上方から見た図である。 第二昇降装置のローラ及び吸着ノズルのフランジ部の配置を水平方向に見た図である。 吸着ノズルへの押圧力の部品装着の際の経時的変化を示すグラフである。 第二昇降装置のローラ及び吸着ノズルのフランジ部の第一の変形例の配置を上方から見た図である。 第二昇降装置のローラ及び吸着ノズルのフランジ部の第一の変形例の配置を水平方向に見た図である。 第二昇降装置のローラ及び吸着ノズルのフランジ部の第二の変形例の配置を上方から見た図である。 第二昇降装置のローラ及び吸着ノズルのフランジ部の第二の変形例の配置を水平方向に見た図である。 第二昇降装置のローラ及び吸着ノズルのフランジ部の第三の変形例の配置を上方から見た図である。 第二昇降装置のローラ及び吸着ノズルのフランジ部の第三の変形例の配置を水平方向に見た図である。

（１．部品装着ヘッドを備える部品実装機の構成）
以下、本発明の実施の形態の部品装着ヘッドを備える部品実装機について、図面に基づいて説明する。なお、図において、基板の搬送方向をＹ方向、Ｙ方向と水平方向に直角な方向をＸ方向、Ｘ，Ｙ方向に直角な方向をＺ方向という。このＺ方向が、以下で説明する昇降方向（上下方向）となる。
図１に示すように、部品実装機１は、基板搬送装置２と、部品供給装置３と、部品移載装置４等とを備える。
基板搬送装置２は、コンベア式の搬送装置であり、基板ＰＢを一対のガイドレール５ａ，５ｂで案内しつつ一対のコンベアベルト６ａ，６ｂで部品実装位置まで搬送し、クランプ装置７でコンベアベルト６ａ，６ｂから押し上げてクランプし位置決め固定する。

部品供給装置３は、複数の部品を収容したキャリアテープが巻回されたリールＲを後部に搭載可能な複数のカセット式のフィーダＦを備え、リールＲからキャリアテープを所定ピッチで引き出し、部品をフィーダＦの前部に順次送り込む。
部品移載装置４は、部品を吸着して移送する装置であり、フィーダＦの前部に送り込まれる部品を、ロータリー式の部品装着ヘッド１０の吸着ノズル２２で吸着して上昇しつつ、ヘッド移動レール８ａ，８ｂ，８ｃに沿って部品実装位置に位置決めされた基板ＰＢまで移送し、吸着ノズル２２を下降させて部品を基板ＰＢ上の部品装着位置に装着する。

（２．部品装着ヘッドの構成）
図２に示すように、部品装着ヘッド１０は、ヘッド本体１２と、ヘッド本体１２に昇降可能且つＺ軸線回りに回転可能に保持される昇降軸１４と、昇降軸１４に昇降可能に保持される吸着ノズル２２と、昇降軸１４をヘッド本体１２に対し昇降させる第一昇降装置と、吸着ノズル２２を昇降軸１４に対し昇降させる第二昇降装置と、昇降軸１４をヘッド本体１２に対し回転させる回転装置と、第一、第二昇降装置及び回転装置等の作動を制御する制御装置１１０等とを備える。

第一昇降装置は、第一リニアモータ１８及び第一昇降駆動部材８２等で構成され、第二昇降装置は、第二リニアモータ８０、第二昇降駆動部材８５、ローラ８６、ロードセル１０６及び付勢スプリング５８等で構成される。また、回転装置は、回転モータ１０２及びギヤ１００，１０４等で構成される。制御装置１１０には、第一リニアモータ１８、第二リニアモータ８０、ロードセル１０６、回転モータ１０２、エア制御弁６７が接続される。

部品装着ヘッド１０は、吸着ノズル２２で吸着した部品Ｐを基板ＰＢに装着する際、部品Ｐに過大な装着力による衝撃が掛からないように、第一リニアモータ１８が第一昇降駆動部材８２を下降させることで昇降軸１４及び第二リニアモータ８０を下降させるとともに、第二リニアモータ８０が第二昇降駆動部材８５及びローラ８６を下降させることで吸着ノズル２２を押圧して下降させる。そして、詳細は後述するが、部品装着ヘッド１０は、課題で説明した吸着ノズル２２の昇降動作に悪影響を及ぼす水平方向の押圧力が吸着ノズル２２に掛からないように構成されている。なお、この部品装着の前には、必要に応じて回転モータ１０２が昇降軸１４とともに吸着ノズル２２を回転させ、吸着ノズル２２に吸着した部品Ｐの回転姿勢を修正ないし変更する。

ヘッド本体１２には、昇降軸１４を昇降可能且つ回転可能に保持する軸保持部１６、第一リニアモータ１８を固定的に保持するモータ保持部２０、第一昇降駆動部材８２の昇降を案内する一対のガイド９２、及び回転モータ１０２等が設けられる。
吸着ノズル２２は、ノズル部３４、フランジ部３２及びホルダ部２６を有する。詳細は後述するが、吸着ノズル２２は、ノズル部３４、フランジ部３２及びホルダ部２６が一体的に、昇降軸１４に対して着脱（交換）可能になっている。

図３及び図４に示すように、ノズル部３４は、下端部にて部品Ｐの吸着が可能な管状に形成される。フランジ部３２は、円板部３０と、円板部３０と一体的に円板部３０の中心に貫通形成される中空の軸部２８と、円板部３０の上面に固定的に付設される円筒状のばね保持筒３６とを有する。軸部２８の下端部には、ノズル部３４が嵌入され、円板部３０より上方の軸部２８の外周には、ホルダ部２６の下部内周に嵌入されるスプライン機能を有するベアリング３７が嵌合される。これにより、フランジ部３２は、ホルダ部２６に対して昇降可能に保持される。

ホルダ部２６は、円筒状に形成されて上端には蓋６０が付設され、上部外周が昇降軸１４の下端部の装着穴２３に着脱可能に保持され、下部外周がフランジ部３２のばね保持筒３６で覆われる。ホルダ部２６の下端には、外鍔５６が設けられ、ばね保持筒３６の上端には、内鍔５４が設けられており、圧縮コイルスプリングである付勢スプリング５８が、外鍔５６と内鍔５４とに両端を支持される状態で、ホルダ部２６とばね保持筒３６との間に配設される。

フランジ部３２の軸部２８の上部には、横方向に貫通する上下方向において長い長穴４２が設けられる。一方、ホルダ部２６には、その長穴４２と向かい合う位置に一対の穴４４が設けられる。そして、係止ピン４６が、長穴４２と一対の穴４４とを挿通するようにしてホルダ部２６に固定される。この係止ピン４６におけるホルダ部２６から延び出る両端の部分は、昇降軸１４の下部に設けられる一対のＪスロット４８と係合される（図２参照）。そして、一対のＪスロット４８と係合する係止ピン４６は、昇降軸１４の下部外周に挿入される圧縮コイルスプリング５０及び係止環５２で成るロック機構によって固定される。これにより、吸着ノズル２２は、一対のＪスロット４８を介して昇降軸１４に対し着脱可能となる。

以上の構成により、ホルダ部２６は、昇降軸１４に対して昇降及び回転が規制される。一方、フランジ部３２は、長穴４２と係止ピン４６とによって規制される可動範囲、すなわち長穴４２の長さと係止ピン４６の直径との差に応じた分だけ、ホルダ部２６（昇降軸１４）に対して昇降可能となる。図３及び図４においては、付勢スプリング５８は、フランジ部３２を昇降軸１４に対して上方に付勢しており、フランジ部３２は、上記可動範囲における上昇端に位置決めされる。

図２に戻って、第一リニアモータ１８には、第一昇降駆動部材８２が取り付けられる。第一昇降駆動部材８２は、ヘッド本体１２の軸保持部１６の外側を昇降軸１４の軸線に沿ってＺ方向に延在し、中間部に係合部８４が設けられ、下端部に第二リニアモータ８０が保持される。第一リニアモータ１８は、第一昇降駆動部材８２で昇降軸１４及び第二リニアモータ８０を共に昇降させる。

第二リニアモータ８０には、第二昇降駆動部材８５が取り付けられる。第二昇降駆動部材８５は、吸着ノズル２２の軸線に沿ってＺ方向に延在し、中間部にロードセル１０６が設けられ、下端部にフランジ部３２の円板部３０の上面３０ａに当接するローラ８６が回転可能に保持される。第二リニアモータ８０は、第二昇降駆動部材８５でロードセル１０６及びローラ８６を共に昇降させる。

第二リニアモータ８０は、ローラ８６でフランジ部３２の円板部３０の上面３０ａを付勢スプリング５８の付勢力に抗して下方に押圧することで、フランジ部３２をホルダ部２６に対し下降させ、ローラ８６の押圧力を緩めることで付勢スプリング５８の付勢力により、フランジ部３２をホルダ部２６に対し上昇させる。すなわち、第二リニアモータ８０は、吸着ノズル２２を昇降軸１４に対し昇降させる。ロードセル１０６は、ローラ８６で円板部３０を押圧したときのＺ方向の押圧力を検出する。すなわち、ロードセル１０６の検出押圧力は、付勢スプリング５８が吸着ノズル２２に作用する上向きの力と、部品Ｐを基板ＰＢに装着する際に部品Ｐを介して基板ＰＢが吸着ノズル２２に作用する上向きの力との和となる。

図５Ａ及び図５Ｂに詳細に示すように、ローラ８６は、円筒状に形成され、一端面８６ａがフランジ部３２の円板部３０の中心Ｃ側を向き、ローラ８６における円板部３０の中心Ｃ側の位置がローラ８６における円板部３０の中心Ｃ側とは反対側の位置より下方に位置するように、ローラ８６の中心軸線Ｌを傾斜させて配置される。ローラ８６は円筒外周面を有し、円板部３０の上面３０ａは水平面であるので、ローラ８６の外周面のうち円板部３０の中心Ｃ側の縁部８６ｂのみが、円板部３０の上面３０ａに当接する。

このように、ローラ８６における円板部３０の中心Ｃ側の縁部８６ｂのみが円板部３０の上面３０ａと当接するので、その当接位置ＰＰは点接触となる。これにより、ローラ８６は円板部３０の上面３０ａの外周縁３０ｂを押圧することはなく、円板部３０には水平方向の押圧力が掛かり難くなるので、吸着ノズル２２の昇降動作を良好に行うことができる。

別の見方をすると、フランジ部３２の軸部２８がホルダ部２６に対し下降するとき、ローラ８６が押圧するフランジ部３２の円板部３０の上面３０ａの半径位置、すなわち上述の当接位置ＰＰとローラ８６の押圧力とから求まる吸着ノズル２２に加わる回転モーメントが所定値を超えると、ベアリング３７において過大な摺動抵抗が発生し、吸着ノズル２２の昇降動作に支障を来すおそれがある。そこで、係る摺動抵抗の発生を抑制するために、上述の回転モーメントが所定値以下となるように、ローラ８６をフランジ部３２の円板部３０の上面に対して設ける。これにより、吸着ノズル２２の昇降動作を良好に行うことができる。

図２に戻って、回転モータ１０２の回転軸に固定されたギヤ１０４は、昇降軸１４のフランジ８８の上方に固定されたギヤ１００と噛み合わされる。ギヤ１００，１０４は、昇降軸１４の昇降を許容しつつ、回転モータ１０２の回転を昇降軸１４に伝達する。昇降軸１４の回転は、係合状態のＪスロット４８と係止ピン４６及びスプライン機能を有するベアリング３７によって吸着ノズル２２に伝達される。

（３．部品装着の際の部品装着ヘッドの制御）
部品装着ヘッド１０においては、吸着ノズル２２に吸着した部品Ｐを基板ＰＢに装着する際、ローラ８６でフランジ部３２の円板部３０を押圧して吸着ノズル２２を昇降軸１４に対し下降させる。このとき、ローラ８６の外周面が円板部３０の上面３０ａの外周縁３０ｂを押圧すると、下方のみならず水平方向にも押圧力が掛かり、吸着ノズル２２が昇降する際の摺動抵抗となって吸着ノズル２２の昇降動作に悪影響を及ぼすおそれがある。

部品装着ヘッド１０においては、ローラ８６における円板部３０の中心Ｃ側の縁部８６ｂのみが円板部３０の上面３０ａと当接するので、その当接位置ＰＰは点接触となる。これにより、ローラ８６は、円板部３０の上面３０ａの外周縁３０ｂを押圧することはなく、円板部３０には水平方向の押圧力が掛かり難くなるので、吸着ノズル２２の昇降動作を良好に行うことができる。

また、部品装着ヘッド１０においては、吸着ノズル２２に吸着した部品Ｐを基板ＰＢに装着する際、過大な装着力で部品Ｐに衝撃を与えるおそれがある。また、設定された装着力で部品Ｐを基板ＰＢに押し付けないと、基板ＰＢに印刷されているクリームはんだに対し部品Ｐを確実に実装できない場合がある。制御装置１１０は、過大な装着力で部品Ｐが受ける衝撃を緩和するため、及び適正な装着力で部品Ｐを基板ＰＢに押し付けるために、図６に示すロードセル１０６による検出押圧力に基づいて、第二リニアモータ８０によるローラ８６の円板部３０に対する押圧力を制御する。

制御装置１１０は、部品装着の際に第一リニアモータ１８を作動させて吸着ノズル２２を下降させるが、図６に示す部品Ｐが基板ＰＢに当接するまでの期間Ａでは、付勢スプリング５８を圧縮させつつ吸着ノズル２２のフランジ部３２をホルダ部２６に対して所定量下降させる状態となるように、第二リニアモータ８０を作動させる。すなわち、制御装置１１０は、ロードセル１０６による検出押圧力の変化に基づいて部品Ｐが基板ＰＢに当接する時間を検出し続け、部品Ｐが基板ＰＢに当接した時間を検出した時、部品Ｐに加わる装着力を小さくして設定された装着力となるようにするため、第二リニアモータ８０に供給する電流を減少するフィードバック制御を行い、ローラ８６の円板部３０に対する押圧力を小さくする。

制御装置１１０は、部品Ｐが基板ＰＢに当接する際に部品Ｐに掛かる装着力が設定された装着力を超えて過大となるまでの間に少なくとも２サイクルの制御サイクルが実行可能である高周波制御系とされており、フィードバック制御の応答性は良好となる。フィードバック制御は、応答性が悪いと、図６の二点鎖線で示すように、当接の際に部品Ｐにかかる装着力は大きくなるが、制御装置１１０のフィードバック制御は、応答性が良好であるので、図６の実線で示すように、当接の際に部品Ｐにかかる装着力は小さく抑制される。

制御装置１１０は、部品Ｐを基板ＰＢに当接して設定時間経過後、第一エア通路を介して吸着ノズル２２のノズル側通路６８に供給していた負圧を解除し、部品Ｐの吸着ノズル２２への吸着を解除する。負圧の解除は、ノズル側通路６８を大気圧に開放することによって行ってもよいが、部品Ｐの吸着をより効果的に解除するために、第一エア通路を介してノズル側通路６８に正圧を供給することによって行う。この正圧を供給して設定時間経過後、第一リニアモータ１８を作動して吸着ノズル２２を上昇する。これにより、部品Ｐは基板ＰＢに載置された状態で残り、部品Ｐの基板ＰＢへの装着が完了する。

（４．変形例）
上述の実施形態では、ローラ８６を円筒状に形成し、ローラ８６の中心軸線Ｌを傾斜させて配置する構成としたが、図７Ａ及び図７Ｂに示すように、ローラ８７を大径側の端面８７ａがフランジ部３２の円板部３０の中心Ｃ側に位置する円錐台状に形成し、ローラ８７の中心軸線ＬＬを水平に配置する構成としてもよい。これにより、ローラ８７の大径側の端面８７ａの縁部８７ｂは、円板部３０の外周縁３０ｂよりも内側の上面３０ａ（当接位置ＰＰ）を点接触で押圧できるので、ローラ８７は円板部３０の上面３０ａの外周縁３０ｂを押圧することはなく、円板部３０には水平方向の押圧力が掛かり難くなるので、吸着ノズル２２の昇降動作を良好に行うことができる。

また、上述の実施形態では、フランジ部３２の円板部３０の上面３０ａを水平面とする構成としたが、図８Ａ及び図８Ｂに示すように、フランジ部３２の円板部３１の上面３１ａを円板部３１の中心ＣＣから外方に向かって下方に傾斜する円錐状の面とする構成としても上記効果と同様の効果が得られる。この場合、図８Ａ及び図８Ｂには中心軸線Ｌを水平に配置した円筒状のローラ８６を適用した場合を示すが、中心軸線ＬＬを水平に配置した円錐台状のローラ８７も適用できる。

また、図９Ａ及び図９Ｂに示すように、フランジ部３２の円板部３１の上面３１ａを円板部３１の中心ＣＣから外方に向かって下方に傾斜する円錐状の面とする構成としたとき、中心軸線Ｌを上述の実施形態と同様に傾斜させて配置した円筒状のローラ８６も適用できる。また、図示省略するが、中心軸線ＬＬを上述の実施形態と同様に傾斜させて配置した円錐台状のローラ８７も適用できる。

また、ローラ８６の外周面のうち円板部３０の中心Ｃ側の縁部８６ｂのみが、フランジ部３２の円板部３０の上面３０ａに当接すれば、上記変形例以外の態様でもよい。例えば、円筒状のローラ８６を傾斜させて配置した態様において、円板部３０の上面３０ａが中心Ｃ側に向かって下方に傾斜していても、この傾斜角度よりもローラ８６の中心軸線Ｌの傾斜角度が大きければよい。

（５．効果）
本実施形態の部品装着ヘッド１０は、ヘッド本体１２と、ヘッド本体１２に昇降可能に保持される昇降軸１４と、昇降軸１４に昇降可能に保持され、下端部にて部品Ｐを吸着するノズル部３４及びノズル部３４から径方向外方に延在するフランジ部３２を有する吸着ノズル２２と、昇降軸１４をヘッド本体１２に対し昇降させる第一昇降装置１８，８２と、端面が吸着ノズル２２のフランジ部３２の中心側を向くように配置されるローラ８６，８７を有し、ローラ８６，８７でフランジ部３２の上面を下方に押圧して吸着ノズル２２を昇降軸１４に対し昇降させる第二昇降装置５８，８０，８５，８６，１０６と、を備え、ローラ８６，８７の外周面のうちフランジ部３２の中心側の縁部のみが、フランジ部３２の上面に当接する。

これにより、ローラ８６，８７におけるフランジ部３２の円板部３０，３１の中心Ｃ，ＣＣ側の縁部８６ａ，８７ａのみが吸着ノズル２２のフランジ部３２の円板部３０，３１の上面３０ａ，３１ａと当接するので、その当接位置ＰＰは点接触となる。よって、ローラ８６，８７はフランジ部３２の円板部３０，３１の上面３０ａ，３１ａの外周縁３０ｂ，３１ｂを押圧することはなく、フランジ部３２には水平方向の押圧力が掛かり難くなるので、吸着ノズル２２の昇降動作を良好に行うことができる。また、ローラ８６，８７がフランジ部３２の円板部３０，３１の上面３０ａ，３１ａに点接触で押圧するとき、吸着ノズル２２と昇降軸１４との摺動部分に掛かるモーメントは、ローラ８６，８７がフランジ部３２の円板部３０，３１の上面３０ａ，３１ａの外周縁３０ｂ，３１ｂを押圧するときの上記モーメントに比べて小さくなるので、吸着ノズル２２が昇降軸１４に対し下降するときの摺動抵抗の発生を抑制できる。

また、ローラ８６は、円筒外周面を有し、ローラ８６の中心軸線Ｌは、ローラ８６のフランジ部３２の円板部３０の中心Ｃ側の位置がローラ８６のフランジ部３２の円板部３０の中心Ｃ側とは反対側の位置より下方に位置するように傾斜するようにしてもよい。また、ローラ８７は、大径側がフランジ部３２の円板部３０，３１の中心Ｃ，ＣＣ側に位置する円錐台状の外周面を有するようにしてもよい。また、フランジ部３２の円板部３１の上面のうちローラ８６，８７に当接する部位は、フランジ部３２の円板部３１の中心ＣＣから外方に向かって下方に傾斜する円錐状の面であるようにしてもよい。これらにより、ローラ８６，８７は、フランジ部３２の円板部３０，３１の外周縁３０ｂ，３１ｂよりも内側の上面を点接触で押圧できる。

また、部品装着ヘッド１０は、第二昇降装置５８，８０，８５，８６，１０６が押圧するフランジ部３２の円板部３０，３１の上面の半径位置と押圧力とから求まる吸着ノズル２２に加わる回転モーメントが所定値以下となるように、第二昇降装置５８，８０，８５，８６，１０６のローラ８６，８７がフランジ部３２の円板部３０，３１の上面に対して設けられる。これにより、吸着ノズル２２が昇降軸１４に対し下降するときの摺動抵抗の発生を抑制できるので、吸着ノズル２２の昇降動作を良好に行うことができる。

また、第二昇降装置５８，８０，８５，８６，１０６のローラ８６，８７は、フランジ部３２の円板部３０，３１の外周縁３０ｂ，３１ｂよりも内側の上面を点接触で押圧する。これにより、ローラ８６，８７はフランジ部３２の円板部３０，３１の上面３１ａ，３１ａの外周縁３０ｂ，３１ｂを押圧することはなく、フランジ部３２には水平方向の押圧力が掛かり難くなるので、吸着ノズル２２の昇降動作を良好に行うことができる。

（６．その他）
なお、上述の実施形態では、第２昇降装置は、吸着ノズル２２のフランジ部３２を下降する方向に押圧する第二リニアモータ８０及びフランジ部３２を上昇する方向に付勢する付勢スプリング５８を備える構成としたが、フランジ部３２を上昇する方向に押圧するモータ及びフランジ部３２を下降する方向に付勢する付勢スプリングを備える構成としてもよい。

また、上述の実施形態では、ロードセル１０６を用いて第二リニアモータ８０によるローラ８６の押圧力を検出しているが、第二リニアモータ８０への実際の供給電流を検出することによってローラ８６の押圧力を検出するように構成してもよい。

１０：部品装着ヘッド、１２：ヘッド本体、１４：昇降軸、１８：第一リニアモータ（第一昇降装置）、２２：吸着ノズル、２６：ホルダ部、２８：軸部、３０，３１：円板部、３２：フランジ部、３４：ノズル部、３６：ばね保持筒、３７：ベアリング、４６：係止ピン、５８：付勢スプリング（第二昇降装置）、８０：第二リニアモータ（第二昇降装置）、８２：第一昇降駆動部材（第一昇降装置）、８５：第二昇降駆動部材（第二昇降装置）、８６，８７：ローラ（第二昇降装置）、１０６：ロードセル（第二昇降装置）、１１０：制御装置

Claims (5)

1. 部品を吸着して基板に装着する部品装着ヘッドであって、
   ヘッド本体と、
   前記ヘッド本体に昇降可能に保持される昇降軸と、
   前記昇降軸に昇降可能に保持され、下端部にて前記部品を吸着するノズル部及び前記ノズル部から径方向外方に延在するフランジ部を有する吸着ノズルと、
   前記昇降軸を前記ヘッド本体に対し昇降させる第一昇降装置と、
   端面が前記吸着ノズルの前記フランジ部の中心側を向くように配置されるローラを有し、前記ローラで前記フランジ部の上面を下方に押圧して前記吸着ノズルを前記昇降軸に対し昇降させる第二昇降装置と、
   を備え、
   前記ローラの外周面のうち前記フランジ部の中心側の縁部のみが、前記フランジ部の上面に当接する、部品装着ヘッド。
2. 前記ローラは、円筒外周面を有し、
   前記ローラの中心軸線は、前記ローラの前記フランジ部の中心側の位置が前記ローラの前記フランジ部の中心側とは反対側の位置より下方に位置するように傾斜する、請求項１に記載の部品装着ヘッド。
3. 前記ローラは、大径側が前記フランジ部の中心側に位置する円錐台状の外周面を有する、請求項１又は２に記載の部品装着ヘッド。
4. 前記フランジ部の上面のうち前記ローラに当接する部位は、前記フランジ部の中心から外方に向かって下方に傾斜する円錐状の面である、請求項１−３の何れか一項に記載の部品装着ヘッド。
5. 部品を吸着して基板に装着する部品装着ヘッドであって、
   ヘッド本体と、
   前記ヘッド本体に昇降可能に保持される昇降軸と、
   前記昇降軸に昇降可能に保持され、下端部にて前記部品を吸着するノズル部及び前記ノズル部から径方向外方に延在するフランジ部を有する吸着ノズルと、
   前記昇降軸を前記ヘッド本体に対し昇降させる第一昇降装置と、
   前記フランジ部の外周縁よりも内側の上面を点接触で下方に押圧して前記吸着ノズルを前記昇降軸に対し昇降させる第二昇降装置と、
   を備え、
   前記第二昇降装置が押圧する前記フランジ部の上面の半径位置と押圧力とから求まる前記吸着ノズルに加わる回転モーメントが所定値以下となるように、前記第二昇降装置が前記フランジ部の上面に対して設けられる、部品装着ヘッド。

Images